【課題】製造コストや維持コストおよび占有体積を抑制することが可能なＸ線照射装置および高周波電力生成ユニットの提供。
【解決手段】Ｘ線照射装置１００は、高周波電力を生成する高周波電力生成ユニット１１２と、電子線を放出する電子銃１１０と、高周波電力生成ユニット１１２による高周波電力の供給を受けて、電子銃１１０から放出された電子線を加速する加速器１１８と、加速器１１８で加速された電子線をＸ線に変換するＸ線変換部１２０と、を備え、高周波電力生成ユニット１１２は、高電圧のパルス電圧を生成する高周波電源１１２ａと、振幅が相異なる複数のパルスを規則的に配したドライブ信号を生成する信号発生器１１２ｃと、パルス電圧の供給を受け、ドライブ信号に応じて高周波電力を生成する高周波電力増幅器１１２ｂと、を備える。 （もっと読む）

【課題】電子線の線量分布の平坦化を図る。
【解決手段】電子線照射装置１００の電子銃１１０は、電子線ＥＢを放出し、加速器１１８は、電子銃から放出された電子線を加速し、スキャンホーン１２０は、加速器で加速された電子線の照射方向を制御する。また、スキャンホーンは、被照射物Ｗに対して少なくとも一方向の走査処理を実行し、走査処理の折り返しにおいて、電子線の照射を所定時間滞留させる。こうして、被照射物の幅方向端部における線量不足を補い、被照射物に満遍なく電子線を照射して電子線の線量分布の平坦化を図ることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】高温場で利用する場合であっても、簡易な構成でサイクロン分離器の分離効率を確実に制御する。
【解決手段】サイクロンシステム２００は、固体と気体が混合された混合物が導入口２１０ｂを通じて導入され、混合物を旋回させることにより、所定の粒径以上の固体を、落下口２１０ｃを通じて落下させるとともに、所定の粒径未満の固体である飛散粒子および気体を、落下口２１０ｃより鉛直上方に位置する排気口２１０ｄを通じて排気するサイクロン分離器（第１サイクロン分離器２１０）と、落下口２１０ｃに連接された連接管２１２と、連接管２１２にガスを供給することで、落下口２１０ｃを通じてサイクロン分離器（第１サイクロン分離器２１０）内に当該ガスを逆流させるガス供給部２１４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ガスの漏れ抑制性能が高い圧縮機シール装置を提供する。
【解決手段】大内径部１６、空洞部１７、及び小内径部１８を形成したガスシール３ｂと、外周面に周方向に延びるフィン１０を複数条形成した大外径部１１、外径変化部１４、及び外周面に周方向に延びるフィン１２を複数条形成した小外径部１３を有するラビリンススリーブ１５とを組み合わせ、オープンインペラ１を備えた圧縮機の稼働中に、外径変化部１４側のガスの密度分布と空洞部１７側のガスの密度分布との差が拡がるようにし、密度分布が小さいガスＧをラビリンススリーブ１５の小外径部１３に沿って流通させる。 （もっと読む）

【課題】計測対象孔の近傍に障害物がある場合であっても、信頼性の高い計測結果が得られる孔傾斜計測治具及び孔傾斜計測方法を提供する。
【解決手段】管孔加工面Ｗｂに形成された管孔Ｗａに挿入された状態でその中心軸線１ａ周りに回転可能なロッド部１と、ロッド部１に設けられ、中心軸線１ａが延びる軸方向と直交する直交方向に延在するアーム部２と、アーム部２において上記直交方向に間隔をあけて設けられ、中心軸線１ａ周りにおける第１の位置にアーム部２が位置するときと、該中心軸線１ａ周りにおける上記第１の位置と異なる第２の位置にアーム部２が位置するときとの、管孔加工面Ｗｂに対する上記軸方向における相対距離の変化を計測可能な複数の計測部３と、を有する孔傾斜計測治具Ａ及び当該孔傾斜計測治具Ａを用いた孔傾斜計測方法を採用する。 （もっと読む）

【課題】アレイアンテナ式のＣＶＤプラズマ装置１の生産性を高いレベルまで向上させつつ、薄膜の品質を高めること。
【解決手段】予め設定した配設方向の一端部側の基板エリアＡとフロント壁９の壁面との間及び前記配設方向の他端部側の基板エリアＡとリア壁１１の内壁面との間に、片側に基板Ｗからの輻射熱を吸収可能な吸収面４５ｆを有しかつ基板Ｗを冷却する冷却パネル４１がそれぞれ配設され、隣接する基板エリアＡ間に、両側に基板Ｗからの輻射熱を吸収可能な吸収面５７ｆを有しかつ基板Ｗを冷却する中間冷却パネル５３が配設されたこと。 （もっと読む）

【課題】コンプレッサハウジングを回転機械に取り付けた状態で、回転体におけるコンプレッサ側端部の磁化部による磁場を利用して回転角を検出する場合に、吸入ガスに干渉することなく、回転体の回転角を検出できる回転角検出装置を提供する。
【解決手段】コンプレッサハウジング９に設けた吸気穴９ａ内において磁化部３ｄに対向する位置に配置される磁気センサ１５と、磁気センサ１５を支持するセンサ支持部１７と、磁気センサ１５の出力信号に基づいて回転体３の回転角信号を出力する回転角出力部１９と、を備える。センサ支持部１７は、吸気穴９ａ内において、回転体３の中心軸Ｃの仮想延長線上に配置され、この状態で、センサ支持部１７は、コンプレッサハウジング９の内周壁９ｂとの間に、コンプレッサ翼３ａへ外部から軸方向に流れるガスの流路を形成しており、この流路は、中心軸Ｃを回る周方向に延びている。 （もっと読む）

【課題】ワークを対象物に複数の動作で組み付ける場合に、各動作において正常動作中に誤作動することなく過負荷を確実に検出し安全に停止させることができる組立ロボットとその制御方法を提供する。
【解決手段】ワーク１を把持するハンド１２と、ハンドに作用する外力を検出する力センサ１４と、３次元空間内でハンドの位置と姿勢を移動可能なロボットアーム１６と、ロボットアームを制御するロボット制御装置１８とを備え、（Ａ）各動作における組付け方向の外力の最大値を記憶し、（Ｂ）ロボットアーム１６を制御して各動作を順次実行し、（Ｃ）各動作の実行中に、力センサ１４で検出された組付け方向の外力が、各動作における最大値に達したときに、ロボットアーム１６を停止する。 （もっと読む）

【課題】疲労強度や製品寿命が向上するターボ機械のロータの提供。
【解決手段】回転軸６の端部６ａに設けられると共に軸方向において第１の線膨張係数を有する羽根車１１と、回転軸６の端部６ａに向けて羽根車１１を軸方向に締め付けると共に軸方向において第１の線膨張係数よりも大きな第２の線膨張係数を有するテンションボルト１３と、テンションボルト１３によって回転軸６の端部６ａに向けて羽根車１１と共に軸方向に締め付けられ、軸方向両側における接触端面１４ａが該軸方向に対して垂直に形成されると共に第２の線膨張係数よりも大きな第３の線膨張係数を有する熱膨張部材１４と、を有するターボ圧縮機１のロータ１００を採用する。 （もっと読む）

【課題】ワークの加工や検査の際にワークを支持する治具を、ワークの加工や検査の際に用いる装置類との干渉をチェックしながら設計できるように支援すること。
【解決手段】ワーク（タービンブレード）の加工に用いる装置（砥石）の基準座標系である加工基準座標系に対する、ワークの支持に使用する治具のベースプレートの座標系（治具座標系）のオフセット量を、Ｘ、Ｙ、Ｚの各軸方向にそれぞれ設定できるようにした。したがって、ベースプレートやその上に配置される部品で構成される治具と、治具で支持されるワーク（タービンブレード）の加工に用いる砥石（装置）との、干渉チェックや干渉回避の各処理を行うことができる。 （もっと読む）