ワーク搬送装置及び電子部品搬送装置
【課題】搬送テーブルの貫通孔に収納されてワークが搬送されるワーク搬送装置において、圧縮気体を用いて貫通孔からワークを速やかにかつ確実に取り出すことができるともに、圧縮空気の残圧による所望でないワークの飛び出し等が生じ難く、搬送効率を高め得るワーク搬送装置を提供する。
【解決手段】搬送ステージ３の搬送面３ａに対向するように搬送テーブル４が配置されており、搬送テーブル４の貫通孔４ｂにワークとしての電子部品６が収納されて、搬送テーブル４が回転されて電子部品６が搬送される電子部品搬送装置において、電子部品が取り出される位置において、搬送面３ａに開いた噴出孔１１が設けられており、該噴出孔１１の搬送テーブル４側の開口部の総面積が、電子部品６の搬送ステージ３の搬送面３ａ側の面の面積よりも大きくされている、ワーク搬送装置１。
【解決手段】搬送ステージ３の搬送面３ａに対向するように搬送テーブル４が配置されており、搬送テーブル４の貫通孔４ｂにワークとしての電子部品６が収納されて、搬送テーブル４が回転されて電子部品６が搬送される電子部品搬送装置において、電子部品が取り出される位置において、搬送面３ａに開いた噴出孔１１が設けられており、該噴出孔１１の搬送テーブル４側の開口部の総面積が、電子部品６の搬送ステージ３の搬送面３ａ側の面の面積よりも大きくされている、ワーク搬送装置１。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、チップ型電子部品などの多数のワークを搬送するためのワーク搬送装置に関し、より詳細には、ワークが収納される収納部としての貫通孔が設けられている搬送テーブルを搬送ステージ上で移動させることによりワークを搬送する形式のワーク搬送装置及び電子部品搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、チップ型電子部品の製造に際しては、チップ型電子部品を作製し、特性を検査した後、特性に応じて良品や不良品の選別が行われている。また、特性に応じて、得られたチップ型電子部品を複数のグループに分別することも行われている。これらの作業を自動化し、生産性を高めるために、様々な製造装置が提案されている。
【０００３】
例えば下記の特許文献１には、この種の電子部品搬送装置の一例が開示されている。この電子部品搬送装置では、電子部品を搬送するために、テーブルベースの搬送面に接触するように、円板状の搬送テーブルが配置されている。円板状の搬送テーブルは、その中心軸まわりに回転し得るように、回転駆動源に連結されている。そして、ホッパーから順次供給される１個の電子部品が収納される貫通孔が搬送テーブルの周方向に沿って複数形成されている。この各貫通孔内に電子部品がホッパーから供給される。搬送テーブルがテーブルベースの搬送面上をスライドしつつ回転することにより、電子部品が搬送テーブルの周方向に搬送される。
【０００４】
ここでは、電子部品を搬送テーブルの周方向に搬送する間に、電子部品の特性の測定が行われている。そして、測定結果に基づき、良品・不良品の選別をしたり、特性値に応じて分別するために、特性が測定された電子部品が、上記貫通孔から適宜の電子部品取り出し手段を用いて取り出される。
【０００５】
なお、上記搬送に際し電子部品の姿勢を保持するために、上記搬送面には、上記貫通孔に連なる吸引用凹部が形成されており、該吸引用凹部が真空吸引源などに接続されている。
【０００６】
他方、特性の測定を終えた電子部品の取り出しに際しては、図１０に示す構造が用いられている。すなわち、図１０に示すように、電子部品搬送装置１０１では、上記搬送テーブル１０２が、貫通孔１０２ａを有する。貫通孔１０２ａに、電子部品１０４が収納されている。なお、搬送テーブル１０２の一方面１０２ｂは、テーブルベース１０３の搬送面１０３ａと当接されている。
【０００７】
そして、テーブルベース１０３の搬送面１０３ａにおいては、電子部品１０４の取り出し位置に、噴出孔１０３ｂが開口している。噴出孔１０３ｂは、搬送面１０３ａから搬送面１０３ａとは反対側の面１０３ｃ側に向かって延ばされており、かつ圧縮空気供給ホース１０５に接続されている。圧縮空気供給ホース１０５は、コンプレッサーやボンベ等の圧縮空気供給源に接続されている。
【０００８】
測定を終えた電子部品１０４が、搬送テーブル１０２の回転により電子部品取り出し位置にきたとき、貫通孔１０２ａの一部に、貫通孔１０２ａの開口部よりも小さな径の上記噴出孔１０３ｂが臨むことになる。そして、噴出孔１０３ｂから圧縮空気が噴射される。圧縮空気の圧力により、電子部品１０４が貫通孔１０２ａ外方に移動され、電子部品１０４が取り出される。
【０００９】
この方法によれば、機械的な衝撃を与えることなく電子部品１０４を取り出し得るので、電子部品１０４の損傷が生じ難い。
【特許文献１】特開２００４−２２６１０１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
ところで、搬送テーブル１０２は、前述したように、テーブルベース１０３とは独立に、テーブルベース１０３の搬送面１０３ａ上をスライドしつつ移動する。従って、上記圧縮空気により電子部品１０４が取り出された後、搬送テーブル１０２がさらに回転される。その結果、上記噴出孔１０３ｂは、搬送テーブル１０２の一方面１０２ｂにより再度閉じられることになる。
【００１１】
この場合、圧縮空気が完全に貫通孔１０２ａ内に排出されて電子部品１０４が取り出され、しかる後、圧縮空気の供給を停止した後に、噴出孔１０３ｂが搬送テーブル１０２の一方面１０２ｂで閉じられた場合には、問題は生じない。
【００１２】
しかしながら、搬送速度を高めた場合には、圧縮空気が噴出孔１０３ｂ内に残存した状態のまま、噴出孔１０３ｂの開口部が搬送テーブル１０２により閉じられることがあった。その場合には、噴出孔１０３ｂ内に、圧縮空気が残存し、残圧が生じる。
【００１３】
従って、搬送テーブル１０２がさらに回転し、上記電子部品取り出し位置では取り出してはいけない電子部品が収納されている次の貫通孔が上記噴出孔１０３ｂ上に移動してくると、本来取り出すべきではない電子部品が残圧により取り出されることがあった。よって、従来の電子部品搬送装置では、電子部品１０４を取り出した後、搬送テーブル１０２を直ちに回転移動させず空気を完全に排出させるために、搬送テーブル１０２を所定時間待機させねばならなかった。すなわち、上記残圧を開放するために、待機時間が必要であり、電子部品搬送装置を高速稼働することができなかった。
【００１４】
特に、電子部品のサイズが小さくなるにつれて、上記噴出孔１０３ｂの大きさも小さくする必要があった。そのため、噴出孔１０３ｂの大きさが小さくなると、空気噴出量が十分ではないため、より一層、残圧を除去するための待機時間を長くしなければならなかった。また、待機時間を長くしたとしても、残圧が十分に開放され難くなるという問題もあった。
【００１５】
本発明の目的は、上述した従来技術の欠点を解消し、ワークが収納されている貫通孔に噴出孔から高圧の気体を噴出させてワークを貫通孔から取り出す構造を備えたワーク搬送装置であって、上記残圧による問題を解消することができ、従って、ワークの予期しない飛び出しを防止でき、かつワークの取り出し工程を含めた搬送工程の高速化を図ることが可能とされている、ワーク搬送装置及び電子部品搬送装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明に係るワーク搬送装置は、ワークが搬送される搬送面を有する搬送ステージと、前記搬送ステージの前記搬送面に対向するように配置された第１の面と、第１の面とは反対側の第２の面とを有し、第１，第２の面を貫通する貫通孔が備えられている搬送テーブルと、前記搬送テーブルの第１の面を前記搬送ステージの搬送面に対向させた状態で前記搬送テーブルを搬送面に対してスライドさせつつ移動させることを可能とするように、前記搬送テーブル及び／または前記搬送ステージに連結された駆動装置とを備え、前記搬送テーブルの前記貫通孔にワークを挿入した状態で、前記搬送テーブルが前記搬送面に対して移動されることにより前記ワークが搬送されるワーク搬送装置であって、前記搬送ステージの搬送面に、前記貫通孔に挿入された前記ワークを取り出すために、前記貫通孔と重なり合い得るようにワーク取り出し位置に設けられており、圧縮気体を噴出させるための噴出孔が設けられており、前記噴出孔に連結された圧縮気体供給装置とをさらに備え、前記噴出孔の前記搬送テーブル側の開口部の総面積が、前記ワークの前記搬送ステージの前記搬送面側に対向している端面の面積以上の大きさとされていることを特徴とする。
【００１７】
本発明に係るワーク搬送装置では、好ましくは、前記搬送ステージの搬送面に、前記貫通孔に接続されている吸引用凹部が形成されており、前記搬送テーブルの第１の面において前記貫通孔に連ねられており、かつ前記吸引用凹部に連通されている吸引溝が形成されており、前記吸引用凹部に連結された吸引装置がさらに備えられている。この場合には、吸引装置からの吸引により、ワークを搬送するに際し、ワークを適切な姿勢に確実に保持することができる。
【００１８】
本発明に係るワーク搬送装置では、好ましくは、前記噴出孔が、噴出孔本体部と、噴出孔本体部と噴出孔の開口部外面とを結んでおり、噴出孔本体部よりも細いノズル部とを有し、該ノズル部における圧縮気体流路長が、前記貫通孔の前記搬送面側の開口部の面積の平方根の６０％以下とされている。この場合には、圧縮気体噴射時の流体抵抗を低くすることができ、圧縮気体の流量を多くすることができる。それによって、ワークを貫通孔からより確実に取り出すことができる。また、圧縮気体の吹き出しから吹き出し停止までの動作時間を短縮することができ、ワーク搬送装置における処理速度を高めることが可能となる。
【００１９】
本発明に係るワーク搬送装置では、好ましくは、前記噴出孔の開口部が、前記ワーク搬送方向が長さ方向とされている長孔状の形状とされている。この場合には、ワークを収納するための貫通孔の位置が搬送方向において多少ずれたとしても、残圧を確実に開放することができる。すなわち、搬送方向における上記貫通孔の位置決め精度を低くしたとしても、残圧を開放することができる。
【００２０】
前記噴出孔において、ノズル部が複数設けられている場合には、複数のノズル部間の部分にワークが当接載置されるので、ワークがノズル部の開口縁に引っかかり難い。
【００２１】
複数のノズル部が、第１，第２のノズル部であり、ワークの一部が第１，第２のノズル部間の部分に位置するように第１，第２のノズル部が配置されている場合には、ワークが、第１，第２のノズル部間の部分上を移動することになるため、第１，第２のノズル部の開口縁にワークが引っかかり難い。
【００２２】
本発明においては、好ましくは、上記搬送テーブルは中心軸を有する円板状の形状を有し、該搬送テーブルが、前記駆動装置により中心軸周りに回転駆動するように構成されている。この場合には、貫通孔に挿入されたワークが、搬送テーブルの回転に伴って、搬送テーブルの周方向に搬送されることになる。従って、円板状の搬送テーブル内において、周方向に搬送路が設けられることになるため、ワーク搬送装置の小型化及び設置スペースの低減することが可能となる。
【００２３】
本発明のワーク搬送装置で搬送されるワークは、特に限定されないが、好ましくは、ワークとして電子部品が搬送される。特に、外形寸法が小さい、チップ型電子部品などの小型の電子部品を搬送するのに本発明のワーク搬送装置は好適に用いられる。
【発明の効果】
【００２４】
本発明に係るワーク搬送装置では、搬送ステージの搬送面に対向するように搬送テーブルが配置されており、搬送テーブルに設けられた貫通孔にワークが挿入された状態で、搬送テーブルが、搬送面に対して移動されることによりワークが搬送される。
【００２５】
ワーク取り出し位置においては、貫通孔と重なり合うように搬送ステージに噴出孔が設けられている。従って、噴出孔に連結された圧縮気体供給装置から圧縮気体を噴出させることにより、ワーク取り出し位置において、圧縮空気の圧力により、ワークを貫通孔から速やかに取り出すことができる。しかも、噴出孔の搬送テーブル側の開口部の総面積が、ワークの搬送ステージの搬送面に対向している面の面積以上の大きさとされているので、圧縮空気が噴出孔から高速で、かつ速やかに噴出される。
【００２６】
従って、上記噴出孔が搬送テーブルを回転させて閉じられた際に残圧が生じ難い。よって、残圧による、以降のワークの所望でない飛び出しを防止することかできるとともに、ワーク搬送装置における搬送速度を高めることができ、ワークの生産性を高めることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。
【００２８】
図２（ａ），（ｂ）は、本発明の一実施形態に係る電子部品搬送装置を示す略図的正面図及び後述の搬送テーブルを除いた状態の略図的正面図である。
【００２９】
電子部品搬送装置１は、ベースプレート２を有する。本実施形態では、ベースプレート２は、設置スペースにおいて上下方向に延びるように立設されている。もっとも、ベースプレート２は、上下方向から傾斜されていてもよく、またベースプレート２は、水平方向に延びるように配置されていてもよい。
【００３０】
ベースプレート２の一方面２ａ上に、搬送ステージ３が配置されている。搬送ステージ３は、本実施形態では、円板状のプレートであるが、角板状等の他の形状を有していてもよい。搬送ステージ３は、ベースプレート２に対して固定されている。搬送プレート３は、ベースプレート２側とは反対側の面に搬送面３ａを有する。
【００３１】
搬送面３ａ上に、搬送テーブル４が配置されている。搬送テーブル４は、円板状の形状を有する。搬送テーブル４は、中心軸４ａの周りに回転し得るように配置されており、該中心軸４ａが、略図的に示す駆動装置５に連結されている。駆動装置５により、搬送テーブル４は、時計回りに回転移動されるように構成されている。
【００３２】
なお、本実施形態では、搬送テーブル４が中心軸４ａの周りに時計回りに回転されるが、搬送テーブル４が固定されており、搬送ステージ３が中心軸周りに回転されていてもよく、また搬送ステージ３と搬送テーブル４の双方が中心軸４ａの周りに異なる速度で、あるいは逆方向に回転されてもよい。
【００３３】
すなわち、搬送テーブル４が、相対的に搬送ステージ３の搬送面３ａに対して移動されるように構成されておりさえすればよい。
【００３４】
搬送テーブル４は、例えば金属もしくは合成樹脂などの硬質材料からなる。この搬送テーブル４の外周近傍には、複数の貫通孔４ｂが周方向に整列配置されている。貫通孔４ｂはワークとしての電子部品が収納される収納部を構成している。この複数の貫通孔４ｂは、周方向に２列形成されている。
【００３５】
もっとも、複数の貫通孔４ｂからなる列の数は特に限定されず、１列、あるいは３列以上の形態で、複数の貫通孔４ｂが配置されてもよい。
【００３６】
図３に図２のＡ−Ａ線に沿う部分を部分切欠断面図で示す。図３から明らかなように、搬送テーブル４は、搬送ステージ３の搬送面３ａ上に当接もしくは近接されている第１の面４ｃと、第１の面４ｃとは反対側の面である第２の面４ｄとを有する。貫通孔４ｂは、第１の面４ｃから第２の面４ｄに向かって貫通している。貫通孔４ｂの第２の面４ｄにおける開口部は、電子部品６が入り込み得る大きさとされている。
【００３７】
本実施形態では、貫通孔４ｂは、第２の面４ｄにおいて矩形の開口形状を有するように設けられている。
【００３８】
図２（ａ）に戻り、電子部品は、上記貫通孔４ｂに、搬送テーブル４の第２の面４ｄ側から、電子部品供給装置７により挿入される。この電子部品供給装置７としては、ホッパーや適宜の電子部品供給装置を用いることができ、特に限定されるものではない。
【００３９】
また、上記搬送テーブル４が時計回りに回転されることにより、搬送テーブル４の第１の面４ｃが、搬送ステージ３の搬送面３ａ上をスライドするように、搬送テーブル４が移動する。その結果、貫通孔４ｂに収納された電子部品６が、搬送テーブル４の周方向に搬送されていくが、その搬送路の途中には、特性測定装置８が配置されている。特性測定装置８は、例えば電子部品の電極に当接される複数のプローブを有し、電子部品６の電気的特性を測定するために設けられている。この測定結果に応じて良品や不良品の判別が行われたり、あるいは特性値に応じて、搬送されてくる電子部品のグループ分けが行われる。
【００４０】
上記測定装置８としては、測定される特性に応じて様々な電気的計測装置を用いることができる。
【００４１】
他方、図２（ｂ）において、上記搬送テーブル４を取り外し、搬送ステージ３の搬送面３ａを露出させた状態を示すように、搬送面３ａには、２本の吸引用凹部３ｂ，３ｃが同心円上に設けられている。この吸引用凹部３ｂ，３ｃは、搬送ステージ３上に配置されている搬送テーブル４の貫通孔４ｂの一部に後述の吸引溝を介して連ねられるように設けられている。同心円上に２本の吸引凹部３ｂ，３ｃが設けられているのは、複数の貫通孔が周方向に２列整列配置されていることによる。すなわち、一方の吸引凹部３ｂは、複数の貫通孔４ｂからなる２列のうち、大きな径の列の径方向外側に位置しており、吸引凹部３ｃは、貫通孔４ｂの小さな径の列の径方向外側に位置されている。そして、外側の列の貫通孔４ｂに、後述の吸引溝を介して、吸引凹部３ｃが接続されており、内側の列の貫通孔４ｂには、後述の吸引溝により、内側の吸引凹部３ｂが接続される。吸引用凹部３ｂ，３ｃは、図２（ｂ）に示すように真空吸引源などの吸引源１０に接続されている。
【００４２】
図３に示すように、上記貫通孔４ｂは、第１の面４ｃ側において、搬送テーブル４の径方向に延びる吸引溝４ｅに連ねられている。この吸引溝４ｅは、その一部が上記吸引用凹部３ｂまたは吸引用凹部３ｃに重なり合う位置に設けられている。
【００４３】
従って、吸引用凹部３ｂ，３ｃから吸引源１０により吸引することにより、その負圧により電子部品は、貫通孔４ｂ内において正しい位置に保持される。
【００４４】
他方、電子部品取り出し装置９においては、図２（ｂ）に示すように、複数の噴出孔１１が搬送面３ａに開口している。
【００４５】
この噴出孔１１が設けられている部分を図４（ａ）に部分切欠拡大断面図で、図４（ｂ）に、模式的斜視図で示す。
【００４６】
図４（ａ）に示すように、搬送ステージ３には、搬送面３ａ上に開口している噴出孔１１が設けられている。そして、この噴出孔１１は、前述したように、電子部品搬送装置１において、電子部品６を取り出すべき位置に設けられている。
【００４７】
本実施形態では、噴出孔１１は、噴出孔本体部１１ａと、搬送面３ａに開口している第１，第２のノズル部１１ｂ，１１ｃとを有する。噴出孔本体部１１ａは、前述した圧縮空気供給源に接続されており、該噴出孔本体部１１ａに比べて、ノズル部１１ｂ，１１ｃは横断面が細くされている。なお、横断面とは、圧縮空気が通過する方向に直交する方向の断面をいうものとする。そして、このノズル部１１ｂ，１１ｃの開口部の横断面方向の面積、すなわちノズル部１１ｂ，１１ｃの開口総面積は、電子部品６の搬送面３ａに対向している面６ａの面積よりも大きくされている。言い換えれば、電子部品６が貫通孔４ｂの搬送面３ａ側の開口内において占有している専有面積以上の大きさの開口総面積となるように、上記第１，第２のノズル部１１ｂ，１１ｃが設けられている。
【００４８】
また、図４（ａ），（ｂ）に示すように、上記第１のノズル部１１ｂと、第２のノズル部１１ｃとの間に、係止部１１ｄが設けられている。係止部１１ｄに、上記電子部品６が載置され、電子部品６の下方への落下が抑制されている。また、係止部１１ｄが設けられているため、電子部品６は、ノズル部１１ｂ，１１ｃの開口縁に引っかかり難い。
【００４９】
すなわち、上記係止部１１ｄが設けられていないと、電子部品６が電子部品取り出し位置に移動してきたときに、第１，第２のノズル部１１ｂ，１１ｃの開口縁に引っかかったりし、搬送テーブル４の移動に支障をきたすおそれがある。
【００５０】
これに対して、上記係止部１１ｄ上に電子部品６が確実に載置され、摺動されるので、電子部品６が、第１，第２のノズル部１１ｂ，１１ｃの開口縁に引っかかり難い。
【００５１】
なお、電子部品６では、外部電極形成部分のコーナー部分が図示のように丸みを帯びているので、係止部１１ｄの上を通過するに際し、電極には傷はつき難い。
【００５２】
図４（ｂ）に示すように、第１，第２のノズル部１１ｂ，１１ｃの開口縁は、長孔状の形状を有している。この長孔状の形状の長さ方向は、電子部品６の搬送方向に略一致されている。すなわち、搬送テーブル４の周方向に電子部品６が搬送されるので、上記長孔の長さ方向は上記搬送テーブル４の周方向に略一致されている。
【００５３】
このように、電子部品６の搬送方向に略一致するように、長孔状の長さ方向が選ばれているので、電子部品取り出し位置において、貫通孔４ｂが、若干搬送方向においてずれたとしても、貫通孔４ｂを、噴出孔１１上に確実に位置させることができる。従って、電子部品搬送装置１における搬送テーブル４の回転に際しての貫通孔４ｂの位置決め精度を低くすることができるとともに、その場合であっても確実に電子部品６を貫通孔４ｂから取り出すことができる。
【００５４】
本実施形態の電子部品搬送装置１では、上記噴出孔１１には、圧縮空気供給装置１２が接続され、それによって圧縮気体としての圧縮空気が、噴出孔１１の第１，第２のノズル部１１ｂ，１１ｃから貫通孔４ｂ側に噴出される。それによって、電子部品６が貫通孔４ｂから容易に取り出される。この場合、上記第１，第２のノズル部１１ｂ，１１ｃの開口総面積が上記のように設定されているので、圧縮空気が速やかに貫通孔４ｂ内に噴出される。
【００５５】
図９に示すように、本実施形態によれば、第１，第２のノズル部１１ｂ，１１ｃから圧縮空気を噴出させた場合、上記第１，第２のノズル部の開口総面積が比較的大きいため、当初から圧縮空気が大きな流路で噴出する。従って、短時間で必要な量の圧縮空気の噴出を完了することができる。これに対して、従来の電子部品搬送装置では、噴出孔の開口面積が比較的小さいため、同じ量の圧縮空気を噴出させた場合、噴出開始から噴出完了までの時間が図９に示すように長くなることがわかる。
【００５６】
従って、電子部品６を速やかに取り出すことができる。
【００５７】
加えて、電子部品６を取り出した後に、搬送テーブル４が回転駆動され、第１，第２のノズル部１１ｂ，１１ｃが搬送テーブル４の第１の面４ｃに覆われたとしても、残圧が生じ難い。すなわち、圧縮空気が噴出孔１１内に残り難いので、残圧が生じ難い。よって、次の貫通孔４が、該噴出孔１１の上方に移動してきたとしても、残圧により、誤って電子部品６が飛び出すことがない。
【００５８】
さらに、残圧が生じ難いため、搬送テーブル４の搬送速度を高め、すなわち前述した先行技術において必要であった待機時間を短くしたり、場合によっては待機時間を設けることなく、電子部品６を搬送することができる。従って、電子部品６の搬送速度や搬送効率を高めることができ、電子部品６の生産性を高めることが可能となる。
【００５９】
好ましくは、上記第１，第２のノズル部１１ｂ，１１ｃの開口部外表面と、第１，第２のノズル部１１ｂ，１１ｃに連なる噴出孔本体部１１ａとの間の距離である圧縮気体噴出流路長Ｔ（図４参照）は、上記貫通孔４ｂの開口面積の平方根の６０％以下とされている。この割合が６０％以下とされていることにより、圧縮空気を、より速やかに貫通孔４ｂ内に噴出させることができ、より一層残圧を防止することができるとともに、電子部品６の搬送効率を高めることができる。
【００６０】
なお、本実施形態では、上記第１，第２のノズル部１１ｂ，１１ｃが設けられていたが、電子部品の形状に応じて、３以上の複数のノズル部が設けられてもよい。
【００６１】
また、ノズル部の開口形状は、長孔状である必要は必ずしもなく、正方形あるいは円形等の形状であってもよい。もっとも、好ましくは、上記のように長さ方向が搬送方向に略一致されている形状の開口を形成することが望ましい。
【００６２】
次に、上記電子部品搬送装置１を用いた電子部品の供給、搬送及び取り出し工程を説明する。
【００６３】
図２に示すように、電子部品搬送装置１を用いて特性を選別し、電子部品を搬送するにあたっては、電子部品供給装置７から、電子部品を１個ずつ、上記搬送テーブル４の貫通孔４ｂに挿入する。そして、搬送テーブル４を駆動装置５を駆動することにより、時計方向に回転させる。その結果、貫通孔４ｂに収納されている電子部品６は、搬送テーブル４の周方向において時計周りに搬送されることになる。この場合、吸引用凹部３ｂ，３ｃから吸引することにより、貫通孔４ｂ内において電子部品６が正しい姿勢に保持されて搬送が行われる。
【００６４】
そして、特性測定装置８において、搬送されてきた電子部品６の特性が測定され、特性結果に応じて、電子部品の分別が行われる。すなわち、電子部品取り出し装置９において電子部品を取り出すに際し、良品のみを特定の位置で取り出し、不良品を異なる位置で取り出したり、特性値に応じて、複数の異なる位置において電子部品を取り出すことが決定される。このように特性測定結果に応じて、電子部品取り出し装置９において特定の電子部品取り出し位置で電子部品が取り出されるが、このような制御は、電子部品搬送装置１に、制御手段を接続し、特性測定装置８から得られた測定結果に応じて、電子部品装置９を駆動すればよい。
【００６５】
電子部品取り出し装置９においては、前述したように、貫通孔４ｂ内に収納されている電子部品６が取り出されるが、この場合、圧縮空気を、噴出孔１１の第１，第２のノズル部１１ｂ，１１ｃから噴出させ、電子部品６が取り出される。すなわち、例えば図２（ｂ）のＣで示す位置で、第１のグループの電子部品を取り出す場合には、矢印Ｃで示す位置に存在する噴出孔１１において圧縮空気を噴出させ、電子部品を取り出す。そして、第２のグループの電子部品は図２（ｂ）のＤで示す位置の噴出孔１１において取り出す場合には、第２のグループの電子部品が、矢印Ｄで示す噴出孔１１の部分に来たときに該噴出孔１１から圧縮空気を噴出させ、電子部品を取り出せばよい。
【００６６】
そして、第２のグループの電子部品が、上記搬送路に沿って移動されてきた際に、矢印Ｃで示す噴出孔１１には残圧が生じ難いため、残圧により、第２のグループの電子部品が誤って貫通孔４ｂから飛び出すおそれがない。また、残圧が生じ難いため、前述したように、搬送テーブル４による搬送効率を高めることが容易である。
【００６７】
次に、具体的な第１〜第４の実験例を説明する。
【００６８】
第１の実験例では、１ｍｍ×０．５ｍｍ×０．５ｍｍのチップ型電子部品を搬送した場合を評価した。この場合、チップ型電子部品は、長さ方向が貫通孔４ｂの深さ方向となるように貫通孔４ｂに挿入した。図５に模式的平面図で示すように貫通孔４ｂは、実線で示す輪郭を有し、コーナー部が丸められた略正方形の形状を有し、向かい合う２辺間の距離Ｘ１を０．７１ｍｍとし、コーナー部にＲを付与し、開口部分の面積を０．４９５５ｍｍ２とした。
【００６９】
他方、上記第１，第２のノズル部１１ｂ，１１ｃについては、図５に示すように、開口部を長孔状の形状とし、長さ方向寸法を、０．７１ｍｍより長くし、幅方向寸法Ｙ１を０．２８ｍｍとし、第１，第２のノズル部の開口総面積を０．３９７６ｍｍ２とした。従って、上記電子部品６の開口部４ｂ内における専有面積、すなわち搬送面３ａに対向し合う面積は、０．５ｍｍ×０．５ｍｍ＝０．２５ｍｍ２であるため、上記噴出孔１１の第１，第２のノズル部の開口総面積よりも小さくされている。このような条件で、１５０ｋＰａの圧縮空気を噴射させたところ、同じ圧力の圧縮空気を、従来の０．２ｍｍの径の噴出孔を有する場合に比べて、電子部品を取り出すのに必要な噴出開始から噴出完了までの時間を約１５ｍ秒短縮することができた。
【００７０】
図６（ａ）は、第２の実験例を説明するための模式的斜視図であり、（ｂ）は、図５と同様にノズル孔の形状と電子部品との関係を模式的に示す正面図である。第２の実験例では、貫通孔２４ｂが円筒状の形状を有する。この円筒状の形状において、開口部の直径Ｘ２は０．８ｍｍとした。また、電子部品６としては、第１の実験例と同様に１ｍｍ×０．５ｍｍ×０．５ｍｍの寸法のものを用いた。図６（ｂ）に示すように、第１，第２のノズル部１１ｂ，１１ｃの開口部の形状は、第１の実験例と同様に長孔状とし、ただし、長さ方向寸法Ｚは０．８ｍｍよりも長くし、幅方向寸法Ｙ２は０．２８ｍｍとした。この場合、貫通孔２４ｂの開口面積は、（０．８／２）２π＝０．５０２４ｍｍ２となる。
【００７１】
第１，第２のノズル部の開口部の総面積は、０．３８０８ｍｍ２であり、電子部品６の搬送面３ａ側に臨む面６ａの面積は、第１の実験例と同様に０．２５ｍｍ２である。このように、円形の貫通孔２４ｂが搬送テーブルに設けられている場合においても、第１の実験例と同様に、従来の０．２ｍｍの径の噴出孔を有する電子部品搬送装置を用いた場合に比べて、圧縮空気の噴射から噴射完了までの時間を１５ｍ秒短縮することができた。
【００７２】
第２の実験例から明らかなように、貫通孔の開口部の平面形状は、矩形に限らず、円形等の他の形状であってもよい。
【００７３】
第３の実験例では、０．６ｍｍ×０．３ｍｍ×０．３ｍｍの寸法の電子部品を用意し、図７に示すように、貫通孔３４の開口部を、０．４２ｍｍ×０．４２ｍｍの矩形のコーナー部を丸めた形状とした。この開口部３４ｂの開口面積は、０．１６７８ｍｍ２である。第１，第２のノズル部１１ｂ，１１ｃの開口部の長さ方向寸法Ｚは、０．４２ｍｍよりも長くし、幅方向寸法Ｙ３は０．１５ｍｍとした。この場合、第１，第２のノズル部１１ｂ，１１ｃの開口部の面積の合計である開口総面積は、０．１２６ｍｍ２となり、ワークとしての電子部品の搬送面３ａ側に臨む面の面積は、０．３×０．３＝０．０９ｍｍ２となる。第３の実験例においても、従来の、０．２ｍｍの径の１つのノズル部を有する電子部品搬送装置を用いた場合に比べて、１５０ｋＰａの圧力の圧縮空気を噴出した場合、噴出開始から噴出完了までの時間を１２ｍ秒短縮することができた。
【００７４】
図８は、第４の実験例において用いた貫通孔及び第１，第２のノズル部の開口部の形状を模式的に示す正面図である。ここでは、第３の実験例と同様に、０．６×０．３×０．３ｍｍの電子部品を用いた。そして、第３の実験例とは異なり、第２の実験例と同様に、開口部が円形の貫通孔４４ｂを搬送テーブル４に形成した。この貫通孔４４ｂの直径Ｘ４を０．４５ｍｍとし、第１，第２のノズル部１１ｂ，１１ｃの開口部については、長さ方向寸法を０．４５ｍｍとし、幅方向寸法Ｙ４を０．１５ｍｍとした。上記貫通孔４４ｂの開口面積は、（０．４５／２）２π＝０．１５９０ｍｍ２となり、上記第１，第２のノズル部の開口面積の総面積は、０．０９５６ｍｍ２となる。他方、電子部品６の搬送面に臨む面の面積は、０．０９ｍｍ２である。この場合においても、第３の実験例と同様に、噴出開始から噴出完了までの時間を第３の実験例で用いた従来例の場合に比べて１２ｍ秒短縮することができた。
【００７５】
上記実施形態では、搬送テーブルは円板状の形状を有し、中心軸４ａの周りに時計回りに回転駆動されていたが、搬送テーブルは、円板状の形状を有する必要は必ずしもない。また、搬送テーブルは、直線状等の他の方向に移動され、それによって、搬送テーブルに設けられた貫通孔を、周方向ではなく、他の方向に搬送させるように搬送路を構成してもよい。すなわち、本発明のワーク搬送装置は、円板状の搬送テーブルを搬送ステージの搬送面に対し回転させる行動に限定されるものではない。
【００７６】
また、上記電子部品搬送装置では、ワークとしての電子部品が搬送されていたが、電子部品以外の他のワークを搬送する用途に用いられてもよい。
【００７７】
また、上記実施形態では、圧縮気体として圧縮空気を用いたが、窒素等の他の不活性な気体を用いてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００７８】
【図１】本発明の電子部品搬送装置において、電子部品を圧縮気体により取り出す部分を示す部分切欠拡大側面断面図。
【図２】（ａ）は、本発明の一実施形態の電子部品搬送装置の正面図であり、（ｂ）は搬送面に設けられた吸引溝を説明するための正面図。
【図３】図２のＡ−Ａ′線に沿う部分を拡大して示す側面断面図。
【図４】（ａ）は、本発明の一実施形態において、電子部品が取り出される部分の噴出孔の形状を説明するための部分切欠拡大側面断面図であり、（ｂ）は、貫通孔と第１，第２のノズル孔との関係を模式的に示す斜視図。
【図５】第１の実験例における貫通孔の開口部の寸法と、電子部品の搬送面に臨むための面積と、第１，第２のノズル孔の寸法との関係を模式的に示す正面図。
【図６】（ａ）は、第２の実験例で用意した貫通孔及び第１，第２のノズル孔と電子部品の形状の関係を示す模式的斜視図であり、（ｂ）は、第２の実験例における貫通孔、電子部品及び第１，第２のノズル部の開口の寸法関係を模式的に示す正面図。
【図７】第３の実験例における貫通孔の開口部の寸法と、電子部品の搬送面に臨むための面積と、第１，第２のノズル部の開口の寸法との関係を模式的に示す正面図。
【図８】第４の実験例における貫通孔の開口部の寸法と、電子部品の搬送面に臨むための面積と、第１，第２のノズル部の寸法との関係を模式的に示す正面図。
【図９】従来例及び実施形態において、噴出孔から圧縮空気が噴出される際の流路の時間的変化を示す図。
【図１０】従来の電子部品搬送装置において、電子部品が取り出される部分を説明するための模式的正面断面図。
【符号の説明】
【００７９】
１…電子部品搬送装置
２…ベースプレート
３…搬送ステージ
３ａ…搬送面
３ｂ，３ｃ…吸引用凹部
４…搬送テーブル
４ａ…中心軸
４ｂ…貫通孔
４ｃ…第１の面
４ｄ…第２の面
４ｅ…吸引溝
５…駆動装置
６…電子部品
７…電子部品供給装置
８…特性測定装置
９…取り出し装置
１０…吸引源
１１…噴出孔
１１ａ…噴出孔本体部
１１ｂ，１１ｃ…ノズル部
１１ｄ…係止部
２４ｂ，３４ｂ，４４ｂ…貫通孔
【技術分野】
【０００１】
本発明は、チップ型電子部品などの多数のワークを搬送するためのワーク搬送装置に関し、より詳細には、ワークが収納される収納部としての貫通孔が設けられている搬送テーブルを搬送ステージ上で移動させることによりワークを搬送する形式のワーク搬送装置及び電子部品搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、チップ型電子部品の製造に際しては、チップ型電子部品を作製し、特性を検査した後、特性に応じて良品や不良品の選別が行われている。また、特性に応じて、得られたチップ型電子部品を複数のグループに分別することも行われている。これらの作業を自動化し、生産性を高めるために、様々な製造装置が提案されている。
【０００３】
例えば下記の特許文献１には、この種の電子部品搬送装置の一例が開示されている。この電子部品搬送装置では、電子部品を搬送するために、テーブルベースの搬送面に接触するように、円板状の搬送テーブルが配置されている。円板状の搬送テーブルは、その中心軸まわりに回転し得るように、回転駆動源に連結されている。そして、ホッパーから順次供給される１個の電子部品が収納される貫通孔が搬送テーブルの周方向に沿って複数形成されている。この各貫通孔内に電子部品がホッパーから供給される。搬送テーブルがテーブルベースの搬送面上をスライドしつつ回転することにより、電子部品が搬送テーブルの周方向に搬送される。
【０００４】
ここでは、電子部品を搬送テーブルの周方向に搬送する間に、電子部品の特性の測定が行われている。そして、測定結果に基づき、良品・不良品の選別をしたり、特性値に応じて分別するために、特性が測定された電子部品が、上記貫通孔から適宜の電子部品取り出し手段を用いて取り出される。
【０００５】
なお、上記搬送に際し電子部品の姿勢を保持するために、上記搬送面には、上記貫通孔に連なる吸引用凹部が形成されており、該吸引用凹部が真空吸引源などに接続されている。
【０００６】
他方、特性の測定を終えた電子部品の取り出しに際しては、図１０に示す構造が用いられている。すなわち、図１０に示すように、電子部品搬送装置１０１では、上記搬送テーブル１０２が、貫通孔１０２ａを有する。貫通孔１０２ａに、電子部品１０４が収納されている。なお、搬送テーブル１０２の一方面１０２ｂは、テーブルベース１０３の搬送面１０３ａと当接されている。
【０００７】
そして、テーブルベース１０３の搬送面１０３ａにおいては、電子部品１０４の取り出し位置に、噴出孔１０３ｂが開口している。噴出孔１０３ｂは、搬送面１０３ａから搬送面１０３ａとは反対側の面１０３ｃ側に向かって延ばされており、かつ圧縮空気供給ホース１０５に接続されている。圧縮空気供給ホース１０５は、コンプレッサーやボンベ等の圧縮空気供給源に接続されている。
【０００８】
測定を終えた電子部品１０４が、搬送テーブル１０２の回転により電子部品取り出し位置にきたとき、貫通孔１０２ａの一部に、貫通孔１０２ａの開口部よりも小さな径の上記噴出孔１０３ｂが臨むことになる。そして、噴出孔１０３ｂから圧縮空気が噴射される。圧縮空気の圧力により、電子部品１０４が貫通孔１０２ａ外方に移動され、電子部品１０４が取り出される。
【０００９】
この方法によれば、機械的な衝撃を与えることなく電子部品１０４を取り出し得るので、電子部品１０４の損傷が生じ難い。
【特許文献１】特開２００４−２２６１０１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
ところで、搬送テーブル１０２は、前述したように、テーブルベース１０３とは独立に、テーブルベース１０３の搬送面１０３ａ上をスライドしつつ移動する。従って、上記圧縮空気により電子部品１０４が取り出された後、搬送テーブル１０２がさらに回転される。その結果、上記噴出孔１０３ｂは、搬送テーブル１０２の一方面１０２ｂにより再度閉じられることになる。
【００１１】
この場合、圧縮空気が完全に貫通孔１０２ａ内に排出されて電子部品１０４が取り出され、しかる後、圧縮空気の供給を停止した後に、噴出孔１０３ｂが搬送テーブル１０２の一方面１０２ｂで閉じられた場合には、問題は生じない。
【００１２】
しかしながら、搬送速度を高めた場合には、圧縮空気が噴出孔１０３ｂ内に残存した状態のまま、噴出孔１０３ｂの開口部が搬送テーブル１０２により閉じられることがあった。その場合には、噴出孔１０３ｂ内に、圧縮空気が残存し、残圧が生じる。
【００１３】
従って、搬送テーブル１０２がさらに回転し、上記電子部品取り出し位置では取り出してはいけない電子部品が収納されている次の貫通孔が上記噴出孔１０３ｂ上に移動してくると、本来取り出すべきではない電子部品が残圧により取り出されることがあった。よって、従来の電子部品搬送装置では、電子部品１０４を取り出した後、搬送テーブル１０２を直ちに回転移動させず空気を完全に排出させるために、搬送テーブル１０２を所定時間待機させねばならなかった。すなわち、上記残圧を開放するために、待機時間が必要であり、電子部品搬送装置を高速稼働することができなかった。
【００１４】
特に、電子部品のサイズが小さくなるにつれて、上記噴出孔１０３ｂの大きさも小さくする必要があった。そのため、噴出孔１０３ｂの大きさが小さくなると、空気噴出量が十分ではないため、より一層、残圧を除去するための待機時間を長くしなければならなかった。また、待機時間を長くしたとしても、残圧が十分に開放され難くなるという問題もあった。
【００１５】
本発明の目的は、上述した従来技術の欠点を解消し、ワークが収納されている貫通孔に噴出孔から高圧の気体を噴出させてワークを貫通孔から取り出す構造を備えたワーク搬送装置であって、上記残圧による問題を解消することができ、従って、ワークの予期しない飛び出しを防止でき、かつワークの取り出し工程を含めた搬送工程の高速化を図ることが可能とされている、ワーク搬送装置及び電子部品搬送装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明に係るワーク搬送装置は、ワークが搬送される搬送面を有する搬送ステージと、前記搬送ステージの前記搬送面に対向するように配置された第１の面と、第１の面とは反対側の第２の面とを有し、第１，第２の面を貫通する貫通孔が備えられている搬送テーブルと、前記搬送テーブルの第１の面を前記搬送ステージの搬送面に対向させた状態で前記搬送テーブルを搬送面に対してスライドさせつつ移動させることを可能とするように、前記搬送テーブル及び／または前記搬送ステージに連結された駆動装置とを備え、前記搬送テーブルの前記貫通孔にワークを挿入した状態で、前記搬送テーブルが前記搬送面に対して移動されることにより前記ワークが搬送されるワーク搬送装置であって、前記搬送ステージの搬送面に、前記貫通孔に挿入された前記ワークを取り出すために、前記貫通孔と重なり合い得るようにワーク取り出し位置に設けられており、圧縮気体を噴出させるための噴出孔が設けられており、前記噴出孔に連結された圧縮気体供給装置とをさらに備え、前記噴出孔の前記搬送テーブル側の開口部の総面積が、前記ワークの前記搬送ステージの前記搬送面側に対向している端面の面積以上の大きさとされていることを特徴とする。
【００１７】
本発明に係るワーク搬送装置では、好ましくは、前記搬送ステージの搬送面に、前記貫通孔に接続されている吸引用凹部が形成されており、前記搬送テーブルの第１の面において前記貫通孔に連ねられており、かつ前記吸引用凹部に連通されている吸引溝が形成されており、前記吸引用凹部に連結された吸引装置がさらに備えられている。この場合には、吸引装置からの吸引により、ワークを搬送するに際し、ワークを適切な姿勢に確実に保持することができる。
【００１８】
本発明に係るワーク搬送装置では、好ましくは、前記噴出孔が、噴出孔本体部と、噴出孔本体部と噴出孔の開口部外面とを結んでおり、噴出孔本体部よりも細いノズル部とを有し、該ノズル部における圧縮気体流路長が、前記貫通孔の前記搬送面側の開口部の面積の平方根の６０％以下とされている。この場合には、圧縮気体噴射時の流体抵抗を低くすることができ、圧縮気体の流量を多くすることができる。それによって、ワークを貫通孔からより確実に取り出すことができる。また、圧縮気体の吹き出しから吹き出し停止までの動作時間を短縮することができ、ワーク搬送装置における処理速度を高めることが可能となる。
【００１９】
本発明に係るワーク搬送装置では、好ましくは、前記噴出孔の開口部が、前記ワーク搬送方向が長さ方向とされている長孔状の形状とされている。この場合には、ワークを収納するための貫通孔の位置が搬送方向において多少ずれたとしても、残圧を確実に開放することができる。すなわち、搬送方向における上記貫通孔の位置決め精度を低くしたとしても、残圧を開放することができる。
【００２０】
前記噴出孔において、ノズル部が複数設けられている場合には、複数のノズル部間の部分にワークが当接載置されるので、ワークがノズル部の開口縁に引っかかり難い。
【００２１】
複数のノズル部が、第１，第２のノズル部であり、ワークの一部が第１，第２のノズル部間の部分に位置するように第１，第２のノズル部が配置されている場合には、ワークが、第１，第２のノズル部間の部分上を移動することになるため、第１，第２のノズル部の開口縁にワークが引っかかり難い。
【００２２】
本発明においては、好ましくは、上記搬送テーブルは中心軸を有する円板状の形状を有し、該搬送テーブルが、前記駆動装置により中心軸周りに回転駆動するように構成されている。この場合には、貫通孔に挿入されたワークが、搬送テーブルの回転に伴って、搬送テーブルの周方向に搬送されることになる。従って、円板状の搬送テーブル内において、周方向に搬送路が設けられることになるため、ワーク搬送装置の小型化及び設置スペースの低減することが可能となる。
【００２３】
本発明のワーク搬送装置で搬送されるワークは、特に限定されないが、好ましくは、ワークとして電子部品が搬送される。特に、外形寸法が小さい、チップ型電子部品などの小型の電子部品を搬送するのに本発明のワーク搬送装置は好適に用いられる。
【発明の効果】
【００２４】
本発明に係るワーク搬送装置では、搬送ステージの搬送面に対向するように搬送テーブルが配置されており、搬送テーブルに設けられた貫通孔にワークが挿入された状態で、搬送テーブルが、搬送面に対して移動されることによりワークが搬送される。
【００２５】
ワーク取り出し位置においては、貫通孔と重なり合うように搬送ステージに噴出孔が設けられている。従って、噴出孔に連結された圧縮気体供給装置から圧縮気体を噴出させることにより、ワーク取り出し位置において、圧縮空気の圧力により、ワークを貫通孔から速やかに取り出すことができる。しかも、噴出孔の搬送テーブル側の開口部の総面積が、ワークの搬送ステージの搬送面に対向している面の面積以上の大きさとされているので、圧縮空気が噴出孔から高速で、かつ速やかに噴出される。
【００２６】
従って、上記噴出孔が搬送テーブルを回転させて閉じられた際に残圧が生じ難い。よって、残圧による、以降のワークの所望でない飛び出しを防止することかできるとともに、ワーク搬送装置における搬送速度を高めることができ、ワークの生産性を高めることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。
【００２８】
図２（ａ），（ｂ）は、本発明の一実施形態に係る電子部品搬送装置を示す略図的正面図及び後述の搬送テーブルを除いた状態の略図的正面図である。
【００２９】
電子部品搬送装置１は、ベースプレート２を有する。本実施形態では、ベースプレート２は、設置スペースにおいて上下方向に延びるように立設されている。もっとも、ベースプレート２は、上下方向から傾斜されていてもよく、またベースプレート２は、水平方向に延びるように配置されていてもよい。
【００３０】
ベースプレート２の一方面２ａ上に、搬送ステージ３が配置されている。搬送ステージ３は、本実施形態では、円板状のプレートであるが、角板状等の他の形状を有していてもよい。搬送ステージ３は、ベースプレート２に対して固定されている。搬送プレート３は、ベースプレート２側とは反対側の面に搬送面３ａを有する。
【００３１】
搬送面３ａ上に、搬送テーブル４が配置されている。搬送テーブル４は、円板状の形状を有する。搬送テーブル４は、中心軸４ａの周りに回転し得るように配置されており、該中心軸４ａが、略図的に示す駆動装置５に連結されている。駆動装置５により、搬送テーブル４は、時計回りに回転移動されるように構成されている。
【００３２】
なお、本実施形態では、搬送テーブル４が中心軸４ａの周りに時計回りに回転されるが、搬送テーブル４が固定されており、搬送ステージ３が中心軸周りに回転されていてもよく、また搬送ステージ３と搬送テーブル４の双方が中心軸４ａの周りに異なる速度で、あるいは逆方向に回転されてもよい。
【００３３】
すなわち、搬送テーブル４が、相対的に搬送ステージ３の搬送面３ａに対して移動されるように構成されておりさえすればよい。
【００３４】
搬送テーブル４は、例えば金属もしくは合成樹脂などの硬質材料からなる。この搬送テーブル４の外周近傍には、複数の貫通孔４ｂが周方向に整列配置されている。貫通孔４ｂはワークとしての電子部品が収納される収納部を構成している。この複数の貫通孔４ｂは、周方向に２列形成されている。
【００３５】
もっとも、複数の貫通孔４ｂからなる列の数は特に限定されず、１列、あるいは３列以上の形態で、複数の貫通孔４ｂが配置されてもよい。
【００３６】
図３に図２のＡ−Ａ線に沿う部分を部分切欠断面図で示す。図３から明らかなように、搬送テーブル４は、搬送ステージ３の搬送面３ａ上に当接もしくは近接されている第１の面４ｃと、第１の面４ｃとは反対側の面である第２の面４ｄとを有する。貫通孔４ｂは、第１の面４ｃから第２の面４ｄに向かって貫通している。貫通孔４ｂの第２の面４ｄにおける開口部は、電子部品６が入り込み得る大きさとされている。
【００３７】
本実施形態では、貫通孔４ｂは、第２の面４ｄにおいて矩形の開口形状を有するように設けられている。
【００３８】
図２（ａ）に戻り、電子部品は、上記貫通孔４ｂに、搬送テーブル４の第２の面４ｄ側から、電子部品供給装置７により挿入される。この電子部品供給装置７としては、ホッパーや適宜の電子部品供給装置を用いることができ、特に限定されるものではない。
【００３９】
また、上記搬送テーブル４が時計回りに回転されることにより、搬送テーブル４の第１の面４ｃが、搬送ステージ３の搬送面３ａ上をスライドするように、搬送テーブル４が移動する。その結果、貫通孔４ｂに収納された電子部品６が、搬送テーブル４の周方向に搬送されていくが、その搬送路の途中には、特性測定装置８が配置されている。特性測定装置８は、例えば電子部品の電極に当接される複数のプローブを有し、電子部品６の電気的特性を測定するために設けられている。この測定結果に応じて良品や不良品の判別が行われたり、あるいは特性値に応じて、搬送されてくる電子部品のグループ分けが行われる。
【００４０】
上記測定装置８としては、測定される特性に応じて様々な電気的計測装置を用いることができる。
【００４１】
他方、図２（ｂ）において、上記搬送テーブル４を取り外し、搬送ステージ３の搬送面３ａを露出させた状態を示すように、搬送面３ａには、２本の吸引用凹部３ｂ，３ｃが同心円上に設けられている。この吸引用凹部３ｂ，３ｃは、搬送ステージ３上に配置されている搬送テーブル４の貫通孔４ｂの一部に後述の吸引溝を介して連ねられるように設けられている。同心円上に２本の吸引凹部３ｂ，３ｃが設けられているのは、複数の貫通孔が周方向に２列整列配置されていることによる。すなわち、一方の吸引凹部３ｂは、複数の貫通孔４ｂからなる２列のうち、大きな径の列の径方向外側に位置しており、吸引凹部３ｃは、貫通孔４ｂの小さな径の列の径方向外側に位置されている。そして、外側の列の貫通孔４ｂに、後述の吸引溝を介して、吸引凹部３ｃが接続されており、内側の列の貫通孔４ｂには、後述の吸引溝により、内側の吸引凹部３ｂが接続される。吸引用凹部３ｂ，３ｃは、図２（ｂ）に示すように真空吸引源などの吸引源１０に接続されている。
【００４２】
図３に示すように、上記貫通孔４ｂは、第１の面４ｃ側において、搬送テーブル４の径方向に延びる吸引溝４ｅに連ねられている。この吸引溝４ｅは、その一部が上記吸引用凹部３ｂまたは吸引用凹部３ｃに重なり合う位置に設けられている。
【００４３】
従って、吸引用凹部３ｂ，３ｃから吸引源１０により吸引することにより、その負圧により電子部品は、貫通孔４ｂ内において正しい位置に保持される。
【００４４】
他方、電子部品取り出し装置９においては、図２（ｂ）に示すように、複数の噴出孔１１が搬送面３ａに開口している。
【００４５】
この噴出孔１１が設けられている部分を図４（ａ）に部分切欠拡大断面図で、図４（ｂ）に、模式的斜視図で示す。
【００４６】
図４（ａ）に示すように、搬送ステージ３には、搬送面３ａ上に開口している噴出孔１１が設けられている。そして、この噴出孔１１は、前述したように、電子部品搬送装置１において、電子部品６を取り出すべき位置に設けられている。
【００４７】
本実施形態では、噴出孔１１は、噴出孔本体部１１ａと、搬送面３ａに開口している第１，第２のノズル部１１ｂ，１１ｃとを有する。噴出孔本体部１１ａは、前述した圧縮空気供給源に接続されており、該噴出孔本体部１１ａに比べて、ノズル部１１ｂ，１１ｃは横断面が細くされている。なお、横断面とは、圧縮空気が通過する方向に直交する方向の断面をいうものとする。そして、このノズル部１１ｂ，１１ｃの開口部の横断面方向の面積、すなわちノズル部１１ｂ，１１ｃの開口総面積は、電子部品６の搬送面３ａに対向している面６ａの面積よりも大きくされている。言い換えれば、電子部品６が貫通孔４ｂの搬送面３ａ側の開口内において占有している専有面積以上の大きさの開口総面積となるように、上記第１，第２のノズル部１１ｂ，１１ｃが設けられている。
【００４８】
また、図４（ａ），（ｂ）に示すように、上記第１のノズル部１１ｂと、第２のノズル部１１ｃとの間に、係止部１１ｄが設けられている。係止部１１ｄに、上記電子部品６が載置され、電子部品６の下方への落下が抑制されている。また、係止部１１ｄが設けられているため、電子部品６は、ノズル部１１ｂ，１１ｃの開口縁に引っかかり難い。
【００４９】
すなわち、上記係止部１１ｄが設けられていないと、電子部品６が電子部品取り出し位置に移動してきたときに、第１，第２のノズル部１１ｂ，１１ｃの開口縁に引っかかったりし、搬送テーブル４の移動に支障をきたすおそれがある。
【００５０】
これに対して、上記係止部１１ｄ上に電子部品６が確実に載置され、摺動されるので、電子部品６が、第１，第２のノズル部１１ｂ，１１ｃの開口縁に引っかかり難い。
【００５１】
なお、電子部品６では、外部電極形成部分のコーナー部分が図示のように丸みを帯びているので、係止部１１ｄの上を通過するに際し、電極には傷はつき難い。
【００５２】
図４（ｂ）に示すように、第１，第２のノズル部１１ｂ，１１ｃの開口縁は、長孔状の形状を有している。この長孔状の形状の長さ方向は、電子部品６の搬送方向に略一致されている。すなわち、搬送テーブル４の周方向に電子部品６が搬送されるので、上記長孔の長さ方向は上記搬送テーブル４の周方向に略一致されている。
【００５３】
このように、電子部品６の搬送方向に略一致するように、長孔状の長さ方向が選ばれているので、電子部品取り出し位置において、貫通孔４ｂが、若干搬送方向においてずれたとしても、貫通孔４ｂを、噴出孔１１上に確実に位置させることができる。従って、電子部品搬送装置１における搬送テーブル４の回転に際しての貫通孔４ｂの位置決め精度を低くすることができるとともに、その場合であっても確実に電子部品６を貫通孔４ｂから取り出すことができる。
【００５４】
本実施形態の電子部品搬送装置１では、上記噴出孔１１には、圧縮空気供給装置１２が接続され、それによって圧縮気体としての圧縮空気が、噴出孔１１の第１，第２のノズル部１１ｂ，１１ｃから貫通孔４ｂ側に噴出される。それによって、電子部品６が貫通孔４ｂから容易に取り出される。この場合、上記第１，第２のノズル部１１ｂ，１１ｃの開口総面積が上記のように設定されているので、圧縮空気が速やかに貫通孔４ｂ内に噴出される。
【００５５】
図９に示すように、本実施形態によれば、第１，第２のノズル部１１ｂ，１１ｃから圧縮空気を噴出させた場合、上記第１，第２のノズル部の開口総面積が比較的大きいため、当初から圧縮空気が大きな流路で噴出する。従って、短時間で必要な量の圧縮空気の噴出を完了することができる。これに対して、従来の電子部品搬送装置では、噴出孔の開口面積が比較的小さいため、同じ量の圧縮空気を噴出させた場合、噴出開始から噴出完了までの時間が図９に示すように長くなることがわかる。
【００５６】
従って、電子部品６を速やかに取り出すことができる。
【００５７】
加えて、電子部品６を取り出した後に、搬送テーブル４が回転駆動され、第１，第２のノズル部１１ｂ，１１ｃが搬送テーブル４の第１の面４ｃに覆われたとしても、残圧が生じ難い。すなわち、圧縮空気が噴出孔１１内に残り難いので、残圧が生じ難い。よって、次の貫通孔４が、該噴出孔１１の上方に移動してきたとしても、残圧により、誤って電子部品６が飛び出すことがない。
【００５８】
さらに、残圧が生じ難いため、搬送テーブル４の搬送速度を高め、すなわち前述した先行技術において必要であった待機時間を短くしたり、場合によっては待機時間を設けることなく、電子部品６を搬送することができる。従って、電子部品６の搬送速度や搬送効率を高めることができ、電子部品６の生産性を高めることが可能となる。
【００５９】
好ましくは、上記第１，第２のノズル部１１ｂ，１１ｃの開口部外表面と、第１，第２のノズル部１１ｂ，１１ｃに連なる噴出孔本体部１１ａとの間の距離である圧縮気体噴出流路長Ｔ（図４参照）は、上記貫通孔４ｂの開口面積の平方根の６０％以下とされている。この割合が６０％以下とされていることにより、圧縮空気を、より速やかに貫通孔４ｂ内に噴出させることができ、より一層残圧を防止することができるとともに、電子部品６の搬送効率を高めることができる。
【００６０】
なお、本実施形態では、上記第１，第２のノズル部１１ｂ，１１ｃが設けられていたが、電子部品の形状に応じて、３以上の複数のノズル部が設けられてもよい。
【００６１】
また、ノズル部の開口形状は、長孔状である必要は必ずしもなく、正方形あるいは円形等の形状であってもよい。もっとも、好ましくは、上記のように長さ方向が搬送方向に略一致されている形状の開口を形成することが望ましい。
【００６２】
次に、上記電子部品搬送装置１を用いた電子部品の供給、搬送及び取り出し工程を説明する。
【００６３】
図２に示すように、電子部品搬送装置１を用いて特性を選別し、電子部品を搬送するにあたっては、電子部品供給装置７から、電子部品を１個ずつ、上記搬送テーブル４の貫通孔４ｂに挿入する。そして、搬送テーブル４を駆動装置５を駆動することにより、時計方向に回転させる。その結果、貫通孔４ｂに収納されている電子部品６は、搬送テーブル４の周方向において時計周りに搬送されることになる。この場合、吸引用凹部３ｂ，３ｃから吸引することにより、貫通孔４ｂ内において電子部品６が正しい姿勢に保持されて搬送が行われる。
【００６４】
そして、特性測定装置８において、搬送されてきた電子部品６の特性が測定され、特性結果に応じて、電子部品の分別が行われる。すなわち、電子部品取り出し装置９において電子部品を取り出すに際し、良品のみを特定の位置で取り出し、不良品を異なる位置で取り出したり、特性値に応じて、複数の異なる位置において電子部品を取り出すことが決定される。このように特性測定結果に応じて、電子部品取り出し装置９において特定の電子部品取り出し位置で電子部品が取り出されるが、このような制御は、電子部品搬送装置１に、制御手段を接続し、特性測定装置８から得られた測定結果に応じて、電子部品装置９を駆動すればよい。
【００６５】
電子部品取り出し装置９においては、前述したように、貫通孔４ｂ内に収納されている電子部品６が取り出されるが、この場合、圧縮空気を、噴出孔１１の第１，第２のノズル部１１ｂ，１１ｃから噴出させ、電子部品６が取り出される。すなわち、例えば図２（ｂ）のＣで示す位置で、第１のグループの電子部品を取り出す場合には、矢印Ｃで示す位置に存在する噴出孔１１において圧縮空気を噴出させ、電子部品を取り出す。そして、第２のグループの電子部品は図２（ｂ）のＤで示す位置の噴出孔１１において取り出す場合には、第２のグループの電子部品が、矢印Ｄで示す噴出孔１１の部分に来たときに該噴出孔１１から圧縮空気を噴出させ、電子部品を取り出せばよい。
【００６６】
そして、第２のグループの電子部品が、上記搬送路に沿って移動されてきた際に、矢印Ｃで示す噴出孔１１には残圧が生じ難いため、残圧により、第２のグループの電子部品が誤って貫通孔４ｂから飛び出すおそれがない。また、残圧が生じ難いため、前述したように、搬送テーブル４による搬送効率を高めることが容易である。
【００６７】
次に、具体的な第１〜第４の実験例を説明する。
【００６８】
第１の実験例では、１ｍｍ×０．５ｍｍ×０．５ｍｍのチップ型電子部品を搬送した場合を評価した。この場合、チップ型電子部品は、長さ方向が貫通孔４ｂの深さ方向となるように貫通孔４ｂに挿入した。図５に模式的平面図で示すように貫通孔４ｂは、実線で示す輪郭を有し、コーナー部が丸められた略正方形の形状を有し、向かい合う２辺間の距離Ｘ１を０．７１ｍｍとし、コーナー部にＲを付与し、開口部分の面積を０．４９５５ｍｍ２とした。
【００６９】
他方、上記第１，第２のノズル部１１ｂ，１１ｃについては、図５に示すように、開口部を長孔状の形状とし、長さ方向寸法を、０．７１ｍｍより長くし、幅方向寸法Ｙ１を０．２８ｍｍとし、第１，第２のノズル部の開口総面積を０．３９７６ｍｍ２とした。従って、上記電子部品６の開口部４ｂ内における専有面積、すなわち搬送面３ａに対向し合う面積は、０．５ｍｍ×０．５ｍｍ＝０．２５ｍｍ２であるため、上記噴出孔１１の第１，第２のノズル部の開口総面積よりも小さくされている。このような条件で、１５０ｋＰａの圧縮空気を噴射させたところ、同じ圧力の圧縮空気を、従来の０．２ｍｍの径の噴出孔を有する場合に比べて、電子部品を取り出すのに必要な噴出開始から噴出完了までの時間を約１５ｍ秒短縮することができた。
【００７０】
図６（ａ）は、第２の実験例を説明するための模式的斜視図であり、（ｂ）は、図５と同様にノズル孔の形状と電子部品との関係を模式的に示す正面図である。第２の実験例では、貫通孔２４ｂが円筒状の形状を有する。この円筒状の形状において、開口部の直径Ｘ２は０．８ｍｍとした。また、電子部品６としては、第１の実験例と同様に１ｍｍ×０．５ｍｍ×０．５ｍｍの寸法のものを用いた。図６（ｂ）に示すように、第１，第２のノズル部１１ｂ，１１ｃの開口部の形状は、第１の実験例と同様に長孔状とし、ただし、長さ方向寸法Ｚは０．８ｍｍよりも長くし、幅方向寸法Ｙ２は０．２８ｍｍとした。この場合、貫通孔２４ｂの開口面積は、（０．８／２）２π＝０．５０２４ｍｍ２となる。
【００７１】
第１，第２のノズル部の開口部の総面積は、０．３８０８ｍｍ２であり、電子部品６の搬送面３ａ側に臨む面６ａの面積は、第１の実験例と同様に０．２５ｍｍ２である。このように、円形の貫通孔２４ｂが搬送テーブルに設けられている場合においても、第１の実験例と同様に、従来の０．２ｍｍの径の噴出孔を有する電子部品搬送装置を用いた場合に比べて、圧縮空気の噴射から噴射完了までの時間を１５ｍ秒短縮することができた。
【００７２】
第２の実験例から明らかなように、貫通孔の開口部の平面形状は、矩形に限らず、円形等の他の形状であってもよい。
【００７３】
第３の実験例では、０．６ｍｍ×０．３ｍｍ×０．３ｍｍの寸法の電子部品を用意し、図７に示すように、貫通孔３４の開口部を、０．４２ｍｍ×０．４２ｍｍの矩形のコーナー部を丸めた形状とした。この開口部３４ｂの開口面積は、０．１６７８ｍｍ２である。第１，第２のノズル部１１ｂ，１１ｃの開口部の長さ方向寸法Ｚは、０．４２ｍｍよりも長くし、幅方向寸法Ｙ３は０．１５ｍｍとした。この場合、第１，第２のノズル部１１ｂ，１１ｃの開口部の面積の合計である開口総面積は、０．１２６ｍｍ２となり、ワークとしての電子部品の搬送面３ａ側に臨む面の面積は、０．３×０．３＝０．０９ｍｍ２となる。第３の実験例においても、従来の、０．２ｍｍの径の１つのノズル部を有する電子部品搬送装置を用いた場合に比べて、１５０ｋＰａの圧力の圧縮空気を噴出した場合、噴出開始から噴出完了までの時間を１２ｍ秒短縮することができた。
【００７４】
図８は、第４の実験例において用いた貫通孔及び第１，第２のノズル部の開口部の形状を模式的に示す正面図である。ここでは、第３の実験例と同様に、０．６×０．３×０．３ｍｍの電子部品を用いた。そして、第３の実験例とは異なり、第２の実験例と同様に、開口部が円形の貫通孔４４ｂを搬送テーブル４に形成した。この貫通孔４４ｂの直径Ｘ４を０．４５ｍｍとし、第１，第２のノズル部１１ｂ，１１ｃの開口部については、長さ方向寸法を０．４５ｍｍとし、幅方向寸法Ｙ４を０．１５ｍｍとした。上記貫通孔４４ｂの開口面積は、（０．４５／２）２π＝０．１５９０ｍｍ２となり、上記第１，第２のノズル部の開口面積の総面積は、０．０９５６ｍｍ２となる。他方、電子部品６の搬送面に臨む面の面積は、０．０９ｍｍ２である。この場合においても、第３の実験例と同様に、噴出開始から噴出完了までの時間を第３の実験例で用いた従来例の場合に比べて１２ｍ秒短縮することができた。
【００７５】
上記実施形態では、搬送テーブルは円板状の形状を有し、中心軸４ａの周りに時計回りに回転駆動されていたが、搬送テーブルは、円板状の形状を有する必要は必ずしもない。また、搬送テーブルは、直線状等の他の方向に移動され、それによって、搬送テーブルに設けられた貫通孔を、周方向ではなく、他の方向に搬送させるように搬送路を構成してもよい。すなわち、本発明のワーク搬送装置は、円板状の搬送テーブルを搬送ステージの搬送面に対し回転させる行動に限定されるものではない。
【００７６】
また、上記電子部品搬送装置では、ワークとしての電子部品が搬送されていたが、電子部品以外の他のワークを搬送する用途に用いられてもよい。
【００７７】
また、上記実施形態では、圧縮気体として圧縮空気を用いたが、窒素等の他の不活性な気体を用いてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００７８】
【図１】本発明の電子部品搬送装置において、電子部品を圧縮気体により取り出す部分を示す部分切欠拡大側面断面図。
【図２】（ａ）は、本発明の一実施形態の電子部品搬送装置の正面図であり、（ｂ）は搬送面に設けられた吸引溝を説明するための正面図。
【図３】図２のＡ−Ａ′線に沿う部分を拡大して示す側面断面図。
【図４】（ａ）は、本発明の一実施形態において、電子部品が取り出される部分の噴出孔の形状を説明するための部分切欠拡大側面断面図であり、（ｂ）は、貫通孔と第１，第２のノズル孔との関係を模式的に示す斜視図。
【図５】第１の実験例における貫通孔の開口部の寸法と、電子部品の搬送面に臨むための面積と、第１，第２のノズル孔の寸法との関係を模式的に示す正面図。
【図６】（ａ）は、第２の実験例で用意した貫通孔及び第１，第２のノズル孔と電子部品の形状の関係を示す模式的斜視図であり、（ｂ）は、第２の実験例における貫通孔、電子部品及び第１，第２のノズル部の開口の寸法関係を模式的に示す正面図。
【図７】第３の実験例における貫通孔の開口部の寸法と、電子部品の搬送面に臨むための面積と、第１，第２のノズル部の開口の寸法との関係を模式的に示す正面図。
【図８】第４の実験例における貫通孔の開口部の寸法と、電子部品の搬送面に臨むための面積と、第１，第２のノズル部の寸法との関係を模式的に示す正面図。
【図９】従来例及び実施形態において、噴出孔から圧縮空気が噴出される際の流路の時間的変化を示す図。
【図１０】従来の電子部品搬送装置において、電子部品が取り出される部分を説明するための模式的正面断面図。
【符号の説明】
【００７９】
１…電子部品搬送装置
２…ベースプレート
３…搬送ステージ
３ａ…搬送面
３ｂ，３ｃ…吸引用凹部
４…搬送テーブル
４ａ…中心軸
４ｂ…貫通孔
４ｃ…第１の面
４ｄ…第２の面
４ｅ…吸引溝
５…駆動装置
６…電子部品
７…電子部品供給装置
８…特性測定装置
９…取り出し装置
１０…吸引源
１１…噴出孔
１１ａ…噴出孔本体部
１１ｂ，１１ｃ…ノズル部
１１ｄ…係止部
２４ｂ，３４ｂ，４４ｂ…貫通孔
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークが搬送される搬送面を有する搬送ステージと、
前記搬送ステージの前記搬送面に対向するように配置された第１の面と、第１の面とは反対側の第２の面とを有し、第１，第２の面を貫通する貫通孔が備えられている搬送テーブルと、
前記搬送テーブルの第１の面を前記搬送ステージの搬送面に対向させた状態で前記搬送テーブルを搬送面に対してスライドさせつつ移動させることを可能とするように、前記搬送テーブル及び／または前記搬送ステージに連結された駆動装置とを備え、
前記搬送テーブルの前記貫通孔にワークを挿入した状態で、前記搬送テーブルが前記搬送面に対して移動されることにより前記ワークが搬送されるワーク搬送装置であって、
前記搬送ステージの搬送面に、前記貫通孔に挿入された前記ワークを取り出すために、前記貫通孔と重なり合い得るようにワーク取り出し位置に設けられており、圧縮気体を噴出させるための噴出孔が設けられており、
前記噴出孔に連結された圧縮気体供給装置とをさらに備え、
前記噴出孔の前記搬送テーブル側の開口部の総面積が、前記ワークの前記搬送ステージの前記搬送面側に対向している端面の面積以上の大きさとされていることを特徴とする、ワーク搬送装置。
【請求項２】
前記搬送ステージの搬送面に、前記貫通孔に接続されている吸引用凹部が設けられており、前記搬送テーブルの第１の面において、前記貫通孔に連ねられており、かつ前記吸引用凹部に連通されている吸引溝が形成されており、該吸引用凹部に連結された吸引装置がさらに備えられている、請求項１に記載のワーク搬送装置。
【請求項３】
前記噴出孔が、噴出孔本体部と、噴出孔本体部と噴出孔の前記開口部とを結んでおり、噴出孔本体部よりも細いノズル部とを有し、該ノズル部における圧縮気体流路長が、前記貫通孔の前記搬送面側の開口部の面積の平方根の６０％以下とされている、請求項１または２に記載のワーク搬送装置。
【請求項４】
前記噴出孔の前記開口部が、前記ワーク搬送方向が長さ方向とされている長孔状の形状である、請求項１〜３のいずれか１項に記載のワーク搬送装置。
【請求項５】
前記噴出孔において、前記ノズル部が複数設けられている、請求項１〜４のいずれか１項に記載のワーク搬送装置。
【請求項６】
前記複数のノズル部が、第１，第２のノズル部であり、前記ワークの一部が、第１，第２のノズル部間に位置される、請求項５に記載のワーク電子部品搬送装置。
【請求項７】
前記搬送テーブルが、中心軸を有する円板状の形状を有し、前記駆動装置により、前記搬送テーブルが、該中心軸周りに回転駆動されるように構成されており、
前記ワークが挿入される前記貫通孔が、前記搬送テーブルの回転駆動により、搬送テーブルの周方向に移動されるように構成されている、請求項１〜６のいずれか１項に記載のワーク搬送装置。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか１項に記載のワーク搬送装置であって、前記ワークとして電子部品が搬送される、電子部品搬送装置。
【請求項１】
ワークが搬送される搬送面を有する搬送ステージと、
前記搬送ステージの前記搬送面に対向するように配置された第１の面と、第１の面とは反対側の第２の面とを有し、第１，第２の面を貫通する貫通孔が備えられている搬送テーブルと、
前記搬送テーブルの第１の面を前記搬送ステージの搬送面に対向させた状態で前記搬送テーブルを搬送面に対してスライドさせつつ移動させることを可能とするように、前記搬送テーブル及び／または前記搬送ステージに連結された駆動装置とを備え、
前記搬送テーブルの前記貫通孔にワークを挿入した状態で、前記搬送テーブルが前記搬送面に対して移動されることにより前記ワークが搬送されるワーク搬送装置であって、
前記搬送ステージの搬送面に、前記貫通孔に挿入された前記ワークを取り出すために、前記貫通孔と重なり合い得るようにワーク取り出し位置に設けられており、圧縮気体を噴出させるための噴出孔が設けられており、
前記噴出孔に連結された圧縮気体供給装置とをさらに備え、
前記噴出孔の前記搬送テーブル側の開口部の総面積が、前記ワークの前記搬送ステージの前記搬送面側に対向している端面の面積以上の大きさとされていることを特徴とする、ワーク搬送装置。
【請求項２】
前記搬送ステージの搬送面に、前記貫通孔に接続されている吸引用凹部が設けられており、前記搬送テーブルの第１の面において、前記貫通孔に連ねられており、かつ前記吸引用凹部に連通されている吸引溝が形成されており、該吸引用凹部に連結された吸引装置がさらに備えられている、請求項１に記載のワーク搬送装置。
【請求項３】
前記噴出孔が、噴出孔本体部と、噴出孔本体部と噴出孔の前記開口部とを結んでおり、噴出孔本体部よりも細いノズル部とを有し、該ノズル部における圧縮気体流路長が、前記貫通孔の前記搬送面側の開口部の面積の平方根の６０％以下とされている、請求項１または２に記載のワーク搬送装置。
【請求項４】
前記噴出孔の前記開口部が、前記ワーク搬送方向が長さ方向とされている長孔状の形状である、請求項１〜３のいずれか１項に記載のワーク搬送装置。
【請求項５】
前記噴出孔において、前記ノズル部が複数設けられている、請求項１〜４のいずれか１項に記載のワーク搬送装置。
【請求項６】
前記複数のノズル部が、第１，第２のノズル部であり、前記ワークの一部が、第１，第２のノズル部間に位置される、請求項５に記載のワーク電子部品搬送装置。
【請求項７】
前記搬送テーブルが、中心軸を有する円板状の形状を有し、前記駆動装置により、前記搬送テーブルが、該中心軸周りに回転駆動されるように構成されており、
前記ワークが挿入される前記貫通孔が、前記搬送テーブルの回転駆動により、搬送テーブルの周方向に移動されるように構成されている、請求項１〜６のいずれか１項に記載のワーク搬送装置。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか１項に記載のワーク搬送装置であって、前記ワークとして電子部品が搬送される、電子部品搬送装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【公開番号】特開２００７−３１４２７９（Ｐ２００７−３１４２７９Ａ）
【公開日】平成１９年１２月６日（２００７．１２．６）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００６−１４４５５８（Ｐ２００６−１４４５５８）
【出願日】平成１８年５月２４日（２００６．５．２４）
【出願人】（０００００６２３１）株式会社村田製作所 (3,635)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１９年１２月６日（２００７．１２．６）
【国際特許分類】
【出願日】平成１８年５月２４日（２００６．５．２４）
【出願人】（０００００６２３１）株式会社村田製作所 (3,635)
【Ｆターム（参考）】
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