【課題】方形ワークの３面（ＸＺ面、ＹＺ面、ＸＹ面）の直角出し研削加工をなす安価な平面研削装置を提供する。
【解決手段】中央プレーン砥石車部２ｂの両側面に１０〜４５度の傾斜角を有するアンギュア砥石車部２ａ，２ｃが一体化された外周縁断面が傾斜−平行−傾斜形状を示す複合研削砥石車２を用い、ワークテーブルを往復動させつつ、方形ワークＷのＸＹ面、ＸＺ面をアングラー砥石車部２ａ、２ｃで平面研削し、ワークテーブルを移動せず、砥石軸を上下方向移動および前後方向移動させて、方形ワークＷのＹＺ面をプレーン砥石車部２ｂで平面研削する。 （もっと読む）

【課題】キャリアリングに加わる外力の影響を少なくできワークの研削精度を向上させることができると共に、摩擦等の問題が発生せず長期間にわたって良好な研削精度を維持できるようにする。
【解決手段】キャリア４に装着された薄板状のワークＷを一対の静圧パッド１により非接触で静圧支持し、キャリア４を介してワークＷを回転させながら、一対の研削砥石３によりワークＷの両面を研削する両頭平面研削盤において、キャリア４の外周のキャリアリング５を非接触で静圧支持する静圧キャリアガイド６ａ，６ｂを周方向に複数個備える。キャリアリング５は円筒面状の外周面１２を有し、その外周面１２に近接して各静圧キャリアガイド６ａ，６ｂを略等配に配置する。静圧キャリアガイド６ａ，６ｂは固定しても良いし、フローティング可能にしても良い。 （もっと読む）

【課題】チップの摩耗が進展した場合でも、ウェーハの品質を維持可能な研削ホイールを提供する。
【解決手段】研削ホイール３は、略板状のホイールベース９１と、ホイールベース９１の一面から環状に突出するように設けられ、ウェーハに押し当てられる砥石３２と、を備え、砥石３２は、環状の外周方向に沿って設けられた複数のチップ３２２を有し、隣り合うチップ３２２の間隔寸法は、チップ３２２の先端側よりも基端側の方が大きくなるように設定されている。 （もっと読む）

【課題】ワークテーブルに回転支持されたワークを、コラムに設けられた砥石車により研削加工する立型研削盤において、高精度な研削加工を実施することができる配置構成を備えた研削盤を提供する。
【解決手段】砥石車３を回転支持する砥石台１０の旋回ユニット１１の旋回テーブル２１に対する配置構成は、砥石台１０に回転可能に軸承される砥石車３の砥石軸２０が旋回テーブル２１の旋回軸２１ａに対してワークＷを回転支持するワークテーブル１側となるように配置されている。これにより、旋回テーブル２１とワークＷの干渉がなくなり、旋回テーブル２１をワークＷから上下方向に離隔させる必要がなく、砥石軸２０の長さを小さく設定することができる。 （もっと読む）

【課題】スイング式の鋼片研削装置において４５度研削を行う場合、鋼片の被研削面全体を均一に研削する。
【解決手段】スラブＳの平面Ｓｓの研削加工に際して、斜角制御手段１２４により研削砥石１６が砥石斜角４５度に位置させられる場合に、当接位置制御手段１２６により平面Ｓｓに対して研削砥石１６が当接させられると、研削砥石１６が平面Ｓｓに接する位置によっては平面Ｓｓに対する研削砥石１６の外周面の当たり面角度に傾きが生じたり接する位置によってその傾きが異なる可能性があることに対して、揺動角度補正手段１２８によりスラブ厚みＴと砥石径Ｄとに基づいて平面Ｓｓに対して研削砥石１６の回転軸心Ｃｇが平行になるように第３軸心Ｃ３まわりの研削砥石１６の揺動角度が補正されるので、平面Ｓｓに対する研削砥石１６の外周面の当たり面角度に傾きが生じ難くなり、研削砥石１６とスラブＳとの当たり方が一定に保たれ易くなる。 （もっと読む）

【課題】ウェーハの両面に接触式の厚みセンサに起因するキズが付くことを抑制できる半導体ウェーハの両面研削装置及び方法を提供する。
【解決手段】本発明の両面研削装置１０は、ウェーハ１を鉛直方向に立てた姿勢で支持して軸線１ａ周りに回転させる回転駆動部１３、１４と、ウェーハ１の両面３、４に供給する流体２５の圧力により両面３、４を支持する静圧パッド２１、２６と、ウェーハ１の回転軸線１ａと平行な軸線３１ａ、３６ａの周りに回転してウェーハ１の両面３、４を研削する研削用砥石３１、３６と、ウェーハ１の両面３、４に接触する位置と接触しない位置との間を移動可能であり、接触位置にある場合にウェーハ１の厚みを監視する厚みセンサと、研削用砥石３１、３６による両面研削工程の開始から所定の段階まで厚みセンサを非接触位置に保持し、所定の段階から両面研削工程の終了まで厚みセンサを接触位置に保持する切り換え部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】搬送路に加工する被加工物を直列に配置し、搬送路を挟んで対向配置した一対の砥石を回転させ、被加工物を研削する加工装置は、上記搬送路は砥石間に一列しか配置できなかった。
【解決手段】間隙を形成して対向配置し同方向に回転する円盤状の一対の砥石２と、前記間隙内に前記一対の砥石２の対向方向と直交する方向に複数段配置し、前記間隙内において被加工物６を直線的に通過させる搬送路３，４と、前記被加工物６を前記間隙内に搬入する搬入ローラ７と、を設けたことを特徴とする両頭平面加工装置１とする。 （もっと読む）

本発明は、連続鋳造製品（１）、特にスラブを研磨する方法であって、連続鋳造製品（１）は、横断面でみて互いに反対側に位置する２つの長い方の辺（２，３）と互いに反対側に位置する２つの短い方の辺（４，５）とを有する矩形の輪郭を有し、連続鋳造製品（１）が１つの長い方の辺（３）を下に研磨台（６）に載設される加工位置（Ａ）で、連続鋳造製品（１）の１つの長い方の辺（２）を、少なくとも１つの研磨工具（７）を用いて表面加工するものに関する。連続鋳造製品を加工する際に簡単で迅速に比較的高い品質を得て、その際、切削屑を簡単に捕集できるようにするために、本発明によれば、加工位置（Ａ）で、少なくとも１つの研磨工具（７）を用いて、連続鋳造製品（１）の長い方の辺（２）を研磨するまえまたは研磨したあとで、少なくとも１つの短い方の辺（４，５）を表面加工する。さらに本発明は、連続鋳造製品（１）を研磨する装置に関する。
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本発明は、連続鋳造製品（１）、特にスラブを研削するための方法であって、該方法は、連続鋳造製品（１）が、横断面で見て、互いに対向して位置する２つの長辺側の面（２，３）と、互いに対向して位置する２つの短辺側の面（４，５）とを備えた方形の輪郭を有しており、少なくとも前記長辺側の面（２，３）に、少なくとも１つの研削工具（６）によって表面加工が施される方法に関する。連続鋳造製品の加工時における一層高い品質を得ると同時に、研削チップを簡単に捕集することができるようにするために、本発明の方法では、連続鋳造製品（１）の一方の長辺側の面（２，３）の研削時に、連続鋳造製品（１）の当該長辺側の面（２，３）に対する表面法線（８）が鉛直線（Ｖ）に対してゼロ度よりも大きな鋭角の角度（α）を成すように連続鋳造製品（１）をマウント台（７）によって位置決めする。さらに、本発明は、連続鋳造製品（１）を研削するための装置に関する。
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【課題】両頭研削装置を、静圧パッド部材の熱膨張をできるだけ低減してウェハ研削に当たってのナノトポグラフィを低減できる構造とする。
【解決手段】研削対象ウェハの両面に流体静圧により非接触支持しつつ砥石を研削対象ウェハの両面に押し当てることにより両面同時研削可能としてなるウェハ用両頭研削装置であって、前記研削ウェハの静圧支持部材を前記研削対象ウェハに対面する静圧パッド部材とその背面に配置されるベース部材とから形成し、前記静圧パッド部材をセラミック材料により形成するとともに、前記ベース部材を金属材料により形成してなることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】研磨プレートを加圧しながら偏心回転と揺動させガラス基板上を移動させる研磨装置にて、偏荷重によって研磨量に差をもたらすことのない液晶表示装置用カラーフィルタの研磨装置を提供する。
【解決手段】１）研磨プレート１２上の長辺両端部上に加圧印可機構Ｋ３、Ｋ７が、長辺両端部下に逆圧印可機構Ｋ１１、Ｋ１５が長辺方向に複数対が設けられ、２）研磨プレート上には加速度センサー１１が設けられ、３）ａ）研磨プレートを移動させる方向の加速度を加速度センサーによって検出し、ｂ）加速度により発生する偏荷重Ｈに応じて、加圧印可機構及び逆圧印可機構を作動させ偏荷重の影響を防ぎながら研磨する研磨装置。 （もっと読む）

【課題】既存の装置を用いて厚み寸法の小さい薄型ワークの研削を支障なく行う。
【解決手段】砥石と定盤２０との間に開口部３５ａを有したワーク保持用のキャリア３５を介在させ、前記開口部３５ａに挿入したワークＷを、砥石と定盤２０とにより挟み込んだ状態で砥石により研削する端面研削方法。厚み寸法がキャリア３５よりも小さく、かつキャリア３５とワークＷとの厚み方向の寸法差よりも大きい厚み寸法をもつ研削補助部材４０とワークＷとを厚み方向に重ね合わせた状態で互いに磁力で結合させてキャリア３５の開口部３５ａに挿入してワークＷの被研削面を加工するようにした。 （もっと読む）

【課題】ツールの剛性が十分に得られかつ砥石形状が安定し、砥石の摩耗が少なく、加工能率・研削精度が高く、安定生産できる凸曲面研削方法を提供する。
【解決手段】定盤１１上にフレーム１２にベルト巻き掛け装置１３を介し複数の研磨ヘッド１４を備え、複数の研磨ヘッド１４を並列に配列し、各研磨ヘッド１４を、独立して回転し、定盤１１上に位置決め載置された上面が平面に形成されたワークＷに独立して押圧しかつ研磨液を研磨位置へ供給し、全ての研磨ヘッド１４を巡回走行あるいは往復走行し、研磨ヘッド１４の走行方向両端での走行ターンをワークＷの両端にはみ出させ、さらに、全ての研磨ヘッド１４を前記ワークＷの一端より他端まで相対移動し、ワークＷを全面研磨する。 （もっと読む）

【課題】研磨および研削を効率的にかつ精度よく行うことができる研磨研削装置を提供する。
【解決手段】被研磨研削物１０１を研磨または研削を行うための研磨研削装置１００において、研磨または研削を行うための回転子１と、回転子１を自転させるための回転軸２と、第１のモータ３にて自転する太陽軸４と、太陽軸４の回転と連動して太陽軸４から第１の公転半径Ｌ１を隔てて公転する遊星軸５と、遊星軸５と同軸にて形成され遊星軸５と連動して移動するとともに第２のモータ６にて自転する揺動軸７とを備え、回転軸２は、遊星軸５の自転と連動して自転するとともに、揺動軸７の自転と連動して揺動軸７から第１の公転半径Ｌ１の距離と同一の距離を有する第２の公転半径Ｌ２を隔ててかつ太陽軸４と同軸位置を通過可能に揺動するものである。 （もっと読む）

【課題】 研磨終了後にワークに張り付いたバックパッドを簡単に短時間で剥がすことが可能になり、平面研磨装置の稼動効率を向上させることができるワーク支持装置を提供する。
【解決手段】 大型大寸法のガラス基板からなる矩形状ワーク１を研磨する平面研磨装置３０の支持台３１に、台側バックパッド３２を介して設置されるワーク支持装置１０であって、矩形状ワーク１の周囲を囲む大きさに形成された枠部材１１と、この枠部材１１に一端部側が取付けられ薄い矩形状のステンレス板１２ａの表面に矩形状ワーク１を保持するゴムシートからなるワーク側バックパッド１２ｂを貼り付けた支持部材１２と、この支持部材１２の他端部側を取り外し可能に固定する枠部材側に設けられた止め具１７とを備えたる。 （もっと読む）

【課題】比較的少ない工数で大型のワークの表面を平坦に加工する平面加工装置を提供するとともに、加工されたワークを表面が平面になるように支持する方法を提供すること。【解決手段】ワークＷを、３ヶ所の高さが固定の固定式支持体１の真空吸着部上に載せて保持固定する。次に変位式支持体２のエアシリンダにエアを供給して上昇させワークＷの裏面に接触した時点で、変位式支持体２の高さ方向の位置を固定し、ワークＷを保持固定する。この状態で、加工ヘッド１０を移動させ、ワークＷの表面を研磨研削し平面に加工する。このようにして加工したワークを、例えば露光装置のワークステージとして用いる場合には、加工したときの固定式支持体１の配置と同じ位置関係になるように支持体を配置して、加工したときと同じ支持状態を再現させることにより、ワークの表面が平坦になるように設置する。 （もっと読む）