【課題】例えば幅広ビーム源への使用に好適な、実用性に優れるラインプラズマ発生装置を提供する。
【解決手段】ラインプラズマ発生装置１０は、長手方向にマイクロ波を伝搬するための導波管１４と、長手方向に沿って配設され、導波管１４にプラズマを閉じ込めるための長手方向に交差する磁場を発生させるための磁石１６と、を備える。導波管１４は、側壁２４から管内に突き出して長手方向に延びるリッジ部２６を備え、リッジ部２６は側壁２４の外表面に長手方向に延びる凹部２８を形成してもよい。磁石１６は、凹部２８に配設されていてもよい。 （もっと読む）

【課題】 マイクロ波を利用した放電ランプにおいて、高い発光効率を得られるとともに、放電容器にアークが触れることによる放電容器の過熱を抑え、クラックの発生を防ぐことを技術的課題としている。
【解決手段】 筒状導電性容器（１）内に導電性棒状部材（５）を設置し、導電性棒状部材の端面と筒状導電性容器（１）の第二の端面（３）との間で強い電界を発生させ、この空間に一対の電極を設けた発光管（１１）を配置することによりマイクロ波エネルギーを効率よく結合させる。筒状導電性容器内には反射鏡（１６）を配置してもよく、発光管から放射された光を効率よく利用することができる。 （もっと読む）

【課題】 対象となる金属を効率的に回収するとともに、材料密度が高い状態で対象金属を回収可能とする。
【解決手段】 液体中にプラズマを発生させる工程と、レアメタル又は貴金属を含む材料を液体に投入する工程と、材料がプラズマの照射を受けて分解し、粒子化して、液体中に沈殿する工程と、沈殿したレアメタル又は貴金属のナノ粒子を回収する工程とを有した。 （もっと読む）

【課題】放電ランプと発振源とのインピーダンス整合を図り、発振源からの電力を効率よく放電ランプに供給することができる放電ランプ装置を提供する。
【解決手段】放電ランプ１０と発振源４２との間に設けられ、中心導体２２と外導体３０とを有する同軸チューナー２０を備える。同軸チューナー２０は、放電ランプ１０側から、放電ランプ１０が取り付けられるランプ取付部と、第１特性インピーダンス部分と、第２特性インピーダンス部分と、第３特性インピーダンス部分と、を有しており、第１特性インピーダンス部分と第３特性インピーダンス部分の特性インピーダンスが同一に設定され、第２特性インピーダンス部分が第１特性インピーダンス部分及び第３特性インピーダンス部分と異なる特性インピーダンスに設定される。 （もっと読む）

ファラデー箱を半透明な共振器（１）に設ける方法であって、前記共振器がマイクロ波で励起可能な材料を含む内部空間（２）を有し、前記内部空間内の発光プラズマを駆動するために前記共振器及び前記ファラデー箱内部のマイクロ波共振に適合するように構成されており、・前記半透明な共振器に導電性材料を蒸着する工程と、・不要な箇所の前記導電性材料が露出したままになるように、前記導電性材料上にフォトレジスト材料を適用し、パターン形成し、現像する工程と、・必要な箇所の前記導電性材料から、不要な箇所の前記導電性材料及び前記フォトレジスト材料を除去し、ファラデー箱となる導電性材料の細線網（１１）を残す工程と、・前記導電性材料のファラデー箱上に保護材料層を蒸着する工程と、からなるファラデー箱を半透明な共振器（１）に設ける方法が提供される。 （もっと読む）

ランプは、透明な石英材料からなるマイクロ波共振器本体（11）を有している。前記本体(11)は、ボア内に挿入された密封されたプラズマの筐体バルブ（17）を有する中央ボア（16）を有している。バルブ（17）も石英材料からなり、前記ボア（16）に密着して嵌合するような外径を有している。このバルブ（17）自身は引き抜かれた石英製チューブ（18）からなり、内面が滑らかなボア（19）を有している。端部の蓋体（20）は、チューブ（18）に溶融され、本体（11）のボア（21）内のアンテナ（７）を介して本体（11）にマイクロ波が供給されたとき、バルブ（17）内において発光プラズマを形成するように励起可能な材料を内包している。この本体（11）は、ファラデー箱（12）の内部で共振を確立できるように、本体（11）とバルブ（17）ならびに当該バルブ（17）の内部の充填材を包含した内部空間とのサイズを決められる。バルブ（17）と本体（11）の間の間隔は、共振目的上、一つと見なすことができるように無視できるほど小さくされている。バルブ（17）は、溶融（23）によって本体（11）に固定されている。 （もっと読む）

【課題】マイクロ波の漏洩を防止し、マイクロ波エネルギーを効率よくプラズマに伝送することが可能なマイクロ波ランプ用の筐体、発光効率及び光の取り出し効率を高めることが可能なマイクロ波ランプ、光源装置、プロジェクターを提供する。
【解決手段】本発明のマイクロ波ランプ用の筐体１３は、中心導体８Ａ,８Ｂ、導体筒部７、コネクター４Ａ,４Ｂを備え、マイクロ波の波長をλｇ、ｎを０以上の整数、ｍを自然数とするとき、導体筒部７は、軸方向長さがλｇ/４のｍ倍とされた共振部と、λｇ/４のｍ倍とされたインピーダンスマッチング部と、λｇ/１６のｍ倍とされたインピーダンスキーパー部とを有し、発光管の取付位置が開口端からλｇ/４の２ｎ倍の位置に設けられ、インピーダンスマッチング部の内径が共振部側からインピーダンスキーパー部側へ向かって縮径されており、外部導体７はその内側にマイクロ波の共振長を決める金属片７ｃ，７ｃを有している。 （もっと読む）

【課題】マイクロ波の漏洩を防止してマイクロ波エネルギーを効率よくプラズマに伝送することが可能とされ、光の取り出し効率を高めることができるマイクロ波ランプ用の筐体、発光効率の高いマイクロ波ランプ、光源装置、プロジェクターを提供する。
【解決手段】本発明のマイクロ波ランプ用の筐体１３は、中心導体８Ａ，８Ｂと、一方に開口端を有する導体筒部７と、中心導体８Ｂにマイクロ波を供給するコネクター４Ａ，４Ｂとを備え、マイクロ波の波長をλｇ、ｎを０以上の整数、ｍを自然数とすると、導体筒部７は、軸方向長さがλｇ／４のｍ倍とされＴＥＭモードのマイクロ波を共振させる共振部と、軸方向長さがλｇ／４のｍ倍とされ共振部とコネクター４Ａ，４Ｂとのインピーダンスマッチングを行うマッチング部と、軸方向長さがλｇ／１６のｍ倍とされコネクターとマッチング部との間に設けられたインピーダンスキーパー部と、を有している。 （もっと読む）

【課題】マイクロ波を利用した光源装置において点灯時の放電の安定性、効率の良い放電状態の確保と、光を取り出すまでの光のロスを抑えて光の利用効率を高めることと、光源装置の製作コストが嵩まない簡易な構成とすることを技術的課題としている。
【解決手段】本発明のマイクロ波光源装置は、マイクロ波発振器（５）とマイクロ波共振器（４）からなり、前記マイクロ波共振器内にマイクロ波によって放電する放電物質を封入した発光管（１）と前記発光管からの光をマイクロ波共振器（４）の外へ取り出すための誘電体からなる反射鏡（２）を備え、また、共振器壁に光取り出し口（１１）を備えている （もっと読む）

光源は、マグネトロン（１）によって電力を供給され、励起可能な充填物を有するプラズマ空洞（８）を備える石英ルツボ（２）を備え、使用時には当該石英ルツボ（２）から光が放射される。二つのアルミニウム連結ブロック（３，４）が共に連結され、前記ブロック（３）は前記マグネトロン（１）のケーシング（５）にネジ（図示せず）で連結される。前記石英ルツボはファラデーケージ（６）によって前記ブロックに連結され、当該ファラデーケージ（６）はその縁部（７）で前記ブロック（４）に固定される穴のあいた金属包囲体の形状をなす。前記マグネトロンの出力構造（１１）は、当該出力構造（１１）に電気的に接触して適合する導電性の銅キャップ（１２）を有する。前記キャップは銅ロッド（１４）によって延長される。前記ロッドは、前記ブロック（３，４）を通って、前記ルツボ（２）内の内径（１５）の中まで伸びており、前記マグネトロンから前記ルツボの中にマイクロ波を連結する。空隙（１６）が前記ブロック３内において前記キャップ（１２）の周りに備えられる。前記キャップから、前記ロッドは、アルミナセラミックスチューブ（１７）内をごくわずかな空隙を有しつつ、この空隙と、前記ブロック（３）の終端壁の開口部に配置される前記ブロック（４）のボス（１８）と、を通過して伸びる。 （もっと読む）

無電極のマイクロ波のランプ１は、マイクロ波源としてのマグネトロン２と、内部でプラズマを発生させる励起可能な材料を有する半透明のルツボ５とを有している。前記マグネトロンからのマイクロ波を前記ルツボに結合させるために、中空の導波路の結合回路４が設けられており、入力部である前記マグネトロンの出力は一端から１／４λ離れた位置に設けられ、前記ルツボ対する入力である出力部が他端から１／４λ離れた位置に設けられている。 （もっと読む）

【課題】無電極ランプ１灯に対する負荷を減少させることができ、ランプの長寿命化や省電力化を実現する。
【解決手段】マグネトロン１３からマイクロ波を発生させ、このマイクロ波を筐体１４から同軸ケーブル１８を介して分配器２０に伝送する。分配器２０から同軸ケーブル２２ａ〜２２ｄを介してマイクロ波を分配し、整合器２４ａ〜２４ｄでインピーダンスの整合をそれぞれ行い、バルブ内に紫外線を放射させる放電媒体が封入された無電極ランプ２６が配置されたランプハウス２５からなる複数の紫外線照射部１０Ａ〜１０Ｄ内に放射する。無電極ランプ２６は、マイクロ波が放電媒体を励起させて紫外線を放射し、反射板２８１，２８２によりはランプハウス２５から、被照射体に照射させるようにした。共通のマグネトロン１３で紫外線照射部１０Ａ〜１０Ｄの無電極ランプ２６を励起させたことにより、ランプの長寿命化や省電力化を図ることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】広範囲に効率よく光を照射可能なマイクロ波放電ランプを提供する。
【解決手段】長尺の放電管４０を備えたマイクロ波放電ランプにおいて、マイクロ波を発振する２つのマグネトロン１２Ａ、１２Ｂを放電管４０の両端部４０Ａ、４０Ｂと同軸結合させ、放電管４０を管軸方向に沿って囲むように導体管３０を配置する。そして、マグネトロン１２Ａ、１２Ｂによって同軸モードのマイクロ波を放電管４０の端部４０Ａ、４０Ｂへ供給する。 （もっと読む）

【課題】紫外線を発光させるランプハウスに収納された無電極ランプに、マイクロ波の漏洩を抑えながら同軸ケーブルを介して高出力のマイクロ波を伝達する。
【解決手段】発振されたマイクロ波を発振するマグネトロン１２を内蔵した高圧電源１２から同軸ケーブル１８１，１８２を伝送できるマイクロ波に変換する機能を筐体１４に収納し、筐体１４から同軸ケーブル１８１，１８２を介して無電極ランプ２２が収容されたランプハウス２１に放射させる。同軸ケーブル１８１，１８２とランプハウス２１との間には、インピーダンスの整合を行う整合調整器２０１が配置され、マイクロ波の整合状態を調整するスタブ２８で整合を行う。筐体１４からランプハウス２１にマイクロ波を伝送するための同軸ケーブル１８１，１８２を複数としたことにより、エネルギーレベルを向上させる。 （もっと読む）

【課題】マイクロ波と無電極ランプとのインピーダンスの整合を行いマグネトロンの長寿命化を図るとともに設置場所の自由度の向上を図る。
【解決手段】マグネトロン１３を駆動させる高圧電源１２から構成する点灯装置１１が収納される筐体１４および放電媒体が封入されている無電極ランプ２７を収納し、下面から無電極ランプ２７から照射される紫外線が照射可能な構成としたランプハウス２０とを導波管１６を用いて電磁的、機械的に接合する。導波管１６には、この導波管１６を出し入れする調整軸３１ａ〜３１ｃから構成されるマイクロ波のインピーダンス整合の調整を行うためのスタブ３１が設けられている。これにより、マイクロ波と無電極ランプとのインピーダンスの整合を行ってマグネトロン１３の長寿命化を図るとともに、筐体１４とランプハウス２０の外にある導波管１６の長さを変えることができることから筐体１４の設置場所の自由度の向上を図ることができる。 （もっと読む）

通常、２．４５あるいは５．８ＧＨｚあるいはＩＳＭバンドの範囲内の別の周波数で駆動されるマイクロ波エネルギーの発振器及び増幅器の源（２）を備えたランプ（１）。当該源は、整合回路３を介して半透明の導波路（６）の凹部（５）に延びているアンテナ（４）へマイクロ波を伝播させる。この導波路は、石英からなり、バルブ（８）を収容する中央の空洞共振器（７）を有している。バルブは、石英からなる密封された円筒（９）であり、希ガスの充填物とマイクロ波で励起可能な材料を含んでおり、マイクロ波によって励起されると可視光を放射する。バルブは、中央の空洞共振器から伸びている脚用ボア（11）に受け入れられる脚（10）を有する。導波路は透明であり、バルブからの光は、反射面の影響を受けて、あらゆる方向に出て行くことができる。マイクロ波は、ファラデー箱によってその表面で制限を受け、導波路から出て行くことはできない。通常、これは、導波路の前面にＩＴＯコーティング（12）を備え、通常、背面で酸化ケイ素コーティング（13）と共に銀からなる光反射性コーティング（10）とワイヤ網（14）を備えており、ＩＴＯにも光反射性コーティングにも接して接地されており、ワイヤ網は、前面と後面の間の導波路の外縁に延びている。光は、集光して利用するためのワイヤ網を通過することができる。 （もっと読む）

【課題】マイクロ波に基づき無電極ランプから紫外線を得る紫外線照射装置の無電極ランプの交換性を向上させる。
【解決手段】マグネトロン１３１，１３２から発振されたマイクロ波を、アンテナ１６１，１６２から送信させ、導波管１５１，１５２の先端から放電媒体が封入された管状の無電極ランプ１２に伝達させる。無電極ランプ１２では、マイクロ波に基づき紫外線を放射させる。無電極ランプ１２から照射される紫外線は、反射板２１で集光または拡散させ、被照射体に照射させる。無電極ランプ１２と反射板２１は、金属製のフレーム２４で一体化し空間体の空洞共振部２３を構成している。マグネトロン１３１，１３２、導波管１５１，１５２、空洞共振部２３は、共通の筐体１１内に収納されて紫外線照射装置を構成する。空洞共振部２３は、筐体１１外に開閉蓋２９から取り出し可能とし、無電極ランプ１２あるいは反射板２１の交換性の向上を図った。 （もっと読む）

【課題】無電極ランプを励起して紫外線を生成させるマグネトロンの冷却効率を向上させてマグネトロンの長寿命化を図る。
【解決手段】筐体１１内に、マイクロ波を発生するマグネトロン１３１，１３２および導波管１５１，１５２を介してマイクロ波に基づき紫外線を発光することが可能な放電媒体が封入された無電極ランプ１２が構成される。筐体１１内のマグネトロン１３１，１３２および無電極ランプ１２は、ファンを主体とする冷却機構２０により冷却する。無電極ランプ１２から照射される前記ランプの紫外線は、被照射物に対して反射板２１を用いて集光または拡散させる。導波管１５１，１５２には、マイクロ波が漏れない程度の大きさの冷却孔を複数形成し、これら冷却孔の形状をマグネトロン１３１，１３２近傍は大きい大冷却孔部２３１，２３２とし、無電極ランプ１２近傍は小さい小冷却孔部２４１，２４２とした。 （もっと読む）

【課題】 マイクロ波励起ランプのエネルギー効率を高めことができる、光源装置を提供する。
【解決手段】 先端部分が発光部１４に挿入される２つのアンテナ２１、２２を有するランプ部１０において、一方のアンテナ２１に対して同軸ケーブル４によりマイクロ波を給電し、他方のアンテナ２２に抵抗器Ｚ_Ｌを接続する。そして、この抵抗器Ｚ_Ｌの抵抗値を、マイクロ波に対するランプ部１０のインピーダンス、およびマイクロ波に対する空気のインピーダンスに比べ十分に大きい値とする。この構成により、同軸ケーブル４から一方のアンテナ２１に給電されるマイクロ波を、他方のアンテナ２２に接続された抵抗器Ｚ_Ｌにより高反射率で反射させ、発光部１４においてマイクロ波の定在波を立てることができる。すなわち、発光部１４の発光領域１５においてマイクロ波の電界の振幅が腹になるようにすることができる。 （もっと読む）

【課題】マイクロ波放電ランプにおいて、高価なマッチング装置がなくとも、マイクロ波発振源と放電ランプのインピーダンス整合をとること。
【解決手段】金属製チャンバーの中に配置された放電容器内に一対の電極を有する放電ランプのリード線をマイクロ波発振源に接続してマイクロ波を供給し点灯するマイクロ波放電ランプ装置において、金属製チャンバー内の放電ランプのリード線の周囲を金属壁で囲ったインピーダンス調整機構を備える。 （もっと読む）