【課題】シール越しにナットの内部に侵入した異物や、ナットの内部で発生した摩耗粉を効率的に捕獲することができるボールねじ装置を提供する。
【解決手段】少なくとも一対のシール４０，４０間に設けられた潤滑剤排出孔２３に異物吸着部材５０が取り付けられる。異物吸着部材５０は、貫通孔５１ａを有する管状をなして外周面が潤滑剤排出孔２３の内周面に螺合する形状とされた本体部５１と、該本体部５１の先端部に設けられた網目構造の吸着部５２とを有する。潤滑剤排出孔２３に取り付けられた異物吸着部材５０は、吸着部５２がねじ軸１０のボール転動溝１１に摺接する。そして、貫通孔５１ａは潤滑剤排出孔２３に連通している。 （もっと読む）

【課題】要求寿命が長い電動射出成形機用として好適なボールねじを提供する
【解決手段】ねじ軸１およびナット２の溝１１，２１の断面をゴシックアーク状とする。ボール３の直径（Ｄ）に対する各溝１１，２１の断面円弧の半径（Ｒ）の比（Ｒ／Ｄ）を５１．８％以上５２．８％以下とする。ラジアル隙間（Ｓ）のボール３の直径（Ｄ）に対する比（Ｓ／Ｄ）を１／３００以下とする。ラジアル隙間が０の状態でのボール３と溝１１，２１との初期接触角（α）を３８°以上４８°以下とする。溝１１，２１の表層部での残留オーステナイト量を２０体積％以上３０体積％以下にする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、軽量化を図った反動吸収装置を提供すること、あるいは軽量化を図った反動吸収装置を用い、更に処理時間を短い生産性或いは品質の高い半導体組立装置を提供することである。
【解決手段】本発明は、装置ベースと、装置ベースに固定された支持体と、第１のボールネジと、前記第１のボールネジによって所定方向に移動され、少なくとも半導体を組み立てる処理ヘッドを負荷とする負荷ユニットと、前記所定方向と逆の方向に反力を発生させる第２のボールネジと、前記第１のボールネジと前記第２のボールネジを駆動する動力源を有する駆動ユニットと、を具備するカウンタ機構部と、前記支持体と、前記カウンタ機構部を前記第２のボールネジにより移動可能に支持する支持部材とを備えている反動吸収ユニットを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】固着状態が発生した際に駆動対象の機器の作動を許容可能な状態に移行することを容易に実現でき、更に、機構の簡素化及び構造の小型化を図ることができる、電動アクチュエータを提供する。
【解決手段】ケース部３７、内側軸部３８、支持部３９、連結部材４０を含む動力切断機構２４が備えられる。ケース部３７が電動モータ２１に固定される。ケース部３７の内側の内側軸部３８がスクリュー部３０に固定される。支持部３９は、ケース部３７及び内側軸部３８の間で軸方向と平行な荷重を支持し、内側軸部３８に嵌め込まれ、ケース部３７に対して軸方向溝及び周方向溝にて摺動可能に設置される。連結部材４０は、所定の大きさ以上のトルクが作用したときに、ケース部３７及び内側軸部３８の連結を切り離して動力の伝達を切断する。 （もっと読む）

【課題】シール部材の軸方向の寸法に関わらず、ねじ軸とシール部材の芯を合わせ、シール部材とねじ軸の位相を調整することを容易に行うことができるボールねじ装置を提供する。
【解決手段】ボールねじ装置１００のナット３の端部とシール部材７の固定部１１とでインロー部１３を構成し、シール部材７に固定用の長孔部１２を形成し、長孔部１２はねじ軸方向に貫通し、ねじ軸の回転軸を中心とする円弧状として、シール部材７を長孔部１２を通した固定ねじ８によってナット３の端部に固定する。 （もっと読む）

【課題】部品点数を削減し、簡素な構造による軽量化と共に、組立工数を軽減して低コスト化を図った電動リニアアクチュエータを提供する。
【解決手段】減速機構６とボールねじ機構８がブラケット２に組み付けられ、このブラケット２にカップ状のカバー２１が着脱可能に装着され、このカバー２１が、熱可塑性の合成樹脂で射出成形によって形成され、開口端部に径方向に突出した係止部２２を備えると共に、ブラケットに環状溝２３が形成され、この環状溝２３にカバー２１の係止部２２が係止され、当該カバー２１が弾性変形した状態で装着され、少なくともボールねじ機構８が外部から密封されている。 （もっと読む）

【課題】取り付けの作業性を向上させることができるアクチュエータを提供する。
【解決手段】アクチュエータ１０は、レール部６０に脱着可能に取り付けられ、スライド部３１を覆うカバー１８を有する。このカバー１８を取り外すことにより、アクチュエータ１０の上側（＋Ｚ側）から、アクチュエータ１０をボルトで固定することが可能になる。詳しくは、アクチュエータ１０を作業台１２０に固定する場合、カバー１８を取り外すことにより、アクチュエータ１０の上側（＋Ｚ側）から、レール部６０のベース６１に形成された貫通孔６１ａを介して、ボルト１２１を作業台１２０のねじ孔１２０ａに挿入することができる。これにより、アクチュエータ１０の作業台１２０への取り付けがしやすくなる。 （もっと読む）

【課題】緩衝機能を長期間持続できる電動パワーステアリング装置を提供する。
【解決手段】取付け穴２７、挿通穴２８および段部２７ａを形成したハウジング２５と、電動モータと、減速機構と、ボールネジ機構４０とを備え、ボールネジ機構４０は、ボールナット４１と、ボールネジ部４２とを備え、ボールネジ部４２に自在継手８１を連結し、自在継手８１が当接するストッパ部７５を取付け穴２７の近傍でハウジング２５に形成し、ストッパ部７５より自在継手８１側へ突出する形で取付け穴２７に嵌合され、自在継手８１によって圧縮される緩衝装置７０を有する電動パワーステアリング装置において、緩衝装置７０は、円筒状で一端に自在継手８１に当接するフランジ部７４を有するカラー部７１と、カラー部７１および取付け穴２７間に介挿され、フランジ部７４および段部２７ａ間で軸方向に圧縮される緩衝部７２とを有する。 （もっと読む）

【課題】ナット内部の潤滑剤を保持できるとともに、ナット内部への異物の侵入を防止できるボールねじ用シールであって、簡単な構造でコストが低いものを提供する。
【解決手段】シール４のリップ部４１を、ねじ軸２の螺旋溝２ａに接触させる溝接触部分４１ａと、ねじ軸２の外周面２ｂに接触させる外周接触部分４１ｂと、両部分４１ａ，４１ｂを連結する連結部４１ｃと、で構成する。溝接触部分４１ａの先端を軸方向でナット１の内側に向け、外周接触部分４１ｂの先端を軸方向でナット１の外側に向ける。 （もっと読む）

【課題】位相合わせが容易で且つ重ねた状態でのボールねじナットへの取付けが容易なボールねじ用シール部材を提供する。
【解決手段】予め設定された所定位相だけずれた状態で互いに係合する複数の係合部１５をボールねじ軸線方向端面に形成する。係合部１５は互いに嵌合する凸部１６と凹部１７との組合せとし、溝底中心位相Ｃからボールねじ円周方向の何れか一定の方向に（１／２×Ｄ）／Ｌ×３６０°ずれた位相を基準位相Ｊとし、その基準位相Ｊから夫々所定位相Ｙ°ずらした位置に凸部１６又は凹部１７を形成し、シールリップ１３の内側先端部はシール基体１２の厚さの中央に位置する。更に、シール基体１２の厚さＡを隣合うシールリップ１３の内側先端部のボールねじ軸線方向距離Ｄと同等とする。 （もっと読む）

【課題】シール部材によるシール性が良好で且つシール部材をボールねじ軸の外周に軸線方向端部から嵌め被せやすいボールねじを提供する。
【解決手段】シール部材５が嵌め被せられる経過中のボールねじ軸１の最大外周長さをＬｂ、シールリップ１１の内側先端部の内周長さをＬｓとした場合、シール部材５は、ボールねじ軸１の外周に嵌め被せる前はＬｂ＞Ｌｓで、当該ボールねじ軸１の外周に嵌め被せるときＬｂ≦Ｌｓとなる弾性を有することにより、シール部材５をボールねじ軸１の外周に軸線方向端部から嵌め被せやすく、シール部材５にすり割りを設ける必要のないことからシール性がよい。また、ボールねじ軸１の外周面に雄ボールねじ溝３の不完全ねじ部９が存在する場合、その不完全ねじ部９に面取り１５を施すことにより、シール部材５をボールねじ軸１の軸線方向端部から嵌め被せたときにシールリップ１１が損傷しにくい。 （もっと読む）

【課題】高圧ポンプ用の往復運動する動力装置として活用されるプランジャシリンダに関して、様々な必要圧力に対応、安定した連続運転を可能にし、長寿命かつ小型化された電動シリンダを提供する。
【解決手段】中空軸モータに、ボールネジとボールスプラインを同一軸上にて接合した駆動軸を挿通させ、ボールネジ部には動力を伝達させるネジナットを、スプライン部には回転を抑制させるスプラインナットを各々装着させ、中空軸モータの回転駆動力を、緩衝装置を介してボールネジナットへ伝達させ、駆動軸を、特に短い距離（１５０mm以下）を往復運動させることを特徴とする電動シリンダを提供する。緩衝装置により機械誤差等を吸収する構造である為、機械要素部の変位等に影響されることなく運転が可能。シリンダ容量も大きく、消耗品も無く部品交換も不要であり、高圧ポンプ用の動力装置として、安定性・小型化・長寿命を達成した最適なシリンダとなる。 （もっと読む）

【課題】ボールねじの循環部の外径を大きくすることなく、耐久性を確保することができる電動パワーステアリング装置を提供する。
【解決手段】電動モータと、操舵機構とタイロッドとの間に連結されたラック軸３と、前記電動モータからの動力を前記ラック軸３に伝達する動力伝達機構と、を有し、前記動力伝達機構は、前記ラック軸３に対して連結又は一体化され且つ雄ねじ溝を備えたねじ軸９と、該ねじ軸の周囲に配置され且つ雌ねじ溝を備えたナットと、前記雄ねじ溝と前記雌ねじ溝との間に転動可能な複数の転動体を有するボールねじ機構からなる電動パワーステアリング装置であって、前記ラック軸３のストロークエンド内の少なくとも一方において、前記ナットの荷重支持力減少領域ＬＡが前記ラック軸３と当該ラック軸に接続されたタイロッドの成す平面で定義されるラック軸円周方向の位相位置φｐ，φｐ′以外の領域に位置するように設定した。 （もっと読む）

【課題】ナット内部の潤滑剤を保持できるとともに、ナット内部への異物の侵入を防止できるボールねじ用シールであって、簡単な構造でコストが低いものを提供する。
【解決手段】シール４のリップ部４１を、ねじ軸２の螺旋溝２ａに接触させる溝接触部分４１ａと、ねじ軸２の外周面２ｂに接触させる外周接触部分４１ｂと、両部分４１ａ，４１ｂを連結する連結部４１ｃと、で構成する。溝接触部分４１ａの先端を軸方向でナット１の外側に向け、外周接触部分４１ｂの先端を軸方向でナット１の内側に向ける。 （もっと読む）

【課題】ボールスクリューが熱膨張しても移動体の移動距離を確実に制御することができる安価な移動体送り機構を提供する。
【解決手段】移動体が終点位置に達したときタッチ信号を出力するタッチスイッチと、パルスモータ４３の単位パルス当たりの移動体の移動距離を格納するメモリを備え、メモリに格納された単位パルス当たりの移動体の移動距離に基づいてパルスモータ４３を制御する制御手段とを具備し、制御手段は定期的に移動体を始点位置からタッチスイッチがタッチ信号を出力する終点位置まで移動させるためにパルスモータ４３に印加した駆動パルス数をカウントし、始点位置から終点位置までの距離を駆動パルス数で除算して単位パルス当たりの移動体の移動距離を求め、メモリに格納された単位パルス当たりの移動体の移動距離を更新する。 （もっと読む）

【課題】ラジアル荷重の発生を抑制し、転がりねじ機構の耐久性低下を抑制すること。
【解決手段】ねじ軸１及びナット部材２を有する転がりねじ機構１００と、ガイド部材によって移動方向が直線上に拘束され、転がりねじ機構によって直動駆動される被駆動部材３と、転がりねじ機構と被駆動部材を連結する連結機構２００とを備えており、連結機構は、ナット部材に対してねじ軸の中心軸まわりに相対回転不能な節Ｌ５を有する４節の第１平行リンク機構７１と、被駆動部材に対してその直動方向まわりに相対回転不能な節Ｌ４を有する４節の第２平行リンク機構７２とを備えており、第１平行リンク機構において節Ｌ５に対向配置された節Ｌ２０と、第２平行リンク機構において節Ｌ４に対向配置された節Ｌ２０とを中間部材２０上に固定する。 （もっと読む）

【課題】アクチュエータからクラッチへの伝達機構の遊びを抑えて、適切なクラッチコントロールを維持できるクラッチ装置を提供する。
【解決手段】クラッチアウター（７０）およびクラッチインナー（７１）間に配置された摩擦板（７２，７２，７２…）と、該摩擦板を押圧するプレッシャープレート（７３）とを有した変速クラッチ（６９）と、モータ（５０）の回転力を前記変速クラッチ（６９）の軸方向の直線運動に変換すると共に、前記プレッシャープレート（７３）への作用部（５７Ａ）を有するクラッチアクチュエータ機構（１６９）と、前記クラッチアクチュエータ機構（１６９）の非駆動時に前記作用部（５７Ａ）を基準位置に待機させる付勢手段（６３）と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】壁掛け姿勢においてもレール内への異物の侵入を防ぎ、スパッタ環境での充分な耐久性を有し、高負荷に対応する際に大型化することのない防塵カバーを有する搬送装置を提供する。
【解決手段】搬送装置１は、直動装置を構成するレール１０及びスライダ２０と、スライドユニット３０と、可撓性のシート５とを有する。スライドユニット３０は、その移動方向に沿って、シート５を収容し、スライドベース３１と、方向転換部４０とを有する。スライドユニット３０内に異物が侵入することを防ぐ側面カバー３６が、レール１０の長手方向に沿ってスライドユニット３０と前記レールとの間の隙間の少なくとも一方を覆うように設けられている。 （もっと読む）