【課題】レジスト膜を形成する工程においてプリベークを必要とせず、さらに高感度、特に半導体レーザーを照射源とした最大発光波長が４００ｎｍ〜４１０ｎｍの範囲内にある活性エネルギー線に対して高感度かつパターン形成性が良好なポジ型レジスト組成物を提供する。
【解決手段】（Ａ）一般式（Ｉ）


で表される構造単位を有するビニル系重合体、（Ｂ）特定の構造で表される光酸発生剤、及び（Ｃ）特定の構造で表される増感色素を含有することを特徴とするポジ型レジスト組成物。 （もっと読む）

【課題】通常露光（ドライ露光）のみならず液浸露光においても、パターン倒れに優れるとともに、上記トレードオフの関係を解消し、露光ラチチュードが広く、かつラインエッジラフネスが軽減されたポジ型レジスト組成物、及び、該ポジ型レジスト組成物を用いたパターン形成方法を提供する。
【解決手段】活性光線又は放射線の照射により、エステル構造及びフッ素原子を有するスルホン酸を発生する特定の化合物、及び、ガラス転移温度が１５０℃以下である、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解度が増大する樹脂を含有するポジ型レジスト組成物、及び、該ポジ型レジスト組成物を用いたパターン形成方法。 （もっと読む）

【課題】レジストパターンの形状悪化、解像性の低下、現像時のレジスト残渣の発生を抑えつつ、耐クラック性を高めたポジ型レジスト組成物を提供する。
【解決手段】本発明に係るポジ型レジスト組成物は、（Ａ）アルカリ可溶性ノボラック樹脂、（Ｂ）アルカリ可溶性アクリル樹脂、及び（Ｃ）感光剤を含有し、（Ｂ）アルカリ可溶性アクリル樹脂が下記一般式（Ｂ−１）で表される（ｂ１）構成単位を有することを特徴とする。


［一般式（１）中、Ｒ^１ｂは水素原子又はメチル基を示し、Ｒ^２ｂは置換基を有していてもよい炭素数５以上の直鎖状又は分岐鎖状のアルキル基を示す。］ （もっと読む）

【課題】アルカリ現像液によるパターン形成性に優れ、露光後の十分な再接着性を有する感光性接着剤組成物を提供すること。また、アルカリ現像液によるパターン形成性に優れ、露光後の十分な再接着性を有するとともに、被着体上に低温で貼り付けることが可能な接着フィルムを提供すること。
【解決手段】（Ａ）アルカリ可溶性樹脂と、（Ｂ）エポキシ樹脂と、（Ｃ）放射線重合性化合物と、（Ｄ）光重合開始剤と、を含有してなる感光性接着剤組成物であって、（Ａ）アルカリ可溶性樹脂のガラス転移温度が１５０℃以下であり、（Ｂ）エポキシ樹脂が（Ｂ１）３官能以上の成分と、（Ｂ２）液状成分とを含み、（Ｂ２）液状成分の一部又は全部が（Ｂ１）３官能以上の成分を兼ねていてもよい、感光性接着剤組成物。 （もっと読む）

【課題】プリント配線板、パッケージ基板、モジュール基板に用いられるソルダーレジストとして必要な現像性、解像性、耐熱性、めっき耐性に優れ、且つ硬化収縮が少なく反りの無い基板を提供できるソルダーレジスト組成物、及びその硬化物を提供すること。
【解決手段】式（１）により算出される硬化後の架橋密度が２×１０^３〜１．２×１０^４ｍｏｌ／ｍ^３であり、且つガラス転移温度が１００℃以上であることを特徴とするソルダーレジスト組成物。
ｎ＝Ｅ’min／３ΦＲＴ （１）
式中、nは架橋密度、Ｅ’minは貯蔵弾性率Ｅ’の最小値、Φはフロント係数≒１、Ｒは気体定数、ＴはＥ’minの絶対温度を表わす。 （もっと読む）

【課題】（１）０℃以下の低温下に曝露した場合にもサーマルショックに因るクラックを発生しないこと、（２）５μｍ以上の厚膜の形成が可能であること、（３）高感度であること、（４）一般的な溶剤で容易に剥離可能であること、という条件を満たす化学増幅型ポジ型ホトレジスト組成物。
【解決手段】（Ａ）光酸発生剤、（Ｂ）樹脂成分、および（Ｃ）有機溶剤を含むことを特徴とする低温ドライエッチング用化学増幅型ポジ型ホトレジスト組成物を提供する。 （もっと読む）

【課題】 従来のものと比べて低温でのイミド化が可能で、感光性ドライフィルムレジストとしてＦＰＣ基板等に積層した状態で、反りが小さく可撓性・屈曲性・電気信頼性・感光性に優れ、難燃性を有する感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】 少なくとも
（Ａ）ポリイミド前駆体
（Ｂ）炭素−炭素二重結合を有する（メタ）アクリレート化合物
（Ｃ）光反応開始剤
を含有し、１８０℃以下の温度で硬化することを特徴とする感光性樹脂組成物を用いる。 （もっと読む）

【課題】半田ペーストの印刷性、およびパターン形状に優れ、基板からの剥離も容易であるバンプ形成用のネガ型感放射線性二層積層膜、およびこれを用いたバンプの製造方法を提供する。
【解決手段】（Ａ）ポリ−ｐ−ヒドロキシフェニルアクリルアミドに代表される特定の構造単位を有するアルカリ可溶性共重合体と、（Ｂ）有機溶媒とを含有するバンプ形成に用いる二層積層膜の下層膜用組成物を製造し、この組成物を用いて二層積層膜を製造し、該積層膜を用いてバンプを形成する。 （もっと読む）

【課題】 ラフネスの低減されたレジストパターンを形成できるレジスト組成物およびレジストパターン形成方法を提供する。
【解決手段】 酸の作用によりアルカリ可溶性が変化する樹脂成分（Ａ）と、露光により酸を発生する酸発生剤成分（Ｂ）とを含有するレジスト組成物であって、前記樹脂成分（Ａ）が、ガラス転移点（Ｔｇ）が１４０〜２００℃の樹脂（Ａ１）と、ガラス転移点（Ｔｇ）が５０〜１１５℃の樹脂（Ａ２）とを含有することを特徴とするレジスト組成物。 （もっと読む）

【課題】本発明は、感光特性を維持しつつ、焼成工程での割れ、剥がれおよび反りを防止した感光性セラミックス組成物を提供することを課題とする。
【解決手段】無機粉末と感光性有機成分を必須成分とする感光性セラミックス組成物において、熱分解温度が３５０℃以下で、かつ側鎖にエチレン性不飽和基を有する反応性ポリマを含有することを特徴とする感光性セラミックス組成物。 （もっと読む）

【課題】 基体表面の凹凸追従性に優れ、かつ、テント性及びエッチングの均一性に優れた高精細なパターンを形成可能なパターン形成材料、並びに該パターン形成材料を備えたパターン形成装置及び前記パターン形成材料を用いたパターン形成方法の提供。
【解決手段】 支持体上に、第一の層と第二の層とをこの順に有し、該第一の層のガラス転移温度（Ｔｇ）をＡ、該第二の層のガラス転移温度（Ｔｇ）をＢとしたとき、Ｂ≧Ａであることを特徴とするパターン形成材料である。該パターン形成材料を備えたパターン形成装置である。前記パターン形成材料における感光層に対し、露光を行うことを少なくとも含むことを特徴とするパターン形成方法である。 （もっと読む）

【課題】 良好な色度を有し、透過率が高く且つ低コストで作製することができるカラーフィルターを作製可能なカラーフィルター用感光性樹脂組成物セット、カラーフィルター用感光性樹脂転写材料セット及び積層物、これらを用いたカラーフィルター及びその製造方法、並びに、液晶表示装置を提供する。
【解決手段】 少なくともバインダーと重合性化合物と光重合開始剤又は光重合開始剤系と赤色着色剤とを含む赤色感光性樹脂組成物、及び、少なくともバインダーと重合性化合物と光重合開始剤又は光重合開始剤系と緑色着色剤とを含む緑色感光性樹脂組成物を含むカラーフィルター用感光性樹脂組成物セットであって、
前記赤色感光性樹脂組成物に含まれるバインダーのガラス転移温度（Ｔｇ１）が、前記緑色感光性樹脂組成物に含まれるバインダーのガラス転移温度（Ｔｇ２）よりも低いことを特徴とするカラーフィルター用感光性樹脂組成物セット。 （もっと読む）

【課題】ＣＴＰ用の平版印刷版の故障、特に膜抜け故障を顕著に削減できる。
【解決手段】電気化学的な粗面化処理が行われる平版印刷版用のアルミニウム支持体であって、粗面化処理前の表面粗さが中心線平均粗さＲａで０．１０μｍ以上、０．２４μｍ以下であるように構成される。 （もっと読む）