信号発生装置および試験装置
【課題】指定したレベルの信号を電子デバイスに対して精度良く供給する。
【解決手段】 電子デバイスに信号を供給する信号発生装置であって、信号を生成する信号発生器と、信号発生器が生成した信号を電子デバイスに伝送する信号伝送路と、信号伝送路と信号損失が略等しく、電子デバイスと信号発生器との間で信号伝送路と並列に設けられ、信号伝送路が伝送する信号をループバックする補正基準伝送路と、与えられる信号のレベルを測定する信号測定器と、信号測定器に、信号発生器が生成した信号、又は補正基準伝送路がループバックした信号のいずれを入力するかを切り替える第１スイッチ部と、信号発生器が生成した信号のレベルと、補正基準伝送路がループバックした信号のレベルとの差分に基づいて、信号伝送路における信号損失を算出する算出部とを備える信号発生装置。
【解決手段】 電子デバイスに信号を供給する信号発生装置であって、信号を生成する信号発生器と、信号発生器が生成した信号を電子デバイスに伝送する信号伝送路と、信号伝送路と信号損失が略等しく、電子デバイスと信号発生器との間で信号伝送路と並列に設けられ、信号伝送路が伝送する信号をループバックする補正基準伝送路と、与えられる信号のレベルを測定する信号測定器と、信号測定器に、信号発生器が生成した信号、又は補正基準伝送路がループバックした信号のいずれを入力するかを切り替える第１スイッチ部と、信号発生器が生成した信号のレベルと、補正基準伝送路がループバックした信号のレベルとの差分に基づいて、信号伝送路における信号損失を算出する算出部とを備える信号発生装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、信号発生装置および試験装置に関する。特に本発明は、電子デバイスに信号を供給する信号発生装置および試験装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、ケーブルによる減衰量を表す近似式によりレベル補正した試験信号を、被試験デバイスに供給する試験装置が記載されている。
【特許文献１】特開平１０−３０７１６８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
特許文献１に記載された試験装置は、ケーブルの特性を予め取得して近似式を算出しなければならなかった。従って、特許文献１に記載された試験装置は、被試験デバイスに対して未知の特性のケーブルを介して精度よく信号を供給することができなかった。
【０００４】
そこで本発明は、上記の課題を解決することのできる信号発生装置および試験装置を提供することを目的とする。この目的は特許請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するために、本発明の第１形態においては、電子デバイスに信号を供給する信号発生装置であって、信号を生成する信号発生器と、信号発生器が生成した信号を電子デバイスに伝送する信号伝送路と、信号伝送路と信号損失が略等しく、電子デバイスと信号発生器との間で信号伝送路と並列に設けられ、信号伝送路が伝送する信号をループバックする補正基準伝送路と、与えられる信号のレベルを測定する信号測定器と、信号測定器に、信号発生器が生成した信号、又は補正基準伝送路がループバックした信号のいずれを入力するかを切り替える第１スイッチ部と、信号発生器が生成した信号のレベルと、補正基準伝送路がループバックした信号のレベルとの差分に基づいて、信号伝送路における信号損失を算出する算出部とを備える信号発生装置を提供する。
【０００６】
第１スイッチ部は、信号伝送路を、信号発生器及び信号測定器に接続するか否かを切り替える第１スイッチと、補正基準伝送路を、信号発生器及び信号測定器に接続するか否かを切り替える第２スイッチとを有してよい。第１スイッチ部は、信号発生器の出力端と、信号測定器の入力端とを接続するか否かを切り替える第３スイッチを更に有してよい。
【０００７】
信号発生装置は、信号伝送路が伝送した信号を、電子デバイスに入力するか、又は補正基準伝送路に入力するかを切り替える第２スイッチ部を更に備えてよい。第２スイッチ部は、信号伝送路が伝送した信号を補正基準伝送路に入力するか否かを切り替える第４スイッチと、信号伝送路が伝送した信号を電子デバイスに入力するか否かを切り替える第５スイッチとを有してよい。
【０００８】
算出部は、電子デバイスに信号を供給する前に、信号伝送路における信号損失を予め算出し、信号損失に基づいて信号発生器が生成する信号のレベルを制御してよい。算出部は、電子デバイスに信号を供給する前に、信号発生器に異なる周波数の信号を順次生成させ、信号伝送路における信号損失を周波数毎に予め算出してよい。算出部は、電子デバイスに信号を供給している状態において、信号伝送路における信号損失を所定のタイミングで算出し、信号損失に基づいて信号発生器が生成する信号のレベルを制御してよい。
【０００９】
本発明の第２形態においては、電子デバイスを試験する試験装置であって、電子デバイスに信号を供給する信号発生装置と、電子デバイスの出力信号に基づいて電子デバイスの良否を判定する判定部とを備え、信号発生装置は、信号を生成する信号発生器と、信号発生器が生成した信号を電子デバイスに伝送する信号伝送路と、信号伝送路と信号損失が略等しく、電子デバイスと信号発生器との間で信号伝送路と並列に設けられ、信号伝送路が伝送する信号をループバックする補正基準伝送路と、与えられる信号のレベルを測定する信号測定器と、信号測定器に、信号発生器が生成した信号、又は補正基準伝送路がループバックした信号のいずれを入力するかを切り替える第１スイッチ部と、信号発生器が生成した信号のレベルと、補正基準伝送路がループバックした信号のレベルとの差分に基づいて、信号伝送路における信号損失を算出する算出部とを有する試験装置を提供する。
【００１０】
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、電子デバイスに対して精度良く信号を供給することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではなく、また実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
【００１３】
図１は、本発明の実施形態に係る試験装置１０の構成を電子デバイス１００とともに示す。試験装置１０は、信号発生装置２０と、判定部３０とを備え、電子デバイス１００を試験する。信号発生装置２０は、電子デバイス１００に信号を供給する。判定部３０は、供給された信号に応じて出力された電子デバイス１００の出力信号に基づいて、電子デバイス１００の良否を判定する。
【００１４】
信号発生装置２０は、信号発生器３２と、信号伝送路３４と、補正基準伝送路３６と、信号測定器３８と、第１スイッチ部４０と、算出部４２とを有する。信号発生器３２は、試験信号として電子デバイス１００に供給すべき信号を生成する。信号伝送路３４は、信号発生器３２が生成した信号を電子デバイス１００に伝送する。信号伝送路３４は、一例として、試験信号を伝送するケーブルおよびパフォーマンスボード上の配線を含んでよい。本実施形態において信号伝送路３４は、入力端が第１スイッチ部４０を介して信号発生器３２の出力端に接続され、出力端が電子デバイス１００に接続される。
【００１５】
補正基準伝送路３６は、信号伝送路３４と信号損失が略等しく、電子デバイス１００と信号発生器３２との間で信号伝送路３４と並列に設けられ、信号伝送路３４が伝送する信号をループバックする。補正基準伝送路３６は、一例として、試験信号を伝送するケーブルおよびパフォーマンスボード上の配線を含んでよい。本実施形態において補正基準伝送路３６は、入力端が信号伝送路３４の出力端に接続され、出力端が第１スイッチ部４０を介して信号測定器３８の入力端に接続される。信号測定器３８は、与えられる信号のレベルを測定する。
【００１６】
第１スイッチ部４０は、信号測定器３８に、信号発生器３２が生成した信号、又は補正基準伝送路３６がループバックした信号のいずれを入力するかを切り替える。第１スイッチ部４０は、一例として、第１スイッチ５１と、第２スイッチ５２と、第３スイッチ５３とを含んでよい。第１スイッチ５１は、信号伝送路３４を、信号発生器３２及び信号測定器３８に接続するか否かを切り替える。本実施形態において第１スイッチ５１は、信号発生器３２の出力端と信号伝送路３４の入力端とを接続するか否かを切り替える。第２スイッチ５２は、補正基準伝送路３６を、信号発生器３２及び信号測定器３８に接続するか否かを切り替える。本実施形態において第２スイッチ５２は、信号測定器３８の入力端と補正基準伝送路３６の出力端とを接続するか否かを切り替える。第３スイッチ５３は、信号発生器３２の出力端と、信号測定器３８の入力端とを接続するか否かを切り替える。
【００１７】
算出部４２は、信号発生器３２が生成した信号のレベルと、補正基準伝送路３６がループバックした信号のレベルとの差分に基づいて、信号伝送路３４における信号損失を算出する。ここで、信号伝送路３４と補正基準伝送路３６とが略等しい信号損失を有するので、算出部４２は、下記式（１）に基づき、信号伝送路３４における信号損失を算出してよい。
【００１８】
信号伝送路３４の信号損失＝｛（信号発生器３２が生成した信号のレベル）−（補正基準伝送路３６がループバックした信号のレベル）｝×（１／２） …（１）
【００１９】
また、信号伝送路３４および補正基準伝送路３６の信号損失が等しくない場合であっても、信号伝送路３４および補正基準伝送路３６の合計の信号損失に対する信号伝送路３４の信号損失の比率Ｒが予め既知であれば、算出部４２は、式（１）における係数（１／２）を当該比率Ｒに置き換えた式により、信号伝送路３４の信号損失を算出することができる。
【００２０】
さらに、算出部４２は、電子デバイス１００に信号を供給する前に信号伝送路３４における信号損失を予め算出し、信号損失に基づいて信号発生器３２が生成する信号のレベルを制御してよい。例えば、算出部４２は、信号伝送路３４の出力端（すなわち、電子デバイス１００の入力端）における信号が指定したレベルとなるように、算出した信号伝送路３４による信号損失に応じて信号発生器３２が出力する信号のレベルを決定する。また、算出部４２は、信号発生器３２に異なる周波数の信号を順次生成させ、信号伝送路３４における信号損失を周波数毎に予め算出し、信号発生器３２が生成する信号のレベルを周波数毎に制御してよい。
【００２１】
また、算出部４２は、電子デバイス１００に信号を供給している状態において、信号伝送路３４における信号損失を所定のタイミングで算出し、信号損失に基づいて信号発生器３２が生成する信号のレベルを制御してもよい。例えば、算出部４２は、電子デバイス１００に信号を供給している状態において、信号伝送路３４における信号損失を一定のタイミング毎に算出し、当該信号損失の変動量に基づいて信号伝送路３４の出力端（すなわち、電子デバイス１００の入力端）における信号が一定のレベルとなるように、信号発生器３２が生成する信号のレベルを制御してもよい。
【００２２】
このような構成の信号発生装置２０によれば、信号伝送路３４の信号損失が未知の場合であっても、信号伝送路３４による信号損失に応じて、電子デバイス１００に出力する信号を補正することができる。これにより、信号発生装置２０によれば、指定したレベルの信号を電子デバイス１００に対して精度良く供給することができる。
【００２３】
さらに、信号発生装置２０によれば、信号を供給する毎（例えば、試験毎）に、信号伝送路３４の信号損失に応じて信号発生器３２が生成する信号のレベルを制御することができるので、時間、温度または気圧等の変化による信号伝送路３４の特性変化が生じても、電子デバイス１００に対して指定したレベルの信号を供給することができる。また、信号発生装置２０によれば、信号供給中において（例えば、試験中において）、信号伝送路３４の信号損失の変動量に応じて信号発生器３２が生成する信号のレベルを制御することができるので、信号供給中における信号伝送路３４の特性変化が生じても、電子デバイス１００に対して一定レベルの信号を供給することができる。
【００２４】
図２は、電子デバイス１００の試験前に行われる、信号発生装置２０による信号伝送路３４の伝送損失の補正処理の一例を示す。まず、電子デバイス１００の試験前において、信号発生装置２０は、離散的に設定された周波数毎に、ステップＳ１２〜Ｓ１４の処理を繰り返す（Ｓ１１、Ｓ１５）。算出部４２は、信号発生器３２が生成した信号のレベルを検出する（Ｓ１２）。本実施形態において算出部４２は、第１スイッチ５１をオフ、第２スイッチ５２をオフおよび第３スイッチ５３をオンに設定し、信号発生器３２から設定周波数の所定レベルの信号を発生させ、信号測定器３８に信号のレベルを測定させる。そして、算出部４２は、信号測定器３８により測定されたレベルを、信号発生器３２が生成した信号のレベルとして取得する。
【００２５】
次に、算出部４２は、補正基準伝送路３６によりループバックされた信号のレベルを検出する（Ｓ１３）。本実施形態において算出部４２は、第１スイッチ５１をオン、第２スイッチ５２をオンおよび第３スイッチ５３をオフに設定し、信号発生器３２から設定周波数の所定レベルの信号を発生させ、信号測定器３８に信号のレベルを測定させる。そして、算出部４２は、信号測定器３８により測定されたレベルを、補正基準伝送路３６によりループバックされた信号のレベルとして取得する。
【００２６】
次に、算出部４２は、ステップＳ１２で検出したレベルおよびステップＳ１３で検出したレベルに基づき、設定周波数における信号損失を算出する（Ｓ１４）。信号発生装置２０は、全周波数についてステップＳ１１〜Ｓ１４の処理を終えると（Ｓ１５）、処理をステップＳ１６に進める。
【００２７】
次に、算出部４２は、算出した設定周波数毎の信号損失に基づき、信号発生器３２により発生される信号のレベルを補正する（Ｓ１６）。この場合において、算出部４２は、信号伝送路３４の出力端（すなわち、電子デバイス１００の入力端）における信号が指定したレベルとなるように、信号発生器３２が出力する信号のレベルを補正してよい。
【００２８】
次に、算出部４２は、第１スイッチ部４０を試験可能な状態に切り替える（Ｓ１７）。本実施形態において算出部４２は、第１スイッチ５１をオン、第２スイッチ５２をオフおよび第３スイッチ５３をオフとした状態に切り替える。そして、算出部４２は、信号伝送路３４による信号損失に応じて補正されたレベルの試験信号を信号発生器３２から出力させて、電子デバイス１００の試験を開始する（Ｓ１８）。
【００２９】
以上の処理により信号発生装置２０によれば、試験毎に信号伝送路３４の信号損失に応じて試験信号のレベルを最適に制御することができる。これにより、信号発生装置２０によれば、時間、温度または気圧等の変化による信号伝送路３４の特性変化が生じても、電子デバイス１００に対して指定したレベルの試験信号を精度良く供給することができる。
【００３０】
図３は、電子デバイス１００の試験中において行われる、信号発生装置２０による信号伝送路３４の伝送損失の補正処理の一例を示す。まず、算出部４２は、第１スイッチ部４０を試験可能な状態に切り換える（Ｓ２１）。本実施形態において算出部４２は、第１スイッチ５１をオン、第２スイッチ５２をオフおよび第３スイッチ５３をオフとした状態に切り替える。
【００３１】
次に、算出部４２は、試験信号を信号発生器３２から出力させて、電子デバイス１００の試験を開始する（Ｓ２２）。次に、算出部４２は、試験を継続しながら、信号発生器３２が生成した試験信号のレベルを検出する（Ｓ２３）。本実施形態において算出部４２は、第１スイッチ５１をオン、第２スイッチ５２をオフおよび第３スイッチ５３をオンに設定し、信号測定器３８に試験信号のレベルを測定させ、信号測定器３８により測定された試験信号のレベルを取得する。
【００３２】
次に、算出部４２は、試験を継続しながら、補正基準伝送路３６によりループバックされた試験信号のレベルを検出する（Ｓ２４）。本実施形態において算出部４２は、第１スイッチ５１をオン、第２スイッチ５２をオンおよび第３スイッチ５３をオフに設定し、信号測定器３８にループバックされた試験信号のレベルを測定させ、信号測定器３８により測定された試験信号のレベルを取得する。次に、算出部４２は、ステップＳ２３で検出したレベルおよびステップＳ２４で検出したレベルに基づき信号伝送路３４の信号損失を算出して、算出した信号伝送路３４の信号損失を基準値として登録する（Ｓ２５）。
【００３３】
次に、電子デバイス１００の試験中において、信号発生装置２０は、一定タイミング毎にステップＳ２７〜Ｓ３０を繰り返す（Ｓ２６、Ｓ３１）。算出部４２は、信号発生器３２が生成した試験信号のレベルを検出する（Ｓ２７）。本実施形態において算出部４２は、第１スイッチ５１をオン、第２スイッチ５２をオフおよび第３スイッチ５３をオンに設定し、信号測定器３８に試験信号のレベルを測定させ、信号測定器３８により測定された試験信号のレベルを取得する。
【００３４】
次に、算出部４２は、補正基準伝送路３６によりループバックされた試験信号のレベルを検出する（Ｓ２８）。本実施形態において算出部４２は、第１スイッチ５１をオン、第２スイッチ５２をオンおよび第３スイッチ５３をオフに設定し、信号測定器３８に試験信号のレベルを測定させ、信号測定器３８により測定された試験信号のレベルを取得する。
【００３５】
次に、算出部４２は、ステップＳ２７で検出したレベルおよびステップＳ２８で検出したレベルに基づき、信号伝送路３４の信号損失を算出する（Ｓ２９）。次に、算出部４２は、ステップＳ２９で算出した信号伝送路３４の信号損失とステップＳ２５で登録した基準値とを比較して変動量を算出し、当該変動量に応じて信号発生器３２により発生される試験信号のレベルを補正する（Ｓ３０）。この場合において、算出部４２は、算出した信号伝送路３４の信号損失の値と登録した基準値との差に基づき、信号伝送路３４の出力端（すなわち、電子デバイス１００の入力端）における信号のレベルが、基準値算出時におけるレベルから変動なく一定となるように、信号発生器３２が出力する試験信号のレベルを補正してよい。そして、算出部４２は、試験が終了するとステップＳ２７〜Ｓ３０のループ処理を抜けて（Ｓ３１）、処理を終了する。
【００３６】
以上の処理により、信号発生装置２０によれば、試験中において信号伝送路３４の信号損失の変動量に応じて試験信号のレベルを最適に制御することができる。これにより、信号発生装置２０によれば、試験中において信号伝送路３４の特性変化が生じても、電子デバイス１００に対して一定レベルの試験信号を精度良く供給することができる。
【００３７】
なお、ステップＳ２９において、算出部４２は、ステップＳ２３で検出したレベルおよびステップＳ２８で検出レベルに基づき、信号伝送路３４の信号損失を算出してよい。この場合、算出部４２は、ステップＳ２７でのレベルの検出処理を行わなくてよい。従って、この場合、試験装置１０は、試験中において第１スイッチ部４０の切り替えを繰り返さずに、電子デバイス１００に対して一定レベルの試験信号を精度良く供給することができる。
【００３８】
図４は、第１変形例に係る試験装置１０の構成を電子デバイス１００とともに示す。第１変形例に係る試験装置１０は図１に示す試験装置１０と略同一の構成及び機能を採るので、以下、相違点を除き説明を省略する。本変形例に係る信号発生装置２０は、第２スイッチ部６０を更に有する。第２スイッチ部６０は、信号伝送路３４が伝送した信号を、電子デバイス１００に入力するか、又は補正基準伝送路３６に入力するかを切り替える。第２スイッチ部６０は、一例として、第４スイッチ６１と、第５スイッチ６２とを含んでよい。第４スイッチ６１は、信号伝送路３４が伝送した信号を補正基準伝送路３６に入力するか否かを切り替える。第５スイッチ６２は、信号伝送路３４が伝送した信号を電子デバイス１００に入力するか否かを切り替える。
【００３９】
算出部４２は、電子デバイス１００の試験前において、信号伝送路３４の伝送損失の補正処理を行う場合、第４スイッチ６１をオン、第５スイッチ６２をオフに設定してよい。これにより、信号発生装置２０によれば、電子デバイス１００が有するインピーダンスの影響を受けずに、信号伝送路３４の伝送損失を算出することができる。
【００４０】
また、算出部４２は、電子デバイス１００の試験中において、信号伝送路３４の伝送損失の補正処理を行ってないことを条件として、第４スイッチ６１をオフ、第５スイッチ６２をオンに設定してよい。これにより、信号発生装置２０によれば、補正基準伝送路３６による反射等の影響を電子デバイス１００に与えることなく、試験信号を供給することができる。また、算出部４２は、電子デバイス１００の試験中において、信号伝送路３４の伝送損失の補正処理を行っている場合、第４スイッチ６１をオン、第５スイッチ６２をオンに設定してよい。これにより、信号発生装置２０によれば、試験中において信号伝送路３４の伝送損失の算出をすることができる。
【００４１】
図５は、第２変形例に係る試験装置１０の構成を電子デバイス１００とともに示す。第２変形例に係る試験装置１０は図１に示す試験装置１０と略同一の構成及び機能を採るので、以下、相違点を除き説明を省略する。本変形例に係る信号発生装置２０は、バッファ部７０を更に有する。バッファ部７０は、信号伝送路３４および補正基準伝送路３６の接続点と、電子デバイス１００との間に設けられる。バッファ部７０は、信号伝送路３４および補正基準伝送路３６側から電子デバイス１００を見た場合のインピーダンスを非常に高くする。これにより、信号発生装置２０によれば、電子デバイス１００が有するインピーダンスの影響を受けずに、信号伝送路３４の伝送損失を算出することができる。
【００４２】
図６は、第２変形例に係る信号発生装置２０による信号伝送路３４の伝送損失の補正処理の一例を示す。まず、算出部４２は、信号発生器３２が生成した信号のレベルを検出する（Ｓ４１）。本実施形態において算出部４２は、第１スイッチ５１をオフ、第２スイッチ５２をオフおよび第３スイッチ５３をオンに設定し、信号発生器３２から所定レベルの信号を発生させ、信号測定器３８に信号のレベルを測定させる。そして、算出部４２は、信号測定器３８により測定されたレベルを、信号発生器３２が生成した信号のレベルとして取得する。
【００４３】
次に、算出部４２は、補正基準伝送路３６によりループバックされた信号のレベルを検出する（Ｓ４２）。本実施形態において算出部４２は、第１スイッチ５１をオン、第２スイッチ５２をオンおよび第３スイッチ５３をオフに設定し、信号発生器３２から所定レベルの信号を発生させ、信号測定器３８に信号のレベルを測定させる。そして、算出部４２は、信号測定器３８により測定されたレベルを、補正基準伝送路３６によりループバックされた信号のレベルとして取得する。
【００４４】
次に、算出部４２は、ステップＳ４１で検出したレベルおよびステップＳ４２で検出したレベルに基づき、信号損失を算出する（Ｓ４３）。次に、算出部４２は、算出した信号損失に基づき、信号発生器３２により発生される信号のレベルを補正する（Ｓ４４）。この場合において、算出部４２は、信号伝送路３４の出力端（すなわち、バッファ部７０の入力端）における信号が指定したレベルとなるように、信号発生器３２が出力する信号のレベルを補正してよい。
【００４５】
次に、算出部４２は、信号発生器３２から補正された信号を発生して、補正基準伝送路３６によりループバックされた信号のレベルを検出し、検出したレベルを登録する（Ｓ４５）。本実施形態において算出部４２は、第１スイッチ５１をオン、第２スイッチ５２をオンおよび第３スイッチ５３をオフに設定し、信号発生器３２から補正されたレベルの信号を発生させ、信号測定器３８に信号のレベルを測定させる。そして、算出部４２は、信号測定器３８により測定されたレベルを内部に登録する。
【００４６】
次に、算出部４２は、第１スイッチ部４０を試験可能な状態とするとともに、補正基準伝送路３６によりループバックされた信号のレベルを検出できる状態に切り替える（Ｓ４６）。本実施形態において算出部４２は、第１スイッチ５１をオン、第２スイッチ５２をオンおよび第３スイッチ５３をオフとした状態に切り替える。
【００４７】
次に、算出部４２は、信号伝送路３４による信号損失に応じて補正されたレベルの試験信号を信号発生器３２から出力させて、電子デバイス１００の試験を開始する（Ｓ４７）。そして、算出部４２は、試験中において、補正基準伝送路３６によりループバックされた信号レベルを検出して登録されたレベルと比較し、比較結果が変動した場合には、当該変動に応じて信号発生器３２から発生される信号のレベルを補正する（Ｓ４８）。
【００４８】
以上の処理により第２変形例に係る信号発生装置２０によれば、試験中において連続的に、信号伝送路３４の信号損失に応じて試験信号のレベルを最適に制御することができる。これにより、信号発生装置２０によれば、試験中において温度または気圧等の変化による信号伝送路３４の特性変化が生じても、電子デバイス１００に対して指定したレベルの試験信号を常時に精度良く供給することができる。
【００４９】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明の実施形態に係る試験装置１０の構成を電子デバイス１００とともに示す。
【図２】電子デバイス１００に試験前に行われる、信号伝送路３４の伝送損失の補正処理の一例を示す。
【図３】電子デバイス１００の信号を供給している状態において行われる、信号伝送路３４の伝送損失の補正処理の一例を示す。
【図４】第１変形例に係る試験装置１０の構成を電子デバイス１００とともに示す。
【図５】第２変形例に係る試験装置１０の構成を電子デバイス１００とともに示す。
【図６】第２変形例における信号伝送路３４の伝送損失の補正処理の一例を示す。
【符号の説明】
【００５１】
１０ 試験装置
２０ 信号発生装置
３０ 判定部
３２ 信号発生器
３４ 信号伝送路
３６ 補正基準伝送路
３８ 信号測定器
４０ 第１スイッチ部
４２ 算出部
５１ 第１スイッチ
５２ 第２スイッチ
５３ 第３スイッチ
６０ 第２スイッチ部
６１ 第４スイッチ
６２ 第５スイッチ
７０ バッファ部
１００ 電子デバイス
【技術分野】
【０００１】
本発明は、信号発生装置および試験装置に関する。特に本発明は、電子デバイスに信号を供給する信号発生装置および試験装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、ケーブルによる減衰量を表す近似式によりレベル補正した試験信号を、被試験デバイスに供給する試験装置が記載されている。
【特許文献１】特開平１０−３０７１６８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
特許文献１に記載された試験装置は、ケーブルの特性を予め取得して近似式を算出しなければならなかった。従って、特許文献１に記載された試験装置は、被試験デバイスに対して未知の特性のケーブルを介して精度よく信号を供給することができなかった。
【０００４】
そこで本発明は、上記の課題を解決することのできる信号発生装置および試験装置を提供することを目的とする。この目的は特許請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するために、本発明の第１形態においては、電子デバイスに信号を供給する信号発生装置であって、信号を生成する信号発生器と、信号発生器が生成した信号を電子デバイスに伝送する信号伝送路と、信号伝送路と信号損失が略等しく、電子デバイスと信号発生器との間で信号伝送路と並列に設けられ、信号伝送路が伝送する信号をループバックする補正基準伝送路と、与えられる信号のレベルを測定する信号測定器と、信号測定器に、信号発生器が生成した信号、又は補正基準伝送路がループバックした信号のいずれを入力するかを切り替える第１スイッチ部と、信号発生器が生成した信号のレベルと、補正基準伝送路がループバックした信号のレベルとの差分に基づいて、信号伝送路における信号損失を算出する算出部とを備える信号発生装置を提供する。
【０００６】
第１スイッチ部は、信号伝送路を、信号発生器及び信号測定器に接続するか否かを切り替える第１スイッチと、補正基準伝送路を、信号発生器及び信号測定器に接続するか否かを切り替える第２スイッチとを有してよい。第１スイッチ部は、信号発生器の出力端と、信号測定器の入力端とを接続するか否かを切り替える第３スイッチを更に有してよい。
【０００７】
信号発生装置は、信号伝送路が伝送した信号を、電子デバイスに入力するか、又は補正基準伝送路に入力するかを切り替える第２スイッチ部を更に備えてよい。第２スイッチ部は、信号伝送路が伝送した信号を補正基準伝送路に入力するか否かを切り替える第４スイッチと、信号伝送路が伝送した信号を電子デバイスに入力するか否かを切り替える第５スイッチとを有してよい。
【０００８】
算出部は、電子デバイスに信号を供給する前に、信号伝送路における信号損失を予め算出し、信号損失に基づいて信号発生器が生成する信号のレベルを制御してよい。算出部は、電子デバイスに信号を供給する前に、信号発生器に異なる周波数の信号を順次生成させ、信号伝送路における信号損失を周波数毎に予め算出してよい。算出部は、電子デバイスに信号を供給している状態において、信号伝送路における信号損失を所定のタイミングで算出し、信号損失に基づいて信号発生器が生成する信号のレベルを制御してよい。
【０００９】
本発明の第２形態においては、電子デバイスを試験する試験装置であって、電子デバイスに信号を供給する信号発生装置と、電子デバイスの出力信号に基づいて電子デバイスの良否を判定する判定部とを備え、信号発生装置は、信号を生成する信号発生器と、信号発生器が生成した信号を電子デバイスに伝送する信号伝送路と、信号伝送路と信号損失が略等しく、電子デバイスと信号発生器との間で信号伝送路と並列に設けられ、信号伝送路が伝送する信号をループバックする補正基準伝送路と、与えられる信号のレベルを測定する信号測定器と、信号測定器に、信号発生器が生成した信号、又は補正基準伝送路がループバックした信号のいずれを入力するかを切り替える第１スイッチ部と、信号発生器が生成した信号のレベルと、補正基準伝送路がループバックした信号のレベルとの差分に基づいて、信号伝送路における信号損失を算出する算出部とを有する試験装置を提供する。
【００１０】
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、電子デバイスに対して精度良く信号を供給することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではなく、また実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
【００１３】
図１は、本発明の実施形態に係る試験装置１０の構成を電子デバイス１００とともに示す。試験装置１０は、信号発生装置２０と、判定部３０とを備え、電子デバイス１００を試験する。信号発生装置２０は、電子デバイス１００に信号を供給する。判定部３０は、供給された信号に応じて出力された電子デバイス１００の出力信号に基づいて、電子デバイス１００の良否を判定する。
【００１４】
信号発生装置２０は、信号発生器３２と、信号伝送路３４と、補正基準伝送路３６と、信号測定器３８と、第１スイッチ部４０と、算出部４２とを有する。信号発生器３２は、試験信号として電子デバイス１００に供給すべき信号を生成する。信号伝送路３４は、信号発生器３２が生成した信号を電子デバイス１００に伝送する。信号伝送路３４は、一例として、試験信号を伝送するケーブルおよびパフォーマンスボード上の配線を含んでよい。本実施形態において信号伝送路３４は、入力端が第１スイッチ部４０を介して信号発生器３２の出力端に接続され、出力端が電子デバイス１００に接続される。
【００１５】
補正基準伝送路３６は、信号伝送路３４と信号損失が略等しく、電子デバイス１００と信号発生器３２との間で信号伝送路３４と並列に設けられ、信号伝送路３４が伝送する信号をループバックする。補正基準伝送路３６は、一例として、試験信号を伝送するケーブルおよびパフォーマンスボード上の配線を含んでよい。本実施形態において補正基準伝送路３６は、入力端が信号伝送路３４の出力端に接続され、出力端が第１スイッチ部４０を介して信号測定器３８の入力端に接続される。信号測定器３８は、与えられる信号のレベルを測定する。
【００１６】
第１スイッチ部４０は、信号測定器３８に、信号発生器３２が生成した信号、又は補正基準伝送路３６がループバックした信号のいずれを入力するかを切り替える。第１スイッチ部４０は、一例として、第１スイッチ５１と、第２スイッチ５２と、第３スイッチ５３とを含んでよい。第１スイッチ５１は、信号伝送路３４を、信号発生器３２及び信号測定器３８に接続するか否かを切り替える。本実施形態において第１スイッチ５１は、信号発生器３２の出力端と信号伝送路３４の入力端とを接続するか否かを切り替える。第２スイッチ５２は、補正基準伝送路３６を、信号発生器３２及び信号測定器３８に接続するか否かを切り替える。本実施形態において第２スイッチ５２は、信号測定器３８の入力端と補正基準伝送路３６の出力端とを接続するか否かを切り替える。第３スイッチ５３は、信号発生器３２の出力端と、信号測定器３８の入力端とを接続するか否かを切り替える。
【００１７】
算出部４２は、信号発生器３２が生成した信号のレベルと、補正基準伝送路３６がループバックした信号のレベルとの差分に基づいて、信号伝送路３４における信号損失を算出する。ここで、信号伝送路３４と補正基準伝送路３６とが略等しい信号損失を有するので、算出部４２は、下記式（１）に基づき、信号伝送路３４における信号損失を算出してよい。
【００１８】
信号伝送路３４の信号損失＝｛（信号発生器３２が生成した信号のレベル）−（補正基準伝送路３６がループバックした信号のレベル）｝×（１／２） …（１）
【００１９】
また、信号伝送路３４および補正基準伝送路３６の信号損失が等しくない場合であっても、信号伝送路３４および補正基準伝送路３６の合計の信号損失に対する信号伝送路３４の信号損失の比率Ｒが予め既知であれば、算出部４２は、式（１）における係数（１／２）を当該比率Ｒに置き換えた式により、信号伝送路３４の信号損失を算出することができる。
【００２０】
さらに、算出部４２は、電子デバイス１００に信号を供給する前に信号伝送路３４における信号損失を予め算出し、信号損失に基づいて信号発生器３２が生成する信号のレベルを制御してよい。例えば、算出部４２は、信号伝送路３４の出力端（すなわち、電子デバイス１００の入力端）における信号が指定したレベルとなるように、算出した信号伝送路３４による信号損失に応じて信号発生器３２が出力する信号のレベルを決定する。また、算出部４２は、信号発生器３２に異なる周波数の信号を順次生成させ、信号伝送路３４における信号損失を周波数毎に予め算出し、信号発生器３２が生成する信号のレベルを周波数毎に制御してよい。
【００２１】
また、算出部４２は、電子デバイス１００に信号を供給している状態において、信号伝送路３４における信号損失を所定のタイミングで算出し、信号損失に基づいて信号発生器３２が生成する信号のレベルを制御してもよい。例えば、算出部４２は、電子デバイス１００に信号を供給している状態において、信号伝送路３４における信号損失を一定のタイミング毎に算出し、当該信号損失の変動量に基づいて信号伝送路３４の出力端（すなわち、電子デバイス１００の入力端）における信号が一定のレベルとなるように、信号発生器３２が生成する信号のレベルを制御してもよい。
【００２２】
このような構成の信号発生装置２０によれば、信号伝送路３４の信号損失が未知の場合であっても、信号伝送路３４による信号損失に応じて、電子デバイス１００に出力する信号を補正することができる。これにより、信号発生装置２０によれば、指定したレベルの信号を電子デバイス１００に対して精度良く供給することができる。
【００２３】
さらに、信号発生装置２０によれば、信号を供給する毎（例えば、試験毎）に、信号伝送路３４の信号損失に応じて信号発生器３２が生成する信号のレベルを制御することができるので、時間、温度または気圧等の変化による信号伝送路３４の特性変化が生じても、電子デバイス１００に対して指定したレベルの信号を供給することができる。また、信号発生装置２０によれば、信号供給中において（例えば、試験中において）、信号伝送路３４の信号損失の変動量に応じて信号発生器３２が生成する信号のレベルを制御することができるので、信号供給中における信号伝送路３４の特性変化が生じても、電子デバイス１００に対して一定レベルの信号を供給することができる。
【００２４】
図２は、電子デバイス１００の試験前に行われる、信号発生装置２０による信号伝送路３４の伝送損失の補正処理の一例を示す。まず、電子デバイス１００の試験前において、信号発生装置２０は、離散的に設定された周波数毎に、ステップＳ１２〜Ｓ１４の処理を繰り返す（Ｓ１１、Ｓ１５）。算出部４２は、信号発生器３２が生成した信号のレベルを検出する（Ｓ１２）。本実施形態において算出部４２は、第１スイッチ５１をオフ、第２スイッチ５２をオフおよび第３スイッチ５３をオンに設定し、信号発生器３２から設定周波数の所定レベルの信号を発生させ、信号測定器３８に信号のレベルを測定させる。そして、算出部４２は、信号測定器３８により測定されたレベルを、信号発生器３２が生成した信号のレベルとして取得する。
【００２５】
次に、算出部４２は、補正基準伝送路３６によりループバックされた信号のレベルを検出する（Ｓ１３）。本実施形態において算出部４２は、第１スイッチ５１をオン、第２スイッチ５２をオンおよび第３スイッチ５３をオフに設定し、信号発生器３２から設定周波数の所定レベルの信号を発生させ、信号測定器３８に信号のレベルを測定させる。そして、算出部４２は、信号測定器３８により測定されたレベルを、補正基準伝送路３６によりループバックされた信号のレベルとして取得する。
【００２６】
次に、算出部４２は、ステップＳ１２で検出したレベルおよびステップＳ１３で検出したレベルに基づき、設定周波数における信号損失を算出する（Ｓ１４）。信号発生装置２０は、全周波数についてステップＳ１１〜Ｓ１４の処理を終えると（Ｓ１５）、処理をステップＳ１６に進める。
【００２７】
次に、算出部４２は、算出した設定周波数毎の信号損失に基づき、信号発生器３２により発生される信号のレベルを補正する（Ｓ１６）。この場合において、算出部４２は、信号伝送路３４の出力端（すなわち、電子デバイス１００の入力端）における信号が指定したレベルとなるように、信号発生器３２が出力する信号のレベルを補正してよい。
【００２８】
次に、算出部４２は、第１スイッチ部４０を試験可能な状態に切り替える（Ｓ１７）。本実施形態において算出部４２は、第１スイッチ５１をオン、第２スイッチ５２をオフおよび第３スイッチ５３をオフとした状態に切り替える。そして、算出部４２は、信号伝送路３４による信号損失に応じて補正されたレベルの試験信号を信号発生器３２から出力させて、電子デバイス１００の試験を開始する（Ｓ１８）。
【００２９】
以上の処理により信号発生装置２０によれば、試験毎に信号伝送路３４の信号損失に応じて試験信号のレベルを最適に制御することができる。これにより、信号発生装置２０によれば、時間、温度または気圧等の変化による信号伝送路３４の特性変化が生じても、電子デバイス１００に対して指定したレベルの試験信号を精度良く供給することができる。
【００３０】
図３は、電子デバイス１００の試験中において行われる、信号発生装置２０による信号伝送路３４の伝送損失の補正処理の一例を示す。まず、算出部４２は、第１スイッチ部４０を試験可能な状態に切り換える（Ｓ２１）。本実施形態において算出部４２は、第１スイッチ５１をオン、第２スイッチ５２をオフおよび第３スイッチ５３をオフとした状態に切り替える。
【００３１】
次に、算出部４２は、試験信号を信号発生器３２から出力させて、電子デバイス１００の試験を開始する（Ｓ２２）。次に、算出部４２は、試験を継続しながら、信号発生器３２が生成した試験信号のレベルを検出する（Ｓ２３）。本実施形態において算出部４２は、第１スイッチ５１をオン、第２スイッチ５２をオフおよび第３スイッチ５３をオンに設定し、信号測定器３８に試験信号のレベルを測定させ、信号測定器３８により測定された試験信号のレベルを取得する。
【００３２】
次に、算出部４２は、試験を継続しながら、補正基準伝送路３６によりループバックされた試験信号のレベルを検出する（Ｓ２４）。本実施形態において算出部４２は、第１スイッチ５１をオン、第２スイッチ５２をオンおよび第３スイッチ５３をオフに設定し、信号測定器３８にループバックされた試験信号のレベルを測定させ、信号測定器３８により測定された試験信号のレベルを取得する。次に、算出部４２は、ステップＳ２３で検出したレベルおよびステップＳ２４で検出したレベルに基づき信号伝送路３４の信号損失を算出して、算出した信号伝送路３４の信号損失を基準値として登録する（Ｓ２５）。
【００３３】
次に、電子デバイス１００の試験中において、信号発生装置２０は、一定タイミング毎にステップＳ２７〜Ｓ３０を繰り返す（Ｓ２６、Ｓ３１）。算出部４２は、信号発生器３２が生成した試験信号のレベルを検出する（Ｓ２７）。本実施形態において算出部４２は、第１スイッチ５１をオン、第２スイッチ５２をオフおよび第３スイッチ５３をオンに設定し、信号測定器３８に試験信号のレベルを測定させ、信号測定器３８により測定された試験信号のレベルを取得する。
【００３４】
次に、算出部４２は、補正基準伝送路３６によりループバックされた試験信号のレベルを検出する（Ｓ２８）。本実施形態において算出部４２は、第１スイッチ５１をオン、第２スイッチ５２をオンおよび第３スイッチ５３をオフに設定し、信号測定器３８に試験信号のレベルを測定させ、信号測定器３８により測定された試験信号のレベルを取得する。
【００３５】
次に、算出部４２は、ステップＳ２７で検出したレベルおよびステップＳ２８で検出したレベルに基づき、信号伝送路３４の信号損失を算出する（Ｓ２９）。次に、算出部４２は、ステップＳ２９で算出した信号伝送路３４の信号損失とステップＳ２５で登録した基準値とを比較して変動量を算出し、当該変動量に応じて信号発生器３２により発生される試験信号のレベルを補正する（Ｓ３０）。この場合において、算出部４２は、算出した信号伝送路３４の信号損失の値と登録した基準値との差に基づき、信号伝送路３４の出力端（すなわち、電子デバイス１００の入力端）における信号のレベルが、基準値算出時におけるレベルから変動なく一定となるように、信号発生器３２が出力する試験信号のレベルを補正してよい。そして、算出部４２は、試験が終了するとステップＳ２７〜Ｓ３０のループ処理を抜けて（Ｓ３１）、処理を終了する。
【００３６】
以上の処理により、信号発生装置２０によれば、試験中において信号伝送路３４の信号損失の変動量に応じて試験信号のレベルを最適に制御することができる。これにより、信号発生装置２０によれば、試験中において信号伝送路３４の特性変化が生じても、電子デバイス１００に対して一定レベルの試験信号を精度良く供給することができる。
【００３７】
なお、ステップＳ２９において、算出部４２は、ステップＳ２３で検出したレベルおよびステップＳ２８で検出レベルに基づき、信号伝送路３４の信号損失を算出してよい。この場合、算出部４２は、ステップＳ２７でのレベルの検出処理を行わなくてよい。従って、この場合、試験装置１０は、試験中において第１スイッチ部４０の切り替えを繰り返さずに、電子デバイス１００に対して一定レベルの試験信号を精度良く供給することができる。
【００３８】
図４は、第１変形例に係る試験装置１０の構成を電子デバイス１００とともに示す。第１変形例に係る試験装置１０は図１に示す試験装置１０と略同一の構成及び機能を採るので、以下、相違点を除き説明を省略する。本変形例に係る信号発生装置２０は、第２スイッチ部６０を更に有する。第２スイッチ部６０は、信号伝送路３４が伝送した信号を、電子デバイス１００に入力するか、又は補正基準伝送路３６に入力するかを切り替える。第２スイッチ部６０は、一例として、第４スイッチ６１と、第５スイッチ６２とを含んでよい。第４スイッチ６１は、信号伝送路３４が伝送した信号を補正基準伝送路３６に入力するか否かを切り替える。第５スイッチ６２は、信号伝送路３４が伝送した信号を電子デバイス１００に入力するか否かを切り替える。
【００３９】
算出部４２は、電子デバイス１００の試験前において、信号伝送路３４の伝送損失の補正処理を行う場合、第４スイッチ６１をオン、第５スイッチ６２をオフに設定してよい。これにより、信号発生装置２０によれば、電子デバイス１００が有するインピーダンスの影響を受けずに、信号伝送路３４の伝送損失を算出することができる。
【００４０】
また、算出部４２は、電子デバイス１００の試験中において、信号伝送路３４の伝送損失の補正処理を行ってないことを条件として、第４スイッチ６１をオフ、第５スイッチ６２をオンに設定してよい。これにより、信号発生装置２０によれば、補正基準伝送路３６による反射等の影響を電子デバイス１００に与えることなく、試験信号を供給することができる。また、算出部４２は、電子デバイス１００の試験中において、信号伝送路３４の伝送損失の補正処理を行っている場合、第４スイッチ６１をオン、第５スイッチ６２をオンに設定してよい。これにより、信号発生装置２０によれば、試験中において信号伝送路３４の伝送損失の算出をすることができる。
【００４１】
図５は、第２変形例に係る試験装置１０の構成を電子デバイス１００とともに示す。第２変形例に係る試験装置１０は図１に示す試験装置１０と略同一の構成及び機能を採るので、以下、相違点を除き説明を省略する。本変形例に係る信号発生装置２０は、バッファ部７０を更に有する。バッファ部７０は、信号伝送路３４および補正基準伝送路３６の接続点と、電子デバイス１００との間に設けられる。バッファ部７０は、信号伝送路３４および補正基準伝送路３６側から電子デバイス１００を見た場合のインピーダンスを非常に高くする。これにより、信号発生装置２０によれば、電子デバイス１００が有するインピーダンスの影響を受けずに、信号伝送路３４の伝送損失を算出することができる。
【００４２】
図６は、第２変形例に係る信号発生装置２０による信号伝送路３４の伝送損失の補正処理の一例を示す。まず、算出部４２は、信号発生器３２が生成した信号のレベルを検出する（Ｓ４１）。本実施形態において算出部４２は、第１スイッチ５１をオフ、第２スイッチ５２をオフおよび第３スイッチ５３をオンに設定し、信号発生器３２から所定レベルの信号を発生させ、信号測定器３８に信号のレベルを測定させる。そして、算出部４２は、信号測定器３８により測定されたレベルを、信号発生器３２が生成した信号のレベルとして取得する。
【００４３】
次に、算出部４２は、補正基準伝送路３６によりループバックされた信号のレベルを検出する（Ｓ４２）。本実施形態において算出部４２は、第１スイッチ５１をオン、第２スイッチ５２をオンおよび第３スイッチ５３をオフに設定し、信号発生器３２から所定レベルの信号を発生させ、信号測定器３８に信号のレベルを測定させる。そして、算出部４２は、信号測定器３８により測定されたレベルを、補正基準伝送路３６によりループバックされた信号のレベルとして取得する。
【００４４】
次に、算出部４２は、ステップＳ４１で検出したレベルおよびステップＳ４２で検出したレベルに基づき、信号損失を算出する（Ｓ４３）。次に、算出部４２は、算出した信号損失に基づき、信号発生器３２により発生される信号のレベルを補正する（Ｓ４４）。この場合において、算出部４２は、信号伝送路３４の出力端（すなわち、バッファ部７０の入力端）における信号が指定したレベルとなるように、信号発生器３２が出力する信号のレベルを補正してよい。
【００４５】
次に、算出部４２は、信号発生器３２から補正された信号を発生して、補正基準伝送路３６によりループバックされた信号のレベルを検出し、検出したレベルを登録する（Ｓ４５）。本実施形態において算出部４２は、第１スイッチ５１をオン、第２スイッチ５２をオンおよび第３スイッチ５３をオフに設定し、信号発生器３２から補正されたレベルの信号を発生させ、信号測定器３８に信号のレベルを測定させる。そして、算出部４２は、信号測定器３８により測定されたレベルを内部に登録する。
【００４６】
次に、算出部４２は、第１スイッチ部４０を試験可能な状態とするとともに、補正基準伝送路３６によりループバックされた信号のレベルを検出できる状態に切り替える（Ｓ４６）。本実施形態において算出部４２は、第１スイッチ５１をオン、第２スイッチ５２をオンおよび第３スイッチ５３をオフとした状態に切り替える。
【００４７】
次に、算出部４２は、信号伝送路３４による信号損失に応じて補正されたレベルの試験信号を信号発生器３２から出力させて、電子デバイス１００の試験を開始する（Ｓ４７）。そして、算出部４２は、試験中において、補正基準伝送路３６によりループバックされた信号レベルを検出して登録されたレベルと比較し、比較結果が変動した場合には、当該変動に応じて信号発生器３２から発生される信号のレベルを補正する（Ｓ４８）。
【００４８】
以上の処理により第２変形例に係る信号発生装置２０によれば、試験中において連続的に、信号伝送路３４の信号損失に応じて試験信号のレベルを最適に制御することができる。これにより、信号発生装置２０によれば、試験中において温度または気圧等の変化による信号伝送路３４の特性変化が生じても、電子デバイス１００に対して指定したレベルの試験信号を常時に精度良く供給することができる。
【００４９】
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明の実施形態に係る試験装置１０の構成を電子デバイス１００とともに示す。
【図２】電子デバイス１００に試験前に行われる、信号伝送路３４の伝送損失の補正処理の一例を示す。
【図３】電子デバイス１００の信号を供給している状態において行われる、信号伝送路３４の伝送損失の補正処理の一例を示す。
【図４】第１変形例に係る試験装置１０の構成を電子デバイス１００とともに示す。
【図５】第２変形例に係る試験装置１０の構成を電子デバイス１００とともに示す。
【図６】第２変形例における信号伝送路３４の伝送損失の補正処理の一例を示す。
【符号の説明】
【００５１】
１０ 試験装置
２０ 信号発生装置
３０ 判定部
３２ 信号発生器
３４ 信号伝送路
３６ 補正基準伝送路
３８ 信号測定器
４０ 第１スイッチ部
４２ 算出部
５１ 第１スイッチ
５２ 第２スイッチ
５３ 第３スイッチ
６０ 第２スイッチ部
６１ 第４スイッチ
６２ 第５スイッチ
７０ バッファ部
１００ 電子デバイス
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子デバイスに信号を供給する信号発生装置であって、
信号を生成する信号発生器と、
前記信号発生器が生成した信号を前記電子デバイスに伝送する信号伝送路と、
前記信号伝送路と信号損失が略等しく、前記電子デバイスと前記信号発生器との間で前記信号伝送路と並列に設けられ、前記信号伝送路が伝送する信号をループバックする補正基準伝送路と、
与えられる信号のレベルを測定する信号測定器と、
前記信号測定器に、前記信号発生器が生成した信号、又は前記補正基準伝送路がループバックした信号のいずれを入力するかを切り替える第１スイッチ部と、
前記信号発生器が生成した信号のレベルと、前記補正基準伝送路がループバックした信号のレベルとの差分に基づいて、前記信号伝送路における信号損失を算出する算出部と
を備える信号発生装置。
【請求項２】
前記第１スイッチ部は、
前記信号伝送路を、前記信号発生器及び前記信号測定器に接続するか否かを切り替える第１スイッチと、
前記補正基準伝送路を、前記信号発生器及び前記信号測定器に接続するか否かを切り替える第２スイッチと
を有する請求項１に記載の信号発生装置。
【請求項３】
前記第１スイッチ部は、前記信号発生器の出力端と、前記信号測定器の入力端とを接続するか否かを切り替える第３スイッチを更に有する
請求項２に記載の信号発生装置。
【請求項４】
前記信号伝送路が伝送した信号を、前記電子デバイスに入力するか、又は前記補正基準伝送路に入力するかを切り替える第２スイッチ部を更に備える
請求項３に記載の信号発生装置。
【請求項５】
前記第２スイッチ部は、
前記信号伝送路が伝送した信号を前記補正基準伝送路に入力するか否かを切り替える第４スイッチと、
前記信号伝送路が伝送した信号を前記電子デバイスに入力するか否かを切り替える第５スイッチと
を有する請求項４に記載の信号発生装置。
【請求項６】
前記算出部は、前記電子デバイスに信号を供給する前に、前記信号伝送路における前記信号損失を予め算出し、前記信号損失に基づいて前記信号発生器が生成する信号のレベルを制御する
請求項１に記載の信号発生装置。
【請求項７】
前記算出部は、前記電子デバイスに信号を供給する前に、前記信号発生器に異なる周波数の信号を順次生成させ、前記信号伝送路における前記信号損失を周波数毎に予め算出する
請求項６に記載の信号発生装置。
【請求項８】
前記算出部は、前記電子デバイスに信号を供給している状態において、前記信号伝送路における前記信号損失を所定のタイミングで算出し、前記信号損失に基づいて前記信号発生器が生成する信号のレベルを制御する
請求項１に記載の信号発生装置。
【請求項９】
電子デバイスを試験する試験装置であって、
前記電子デバイスに信号を供給する信号発生装置と、
前記電子デバイスの出力信号に基づいて前記電子デバイスの良否を判定する判定部と
を備え、
前記信号発生装置は、
信号を生成する信号発生器と、
前記信号発生器が生成した信号を前記電子デバイスに伝送する信号伝送路と、
前記信号伝送路と信号損失が略等しく、前記電子デバイスと前記信号発生器との間で前記信号伝送路と並列に設けられ、前記信号伝送路が伝送する信号をループバックする補正基準伝送路と、
与えられる信号のレベルを測定する信号測定器と、
前記信号測定器に、前記信号発生器が生成した信号、又は前記補正基準伝送路がループバックした信号のいずれを入力するかを切り替える第１スイッチ部と、
前記信号発生器が生成した信号のレベルと、前記補正基準伝送路がループバックした信号のレベルとの差分に基づいて、前記信号伝送路における信号損失を算出する算出部と
を有する試験装置。
【請求項１】
電子デバイスに信号を供給する信号発生装置であって、
信号を生成する信号発生器と、
前記信号発生器が生成した信号を前記電子デバイスに伝送する信号伝送路と、
前記信号伝送路と信号損失が略等しく、前記電子デバイスと前記信号発生器との間で前記信号伝送路と並列に設けられ、前記信号伝送路が伝送する信号をループバックする補正基準伝送路と、
与えられる信号のレベルを測定する信号測定器と、
前記信号測定器に、前記信号発生器が生成した信号、又は前記補正基準伝送路がループバックした信号のいずれを入力するかを切り替える第１スイッチ部と、
前記信号発生器が生成した信号のレベルと、前記補正基準伝送路がループバックした信号のレベルとの差分に基づいて、前記信号伝送路における信号損失を算出する算出部と
を備える信号発生装置。
【請求項２】
前記第１スイッチ部は、
前記信号伝送路を、前記信号発生器及び前記信号測定器に接続するか否かを切り替える第１スイッチと、
前記補正基準伝送路を、前記信号発生器及び前記信号測定器に接続するか否かを切り替える第２スイッチと
を有する請求項１に記載の信号発生装置。
【請求項３】
前記第１スイッチ部は、前記信号発生器の出力端と、前記信号測定器の入力端とを接続するか否かを切り替える第３スイッチを更に有する
請求項２に記載の信号発生装置。
【請求項４】
前記信号伝送路が伝送した信号を、前記電子デバイスに入力するか、又は前記補正基準伝送路に入力するかを切り替える第２スイッチ部を更に備える
請求項３に記載の信号発生装置。
【請求項５】
前記第２スイッチ部は、
前記信号伝送路が伝送した信号を前記補正基準伝送路に入力するか否かを切り替える第４スイッチと、
前記信号伝送路が伝送した信号を前記電子デバイスに入力するか否かを切り替える第５スイッチと
を有する請求項４に記載の信号発生装置。
【請求項６】
前記算出部は、前記電子デバイスに信号を供給する前に、前記信号伝送路における前記信号損失を予め算出し、前記信号損失に基づいて前記信号発生器が生成する信号のレベルを制御する
請求項１に記載の信号発生装置。
【請求項７】
前記算出部は、前記電子デバイスに信号を供給する前に、前記信号発生器に異なる周波数の信号を順次生成させ、前記信号伝送路における前記信号損失を周波数毎に予め算出する
請求項６に記載の信号発生装置。
【請求項８】
前記算出部は、前記電子デバイスに信号を供給している状態において、前記信号伝送路における前記信号損失を所定のタイミングで算出し、前記信号損失に基づいて前記信号発生器が生成する信号のレベルを制御する
請求項１に記載の信号発生装置。
【請求項９】
電子デバイスを試験する試験装置であって、
前記電子デバイスに信号を供給する信号発生装置と、
前記電子デバイスの出力信号に基づいて前記電子デバイスの良否を判定する判定部と
を備え、
前記信号発生装置は、
信号を生成する信号発生器と、
前記信号発生器が生成した信号を前記電子デバイスに伝送する信号伝送路と、
前記信号伝送路と信号損失が略等しく、前記電子デバイスと前記信号発生器との間で前記信号伝送路と並列に設けられ、前記信号伝送路が伝送する信号をループバックする補正基準伝送路と、
与えられる信号のレベルを測定する信号測定器と、
前記信号測定器に、前記信号発生器が生成した信号、又は前記補正基準伝送路がループバックした信号のいずれを入力するかを切り替える第１スイッチ部と、
前記信号発生器が生成した信号のレベルと、前記補正基準伝送路がループバックした信号のレベルとの差分に基づいて、前記信号伝送路における信号損失を算出する算出部と
を有する試験装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【公開番号】特開２００７−３０９７０５（Ｐ２００７−３０９７０５Ａ）
【公開日】平成１９年１１月２９日（２００７．１１．２９）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００６−１３７０５７（Ｐ２００６−１３７０５７）
【出願日】平成１８年５月１６日（２００６．５．１６）
【出願人】（３９０００５１７５）株式会社アドバンテスト (1,005)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１９年１１月２９日（２００７．１１．２９）
【国際特許分類】
【出願日】平成１８年５月１６日（２００６．５．１６）
【出願人】（３９０００５１７５）株式会社アドバンテスト (1,005)
【Ｆターム（参考）】
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