【課題】液体原料の気化効率を向上させ、パーティクルの付着を防止する。
【解決手段】ウェハを収容して処理する処理室と、液体原料をキャリアガスによるバブリングにより気化させるバブラ２２０ａと、バブラ２２０ａにて液体原料を気化させることで生成された原料ガスを処理室内に供給する原料ガス供給管２１３ａとを有し、バブラ２２０ａは液体原料を収容する容器と、容器内に収容された液体原料内にその先端部分が浸され、液体原料内にキャリアガスを供給するキャリアガス供給管２３７ａとを有する基板処理装置において、キャリアガス供給管２３７ａから液体原料内に供給されたキャリアガスを水平方向に拡散させる拡散板２３８をバブラ２２０ａ内の底部に敷設し、拡散板２３８は多孔質材により構成される。 （もっと読む）

【課題】耐タンパ性確保の為の部品点数を減少させると共に、必須部品を活用することで外部からの解析を困難にする情報処理装置を提供する。
【解決手段】筐体２と、該筐体の内部に固定されるプリント基板３を有する情報処理装置１であって、電源６と、機密情報が格納される記憶部７と、機密情報の暗号化及び復号化を行う暗号化モジュール８と、該暗号化モジュールを制御する制御部９とが前記プリント基板に実装され、前記記憶部は前記暗号化モジュールを介して前記電源と電気的に接続された。 （もっと読む）

【課題】処理室へ供給されるガスを充分に加熱することにより、ヘイズやスリップに起因する成膜不良を抑制することができる技術を提供する。
【解決手段】本発明によれば、ガスノズルに比べて遥かに表面積の大きなガス導入空間２０５を設けているので、表面積の大きなガス導入空間２０５の内部で予めガスを充分に加熱することができる。このため、処理室２０３に導入されるガスを加熱することができ、この結果、処理室２０３の内部に配置されているウェハＷＦとの温度差を小さくすることができる。したがって、本発明によれば、処理室２０３に導入されるガスと、処理室２０３の内部に配置されているウェハＷＦとの温度差に起因するヘイズやスリップを抑制することができ、ウェハＷＦ上に形成される膜の品質を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】新規に敷設する必要がなく、低コストで、かつ配線するスペースを必要とせず、映像伝送に必要な伝送周波数帯域の映像信号を十分伝送可能で、音声以外の通信者側の情報を入手可能とし、非常通報に対しより詳細に対応することが可能な車内非常通報装置を提供する。
【解決手段】非常通報ボタンの近傍に、非常通報ボタンを押す人（乗客若しくは乗務員）の顔が映るようカメラを設置する。カメラが撮像した映像は、ＰＬＣ装置を介して列車の低圧電力線に送信される。乗務員側では、通報者の映像を映し出すための表示モニタを設置し低圧電力線より非常通報ボタンに連動して映像出力オンし、ボタンが押された場所に設置されているネットワーク映像を表示モニタに選択出力するように動作する。 （もっと読む）

【課題】過去の時点と現時点の取引データを比較できるデータ管理システムを提供する。
【解決手段】取引日と取引額と該取引時点の管理項目データを含む取引データが蓄積される取引データ記憶手段と、最新の管理項目データの全てが記憶される管理項目データ記憶手段と、ユーザが設定した検索用データにより取引データ記憶手段から対応する取引データを抽出し、該抽出した取引データに関連する管理項目データを抽出する取引データ検索手段と、前記抽出した取引データと管理項目データを含む保存データを作成し、該保存データを保存データ識別子と対応付けて保存テーブルに格納し、該保存テーブルを保存テーブル識別子と対応付けて保存テーブル記憶手段に格納する検索データ格納処理手段と、保存テーブル記憶手段に記憶された保存データを、保存テーブル識別子及び保存データ識別子により検索する保存テーブル検索手段とを備えるようデータ管理システムを構成する。 （もっと読む）

【課題】 位相回転補正処理を用いずに、ＦＦＴ区間更新前後のシンボル差分電力を無効にし、周波数方向平均された雑音電力を用いてキャリア毎の尤度を算出する。
【解決手段】 設定部１０２が演算部１０３にＦＦＴ開始位置を設定又は位置更新し、当該位置更新通知情報を出力し、演算部１０３が受信時間信号を周波数信号に変換し、抽出部１０４が周波数信号からパイロットキャリアを抽出し、電力算出部１０６（２０４）がパイロットキャリアの差分電力を算出し、判定部１０６（２０６）が位置更新通知情報を用いて差分電力の有効を判定し、周波数方向平均部１０７が有効な差分電力の平均を算出し、それを平均雑音電力とする。また、推定部１０５がパイロットキャリアに対して周波数内挿を行うことで伝送路特性を推定し、等化部１０８が伝送路特性と受信周波数信号を用いて等化信号を算出し、尤度算出部１０９が等化信号と伝送路特性と平均雑音電力を用いて尤度を算出する。 （もっと読む）

【課題】作業効率の低下を防止する基板処理システムを提供する。
【解決手段】基板処理を実行する基板処理装置と、前記基板処理装置から、前記基板処理装置に関する情報を一括取得する群管理装置と、前記群管理装置を介して、前記基板処理装置に関する情報を取得する端末装置とからなる基板処理システムであって、前記端末装置の操作者に関する情報と、前記端末装置における前記基板処理装置に関する情報の表示に関する情報とを記憶する記憶手段と、前記記憶手段に記憶された、前記端末装置の操作者に関する情報と、前記端末装置における前記基板処理装置に関する情報の表示に関する情報とに基づいて、前記端末装置における前記基板処理に関する情報の表示を制御する制御手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】群管理装置の負荷の低減及び表示速度の向上を図りつつ、描画データの欠落を抑えた時系列グラフを描画する。
【解決手段】基板処理システムが備える群管理装置は、所定の描画対象期間で抽出されたモニタデータに基づき時系列グラフを描画する表示制御部を備え、表示制御部は、抽出されたモニタデータから算出され、描画領域内の時間軸方向の幅１ピクセル分に相当する時間帯に含まれる描画データ点数が、閾値以上と判定されると、時間軸方向の各ピクセル位置に対応する時間帯のモニタデータから閾値未満となるように抽出した代表値データについてそれぞれ描画座標を算出する。 （もっと読む）

【課題】高周波電力の印加に伴って発生するノイズを低減することができる基板処理装置及び半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】基板処理装置は、ウエハが搬入される処理室と、この処理室内にガスを供給するガス供給部と、処理室内を排気する排気部と、処理室内に高周波電力を印加する高周波印加部と、高周波印加部から発生するノイズを検出するノイズ検出部と、ノイズ検出部の検出結果に基づいて、前記高周波印加部から発生するノイズの逆位相の高周波を出力する逆位相出力部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】監視システムの動作状態に関する試験（動作試験）を自動的に実施する手段を提供し、実際に人を侵入させて行う試験を必要とせず、動作試験およびパラメータ調整の作業を自動化する。
【解決手段】別途擬似的に入力映像に物体が侵入したように見える合成映像を作成する。動作確認試験時は、ＰＴＺ撮像装置より得られた映像の代わりに疑似映像を物体検出装置に入力し、入力映像と擬似物体画像を合成した位置の座標情報と物体検出装置で検出した位置の座標情報を比較し、その結果により該物体検出装置の動作が正常かどうかを自動的に判別する。更に、試験を複数の画像処理パラメータの組み合わせで自動的に実施し、ユーザの要求に従って最適なパラメータを自動的に決定する。 （もっと読む）