【課題】合焦検出に係る計算量を減らしつつ標本全体として標本に正確に合焦したバーチャルスライドを作成する。
【解決手段】標本を搭載するステージと標本からの光を集光する対物レンズとの光軸方向および光軸に交差する方向の相対位置を調節する移動機構５と、標本の部分画像を取得する撮像部７と、該撮像部７の視野の一部に対応して設定した合焦検出領域の合焦状態を検出する合焦検出部９３と、該合焦検出部９３により検出された合焦状態に基づき対物レンズとステージとの光軸方向の相対位置を移動機構５に調節させる合焦制御部９４と、標本の輪郭を検出する輪郭検出部９１と、該輪郭検出部９１によって検出された輪郭の位置に基づき合焦検出領域と部分画像の撮影範囲との相対位置を移動機構５により調節させる合焦検出位置制御部９２と、撮像部７により取得された複数の部分画像からＶＳを合成する画像処理部９６とを備えるＶＳ作成装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】簡易な操作で標本試料上における所望の観察位置を拡大または縮小することができる顕微鏡システムを提供する。
【解決手段】１または複数のレンズからなり、標本試料Ｓに対してズーム可能なズーム光学系２４３ａと、ズーム光学系２４３ａを光軸に沿って移動させるズーム駆動部２４３ｂと、表示部６２の表示画面上に設けられ、外部からの物体の接触位置に応じた入力を受け付けるタッチパネル６３と、タッチパネル６３から異なる接触位置の入力に応じた２つの位置信号が出力された場合、この２つの位置信号に対応するタッチパネル６３上における接触位置の中点を、ズーム光学系２４３ａのズーム倍率によらずに固定されるズーム中心位置としてズーム光学系２４３ａのズーム倍率の変更を指示する駆動信号をズーム駆動部２４３ｂに出力する駆動制御部７４５と、を備える。 （もっと読む）

【課題】光走査光学系を有する顕微鏡装置で高い分解能の画像を得ることを目的とする。
【解決手段】本発明の顕微鏡装置１は、試料Ｓに照射するレーザ光Ｌを発振する光源と２、レーザ光Ｌの一部を通過させる複数のピンホール６Ｐを有し、レーザ光Ｌを試料Ｓに走査させる走査光学系と、レーザ光Ｌのうちピンホール６Ｐを通過した光に試料Ｓで焦点を結ばせる対物レンズ１２を有し、焦点から発生する戻り光Ｒをピンホール６Ｐに導く顕微鏡光学系と、試料Ｓから発生する戻り光Ｒを検出するカメラ１６と、走査光学系を走査することによって走査光学系に形成される戻り光Ｒの像を、カメラ１６に対して相対移動させる相対移動機構１１と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】 被検物の移動および調節に伴う振動を低減することができ、かつ振動低減の際に装置の質量分布の変化を低減することができる画像取得装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 被検物の位置および姿勢の少なくとも一方を調節可能な調節機構１０２と、被検物の撮像における撮像条件を取得する予備計測部と、撮像条件に基づいて被検物を撮像する撮像部と、撮像部と予備計測部との間で被検物を移動させる回転テーブル１０１と、を有する画像取得装置であって、回転テーブル１０１の回転中心回りに、回転テーブル１０１とは逆方向に回転可能な回転カウンタ１０３と、調節機構１０２の駆動に応じて回転可能な調節カウンタ１０４と、を備え、回転カウンタ１０３および調節カウンタ１０４は、夫々の回転中心に対して回転対称形状であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】スライドガラス上に試料が点在する場合においても、すべての試料において鮮明なミクロ画像を取得して、空間分解能の高いバーチャルスライドを構築する。
【解決手段】試料Ａを搭載したスライドガラスＢのマクロ画像を取得するマクロ撮像部７と、取得されたマクロ画像において、試料Ａを抽出する抽出部１０と、抽出された試料Ａが複数点在している場合に、各試料Ａの塊を含む複数のブロックを定義するブロック設定部１３と、各ブロック内において、試料Ａを含む領域を複数の小領域に分割する領域分割部１１と、各小領域について該小領域内の試料Ａに対しオートフォーカス動作を行いながらミクロ画像を取得するミクロ撮像部８とを備え、該ミクロ撮像部８が、ブロック設定部１３により設定されたブロック毎に、オートフォーカスの合焦位置を探索する顕微鏡装置１を提供する。 （もっと読む）

【課題】長時間観察解析において標本の動きを確実に測定することが可能な顕微鏡システムを提供する。
【解決手段】顕微鏡システム１００は、観察試料１０２を積載するステージ１０１と、ステージ１０１に載置された観察試料１０２と対峙するように配置される対物レンズ１０９とを備えている。ステージ１０１はＸ−Ｙ−Ｚ方向の位置が電動制御可能であり、顕微鏡システム１００は、ステージ１０１のＸ−Ｙ方向の位置を制御するステージＸ−Ｙ制御部１１５と、ステージ１０１のＸ−Ｙ方向の位置を制御するステージＺ駆動制御部１１６とを備えている。また、顕微鏡システム１００は、公知の顕微鏡用アクティブ型のオートフォーカスユニット１１８を備えている。オートフォーカス部によりスライドガラスとカバーガラスの一方にオートフォーカスを行った後、予め定めた一定量の分だけ、焦準駆動部により動作させる （もっと読む）

【課題】格段と効率的にサンプルを撮像し得る。
【解決手段】顕微鏡２０は、生体サンプルＳＰＬが配されたプレパラートＰＲＴを含むサムネイル像から、ステージ２１に設けられる保持突起７１Ａ〜７１Ｃにより規定される基準位置ＰＲに対する該プレパラートＰＲＴの位置ずれを検出する。基準位置ＲＰに対するプレパラートＰＲＴの位置ずれが検出された場合、顕微鏡２０はステージ２１を、検出時点の位置である移動開始位置から位置ずれに対応する方向へ押出速度で押し出し、該押出速度よりも遅い引戻速度で移動開始位置まで引き戻す。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、顕微鏡装置に関し、同一の光源からの長波長の光束を試料に広域照射し短波長の光束をスポット照射することを目的とする。
【解決手段】 試料を拡大する対物レンズと、前記対物レンズで拡大された像を結像する結像光学系とを備えた顕微鏡装置において、光源と、前記光源からの光の光路を波長の長短に応じて異なる方向に設定する光路設定素子と、前記光路設定素子からの長波長の光束を前記試料に広域照射するための第１の照明光学系と、前記光路設定素子からの短波長の光束を前記試料にスポット照射するための第２の照明光学系と、前記第１の照明光学系からの長波長の光束から所定波長の光束を選択し、前記対物レンズに導く第１の波長選択素子と、前記第２の照明光学系からの短波長の光束から所定波長の光束を選択し、前記対物レンズに導く第２の波長選択素子と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】MEMSデバイスの製作および観察を効率よく行う。
【解決手段】露光対象物１２の観察に使用される観察鏡筒１９と、露光対象物１２を露光する露光光を発生する露光照明ユニット３２と、ステージ１３およびレボルバ１５が装着される顕微鏡本体１６と、露光対象物１２に照射する照明光を発生する落射照明ユニット１７と、対物レンズ１４の露光対象物１２に対する焦点を合致させるＡＦユニット１８とが、共通の接続部を有する。本発明は、例えば、MEMSデバイスの製作および観察をする顕微鏡システムに適用できる。 （もっと読む）

【課題】高精度で露光する。
【解決手段】露光照明ユニット３２は、レボルバに装着されている複数の対物レンズのそれぞれに対して倍率補正調整がなされている第２対物レンズを複数有している。そして、露光照明ユニット３２では、光軸Ｌ１上に配置される対物レンズが切り替えられると、第２対物レンズ５５−１および５５−２がスライドし、光軸Ｌ１上に配置された対物レンズ１４に対して倍率補正調整がなされている方を経由して、DMD５４により変調された露光光が対物レンズに入射される。本発明は、例えば、MEMSデバイスの製作および観察をする顕微鏡システムに適用できる。 （もっと読む）

【課題】照明ユニットの交換費用を抑えることができとともに、生産効率の向上を図ることができ、さらに、誤った光量のまま使用してしまう危険もなくすことができる光学式測定装置を提供する。
【解決手段】測定装置本体１と、この測定装置本体に着脱可能に装着されＬＥＤ４４、４９を光源とする照明ユニット４，５と、光量指令値に応じて照明ユニットを制御する照明用コントローラ６とを備えた光学式測定装置であって、照明ユニットには、光量指令値に対応する光量を発生するためのキャリブレーション値を記憶した記憶部４８が設けられており、照明用コントローラは、光量指令値が与えられた際、この光量指令値に対応するキャリブレーション値を照明ユニットの記憶部から読み出し、このキャリブレーション値に基づいてＬＥＤ４４，４９を制御する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、スリットシステムとレチクルのパターンの両方を簡単に交換でき、マスクのパターンを正確に形成することができる露光装置を提供する。
【解決手段】 露光装置は、露光光を発する光源と、該露光光を反射する反射部材とを有する露光照射部と、マスクを支えるマスクステージと、露光照射部で照射されたマスクのパターンを被露光体の表面に結像する結像光学系と、被露光体を二次元平面上に載置する被露光体ステージと、露光照射部とマスクステージと結像光学系とを保持し、被露光体ステージに対して移動可能な保持部と、被露光体ステージを支えると共に保持部を移動可能に支えるベース部と、を備える。露光照射部の光源から反射部材までの光軸は二次元平面と平行に配置され、結像光学系は二次元平面と交差する方向に配置され、該交差する方向に沿って保持部がベース部に対して移動可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】試料の必要部分を顕微鏡により撮影したスライド画像データを高速かつ自動的に生成することができるスライド画像データ作成装置を提供すること。
【解決手段】スライド画像データ作成装置は、顕微鏡１０に備え付けられたカメラ１１、スライドガラス１７を保持し、３次元方向に移動可能な試料搬送機構２１〜２７、試料をＸ、Ｙ、Ｚ軸方向に順次移動させながらカメラ１１を制御して複数の高倍率画像を撮影し、複数画像の貼り合わせ情報を生成して、１つのファイルに格納するパソコン１３を備える。外部のデジタルカメラ１２を備えてもよい。本発明によれば、顕微鏡画像を高速に撮影することが可能であり、画像データを１つのファイルに格納することによって閲覧時に多数の画像ファイルを開いて処理する必要がなく、多量のメモリも不要で、高速に処理や表示ができる。また、試料の３次元の構造が判別可能である。 （もっと読む）

【課題】投影光学系で発生する光学特性の変動量を高精度に算出及び補正して、優れた露光性能を達成することができる露光装置を提供する。
【解決手段】投影光学系の瞳収差マップを取得するマップ取得部と、任意の照明モードで任意のレチクルのパターンを照明したときに前記投影光学系の瞳面に形成される光強度分布を取得する分布取得部と、前記マップ取得部によって取得された瞳収差マップ及び前記分布取得部によって取得された光強度分布に基づいて、前記任意の照明モードで前記任意のレチクルのパターンを照明したときに前記投影光学系で発生する光学特性の変動の飽和値を算出する算出部と、前記算出部によって算出された前記投影光学系で発生する光学特性の変動の飽和値から算出される前記投影光学系の光学特性の変動量が低減するように、前記投影光学系を調整する調整部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】対物レンズの倍率によらず同じ共焦点性を得ることができる共焦点顕微鏡システムを実現すること。
【解決手段】試料を励起する励起光を共焦点スキャナおよび顕微鏡を介して試料に照射し、この試料の励起による蛍光画像を顕微鏡および共焦点スキャナを介してカメラに入力するように構成された共焦点顕微鏡システムにおいて、前記顕微鏡は、倍率の異なる複数の対物レンズを有し、前記共焦点スキャナは、穴径の異なる複数のピンホール列が形成されたニポウディスクと、このニポウディスクに対向し前記励起による蛍光画像を前記各ピンホールに集光する複数のマイクロレンズを有するマイクロレンズアレイディスクと、これらニポウディスクとマイクロレンズアレイディスクの間に設けられた厚さの異なる複数のダイクロイックミラーとを備え、倍率の高い（低い）対物レンズが選択されたときは厚みの厚い（薄い）ダイクロイックミラーが励起光の光軸上に配置されて前記蛍光画像は穴径の大きい（小さい）ピンホールに入射されることを特徴とする。 （もっと読む）

本発明は、走査型顕微鏡でサンプルを結像する方法に関し：
‐検出器の露出段階を開始するステップ；
‐該検出器において該サンプルの光学画像を生成するステップ；
‐該露出段階を終了するステップ：
を含む。
本発明に従って、光学画像を生成するステップは、検出器においてその光学画像をずらすステップを含む。有利にも、その光学画像をずらすステップは、検出器においてその光学画像を閉鎖した線に沿ってずらすステップを含む。
本発明は、また、走査型顕微鏡に対する結像システムに関し、当該結像システムは：
‐検出器；
‐サンプルの光学画像を該検出器において生成するためのレンズ系；及び
‐該検出器の露出段階の間に該検出器における光学画像をずらすための画像変位手段；
を含む。
有利にも、該画像変位手段は、サンプルから検出器までの光学経路に配置された回転可能なミラーを有する。
本発明は、上記で特定されたような結像システムを有する走査型顕微鏡にさらに関連する。有利にも、その走査型顕微鏡は、サンプル内において光点のアレイを生成するための手段を有する。
（もっと読む）

【課題】光源から出力される光の光路内に空間光変調部材が配置された場合であっても、光源の高出力化によるデバイスの製造効率の向上に貢献できる照明光学装置、露光装置及びデバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】露光装置１１は、露光光源１２から出力された露光光ＥＬをレチクルＲに導く照明光学装置１３を備えている。この照明光学装置１３は、アレイ状に配列された複数の可動マルチミラー２２を備え、各可動マルチミラー２２は、可動する反射面を有する複数の要素ミラーをアレイ状に配列することによりそれぞれ構成されている。また、全ての可動マルチミラー２２は、露光光源１２から出力される露光光ＥＬの光路内にそれぞれ配置されている。 （もっと読む）

【課題】 同軸照明６の構成の顕微鏡ではピント合わせが難しい鏡面、ガラス面のピント合わせを正確に行える装置を提供する。
【解決手段】 本発明は、図７の従来型の同軸照明６のみの構成の顕微鏡にピント合わせを正確に行うためのスリット光１０を合成する事により、被写体に同軸照明とスリット光が合成された光が当たった映像をＣＣＤカメラで映し出す。
スリット光１０のある映像図１０の様にピント合わせの再現性、精度の向上が得られる。 （もっと読む）

【課題】 顕微鏡装置において、観察ポイントにおける撮影条件を簡便かつ適切に設定可能とすること。
【解決手段】 観察光学系と、観察光学系を介して被観察物の像を撮像して画像を生成する撮像部と、被観察物を含む観察領域内を、撮像部により小領域ごとに撮像して生成した複数の画像をつなぎ合わせて、観察領域内全体のマクロ画像を生成する生成部と、小領域の位置情報と、その小領域における撮像時の撮影条件とを関連付けて記録する記録部と、マクロ画像を表示する表示部と、表示部に表示したマクロ画像に基づいて、撮像部で撮影を行う地点を選択する地点選択部と、地点選択部で指示された地点の属する小領域を検知し、小領域における撮影条件を記録部から読み出し、その撮影条件にしたがって、地点における撮影を実行させる制御部とを備える。 （もっと読む）

【課題】 マーカなどから発生する光により標本が観察し難くなることを防止することができる観察装置を提供する。
【解決手段】 標本における第１の領域から発生した光に係る第１の像１１Ｐに関する動きを検出する第１の撮像部と、標本における第２の領域から発生した光に係る第２の像１５Ｐを観察する第２の撮像部と、第１の撮像部の検出信号に基づいて、第２の撮像部における略同一位置に第２の像１５Ｐを結像させる駆動部と、を備え、第１の像１１Ｐには、少なくとも第２の像１５Ｐとは異なる像１１Ｐ´が含まれ、異なる像１１Ｐ´に係る第１の撮像部の検出信号に基づいて、駆動部が第２の像１５Ｐの結像位置を制御することを特徴とする。 （もっと読む）