【課題】 工具の先端位置の検出を迅速に行うことのできる工具位置検出装置を提供することである。
【解決手段】 被加工物を保持するチャックテーブルの保持面と直交するＺ軸方向に移動して、被加工物を加工する加工手段に配設された工具の先端位置を検出するための工具位置検出装置であって、該チャックテーブルの該保持面上に載置される基台と、該基台上に固定され上面に工具先端との当接部を有するタッチセンサと、該基台上に該タッチセンサを挟んで配設された発光素子と受光素子とを含み、該発光素子と該受光素子とを結ぶ光軸がＺ軸方向に垂直且つ該タッチセンサの該当接部から上方に所定距離離間して配設された光学センサと、該光学センサの該光軸を該工具先端が遮断したときに電気信号を出力する第１の出力手段と、該タッチセンサの該当接部に該工具先端が当接したときに電気信号を出力する第２の出力手段と、を具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】簡単な機構で高い加工精度を確保でき、しかも効率よく溝を加工できるようにする。
【解決手段】この薄膜太陽電池用溝加工ツール２は、ホルダ１７に保持され、ホルダ１７とともに基板のスクライブ予定ラインに沿って相対的に往復移動させて基板上に溝を形成するためのツールである。このツール２は、ホルダ１７に保持されるツール本体３６と、刃先部３７と、を備えている。刃先部３７は、ツール本体３６の先端部に形成され、移動方向の往動側の先端と復動側の先端に刃３８ａ，３８ｂを有している。また、刃先部３７は、移動方向の幅が先端に行くにしたがって狭くなるように、対向する往動側の側面３７ａと復動側の側面３７ｂとが傾斜しかつ対称に形成されている。 （もっと読む）

【課題】 製造効率の点で有利なブレーズ型回折格子の製造方法を提供する。
【解決手段】 ブレーズ型回折格子を製造する方法は、第１の位置で第１切刃および第２切刃を有するバイトを用いて前記被加工物を切削して前記第１切刃および前記第２切刃によってそれぞれ形成された第１面および第２面を有する第１の溝を形成する第１工程と、前記第１工程の後に、前記第１の位置から格子ピッチだけ離れた第２の位置で前記バイトを用いて前記被加工物を切削して第２の溝を形成する第２工程と、前記第２工程の後に、前記第１の位置と前記第２の位置との間の第３の位置で、前記第２切刃を前記第１の溝の第２面と接触させずに前記バイトを用いて前記第１面を切削して前記第１切刃によって前記第１の溝のブレーズ面を形成する第３工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】材料厚を一定に低減した領域を有するドクタの製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明は、金属、特にスチールから形成されるドクタの製造方法を示しており、製造されるドクタは、加工端部の材料厚低減領域（２０４）を有している。材料厚は、材料厚低減領域（２０４）においてほぼ一定である。ほぼ一定の材料厚を有する基礎本体部（１００）への平削り工程によって、材料厚低減領域（２０４）が形成される。平削り工程によって形成された材料厚低減領域によって、効率的かつコスト費用効率のよいドクタ製造方法が達成される。 （もっと読む）

【課題】基板の表面に樹脂絶縁膜のパターンを切削加工で形成する方法及び半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体装置の製造方法において、接続用の電極（２）が一主面に形成された半導体基板（１）において、前記接続用の電極（２）を覆うように前記一主面側に樹脂絶縁膜（３）を形成する第１工程と、すくい角をゼロ又は負とした、バイト（４）による切削加工により、前記接続用の電極（２）の接続部位（２１）を露出させるように、テーパ部（１０）と前記接続部位（２１）とからなる開孔（３１）を形成する第２工程とを具備することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】突起欠陥部の過研磨を防止すると共に欠陥修正のタクトを短縮する。
【解決手段】平坦な基板５表面に形成された微細パターンの突起欠陥部７を研磨して修正する突起欠陥修正装置であって、前記基板５表面に対向して平滑面２ａを有する研磨板２と、前記研磨板２を前記基板５表面から所定距離だけ離隔した状態で前記基板５に対して相対的にスライド移動させる移動機構３と、を備え、前記研磨板２に移動方向と交差して設けた切削部１７により、前記研磨板２の相対移動に伴って前記突起欠陥部７を切削するものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は金型内に配設されると共に微細パターンを有した入れ子の形成に用いて好適な微細パターン加工装置及びこれを用いた光学部品の製造方法に関し、微細パターンを有した入れ子を高精度にかつ効率よく形成することを課題とする。
【解決手段】入れ子２０を形成する際に用いられる切削マスタ１０に対しバイト４０を用いて微細パターンを形成する微細パターン加工装置において、前記バイト４０の切削位置に向け切削油４４を供給する切削油供給ノズル６０と、前記バイト４０の切削位置に向け防錆油５８を供給する防錆油供給ノズル６２とを設け、前記切削油４４と前記防錆油５８が同時に前記バイト４０の切削位置に供給される構成とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は金型内に配設されると共に微細パターンを有した入れ子の形成に用いて好適な微細パターン加工方法及び金型の製造方法及び光学部品の製造方法に関し、微細パターンを有した入れ子を高精度にかつ効率よく形成することを課題とする。
【解決手段】入れ子２０を形成する際に用いられる切削マスタ１０に対しバイト４０を用いて微細パターンを形成する微細パターン加工方法において、先ずブランク状態の前記切削マスタ１０の表面に少なくともリン或いはセレンの一方を添加したニッケル層を形成する。その後、切削マスタ１０の表面に形成されたニッケル層をバイトにより切削加工し、前記微細パターンを形成する。 （もっと読む）