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Fターム[2H025CC10]の内容

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Fターム[2H025CC10]に分類される特許

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【課題】
電子線レジストの上層に用いられる帯電防止膜形成組成物とそれを用いたレジストパターン及び半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】 水溶性樹脂及びイオン液体を含む電子線レジストの上層に用いる帯電防止膜形成組成物。水溶性樹脂が非イオン性樹脂、アニオン性樹脂、又はカチオン性樹脂である。イオン液体が、イミダゾリウム、ピリジニウム、ピロリジニウム、フォスフォニウム、アンモニウム、及びスルホニウムからなる群より選ばれるカチオンを含む。イオン液体が、ハロゲン、カルボキシレート、サルフェート、スルホネート、チオシアネート、アルミネート、ボレート、ホスフェート、ホスフィネート、アミド、アンチモネート、イミド、及びメチドからなる群より選ばれるアニオンを含む。 (もっと読む)


【課題】 塩基性染料を含有する感光性樹脂の静電気障害を抑制し、更に塩基性染料を配合した感光性樹脂組成物の変退色も防止することができる感光性樹脂用帯電防止剤及び感光性樹脂組成物の提供。
【解決手段】 塩基性染料を含有する感光性樹脂用の帯電防止剤であって、エステル型帯電防止剤を含有し、帯電防止剤中のアルカリ金属及びアルカリ土類金属元素の合計含有量が100ppm以下である感光性樹脂用帯電防止剤、並びにこの帯電防止剤、感光性樹脂成分及び塩基性染料を含有する感光性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】ブリ−ディング、ブル−ミング、及び移行汚染が発生せず、湿度に依存せずに、即効性に優れ、物性の低下を招かず、かつ優れた制電性が持続する制電性組成物を提供することを主要な目的とする。
【解決手段】本発明の制電性組成物は、重合性化合物、樹脂又はエラストマ−を含む組成物中に、フルオロ基及びスルホニル基を有する陰イオンを備えた塩が分散されてなる制電性組成物に係る。上記フルオロ基及びスルホニル基を有する陰イオンを備えた塩は、揮発性有機溶媒に溶解された状態で分散されていることを特徴とする。本発明によれば、ブリ−ディング、ブル−ミング、及び移行汚染が発生せず、湿度に依存せずに、即効性に優れ、かつ優れた制電性が持続する制電性組成物を得ることができる。 (もっと読む)


【課題】レーザーによる画像露光後、機上現像が可能であり、機上現像性および耐刷性が良好な平版印刷版原版を提供する。
【解決手段】支持体上に画像記録層を有し、印刷インキおよび/または湿し水を供給することにより機上現像可能な平版印刷版原版であって、該画像記録層が一般式(1)〜(3)で表される化合物の少なくともいずれかを含有することを特徴とする。
【化1】


〜R3はアルキル基等を、Aはリチウム等を、nは1〜3の整数を、Rはアルキル基等を、mは1〜4の整数を、Xはナトリウム等を表す。 (もっと読む)


【課題】安定性に優れ、ダイコート方式の塗布装置の塗布液吐出口先端部で固化した際に自己溶解性に優れ、基板に対して強固な密着性を有するカラーフィルタ用着色組成物、及び塗膜とガラス等の透明基板との間での強固な密着性を有するカラーフィルタの提供。
【解決手段】ビニル系重合体主鎖内に、特定のカルボキシル基含有単位(G)を、ビニル系重合体の1分子あたり平均0.3個以上3.0個以下の量で含むビニル系分散剤(A)と、顔料と、モノマーを含む顔料担体とを含有するカラーフィルタ用着色組成物、及び該カラーフィルタ用着色組成物を用いて形成されたフィルタセグメントを具備するカラーフィルタ。 (もっと読む)


【課題】スピンコート法およびダイコート法により塗布した場合に、塗膜に観察される欠点を低減できる着色組成物、および塗膜欠点が殆ど認められないフィルタセグメントを具備するカラーフィルタの提供。
【解決手段】透明樹脂、その前駆体またはそれらの混合物からなる色素担体と、色素と、有機溶剤と、帯電防止剤とを含有する着色組成物であって、有機溶剤として25℃における誘電率が10.0以下、25℃における電導度が1nS/cm以下、かつ25℃における粘度が1.5mPa・s以下の有機溶剤Aを有機溶剤の全量を基準として5重量%以上の範囲で含有し、該着色組成物の25℃における誘電率が8.0以上、25℃における電導度が100nS/cm以上、かつ25℃における粘度が20mPa・s以下である着色組成物、および該着色組成物から形成されるフィルタセグメントを具備するカラーフィルタ。 (もっと読む)


【課題】現像欠陥の発生を抑制し、半導体デバイスの歩留まりを向上させることができる感放射線性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】(A)ヨードニウム塩化合物およびスルホニウム塩化合物から選ばれる少なくとも1種のオニウム塩化合物を含み、一硫化アンモニウム((NH42S)が前記オニウム塩化合物に対して1000ppm以下である感放射線性酸発生剤;(B)酸解離性基を有するアルカリ不溶性又は難溶性樹脂;(C)溶剤;および(D)酸拡散抑制剤を含有する感放射線性樹脂組成物を提供する。 (もっと読む)


【課題】 化学増幅型レジストにおける膜減り現象防止に優れた帯電防止処理剤、その帯電防止処理剤を用いた帯電防止膜、被覆物品及びパターン形成方法を提供する。
【解決手段】 水系溶媒可溶性導電性高分子、2価以上の脂肪族塩基性化合物及びアニオン性界面活性剤を含む帯電防止処理剤、その帯電防止処理剤を用いた帯電防止膜、被覆物品及びパターン形成方法。水溶性導電性高分子としては、ブレンステッド酸基を有するπ共役系導電性高分子が好ましく、2価以上の脂肪族塩基性化合物は含有する塩基性化合物の総モル数に対して0.1〜75モル%の範囲内にあることが好ましい。 (もっと読む)


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