【課題】測定可能な膜厚の上限値を容易に変更することができる光干渉システム、基板処理装置及び計測方法を提供する。
【解決手段】光干渉システム１は、光源１０、コリメータ１２、単一の受光素子４１、チューナブルフィルタ４０及び演算装置１５を備える。コリメータ１２は、光源１０からの測定光を測定対象物の第１主面へ出射するとともに、第１主面及び第２主面からの反射光を入射する。単一の受光素子４１は、コリメータ１２からの光の強度を取得する。チューナブルフィルタ４０は、受光素子４１に入射される光の波長を掃引する。演算装置１５は、チューナブルフィルタ４０及び受光素子４１を用いて、波長に依存した強度分布であって第１主面及び第２主面からの反射光の強度分布である干渉強度分布を測定し、干渉強度分布をフーリエ変換して得られる波形に基づいて測定対象物の厚さ又は温度を計測する。 （もっと読む）

【課題】溶融液部を有する測定対象物の相変化を簡単に検出する装置を提供する。
【解決手段】溶融液部３を有する測定対象物２を撮像し、画像データを出力可能なカメラ１１と、制御演算装置１３とを具備し、前記カメラは画素の集合体である撮像素子１２を有し、前記画像データは前記画素の出力によって構成され、前記制御演算装置は前記画像データに基づき液相部と固相部の境界を検出する。 （もっと読む）

【課題】赤外線熱影像アレーモジュールの検証装置と検証方法の提供。
【解決手段】赤外線熱影像アレーモジュールの検証装置と検証方法は、熱影像モジュール規格設計、エピタキシャルと光学物性検証１０を含み、エピタキシャルパラメーターの校正を行う。単乙型感知部品製造工程と変温光電量測定検証２０を行い、エピタキシャルは感知部品の低温変温と変圧測定校正を完成する。焦平面アレー製造工程とその光電均一度の検証３０を行い、暗電流均一度テストを行う。焦平面アレーと信号読み出し集積回路の接着と研磨製造工程検証４０を行い、感知モジュールと信号読み出し集積回路間にインジウム接着を行い光電信号を転換し、熱影像品質統合テスト検証５０を行い、最適駆動と制御出力パラメーター分析と測定を調整し、熱影像アレーモジュール雛形を行い、焦平面感知アレーと接合し、影像感知アレーモジュール雛形を完成６０する。 （もっと読む）

【課題】赤外線熱影像アレーモジュールの検証装置と検証方法の提供。
【解決手段】主に本発明の赤外線熱影像アレーモジュールの検証装置と検証方法は、熱影像モジュール規格設計、エピタキシャルと光学物性検証を含み、先ずエピタキシャルパラメーターの校正を行う。単乙型感知部品製造工程と変温光電量測定検証を行い、これによりエピタキシャルは感知部品の低温変温と変圧測定校正を完成する。焦平面アレー製造工程とその光電均一度の検証を行い、暗電流均一度テストを行う。焦平面アレーと信号読み出し集積回路の接着と研磨製造工程検証を行い、感知モジュールと信号読み出し集積回路間にインジウム接着を行い光電信号を転換する。熱影像品質統合テスト検証を行い、最適駆動と制御出力パラメーター分析と測定を調整する。熱影像アレーモジュール雛形を継続して行い、インジウム柱接合方式を利用し、焦平面感知アレーと接合し、影像感知アレーモジュール雛形を完成することができる。 （もっと読む）

【課題】赤外線熱影像アレーモジュールの検証装置と検証方法の提供。
【解決手段】赤外線熱影像アレーモジュールの検証装置と検証方法は熱影像モジュール規格設計、エピタキシャルと光学物性検証１０を含み、エピタキシャルパラメーターの校正を行う。単乙型感知部品製造工程と変温光電量測定検証２０を行い、エピタキシャルは感知部品の低温変温と変圧測定校正を完成する。焦平面アレー製造工程とその光電均一度の検証３０を行い、暗電流均一度テストを行う。焦平面アレーと信号読み出し集積回路の接着と研磨製造工程検証４０を行い、感知モジュールと信号読み出し集積回路間にインジウム接着を行い光電信号を転換し、熱影像品質統合テスト検証５０を行い、最適駆動と制御出力パラメーター分析と測定を調整し、熱影像アレーモジュール雛形を行い、焦平面感知アレーと接合し、影像感知アレーモジュール雛形を完成６０する。 （もっと読む）

【課題】赤外線熱影像アレーモジュールの検証装置と検証方法の提供。
【解決手段】赤外線熱影像アレーモジュールの検証装置と検証方法は熱影像モジュール規格設計、エピタキシャルと光学物性検証１０を含み、エピタキシャルパラメーターの校正を行う。単乙型感知部品製造工程と変温光電量測定検証２０を行い、エピタキシャルは感知部品の低温変温と変圧測定校正を完成する。焦平面アレー製造工程とその光電均一度の検証３０を行い、暗電流均一度テストを行う。焦平面アレーと信号読み出し集積回路の接着と研磨製造工程検証４０を行い、感知モジュールと信号読み出し集積回路間にインジウム接着を行い光電信号を転換し、熱影像品質統合テスト検証５０を行い、最適駆動と制御出力パラメーター分析と測定を調整し、熱影像アレーモジュール雛形を行い、焦平面感知アレーと接合し、影像感知アレーモジュール雛形を完成６０する。 （もっと読む）

【課題】赤外線熱影像アレーモジュールの検証装置と検証方法の提供。
【解決手段】主に本発明の赤外線熱影像アレーモジュールの検証装置と検証方法は、熱影像モジュール規格設計、エピタキシャルと光学物性検証を含み、先ずエピタキシャルパラメーターの校正を行う。単乙型感知部品製造工程と変温光電量測定検証を行い、これによりエピタキシャルは感知部品の低温変温と変圧測定校正を完成する。焦平面アレー製造工程とその光電均一度の検証を行い、暗電流均一度テストを行う。焦平面アレーと信号読み出し集積回路の接着と研磨製造工程検証を行い、感知モジュールと信号読み出し集積回路間にインジウム接着を行い光電信号を転換する。熱影像品質統合テスト検証を行い、最適駆動と制御出力パラメーター分析と測定を調整する。熱影像アレーモジュール雛形を継続して行い、インジウム柱接合方式を利用し、焦平面感知アレーと接合し、影像感知アレーモジュール雛形を完成することができる。 （もっと読む）

【課題】電波吸収体の温度をより高精度に制御することができるマイクロ波放射計用高温校正源の温度制御方法を得る。
【解決手段】電波吸収体６２の温度を検出する温度検出装置１０２の検出温度と目標温度との差から、電波吸収体６２を加熱する第１の加熱装置１０１への供給電力量を単位時間ごとに算出する供給電力量算出工程と、算出した供給電力量に応じて、単位時間を複数に分けた区分時間ごとに、第１の加熱装置１０１へ電力が供給される回路を開閉する第１のスイッチ２２を制御するスイッチ制御工程とを備えている。 （もっと読む）

【課題】赤外線撮像素子の熱応答速度によらず高い応答速度で熱画像を表示することの出来る熱画像撮像方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の熱画像撮像方法によれば、『「第一検出値と第二検出値との差」と、「赤外線撮像素子の熱応答速度」とから赤外線検出値を推定すること』とのことから、１スキャンタイム前と現スキャンタイムとの赤外線撮像素子の検出値の変化速度から現スキャンタイム時の赤外線撮像素子の赤外線検出値を推定し、現スキャンタイム時の対象物の温度を推定することが出来る。よって、赤外線撮像素子の熱応答速度によらずスキャンタイム毎に対象物の温度を推定することが出来、熱画像を高い応答速度で撮像することができる。 （もっと読む）

【課題】熱間圧延設備のラインにおいて、特定点に基づく信頼性の高い温度情報を基礎とした品質管理を承継しつつも、鋼板の幅方向に管理範囲を拡大する。
【解決手段】第一の測定素子を有するとともに温度管理の基礎として参照される温度情報を搬送される鋼板上の特定点において測定する参照用のスポット型放射温度計５と、第一の測定素子とは異なる第二の測定素子を有するとともに搬送される鋼板の全幅に亘って管理温度情報を測定する走査型放射温度計７と、第二の測定素子と同一の測定素子を有するとともに前記特定点の温度情報を測定する補正用の放射温度計６とを用い、参照用のスポット型放射温度計５と補正用の放射温度計６との温度情報から測定温度差を求め、この測定温度差に基づいて走査型放射温度計７の管理温度情報を補正する。 （もっと読む）

【課題】均熱板や耐熱材等を使用せず低コスト・小型化を図れ６００℃以上の温度でも放射温度計やサーモグラフィ等の校正に必要な平面黒体炉として利用できる熱放射光源を提供する。
【解決手段】等方性黒鉛、ガラス状炭素、炭素繊維複合材等の炭素材料からなる均質かつ厚さが均一な板の全表面に炭素のナノ構造体を構築することで表面の放射率を高めた板に、電流を流して直接通電加熱を行い板全体の温度を均一に所望の温度に保持することにより、伝導熱損失により板の温度分布が悪化する前の数秒程度の短時間において板の複数の平面を所望の温度における黒体面として使用し、複数の放射温度計もしくはサーモグラフィを各黒体面にそれぞれ正対させることで比較校正や複数台の装置の校正を低コストかつ小型な装置により容易に実行することができることを特徴とする熱放射光源。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、様々な要因で変化する赤外線センサの精度及び感度を、校正することにより、適切に調整し、常に、高精度な赤外線センサを提供することである。
【解決手段】本発明は、赤外線センサの出力（Ｉｐ）と、センサ温度（Ｔｓ）と、補正データ（ＲＥＶ）とに基づいて測定対象物の温度を算出する温度測定方法において、補正データ（ＲＥＶ）は、測定対象物温度算出手段の出力（ＴＩＲ）を接触式温度測定手段の出力（Ｔｃｏｎｔ）に近づけるためのデータであって、（１）接触式温度測定手段が測温対象物に接触しており、かつ、（２）赤外線センサの測定視野内に測定対象物が入っている時に、取得されたものであることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】広い温度範囲を１台の炉でカバーでき空洞の温度均一性を実現できる温度標準用温度可変恒温炉装置を提供する。
【解決手段】炉内に設置した空洞１と、空洞温度を均一かつ一定に保つための熱媒体循環用ファン３、熱媒体加熱用のヒーター２、炉の温度制御用の温度計５を備えたことを特徴とする温度標準用気体循環式温度可変恒温炉装置であって、好ましくは、炉壁に空洞に沿った透明窓６を設け、透明窓をとおして空洞の温度分布を放射温度計などの非接触式温度計で測定できるようにしたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、高価な光学素子を使用することなく、被測定面の放射率分布に影響されずに正しく被測定面の高速に変化する表面温度を測定することができる測定方法及び測定システムを提供することを課題とする。
【解決手段】放射率分布を持つ被測定面と、該被測定面の輝度分布を測定する放射計と、該被測定面に関して該放射計から鏡面反射位置に設置された補助熱源とを用意し、該被測定面の放射率の異なる２か所の輝度を２つの異なる補助熱源温度で測定し、該放射率の異なる２か所のそれぞれ２つの輝度測定値に基づいて該放射率の異なる２か所の反射率比を算出し、該放射率の異なる２か所の輝度測定値と該反射率比を用いて該被測定面の温度を求めることを特徴とする表面温度の測定方法及び測定システム。 （もっと読む）

【課題】本発明は、高価な光学素子を使用したり、複雑な構造の装置を使用することなく、被測定面の放射率分布に影響されずに正しく被測定面の表面温度を測定することができる測定方法及び測定システムを提供することを課題とする。
【解決手段】放射率分布を持つ被測定面と、該被測定面の輝度分布を測定する放射計と、該被測定面に関して該放射計から鏡面反射位置に設置された輝度可変な補助熱源とを用意し、該被測定面の高放射率部と低放射率部の測定輝度が等しくなるように該補助熱源の放射輝度を変化させ、その時の測定輝度から該被測定面の温度を求めることを特徴とする表面温度の測定方法及び測定システム。 （もっと読む）

【課題】精度の高い測定を簡便に行うことができる分光測定装置、及び分光測定方法を提供すること。
【解決手段】
本発明の一態様にかかる分光測定装置は、レーザ光源１０１と、レーザ光源１０１からの光ビームを参照用サンプル１２０に集光するレンズ１０４と、第１レンズ１０４を通過した光ビームを測定用サンプル１２１に集光する対物レンズ１０６と、光ビームの照射によって、測定用サンプル１２１、及び参照用サンプル１２０で発生した光ビームと異なる波長の光を分光する分光器１０９と、分光器１０９で分光された光を検出する検出器１１０と、参照用サンプル１２０及び測定用サンプル１２１から分光器１０９に向かう光の光路を、レーザ光源か１０１から測定用サンプル１２１に向かう光ビームの光路から分岐するビームスプリッタ１０３と、を備えるものである。 （もっと読む）

【課題】大きな表面積または変化する表面積を覆うコーティングの絶対的な厚さを定量的に測定可能な技術を提供する。
【解決手段】コーティング表面において熱パルスを発生させることができるフラッシュランプ光源１１と、コーティング表面の連続画像フレームをキャプチャすることができる画像キャプチャ１３および処理装置１６とを部分的に使用する、基材表面上のコーティング４の不定の厚さを求めるための装置を提供し、各連続画像フレームは経過時間に対応し、ピクセルアレイを含み、そのアレイの各ピクセルはコーティング表面上の位置に対応する。コーティング４の厚さを計算する方法も提供する。 （もっと読む）

【課題】非破壊で物品内部のマイクロクラックやボイド、異物混入、接合状態等の内部構造を評価することができる、シリコンウエハや金属接合構造物等の物品の内部構造観察方法及び観察装置を提供することを課題とする。
【解決手段】観察対象物品の表面の多点をスポット的に加熱する加熱用レーザー１と、加熱点より放射される微少量の赤外線から、放射率を補正して高速に温度測定を行う２波長赤外放射温度計２と、２波長赤外放射温度計２による測定結果をレーザーの吸収率に関して補正し、その補正後の温度変移を等時間間隔での平面画像として構築する熱画像構築部４と、物品を測定位置に位置決めし且つ移動させるための移動手段とを含んで構成される。 （もっと読む）

【課題】 従来用いられている大きな焦電係数を有する焦電材料で得られる感度に近い感度を有し、かつマイクロ電子製造方法によって容易に作製可能な焦電材料を用いた、経時温度変化から電位差への変換を行うトランスデューサを提供する。
【解決手段】 このトランスデューサは、測定される経時温度変化をもたらす物体に対向するように作られている導電性の上部電極（４０）と、導電性の下部電極（４２）と、上部電極と下部電極との間に、機械的な外部応力が存在していない場合にも、経時温度変化に対応する電位差を発生させるために、上部電極と下部電極との間に配置されている少なくとも一層の焦電材料層（４４）とを備えており、焦電材料層の少なくとも一層は、ＩＩＩ−Ｖ窒化物をベースにしている層である。 （もっと読む）