【課題】 ダメージを受けやすい薄膜が形成されている基板の洗浄においても、基板にダメージを与えにくく、且つ、薄膜上のパーティクル除去率が高いロールブラシ及びこのロールブラシを用いた基板洗浄装置を提供する。
【解決手段】 基板５１の主面に当接させて回転させることにより基板５１の主面を洗浄するロールブラシ５６，５７を、複数のブラシ毛を束ねて形成されたチャンネルブラシ２を、ロールブラシ５６，５７の芯を形成する円柱状のロール部材３１に、このロール部材３１の外周面に螺旋状に、隣接するチャンネルブラシ２間に隙間を設けて巻き付けて構成した。 （もっと読む）

【課題】印刷のためのジョブとジョブとの間において印刷／排紙の動作に空きが生じる時間を短縮する。
【解決手段】先行ジョブＡの印刷が実行されている間（ＰＲ１１）において、後続ジョブの印刷データに対するＲＩＰ処理が終了して後続ジョブの印刷のためのデータの準備が完了すると（Ｔ２０２）、後続ジョブＢの用紙サイズが先行ジョブＡの用紙サイズと同一であるか否かを判定し（Ｔ２０４）、両者の用紙サイズが同一である場合に、ジョブＡの印刷を実行中のプリンタに連続指示Ｉｃを送信する（Ｔ２０８）。プリンタは、この連続指示Ｉｃを受け取ると、ジョブＡの印刷が終了した後に印刷機構の動作を停止させることなく、連続して後続ジョブであるジョブＢの印刷を実行する。 （もっと読む）

【課題】装置の省スペース化を容易に実現できる基板搬送装置およびそれを用いた基板処理装置を提供すること。
【解決手段】インデクサロボット１３には、第１ロボットアーム１６および第２ロボットアーム１７が備えられており、第１ロボットアーム１６および第２ロボットアーム１７は、いわゆる３リンク方式とされている。これにより、第１ロボットアーム１６および第２ロボットアーム１７を延ばした状態では、必要なリーチの長さを確保できる。よって、これらを折りたたんだ状態においては、インデクサロボット１３の占有面積を小さくすることができる。よって、回転昇降台を回転させた場合のインデクサロボット１３の旋回直径Ｌ１および移動範囲Ｐ１を小さくすることができ、基板搬送装置１のフットプリントを小さくして省スペース化を容易に実現できる。 （もっと読む）

【課題】 リンス液によるリンス処理に伴うウォーターマークの発生を防止する。
【解決手段】 ミキシングユニット５２ｂ，７２ｂはそれぞれ塩酸供給源５２ａ，７２ａに接続されており、純水供給部２００から供給される純水に対して希塩酸を混合可能となっている。そして、混合させる希塩酸の流量を制御することで混合液のｐＨが５以下に調整される。ミキシングユニット５２ｂ，７２ｂとミキシングユニット５５，７７の間にはそれぞれ窒素溶解ユニット５８，７８が配設されており、混合液を窒素溶解ユニット５８，７８に送り込むことで窒素豊富な流体が生成される。ミキシングユニット５５，７７はそれぞれノズル６，２５に接続されており、ノズル６，２５からｐＨが５以下に低下した窒素豊富な流体がリンス液として基板Ｗに供給される。このため、基板ＷからのＳｉの溶出が低減され、リンス処理に伴うウォーターマークの発生を防止できる。 （もっと読む）

【課題】装置の省スペース化を容易に実現できる基板搬送装置およびそれを用いた基板処理装置を提供する。
【解決手段】インデクサロボット６は、第１モータ１５の駆動により第１ボールねじ１４が回動することで、基台部８を左右方向に移動することができる。また、基板保持ハンド１１４または１２４を基板受け渡し位置Ｓまで進出させる場合には、基台部８が搬送路７と交差する方向に移動して基板受け渡し位置Ｓ寄りに位置することで、基板保持ハンド１１４または１２４の進出距離を短くすることができるので、第１ロボットアーム１１および第２ロボットアーム１２の各リンク部材の長さが大きくなるのを防ぐことができる。よって、移動範囲Ｐ１を小さくし、基板搬送装置１のフットプリントを小さくして省スペース化を容易に実現できる。 （もっと読む）

【課題】処理液の吐出量を正確に設定することが可能でかつノズルからの処理液の吐出動作の変更が容易な基板処理装置を提供する。
【解決手段】制御部１３はレシピデータおよびサブライブラリを有する。サブライブラリにはポンプ駆動モータ７の駆動パターン、加減速時間、レジストノズル４からのレジスト液の吐出速度および吐出量が入力され、レシピデータにはレジストノズル４の吐出時間等の制御情報が入力部１２より入力されて格納される。また、レシピデータおよびサブライブラリの各制御情報は入力部１２から変更することができる。作業者が入力部１２からレジスト液９の吐出量、吐出速度、吐出時間、加速時間および減速時間の５つの制御情報のうち少なくとも４つの制御情報を入力すると、制御部１３は入力された４つの制御情報に基づいて残りの制御情報を算出する。 （もっと読む）

【課題】 ミスト状となった洗浄液の外部への漏れを防止でき、しかも、外部からのパーティクルの浸入を招くことがない基板処理装置を提供する。
【解決手段】 回転軸４と一体的に回転するファン９を回転軸４に取り付け、カバー５の外側であって貫通孔５ａ近傍における気流を、回転軸４の延びる方向に直交する方向であって、回転軸４の周囲方向に向かう方向に発生させる。これにより、カバー５の外側の貫通孔５ａ近傍に存在するミスト状の洗浄液を、ケーシング６内壁に沿わせて案内し、ミスト状の洗浄液がケーシング６の貫通孔６ａから外部に漏れることを防止する。また、外部からカバー５の貫通孔５ａに向かって浸入しようとする空気も、回転軸４の周囲方向に向けて案内して、カバー５内へのパーティクル浸入を防止する。 （もっと読む）

【課題】 処理槽内で新液と廃液とが混ざることなしに、廃液と新液との熱交換により新液を昇温することができ、エネルギー削減及び薬液交換時間短縮をはかる。
【解決手段】 半導体基板を洗浄するための半導体製造装置において、処理温度に昇温された状態で半導体基板の洗浄に供される薬液が充填され、洗浄後の薬液を循環させて再利用する高温循環型薬液槽１１と、薬液槽１１内の薬液１２を排出するバルブ２１と、排出された薬液である廃液に、該廃液との混合によって熱を発生する補助液体を添加することによって、該廃液を加熱する補助液体添加機構３２と、加熱された廃液が一時的に貯留されると共に新液が通流され、廃液と新液との熱交換により廃液を冷却すると共に新液を昇温する熱交換器３１と、熱交換器３１を通して昇温された新液を薬液槽１１内に供給する配管とを備えた。 （もっと読む）

【課題】発光材料を各セルに適切に付与することができ、また、発光に利用されるガスを各セルに適切に導入することが可能な平面表示装置用のパネルを提供する。
【解決手段】プラズマ表示装置用のパネル１は基板２を有し、基板２の主面上には、それぞれがｙ方向に伸びる線状の複数の第１隔壁３１がｙ方向に垂直なｘ方向に一定のピッチにて配列形成される。また、基板２の主面上には、それぞれがｘ方向に伸びる線状の複数の第２隔壁３２が一定のピッチにてｙ方向に配列形成される。複数の第２隔壁３２のそれぞれは、互いに隣接する２つの第１隔壁３１の間において基板２との間に間隙４を形成し、ｙ方向に隣接するセルの間は、間隙４により互いに連結する。これにより、パネル１では間隙４を用いて発光材料を各セルに適切に付与することができ、また、発光に利用されるガスを各セルに適切に導入することができる。 （もっと読む）

【課題】少ない検出手段によって感光材料の幅が正確に検出できる感光材料処理装置を提供する。
【解決手段】複数のマイクロスイッチは、印刷版搬送方向に直交する方向に列設されて感光材料挿入部１のガイドローラ１２に対向する位置に配置されている。印刷版はセンタリングされた状態で搬送される。複数のマイクロスイッチは前記印刷版のセンタリング中心を軸に左右非対称になるように配置されている。従来の感光材料処理装置よりもマイクロスイッチを減少させることができる。また、感光材料の蛇行検出が容易に行える。 （もっと読む）