【課題】ナノインプリントプロセス法において、中間スタンパを用いて光硬化性樹脂に微細な凹凸パターンを形成する方法であって、その中間スタンパと、微細な凹凸パターンが転写された光硬化性樹脂との離型性が向上された方法及びそれに用いる装置を提供する。
【解決手段】加圧により変形可能な光硬化性組成物からなる光硬化性転写層３１を有する光硬化性転写シート３０の転写層３１に、表面に微細な凹凸パターンを有する金型３４の当該凹凸パターンを転写し、転写層３１に微細な反転凹凸パターンを形成する工程、及び前記反転凹凸パターンを基板４０上に形成された光硬化性樹脂組成物からなる光硬化性樹脂層４１に転写し、光硬化性樹脂層４１に金型３４と同一の凹凸パターンを形成する工程、を含む凹凸パターンの形成方法において、前記反転凹凸パターンが形成された転写層３１ｃに対してＵＶオゾン処理を行うことを特徴とする凹凸パターンの形成方法。 （もっと読む）

【課題】機械的強度に優れた構造体を製造でき、しかも製造工程の簡素化とコストの低減が可能な金属微細構造体の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明にかかる金属微細構造体の製造方法では、上層のレジスト膜１４の露光が下層のレジスト膜１２に影響を与えないように、積層されたレジスト膜１２、１４の間に遮光膜１３を配置している。そして全てのレジスト膜１２、１４の露光が終了した後に、レジスト膜の現像を一括して行い、三次元の空隙１５を形成する。その後、電鋳により空隙１５内に金属を析出させることにより、金属微細構造体となるめっき膜１６を形成する。 （もっと読む）

【課題】研削加工によるだれの発生及び耐久性の低下を抑制することができる微小構造体、ドナー基板、及び微小構造体の製造方法を提供する。
【解決手段】微小構造体１０は、第１の硬度を有する第１の導電膜からなるＮｉ膜パターン２Ａ〜２Ｅと、第１の硬度よりも低い第２の硬度を有する第２の導電膜からなるＡｕ薄膜パターン６ａとを交互に積層してなるとともに、第２の硬度よりも低くない第３の導電膜からなるＮｉ薄膜パターン４ａをＡｕ薄膜パターン６ａの外側に配置してなる。 （もっと読む）

【課題】マイクロマシン製品の精度向上及び小型軽量化による製品品質の向上を図ることを目的とする。
【解決手段】マイクロ可動構造体１２を有する本体１３と、蓋体１１とを有するマイクロマシンであり、本体１３及び蓋体１１に補強梁１７及び１４を有するマイクロマシンの製造方法であって、本体１３と蓋体１１とを、真空雰囲気内で封止する真空封止工程と、本体１３を薄板化する本体薄板化工程と、本体１３の裏面に補強梁１７を形成する補強梁形成工程とを有するマイクロマシン１０の製造方法。 （もっと読む）

【課題】本構成を有しない場合に比べて、接触面にかかる応力の局部集中を低減させることが可能となる物品の形成方法を提供する。
【解決手段】第１の薄膜２０２Ａ及び第２の薄膜２０２Ｂ・第３の薄膜２０２Ｃが形成されたドナー基板２００をステージ１２に保持するとともに、ターゲット基板１００を基板ホルダ５に保持する第１の工程と、ステージ１２と基板ホルダ５を相対的に移動させることにより、ドナー基板２００から第１の薄膜２０２Ａ及び第２の薄膜２０２Ｂ・第３の薄膜２０２Ｃを順次剥離してターゲット基板１００に接合積層する第２の工程とを備えた微小構造体の製造方法であって、第２の工程を実行するにあたり、ターゲット基板１００に反り１１０を弾性復帰可能に形成することにより、ターゲット基板１００をドナー基板２００の側に凸部となるように膨出させる。 （もっと読む）

【課題】安価かつ簡便に、溝構造または中空構造を有する部材、特に微細な部材を製造する。
【解決手段】パターン形成された硬化性樹脂組成物のある基板上に、当該硬化性樹脂組成物とは違う組成の硬化性樹脂組成物を塗布し、パターンを形成し、その後、最初に形成した硬化性樹脂組成物パターンを溶剤によって除去することで、２番目の硬化性樹脂組成パターンを離型する。 （もっと読む）

【課題】３次元の微細構造体の製造に適した３次元の微細構造体製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の微細構造体製造方法は、凹版に先端材料を充填し、該先端材料を基体へと転写させることを特徴とする。本発明の構成によれば、凹版と基体のアライメントを取ることにより、基体に対して精度良く特定位置のみに選択的に先端材料を転写することが出来る。また、凹版に充填する先端材料の量の多寡により、微細構造体の高さなどの形状を制御することが出来る。 （もっと読む）

【課題】流路への流入口および流出口において流体をスムーズに流通させることが可能なマイクロ流路体を提供することにある。
【解決手段】マイクロ流路体１は、基体２の内部に、流体が流通される流路２ａを有し、流路２ａに流体を流入させる流入口２ｂまたは流出させる流出口２ｃが基体２と一体の基体２の表面から突出する筒状部２ｄとされている。流入口２ａまたは流出口２ｄが基体２と一体に形成されているので、流入口２ａまたは流出口２ｄを後で取り付けることによって生じる乱流を少なくできる。 （もっと読む）

複雑で可変性の三次元形状をもつ微細光学表面設計を製造するための方法および機構。本方法は、対象基板の表面をパターニングすることができる、ステップエンボス加工装置、ステップインプリント装置、チップボンディング装置、または対応装置を得る工程（３０２）と、微細光学構造をパターニングする対象基板を得る工程（３０４）と、前記装置で動作可能な複数の異なるスタンピングツール、各スタンピングツールが１つ以上の微細光学構造を画定する１つ以上の表面レリーフ形状を含む、を得る工程（３０６）と、前記装置によって、前記複数のスタンピングツールからスタンピングツールを選択する工程（３１０）と、前記装置により制御され、エンボス加工中またはエンボス加工後に対象基板を形成および／または硬化するようにＵＶ（紫外線）光源によって必要により加熱または支援される前記選択されたスタンピングツールにより対象基板をエンボス加工する工程（３１２）と、微細光学表面設計が基板上に完成されるまで前記選択工程および前記エンボス加工工程を繰り返す工程（３１４）とを含む。制御目的用の関連コンピュータソフトウェア製品についても開示する。
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【課題】ステレオリソグラフィーにより三次元物品を形成する方法を提供する。
【解決手段】１）表面に放射線硬化性液体組成物の薄層をコーティングする工程であって、組成物が、放射線硬化性組成物中に懸濁されたシリカタイプのナノ粒子を有してなる少なくとも一種類の充填剤を含むものである工程、２）薄層を化学線に画像様に露光して、画像状断面を形成する工程であって、化学線が、露光区域の薄層を実質的に硬化させるのに十分な強度のものである工程、３）先に露光された画像状断面上に組成物の薄層をコーティングする工程、４）工程（３）からの薄層を化学線に画像様に露光して、追加の画像状断面を形成する工程であって、化学線が、露光区域の薄層を実質的に硬化させ、先に露光された画像状断面に付着させるのに十分なものである工程、および５）三次元物品を構築するために十分な回数だけ工程（３）および（４）を繰り返す工程、を有してなる方法。 （もっと読む）