【課題】被検レンズを治具の所定の位置に設置するだけで高精度の測定ができ、かつシンプルな構成で装置を安価に製造できるレンズ偏心測定装置及びレンズ偏心測定方法を提供する。
【解決手段】治具１８に設置される被検レンズ１５の光軸ずれを検出する第１光学系１０と、治具における被検レンズの設置角度を検出する第２光学系２０と、治具における被検レンズの設置位置を検出する第３光学系３０を具備し、第２光学系及び第３光学系により治具の被検レンズ設置角度及び位置を設定しておき、測定に際し被検レンズを治具に設置して第１光学系により当該被検レンズの光軸ずれを検出する。 （もっと読む）

【課題】被検光学系の被検面の偏心測定の測定時間を短縮する。
【解決手段】測定光を発生させる光源と、測定光を被検光学系の被検面に照射し、その反射光によるスポット像を形成する複数のレンズからなる測定光学系と、測定光学系の複数のレンズの少なくとも１つを光軸方向に移動させる移動部と、スポット像を取得する光検出器と、測定光学系の駆動量及び焦点距離、並びに測定光の集光位置の少なくとも１つに対する測定基準点位置座標の関係を予め記憶した測定基準点記憶部と、（１）光検出器によって取得された、被検面からの反射光によるスポット像の位置と、（２）測定光学系の駆動量及び焦点距離、並びに測定光の集光位置の少なくとも１つから、測定基準点記憶部に記憶された関係に基づいて算出された測定基準点位置座標と、を用いて被検面の偏心量を算出する偏心量算出部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】被測定物の光学特性を簡易に測定することができる光学測定装置及び光学測定方法を提供する。
【解決手段】光学測定装置１０は、光源１０４と、光源１０４から発せられた光線をレンズ５００に導く光学系１０６と、光学系１０６によって導かれた光線がレンズ５００反射して得られる像を撮影する撮影装置１１０と、撮影装置１１０で撮影された像に基づいて、レンズ５００の光学特性を演算する演算装置２０と、を有し、光学系１０６は、互いに焦点距離が異なる第１の光学機能部１５２、第２の光学機能部１５４、第３の光学機能部１５６を備えた回折格子１５０を有する。 （もっと読む）

【課題】複数の光学素子間の配置誤差による結像性能の劣化を効率的かつ高精度に補正することができるようにする。
【解決手段】補正要否判定部２により配置誤差を補正する必要があると判定された場合、複数の光学素子における補正対象の光学素子１１の偏心感度を測定する偏心感度測定部３と、波面収差抽出部１により抽出された波面収差と偏心感度測定部３により測定された偏心感度から、補正対象の光学素子１１を並進方向及び傾き角度方向に偏心させる駆動量を算出する駆動量算出部４とを設け、光学素子駆動部５が駆動量算出部４により算出された駆動量だけ補正対象の光学素子１１を並進方向及び傾き角度方向に偏心させる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、多レンズ光学系（６２）の光学面（Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３）の曲率中心（Ｋ１、Ｋ２、Ｋ３）の位置を測定する方法に関する。
【解決手段】最初に、光学面（Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３）の間隔が、干渉計（２４）を用いて参照軸（３４）に沿って測定される。次に、光学面（Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３）の曲率中心（Ｋ１、Ｋ２、Ｋ３）が、光角測定デバイス（２２）を用いて測定される。光学系（６２）内のある光学面（Ｓ２、Ｓ３）の曲率中心の位置の測定の間に、この光学面（Ｓ２、Ｓ３）及び光角測定デバイス（２２）の間にある光学面（Ｓ１、Ｓ２）の曲率中心（Ｋ１、Ｋ２）の測定された位置と、光学面（Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３）の以前測定された間隔とが、計算的に考慮される。このように、測定の特に高い精度が達成される。なぜなら、望まれる間隔が当てにされる必要がないからである。 （もっと読む）

【課題】観察範囲外の光軸位置を探して、速やかに光軸合わせを行うことができるチャート板と、それを用いたレンズの検査装置を提案する。
【解決手段】チャート板１０は、透明なガラスからなる円盤１１にセンタリングチャート１２と十字チャート１３〜１５とが描かれている。センタリングチャート１２は、透明部分で形成され中心から周辺に放射状に等角度で延ばされた２０本の一定幅の直線１６と、２０本の直線１６の間に遮光性のある金属膜が蒸着されて形成された２０個の扇形１７とで構成される。十字チャート１３〜１５には、透明部分で形成された十字線１８〜２０と、十字線１８〜２０によってそれぞれ等角度に４等分され遮光性のある金属膜が蒸着された４つの四半円を有する３つの円が形成され、十字線１８〜２０は１８，１９，２０の順で、線幅が広く形成される。 （もっと読む）

【課題】レンズプローブにおける集光レンズの位置ずれを直接検査することができ、しかも高温環境下に設置されているレンズプローブに対しても検査が可能な検査装置を提供する。
【解決手段】ホルダ２１に取り付けられた集光レンズ２２の光軸ずれを検査する検査装置１０である。複数の光ファイバ１１ａからなり、その先端面が集光レンズ２２の焦点位置又はその近傍に配置される光ファイババンドル１１と、光ファイババンドル１１の後端側に配置された位置検出素子１２と、を備えてなる。 （もっと読む）

【課題】別途光源を用意することなく、被検レンズの光軸をレーザ光の進行方向に一致させる傾き調整が可能なレンズの透過波面測定装置を提供する。
【解決手段】透過波面測定装置が、入射部から光を取り入れて出射部から出射させ、入射部を被検レンズの第１レンズ面近傍に出射部を被検レンズの第２レンズ面近傍に夫々配置可能であり、入射部から観察光を出射部に導いて被検レンズのフランジ部の第２レンズ面側に形成された平面部に照射させる傾斜検出用光路形成部と、被検レンズの平面部で反射された観察光による被検レンズの傾きを判別するための点像を観察するための傾斜検出用カメラとを有し、傾斜検出用光路形成部は、被検レンズから離れて観察光を被検レンズの第１レンズ面に入射させる第１の位置と、被検レンズの第１レンズ面側及び第２レンズ面側に入射部及び出射部が夫々位置して観察光を平面部に照射させる第２の位置との間で移動可能である。 （もっと読む）

【課題】レンズの偏心を測定できる形状測定装置を簡易的に、かつ高精度に校正できる校正用冶具、校正方法、及び該校正用冶具が搭載可能な形状測定装置を提供する。
【解決手段】校正用冶具１００は、中心が円周上を３等分し、計測用基準球を接するように設置できる３個の基準球２を備える。形状測定装置は、該校正用冶具を配置可能であり、被測定物の形状に関する情報を取得するための第１プローブと、校正用冶具に対して第１プローブと反対側に設けられ被測定物の形状に関する情報を取得するための第２プローブと、第１プローブ及び第２プローブにより、配置された計測用基準球を測定して第１測定結果及び第２測定結果を求める測定部と、第１測定結果及び第２測定結果を比較してシフトを算出するシフト量算出部と、を備える。校正方法は、上記形状測定装置を用いた測定ステップとシフト量等を算出するシフト量算出ステップとを備える。 （もっと読む）

【課題】面ずれと面倒れを互いに分離して高精度に測定することができ、かつ種々の被検体を測定対象とすることが可能な面ずれ面倒れ測定装置を得る。
【解決手段】回折格子２２Ａを介して、光軸Ｃ_２２Ａに対する波面の進行角度が互いに異なる２つの円錐状光束を第１被検面９０Ａに照射するとともに、回折格子２２Ｂを介して、光軸Ｃ_２２Ｂに対する波面の進行角度が互いに異なる２つの円錐状光束を第２被検面９０Ｂに照射する。第１被検面９０Ａからの戻り光により形成される２つの干渉縞を解析することにより、光軸Ｃ_２２Ａに対する第１被検面９０Ａの面ずれおよび面倒れを求め、第２被検面９０Ｂからの戻り光により形成される２つの干渉縞を解析することにより、光軸Ｃ_２２Ｂに対する第２被検面９０Ａの面ずれおよび面倒れを求め、それらの結果から、被検レンズ９の面ずれおよび面倒れを求める。 （もっと読む）

【課題】コーナーキューブ等での反射により照明光の偏光状態が変化しても検出光量のロスを抑えることができる偏芯測定装置を提供する。
【解決手段】偏芯測定装置１において、光源１１から射出され偏光ビームスプリッター１４を透過した照明光（Ｐ偏光）を、測定対象物である光学レンズ５の測定曲面５ａの曲率中心位置に集光させるとともに円偏光に変換して測定曲面５ａに照射する照射光学系は、入射した照明光（Ｐ偏光）を反射させて光路を屈曲させるコーナーキューブ１６および第２ミラー１７と、コーナーキューブ１６および第２ミラー１７での反射により変化した照明光の偏光状態を補正する第１波長板（１/４波長板）１８とを有して構成される。 （もっと読む）

【課題】互いに平行に形成された２つの面の相対的な傾きを、該２つの面が不透明な部材の表裏両側に位置するような場合でも、１つの測定系により測定可能とする反射偏向素子、相対傾斜測定装置および非球面レンズ測定装置を得る。
【解決手段】干渉計３０からの測定光の一部を、反射偏向素子１０Ｂを介して第１被検面７１に対し垂直に照射するとともに、測定光の他の一部を、反射偏向素子１０Ｂを介さずに第２被検面７２に対し垂直に照射する。第１被検面７１から再帰反射され、反射偏向素子１０Ｂを介して干渉計３０に戻る測定光により形成される第１解析用画像と、第２被検面７１から再帰反射されて干渉計３０に戻る測定光により形成される第２解析用画像とに基づき、第１被検面７１および第２被検面７２の相対的な傾きが解析される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、光軸位置と向きを精度良く決定できる光学素子及び光学素子の偏芯量測定方法を提供する。
【解決手段】 光学素子は、光束を通過又は反射し、第１の関数で規定される第１表面を有する有効領域（ＹＲ）と、有効領域の外側の領域に形成され、第１の関数と異なる第２の関数で規定される第２表面を有する非有効領域（ＨＲ）と、を備える。そして光学的非有効領域（ＨＲ）の第２の関数は、曲面又は互いに異なる関数で表わされる２つ以上の平面を有する。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、生産コストが低い吸着治具を提供することである。
【解決手段】本発明に係る吸着治具は、吸引源に連通されてテストオブジェクトを吸着するために用いられる。互いに対向する第一面及び第二面にそれぞれ積載凹部及び吸着凹部が設けられ、前記積載凹部と前記吸着凹部との間に接続孔が設けられ、前記積載凹部、前記吸着凹部及び前記接続孔が同軸上に設けられる吸着部と、前記吸着部の側面に設けられ、且つ前記接続孔に連通する通気孔が設けられる少なくとも１つの接続部と、前記積載凹部に載置されて前記接続孔を密封する透光板と、を備える。 （もっと読む）

【課題】球面形状から大きく乖離した非球面レンズに対しても、簡単かつ安価に偏芯測定することのできる非球面レンズの偏芯測定方法および偏芯測定装置を提供する。
【解決手段】被測定レンズの設計式に基づいて被測定レンズの頂点から球面の一部と近似される球面近似領域を算出し（Ｓ１）、球面近似領域のみを照射するための光学絞りを作成し（Ｓ２）、球面近似領域に対応する対物レンズを選択し（Ｓ３）、被測定レンズＬ、光学絞りおよび対物レンズをそれぞれ配設し（Ｓ４）、被測定レンズに測定光を照射し（Ｓ５）、対物レンズと被測定レンズとの位置合わせを行うことにより測定光を球面近似領域のみに照射させ（Ｓ６），測定光の光軸を回転軸として被測定レンズを回転し（Ｓ７）、被測定レンズの球面近似領域で反射する測定光の反射光を検出することにより回転軸に対する被測定レンズの光軸の偏芯量を測定する（Ｓ８）。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成のレンズずれ測定装置を用いて短時間で、枠体に対してレンズが偏芯していること或いは傾いていることに起因するレンズの集光スポットの位置ずれ量を求める。
【解決手段】
レンズ２１と、レンズ２１を保持する枠体（例えばキャップ２２）とを有するレンズ付き部材（例えばレンズ付きキャップ２０）に対し、枠体からの反射光が生じるように光を照射する状態で、枠体からの反射光を撮像した撮像結果に基づいて、枠体における所定部位（例えば中心）の位置を求める。レンズ付き部材に対し、レンズ２１を透過する光がレンズ２１により集光された集光スポット３０が生じるように光を照射する状態で、レンズ２１を透過した光を撮像した撮像結果に基づいて、集光スポット３０の位置を求める。そして、その所定部位に対する集光スポット３０の位置のずれ量をレンズ２１のずれとして求める。 （もっと読む）

【課題】オートコリメータを使用したレンズの偏心測定精度を改善する。
【解決手段】オートコリメータ１００を用い、かつ光軸を有する光学素子１を回転させて上記光学素子における上記光軸と回転軸との偏心を調整する偏心調整方法であって、光源１３０が発する光束から回折光学素子１１２によりそれぞれ異なる次数の回折光１３１，１３２を上記光学素子の光学作用面１ａ及びフランジ面１ｃに照射し、受光部１２０で検出された検出結果から、上記光学作用面における光軸と上記光学素子の上記回転軸とが一致するように上記光学素子を位置決めする。 （もっと読む）

【課題】光学素子アレイを構成する各光学素子を個片化する必要なく、全光学素子を一括して測定することが可能であると共に、簡単かつ小規模な装置構成で実現可能な偏芯測定装置等を実現する。
【解決手段】偏芯測定装置１は、両側テレセントリック光学系である素子結像光学系５を備える。素子結像光学系５は、入射された透過光により、レンズ４０の両面をそれぞれ結像させるものである。偏芯測定装置１は、レンズ４０の第１面４１を結像させた第１透過像９１、および、レンズ４０の第２面４２を結像させた第２透過像９２のコントラストに基づいて、レンズ４０の偏芯の量を測定可能なものである。 （もっと読む）

【課題】測定対象面が非球面であるときにも良好なスポット像を得ることが可能となり、精度の良い偏芯測定を行うことができる偏芯測定装置を提供する。
【解決手段】偏芯測定装置１は、測定対象面５に照明光を照射する照明光学系１０と、測定対象面５で反射した反射光を集光面３１に集光する集光光学系２０と、集光面３１におけるスポット光の位置を検出する光位置センサー３０と、スポット光の位置に基づいて測定対象面５の偏芯量を測定する演算処理部３５とを備え、集光光学系２０は、前記反射光を所定方向に拡散させる凹面シリンドリカルレンズ２１と、凹面シリンドリカルレンズ２１と屈折力の絶対値が等しく、前記反射光を所定方向に収束させる凸面シリンドリカルレンズ２２と、前記反射光を集光面３１に集光する集光レンズ２３と、凹面シリンドリカルレンズ２１および凸面シリンドリカルレンズ２２を光軸を中心に相対的に回転させて、測定対象面５に応じて生じる非点収差の影響を補正することが可能な回転駆動装置２５とを有して構成される。 （もっと読む）