【課題】 低コスト、高寸法精度、高耐久性のシリカ容器及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 （１）シリカ粒子である第一原料粉、非晶質シリカからなり平均粒径が小さく球状の第二原料粉、主成分がシリカであり、Ａｌ元素及び／又はＯＨ基を含有するか、結晶核材を含有する第三原料粉、及び、高純度結晶質シリカである第四原料粉の準備、（２）第二原料粉を顆粒体とする工程、（３）第一原料粉と第二原料粉の顆粒体とを混合、（４）混合粉体を外型枠の内壁に導入して所定形状とする工程、（５）混合粉体を加圧して基体を成形、（６）基体を焼成、歪除去、（７）基体の内側から第三原料粉を散布して供給しながら溶融し、基体の内表面上に中間層を形成、（８）中間層が形成された基体の内側から第四原料粉を散布して供給しながら溶融し、中間層の内表面上に内側層を形成、の各工程を有し、（６）と、（７）（８）とを順不同で行うシリカ容器の製造方法。 （もっと読む）

【課題】精度の良い内径および管壁の厚みを有する石英ガラス管を提供する。
【解決手段】２台のカメラ７，８を用いて、管状ストランド２の外側輪郭の第１の縦縁を示す第１の光学画像と、外側輪郭の第２の縦縁を示す第２の光学画像とを生成する。次にこれらの光学画像を、画像処理装置により第１の画像及び第２の画像内のそれぞれの縦縁１０，１１の相対位置の位置データが算出し、これらの位置データから、第１の画像と第２の画像との所定の空間関係を考慮して計算された管状ストランドの外径の実際値を使用して管の直径を制御する。 （もっと読む）

【課題】 低コスト、高寸法精度、高耐久性のシリカ容器及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 （１）シリカ粒子である第一の原料粉、非晶質シリカからなり平均粒径が第一の原料粉よりも小さく球状の第二の原料粉、及び、結晶質シリカからなり第一及び第二の原料粉よりもシリカ純度が高い第三の原料粉の準備、（２）第二の原料粉をバインダーコーティングされた顆粒体とする工程、（３）第一の原料粉と第二の原料粉の顆粒体とを混合、（４）混合粉体を回転対称性を有する外型枠の内壁に導入して所定形状とする工程、（５）所定形状とした混合粉体を加圧して基体を成形工程、（６）基体を酸素含有雰囲気下で焼成、その後歪除去、（７）基体の内側から第三の原料粉を散布して供給しながら溶融することで基体の内表面上に透明シリカガラス層を形成、の各工程を有し、（５）の工程終了後に（６）の工程及び（７）の工程を順不同で行うシリカ容器の製造方法。 （もっと読む）

【課題】使用時に半導体素子を汚染するパーティクルの発生がなく、かつ使用を重ねても処理条件を変動することがないシリカガラス治具を提供する。
【解決手段】半導体を製造する工程で使用するシリカガラス治具において、その表面の一部又は全部に中心線平均粗さＲａが０．１〜２０μｍの凹凸が存在し、前記凹凸が、大柄な波状の凹凸とその表面に存在する微細な浅いお椀状の凹部とからなる多層構造で、しかも前記お椀状の凹部の底の深さが凹部の縁径より小の浅さで凹部間の縁には鋭角な凸がなく、かつ、濃度３．０〜４．０％で液温が１７〜２３℃のフッ化水素水溶液にて１５〜１７時間エッチングした時の表面と、エッチング処理しない時の表面とを触針部先端のＲが２〜１０μｍの範囲にある触針式表面粗さ測定装置を用いてＪＩＳＢ０６０１に基づき測定した時の中心線平均粗さRaの変化率が５０％以下であることを特徴とするシリカガラス治具。 （もっと読む）

【課題】 熔融成形型の内側に、ＳｉＯ_２粒子から成る多孔性のＳｉＯ_２粒化物層が形成され、内部に化学的に結合された窒素を含有する石英ガラスから成る安定化層へとガラス化され、その際ＳｉＯ_２粒子は、このガラス化前またはガラス化中に、窒素を含有する反応ガスを使用して窒化される、少なくとも一部が窒素ドープした石英ガラスから成るルツボ内壁を有する石英ガラスルツボの製造方法から出発する。
【解決手段】 このことから出発して、石英ガラスルツボの内壁内に、出来る限り高い割合の化学的に結合された窒素での窒素ドープが達成可能な方法を提供するために、本発明によって、窒素含有反応ガスとして酸化窒素が使用されることが提案される。 （もっと読む）

【課題】 光触媒作用を効率良く発揮させることができる光触媒体及びこれの製造方法、並びにこのような光触媒体を用いた浄化装置を提供する。
【解決手段】 光触媒作用を有する繊維状の光触媒体であって、少なくとも、シリカを主成分とし、酸化チタン（ＴｉＯ_２）の含有量が１〜５０ｗｔ．％であるシリカチタニア系ガラス繊維からなることを特徴とする繊維状光触媒体、及びこのような繊維状光触媒体の製造方法、並びにこのような繊維状光触媒体を具備する浄化装置。 （もっと読む）

【課題】 紫外光のみならず可視光照射下において光触媒作用を効率良く発揮させることができる光触媒体及びこれの製造方法、並びにこのような光触媒体を用いた浄化装置を提供する。
【解決手段】 少なくとも、シリカガラス繊維からなる繊維状シリカガラス担体と、該繊維状シリカガラス担体の表面に形成された、金属酸化物を主成分とする光触媒材料の被膜とからなる繊維状光触媒体であって、前記光触媒材料は、さらに添加元素として前記主成分の金属酸化物を構成する金属元素以外の遷移金属元素のいずれか一種及び／又は窒素を含有し、可視光応答性を有するものであり、前記繊維状光触媒体が、可視光応答性を有する光触媒体として機能する可視光応答型繊維状光触媒体、及びこのような可視光応答型繊維状光触媒体の製造方法、並びにこのような可視光応答型繊維状光触媒体を具備する浄化装置。 （もっと読む）

【課題】金属不純物を含有させることなく、紫外域と赤外域の光線透過率を低下させ、且つ可視域の透過率が高い紫外線赤外線吸収合成シリカガラス及びその製造方法を提供する。
【解決手段】金属不純物濃度の総和が１ｐｐｍ以下であり、波長２５０ｎｍにおける酸素欠損型欠陥量が吸収係数で０．１〜２／ｃｍであり、波長２５０ｎｍ以下の光線の内部透過率が０％／ｃｍ以上８０％／ｃｍ以下であり、波長５００ｎｍから１１００ｎｍまでの光線の内部透過率が５０％／ｃｍ以上９２％／ｃｍ以下であり、波長１５００ｎｍ以上の光線の内部透過率が０％／ｃｍ以上８５％／ｃｍ以下であるようにした。 （もっと読む）

窒素でドープされた石英ガラスを製造する既知の方法において、ＳｉＯ₂粒の形態又は該ＳｉＯ₂粒から作製される多孔質半製品の形態でＳｉＯ₂ベース製品を準備し、該ＳｉＯ₂ベース製品を、窒素を含有する反応ガスを含有する雰囲気中で熱間プロセスにおいて、内部で窒素が化学結合した石英ガラスへと加工する。この出発点から、可能な限り高い割合の化学結合した窒素となる石英ガラスへの窒素ドーピングを達成する方法が提供される。この目的は、窒素を含有する反応ガスとして酸化窒素を使用し且つ熱間プロセスにおいて酸素欠乏型欠陥濃度が少なくとも２×１０¹⁵ｃｍ^-3であるＳｉＯ₂ベース製品を使用し、ＳｉＯ₂ベース製品が、２００ｎｍ〜３００μｍの範囲の平均粒径（Ｄ₅₀値）を有するＳｉＯ₂粒子を含む本発明により達成される。
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【課題】無転移シリコン単結晶の引上げの際に、るつぼ内壁からの不純物の放出を最小限にして、高歩留りで無転移シリコン単結晶の引上げを可能とする石英ガラスるつぼの製造方法を提供する。
【解決手段】壁体と、壁体の内側と外側を連通するように壁体に設けられた開口通路８とを有する溶融型１を提供する工程と、第１の粗大なＳｉＯ_２微粒子から構成される外側層微粒子体を提供し、外側層微粒子体からなる外側微粒子層１２を溶融型１の壁体の内面に形成する工程と、第２の微細なＳｉＯ_２微粒子から構成されるバリア層微粒子体を提供し、バリア層微粒子体からなるバリア微粒子層１６を外側微粒子層１２の内面に形成する工程と、溶融型１の壁体の外側に負圧を適用する工程と、透明な内側層を有する石英ガラスるつぼを形成するためバリア微粒子層１６及び外側微粒子層１２を加熱する工程と、を含む。 （もっと読む）