【課題】被研磨材間あるいは１つの被研磨材における厚さの不均一性を改善し、かつ研磨の終点制御を容易にすることができる研磨装置及び方法を提供する。
【解決手段】被研磨物を研磨するための研磨室３６と制御装置３４とを有する研磨装置であって、前記研磨室には、前記研磨室内の雰囲気の温度を測定する温度センサ４８と、研磨面１０を有する研磨テーブル１２と、前記研磨面に研磨液を供給するノズル１６とが設けられ、前記制御装置に入力された被研磨物と研磨面との接触面の温度に対する研磨目標温度の値と前記温度センサ４８により測定された値に基づいて前記研磨液の温度を制御する。 （もっと読む）

【課題】 簡便に残留塩素を検出することのできる検出試薬を提供する。また、定置洗浄における洗浄終点を簡便に判定できる方法を提供する。
【解決手段】 （ａ）Ｎ，Ｎ−ジエチル−ｐ−フェニレンジアミン硫酸塩、（ｂ）硫酸ナトリウム、（ｃ）１，２−シクロヘキサンジアミン四酢酸、（ｄ）リン酸二水素ナトリウムおよび／またはリン酸二水素カリウムを含む緩衝液、を含有することを特徴とする、残留塩素の検出試薬を用いる。また、塩素を含む液体を用いて被殺菌物を殺菌する工程、すすぎ水により前記被殺菌物をすすぐ工程、すすぎ後のすすぎ水に検出試薬を添加する工程、を含み、前記検出試薬を添加したすすぎ水が発色しない場合に、すすぎが終了したと判定されることを特徴とする、すすぎ終点の判定方法を用いる。 （もっと読む）

【課題】 植物廃棄物の有効利用法及びフィルタープレス型脱水機による汚泥の脱水処理におけるフィルターケーキの剥離性を向上し、且つ、フィルターケーキ内部への伝熱性を低下させる薄膜の形成を抑制し、これによってフィルタープレス型脱水機による汚泥の脱水乾燥処理の処理効率を大幅に向上する方法を提供する。
【解決手段】 本発明の一態様は、フィルタープレスと、フィルタープレス内を減圧状態にするための減圧装置と、フィルタープレス内の汚泥を加熱する手段とを有するフィルタープレス型脱水機によって汚泥を脱水処理する方法において、汚泥に、植物を膨張粉砕処理して得られた膨張粉砕物を添加混合して調質した後に上記フィルタープレス型脱水機で脱水処理することを特徴とする方法に関する。 （もっと読む）

【課題】 多様な給水装置に対応できるようにポンプ、モータおよび制御部をユニット化した給水装置ユニット、および該給水装置ユニットと配管ユニットやフロートスイッチ等の付属機器ユニットとを適宜組み合わせて構成された給水装置を提供する。
【解決手段】 吸込管５と、吸込管５に接続された単一のポンプ３と、ポンプ３を駆動するモータ４と、ポンプ３の吐出側に接続された吐出管６と、ポンプ３により昇圧された流体の吐出圧力を検出する吐出圧力検出器９と、ポンプ３の運転制御を行うコントローラ１３と、コントローラ１３に運転停止制御用信号を入力する入力端子１５ｃを有した入力端子群１５とを備えた制御部１１とを備え、運転停止制御用信号を入力する入力端子１５ｃは、複数の給水装置で共通に用いられる共通端子として機能する。 （もっと読む）

【課題】 スケールの発生が抑制され、長期間の安定な運転が可能な電気式脱塩装置を提供する。
【解決手段】 本発明の一態様は、陰極と陽極の間に複数のイオン交換膜を配置することによって、脱塩室及び濃縮室が形成され、更に陽極及び陰極とそれに隣接するイオン交換膜によって陽極室及び陰極室がそれぞれ形成されている電気式脱塩装置であって、脱塩室から排出される脱塩水の一部を陽極室の入口水として供給し、陽極室の出口水の一部又は全部を濃縮室の入口水として供給するように構成されていることを特徴とする電気式脱塩装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】 複数の２次電子ビームの各々を有効に検出する。
【解決手段】 電子銃２１から放出された電子から複数の１次電子ビームを形成して試料面に照射する電子線装置において、試料の各走査点から放出された２次電子を１次電子ビームから分離するＥ×Ｂ分離器２７と、分離された複数の２次電子ビームの相互間隔を拡大する電子式拡大レンズ３１と、拡大された複数の２次電子ビームをシンチレータで光信号に変換して伝達するファイバーオプティカルプレート３２と、光信号を電気信号に変換する光電変換素子３５と、シンチレータからの光信号を光変換素子に結像させる、光学式ズームレンズ３３と、光電変換素子３５を光軸の回りに回転させるための回転機構３６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 上部ケーシングおよび外ケーシングの上部開放端を密封するためのケーシングカバーの機能を果たす部材の剛性を高めることができるとともにこの部材の材料費を低減することができ、またメカニカルシールの交換が容易でメンテナンス性の向上を図ることができ、さらに中間ケーシングの底面部の耐圧構造を向上させる。
【解決手段】 原動機と連結された主軸１０に取り付けられた少なくとも１つの羽根車１１と、羽根車１１に対応して設けられた少なくとも１つのケーシング１と、ケーシング１の開放端を密閉するケーシングカバーと、該ケーシングカバーを主軸１０が貫通する部分に設けられた軸封装置とを備えた遠心式ポンプにおいて、前記ケーシングカバーを鋳造品からなる厚肉部材６とプレス成形品からなり厚肉部材６の外面に密着固定された薄肉の耐食性のあるライニング部材４０とで構成した。 （もっと読む）

【課題】 投影電子光学系の条件が照明電子光学系の設計の制約となることを緩和し、照明電子光学系の設計の自由度を増した写像型電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】 試料５から光軸に平行に放出された発生電子６ｂ（主光線）は、カソードレンズにより集光され１点で光軸３と交わる。この点が第１クロスオーバとなる。発生電子６ｂはカソードレンズ７４ａにより光軸に平行とされて電磁プリズム２の位置に結像し、スティグメータ７を通ってズームレンズ８ａに入射し、再び集光されて１点で光軸３と交わる。この位置が第２クロスオーバとなる。この第２クロスオーバ位置に開口絞り１１が設けられている。これにより、第１クロスオーバ位置に開口絞りを設ける必要が無くなるので、照明電子光学系の設計が容易になる。 （もっと読む）

【課題】敷地面積が少なくて済み、且つ設置床にポンプの吐出配管や吐出弁を互いに干渉することなく、配置できるポンプ場を提供すること。
【解決手段】ポンプ吸込水槽にポンプを設置した構成のポンプ場において、ポンプ吸込水槽１に連通する水路にセミクローズタイプ又はクローズタイプ水槽２を複数個直列に設け、該各セミクローズタイプ又はクローズタイプ水槽２に立軸ポンプ３設置した。これにより、ポンプ付近に自由表面を持たない構造となるので、ポンプ上流側の手前に有害な空気吸込渦の発生を防止できる。 （もっと読む）

【課題】 低温活性ダイオキシン類分解性の汚染媒体処理剤を用いて、焼却炉の燃焼排ガスに含まれるダイオキシン類を効率的に分解処理すると共に、飛灰中の重金属類の溶出を防止する装置を提供する。
【解決手段】 本発明に係る燃焼排ガスの処理装置は、焼却炉から排出される飛灰及び焼却灰を含む排ガスを所定温度に冷却するガス冷却装置；前記ガス冷却装置からの排出ガスを処理してその中に含まれる飛灰及び焼却灰を分離するための集塵装置；前記焼却炉からガス冷却装置への排出ガス及び／又はガス冷却装置からの排出ガスに汚染媒体処理剤を供給するための汚染媒体処理剤供給装置；前記集塵装置から排出される飛灰及び焼却灰に水及び／又は重金属溶出防止剤を加えて混練りするための混練り装置；を具備することを特徴とする。 （もっと読む）