三重効用吸収冷凍機において補助再生器及び補助吸収器を付加して設ける。吸収器からの希溶液を補助再生器にて濃縮し、ここで発生した冷媒蒸気を補助吸収器にて吸収させる。あるいは、吸収器からの希溶液を補助吸収器に導き、補助吸収器から低温再生器、補助再生器にて加熱濃縮させ、補助再生器にて発生した冷媒蒸気を補助吸収器にて吸収させる。
補助再生器及び補助吸収器を設けることにより、二重効用と三重効用の中間的なサイクルを可能とし、高温再生器の圧力、溶液温度を過度に上昇することを防止できる。
（もっと読む）

【課題】 簡単な構成で安価であり、且つ効率的に除振制御を行うことができる除振装置を提供すること。
【解決手段】
対象物２を載置する除振テーブル３と、除振テーブル３を鉛直方向に浮上支持し位置決めする空気ばね１０と、除振テーブル３の鉛直方向及び水平方向の振動を制御すると共に位置決めをする電磁アクチュエータ２０と、除振テーブルの振動を検出する加速度センサＡＺ１〜ＡＺ３と、除振テーブル３の位置を検出する変位センサＺ１〜Ｚ４とを備えた除振装置１において、空気ばね１０を制御する第１の制御回路４０と電磁アクチュエータ２０を制御する第２の制御回路５０とをそれぞれ別個に設け、制御回路４０で除振テーブルの位置を制御し、制御回路５０で除振テーブル３の振動を制御するように構成した。 （もっと読む）

【課題】濾過表面だけでなく、濾過面内部の目詰まりまでも効果的に洗浄できる、固液分離装置の濾過面の洗浄方法及び洗浄装置を提供する。
【解決手段】セラミック、金属等の無機質の材質からなる濾過体を有する固液分離装置において、前記濾過体の濾過面にオゾンを散気、接触させることにより、オゾンガスを用いてその濾過面を洗浄することを特徴とする固液分離装置の濾過面洗浄方法、又は洗浄装置であって、オゾンガスの強力な酸化力によりきょう雑物を酸化分解して、濾過面の目詰まりを有効に防止する。オゾンを濾過体の外側下部又は内側から散気、添加する。 （もっと読む）

【課題】 災害発生時の不利な条件のもとで、確実かつ効果的な作動を得ることができるような消火ポンプ装置を提供する。
【解決手段】 この消火ポンプ装置は、水を圧送する電動式のポンプ１０と、ポンプ１０の吐出側に取り付けられた主配管５２と、主配管から分岐して設けられた分岐配管５４，５６と、該分岐配管に沿って設けられた１または複数の放水手段５０とを有する。さらに、ポンプ１０の吐出側には圧力検知器７２が設けられ、この圧力検知器７２の出力に基づいてポンプをその吐出し圧力が所定の値となるように可変速制御する可変速制御手段３０が設けられている。 （もっと読む）

【解決課題】 薄膜材料の化学反応を行うための処理容器内の気密性を確保して、不活性ガス雰囲気中での処理を好適な条件下で行うことができ、しかも、薄膜材料を傷つけることがなく、高速に大量に且つ連続して薄膜材料の処理を行うことができる薄膜材料処理装置及び該処理装置に用いられるシール装置を提供する。
【解決手段】 入口シール装置４及び出口シール装置６は、処理容器５の薄膜材料入口５ａ及び出口５ｂにそれぞれ取り付けられている。入口シール装置４及び出口シール装置６は、それぞれ、薄膜材料の出入口１１及び１６を備えるケーシング１２と、ケーシング１２の対向壁からそれぞれケーシング１２の内方に向かって延在するシール部材である複数の邪魔板対１３と、を備え、一対の邪魔板１３の各先端部１３ａは、互いに対向するように配置されている。 （もっと読む）

【課題】敷地面積が少なくて済み、且つ設置床にポンプの吐出配管や吐出弁を互いに干渉することなく、配置できるポンプ場を提供すること。
【解決手段】ポンプ吸込水槽にポンプを設置した構成のポンプ場において、ポンプ吸込水槽１に連通する水路にセミクローズタイプ又はクローズタイプ水槽２を複数個直列に設け、該各セミクローズタイプ又はクローズタイプ水槽２に立軸ポンプ３設置した。これにより、ポンプ付近に自由表面を持たない構造となるので、ポンプ上流側の手前に有害な空気吸込渦の発生を防止できる。 （もっと読む）

【課題】 基板表面に配線用の微細凹部を形成した後の一連の配線形成処理を、ドライ処理とウェット処理の混合した処理を経ることなく連続的に安定して行えるようにする。
【解決手段】 表面に堆積した絶縁膜６２の内部に配線用の微細凹部６４を形成した基板Ｗを用意し、この基板Ｗの表面にウェット処理によりバリア層６８を形成し、このバリア層６８の表面にウェット処理によりシード層７０を形成し、このシード層形成後の基板の表面にウェット処理により配線層７２を形成する。 （もっと読む）

【課題】 イネ科植物において有用物質を効率よく生産回収することができる有用物質生産法およびそのための遺伝子組換えイネ科植物を提供する
【手段】 本発明の植物を用いた有用物質の生産方法は、水モミ化を起こすイネ科植物変異体に抗菌性ペプチドのような有用物質のアミノ酸配列をコードする遺伝子を導入することにより該イネ科植物変異体を形質転換し、該イネ科植物変異体に生じた水モミ部分から前記有用物質を回収することを特徴とする。
（もっと読む）

【課題】電子線の出射のオン・オフを高速で行なったり、可変成形ビームの寸法変更やキャラクターマスクのキャラクター変更を高速で行なうことができる描画方法を提供する。
【解決手段】熱電子放出カソード１から放出された電子線を加速し、正方形の開口４に入射させることにより、電子線を正方形に成形する。この正方形に成形された電子線を、キャラクターマスク９を通すことによりパターン化するとともに、該パターン化された電子線を選択的に出射する。パターン化された電子線を縮小し、位置決めし、対物レンズ１２でフォーカスし、ウェーハ２７上に照射する。対物レンズ１２とウェーハ２７との間で、パターン化された電子線をさらに加速することによって初めて、該電子線に、レジストを透過可能なエネルギーを付与する。 （もっと読む）

電解加工装置は、少なくとも１つの加工電極（８６）と、基板（Ｗ）に対して加工電極（８６）と同じ側に設けられた少なくとも１つの給電電極（８６）とを備える。イオン交換基を有する有機化合物が加工電極（８６）の表面及び給電電極（８６ｂ）の表面の少なくとも一方に化学的に結合され、イオン交換体（９０）を形成する。電解加工装置は、基板（Ｗ）を保持して加工電極（８６）に接触又は近接させる基板保持部（４２）を備えている。電解加工装置は、加工電極（８６）と給電電極（８６）との間に電圧を印加する電源（４８）と、基板（Ｗ）と加工電極（８６）との間に流体を供給する流体供給部（９２，９４）とを含んでいる。
（もっと読む）