【課題】基板吸着時の基板振動が抑制され、安定して基板を吸着保持することができる基板吸着装置の提供。
【解決手段】基板吸着装置は、高速流体を流出口Ｅから流出してベルヌーイ効果により吸着対象基板７を吸引する吸着部１と、流出口Ｅから吸着対象基板方向に所定距離を空けて流出口Ｅを囲むように配置され、吸着部１により吸引された吸着対象基板７に当接するパッド４とを備える。パッド４が流出口Ｅを囲むように配置されているので、吸着対象基板７がパッド４の当接したときの振動の発生を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】負圧作用により非接触状態で保持されるワークの震えを抑制することが可能で、ワークのセット作業精度を高めることが可能なワークの吸着パッド装置を提供する。
【解決手段】下向きの開口部５ａを有するチャンバー５が形成された吸着パッド本体２と、吸着パッド本体に設けられ、チャンバー内に気体を噴出すると共に、開口部付近に開口部の周方向に沿って環状隙間８を形成して、環状隙間全周からチャンバーの外方へ噴出される気体によりシールフリット４を吸引する負圧領域Ｑを生成する気体噴出部６と、環状隙間から距離を隔ててかつ環状隙間に対し部分的に配置され、噴出する気体を衝突させて部分的に負圧の小さな低負圧領域ＱＬを生成するバッフル９とを備えた。 （もっと読む）

【課題】ピストンに接続された吸着手段がワークを吸着保持する際のワークに加わる衝撃力を極力小さくしたワーク吸着保持方法を提供すること。
【解決手段】ピストンヘッド１２ａの上方の上方空間１５ａと、ピストンヘッド１２ａの下方の下方空間１５ｂと、を有するエアーシリンダ１０を用いたワーク吸着保持方法であって、上方空間１５ａの気圧を大気圧とし、下方空間１５ｂの気圧を大気圧より大きくすることにより、ピストン１２を上昇させた状態から、下方空間１５ｂの気圧を大気圧とし、上方空間１５ａの気圧を所定時間、大気圧より大きくすることにより、ピストン１２の下降を開始させ、所定時間経過後に上方空間１５ａ及び下方空間１５ｂの気圧を大気圧とした状態でピストン１２を下降させて吸着手段１３にワークＷを吸着保持させるワーク吸着保持方法である。 （もっと読む）

【課題】ノズルの小型化を可能にした実装ヘッドを提供する。
【解決手段】部品Ｐ１の吸装着を行う先端部１１が所定の行程で上下移動可能なノズル５と、ノズル５を所定の行程で上下移動可能に下端部に保持するノズル保持部４と、ノズル保持部４を下方に付勢する第１バネ６と、先端部１１を下方に付勢する第２バネ１２を備えた実装ヘッド１において、先端部１１が上方に移動することで部品装着時に部品Ｐ１に作用する衝撃を緩衝し、先端部１１が上方に最大行程移動した後にノズル保持部４が上方に移動するように構成した。 （もっと読む）

【課題】 ホルダとスライダ間の生じる真空リークを防止し、スライダの円滑なスライド動作を確実に行なうことができるワークの吸着装置を提供する。
【解決手段】 基端外周部にフランジ１１ｇを突設させたスライダ本体１１ｂに、段部１１ｃを介して小径部１１ｄを一体的に形成し、かつ真空吸引用の通路１１ａを上下に開口させたスライダ１１を形成し、スライダ本体１１ｂの外周部に、弾性を有する中空円筒状のシース１３を、隙間を存して嵌め込み、スライダ本体１１ｂの小径部１１ｄをホルダ１２に挿通させ、前記小径部１１ｄの先端部をホルダ１２の先端部から突出させた状態で、スライダ１１をホルダ１２に対してスライド可能に保持し、前記シース１３の先端面を、ホルダ１２の基端開口面に、基端面をスライダ１１のフランジ１１ｆ上面にそれぞれ密着係合さてワークの吸着装置とする。 （もっと読む）

【課題】部品表面に接触することなく、低ストレスで部品を搬送する。
【解決手段】保持アーム３がチップトレイ１０に接触した後、搬送ヘッド１を下降させ、搬送ヘッド１の貫通孔２から空気を引き、吸引口２ａ方向へＩＣチップ１１を吸引する。そして、搬送ヘッド１が上方へと移動することにより、ＩＣチップ１１は前記吸引によりトレイポケット部１０ａから浮上する。保持アーム３の下アーム部３ｂが、浮上している状態のＩＣチップ１１の底部に入り込んで、ＩＣチップ１１を掬い上げるように保持し、搬送ユニット体８を、ＩＣチップ１１を載置する所定の位置まで搬送する。 （もっと読む）

【課題】ウェハの抗折強度の低下を抑制することの可能なウェハ搬送装置を提供する。
【解決手段】ウェハ搬送装置は，ウェハを吸着部により真空吸着して搬送する装置であり，吸着部は，アルミナを主成分とした材料から形成され，気孔率が３４〜４０％である。吸着部の表面における気孔以外の部分の表面粗さＲｙは，５μｍ以下であることを特徴とする。これにより，吸着部のウェハとの接触面における凹凸の高低差が小さくなるため，ウェハに与えるダメージを低減することができる。したがって，吸着部によりウェハを吸引保持する際に発生する，ウェハの抗折強度の低下を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】対象物に対する高い真空吸着力を有し、また内部に引き回したケーブル類を安定して保持することが可能であり、更に比剛性が高く位置決め精度や時間を改善し、慣性モーメントの小さいロボットハンドを提供する。
【解決手段】繊維強化樹脂材料を母材１０とするロボットハンドであって、その基端部から先端部にかけて、母材よりも気密性の高い材料よりなる配管２０が母材と一体に埋め込み成形され、かつ先端部に、母材の外表面から配管に至る１個または複数個の通孔３１が穿設されていることを特徴とするロボットハンド。 （もっと読む）

【課題】 ＩＣデバイスを移送するＩＣ搬送装置に用いられ、ＩＣデバイスを吸着保持するコンタクタにおいて、ＩＣデバイスの搬送効率の向上を図り、かつ、ＩＣ搬送装置の製造コスト及びランニングコストの削減を図ることができるようにする。
【解決手段】 第１のエアライン３１を有する本体部３３と、一端が前記第１のエアライン３１に連通可能とされ、他端が外方に開放される第２のエアライン４１を有すると共に、これら第１及び第２のエアライン３１，４１を相互に連通又は遮断する位置の間で前記本体部３３に対して移動自在なシリンダ４３と、前記第１及び第２のエアライン３１，４１を相互に遮断する位置に向けて前記シリンダ４３を付勢する付勢手段４７と、前記第１及び第２のエアライン３１，４１を相互に連通する位置に前記シリンダ４３を保持する保持手段とを備えることを特徴とするコンタクタ７を提供する。 （もっと読む）

【課題】被搬送物を着脱自在に確実にかつ安定して吸着して保持する保持装置を提供すること。
【解決手段】基部に配置されて第１通路１１１Ａを有する継手部１１１と、第２通路１１３Ａを有し第１通路１１１Ａと第２通路１１３Ａを通じて吸引することで被搬送物Ｄを保持するノズル先端部１１３と、ノズル先端部１１３と継手部１１１を接続する伸縮自在な胴体部１１４であり、第２通路１１３Ａと第１通路１１１Ａとを連絡する胴体部１１４と、ノズル先端部１１３と継手部１１１の間に配置されてノズル先端部１１３を継手部１１１から離れる方向に沿って付勢するための付勢部材と、基部に対して固定されている受け部１１６でありノズル先端部１１３が被搬送物Ｄを吸着する時にノズル先端部１１３を付勢部材１１５の力に抗してノズル先端部１１３の軸方向に移動する際にノズル先端部１１３を案内する案内孔を有する受け部１１６を備える。 （もっと読む）

【課題】吸着ヘッドの吸着面が物品に接触するときの衝撃を十分に小さくして、機械的に脆い物品でも安定かつ確実に吸着保持し、搬送可能にする。
【解決手段】固定部と吸着部との間に設けられて、それらの間に閉じられた気室を形成するベローズを備え、吸着部の吸着面を物品へ接触させる時には、物品に接触する際に生じる衝撃力により吸着部が持ち上がる程度の第１の圧力で、吸着部の吸着面にて吸着された物品を搬送する時には、第１の圧力よりも大きく、搬送中にストッパ部が固定部から離れない程度の第２の圧力で、可動部材のストッパ部が固定部に当接するように、ベローズ内の気室の圧力を調整して物品を吸着保持することを特徴とする吸着ヘッド。 （もっと読む）

ガラス搬送装置および方法であって、ガラスシートがガラス製造設備内のある地点から別の地点へと移動される際に、ガラスシートの振動を最小限に抑えるようにガラスシートと係合しそれを保持するための強化ロボットが使用される、ガラス搬送装置および方法が本明細書に記載されている。強化ロボットは、１つ以上の吸着カップおよび１つ以上の空気力学式装置を使用することによって、ガラスシートと係合しそれを保持する。吸着カップは、ガラスシートが移動される際に、ガラスシートの外側縁部または非品質領域と接触してそれを支持する。また、空気力学式装置は、ガラスシートが移動される際に、ガラスシートと接触せずに空気力学式装置がガラスシートの品質領域を支持および保持できるように、ガラスシートの中央部分または品質領域に向かってガスを放出する。該装置はまた、空気力学式装置から放出されるガスの温度がガラスシートの温度と実質的に一致するように、空気力学式装置からガラスシートに向かって放出されるガスの温度を調節するための温度制御装置を使用してもよい。
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