【課題】 配管の配置を工夫することにより、順次に基板を処理する際の反復再現性を高めることができる。
【解決手段】 折り返し部３３までの上流側と折り返し後の下流側の配管１９が渦巻き状に交互に隣接し、下流側にあたるノズル先端２９の手前側部分は、上流側の配管１９に隣接して配置される。したがって、順次に基板Ｗに処理液を供給する際に、温調時間が異なるノズル先端２９側と、取付部２７ａ側とにおいて処理液間で熱交換が生じるので、先の基板Ｗに供給される処理液と、それ以降の基板Ｗに供給される処理液との間における温度差を小さくすることができる。その結果、順次に基板Ｗを処理する際の反復再現性を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】筐体からの基板処理室の引き出しが容易な基板処理装置を提供する。
【解決手段】中間ブロック２１１の側面２１１ｓおよび基板処理室２０ａの側面２０ｓには、与えられた力を倍力して、筐体１１（棚板１１２ａ）から基板処理室２０ａを搬送路２の方向へ引き出すスライドアシスト機構３０ａが設けられる。スライドアシスト機構３０ａは、オペレータから与えられた力による回転運動に応じて、中間ブロック２１１，２１２を棚板１１２ａに対して引き出し方向へ直線運動させる運動伝達機構３１と、棚板１１２ａに対する中間ブロック２１１，２１２の引き出し方向への直線運動に応答して、基板処理室２０ａを中間ブロック２１１，２１２に対して引き出し方向へ直線運動させる運動伝達機構３２とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 欠陥の検出対象の形状による欠陥の検出処理量の増大を抑制する。
【解決手段】 複数の色の領域を有する検査対象物を撮影する。撮影によって得られた検査対象物のカラー画像を、色に応じて領域分割する。この領域分割結果から、特定の領域の形状を表す被検査画像を取得する。そして、被検査画像と比較画像とを対比することにより、特定の領域に関する欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】 サブカバーの形状を工夫することにより、沸騰状態における処理液の飛散を防止しつつも、水分蒸発を適切に行うことによりサブボイル状態を短時間で安定させることができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】 燐酸溶液の温度が１４０℃程度にまで達すると、激しい沸騰が生じて液面から上方へ液滴の飛散が生じるとともに、水分が蒸発する。しかし、オートカバー１９は、その挿通開口２７にサブカバー２９が設けられ、これも閉止されている。そのため燐酸の液滴が上方へ飛散するのをサブカバー２９によって防止できる。さらに、サブカバー２９は側方に開口を有するので、燐酸溶液の水分蒸発を妨げることがない。したがって、沸騰状態における液滴の飛散を防止することができつつも、サブボイル状態を短時間で安定させることができる。 （もっと読む）

【課題】固定式の記録ヘッドを有しインクによる印字を行う印刷装置において、不良印刷物の発生を防止するために、インクの吐出不良等の印字不良の検出を安価に実現することができる装置を提供する。
【解決手段】印刷用紙の搬送方向とは略直交する複数個のインクジェットヘッド列からなるインクジェットヘッド群１０を移動させるためのキャリッジ１００にラインＣＣＤ１１を搭載する。ラインＣＣＤ１１は、印刷用紙の搬送方向と同一方向に列置された複数個の読み取り素子４からなる読み取り素子列を備える。印刷用紙の搬送方向についてのラインＣＣＤ１１の幅Ｗ２を、インクジェットヘッド群１０の幅Ｗ１よりも大きくする。キャリッジ１００が移動すると、ラインＣＣＤ１１は印刷用紙を副走査方向に走査する。これによりラインＣＣＤ１１に読み取られた画像に基づいて吐出検査が行われる。 （もっと読む）

【課題】 吐出ノズルから基板に対し処理液を吐出して基板を処理する場合に、処理液の使用量を低減させることができ、設備の簡易化および小型化が可能である装置を提供する。
【解決手段】 基板支持手段により支持された基板の主面へ処理液を吐出する吐出ノズル１２に複数の吐出口１６ａ、１６ｂを形設し、吐出ノズル１２の各吐出口１６ａ、１６ｂからそれぞれ異なる方向へ処理液を吐出して基板の主面へ処理液を供給する。 （もっと読む）

【課題】薬液の乾燥跡などの不具合を生じることなく、基板の表面の全域にリンス液をむらなく供給することができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】スプラッシュガード５の上面に、第１リンス液固定ノズル８および第２リンス液固定ノズル９が隣接して配置されている。第１リンス液固定ノズル８からのリンス液は、スピンチャック３によって回転されているウエハＷの表面の回転中心に供給される。一方、第２リンス液固定ノズル９からのリンス液は、平面視において、投影直線Ｌに直交し、かつ、ウエハＷの表面に平行な直線Ｄに対して第１リンス液固定ノズル８側（第２リンス液固定ノズル９側）の半円形領域内であって、投影直線ＬよりもウエハＷの回転方向下流側の１／４円形（扇形）領域に供給される。これにより、ウエハＷの表面の全域に十分な量のリンス液を供給することができる。 （もっと読む）

【課題】 画像を複数の代表色に対応する画像領域に分割する領域分割において、領域分割結果の信頼性を向上させる。
【解決手段】複数の代表色を設定し、各代表色に対応付けられた重みを設定する。画像の画素の色と代表色との色の差を表し、代表色ごとに重み付けられた加重色差指標値を算出する。そして、加重色差指標値に応じて、画素の色を代表色に対応付けられた代表色領域に分類することにより、画像を複数の画像領域に分割する。 （もっと読む）

【課題】 印刷時における筋ムラの発生を有効に防止することが可能な多色オフセット印刷機を提供することを目的とする。
【解決手段】 湿し水供給装置２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、２１ｄにおける各水着けローラ３３ａ、３３ｂ、３３ｃ、３３ｄの直径は各々異なる。より具体的には、水着けローラ３３ａはその外周長がＡとなる直径、水着けローラ３３ｂはその外周長がＡより大きいＢとなる直径、水着けローラ３３ｃはその外周長がＢより大きいＣとなる直径、また、水着けローラ３３ｄはその外周長がＣより大きいＤとなる直径となっている。 （もっと読む）

【課題】 基板を回転させながら基板に処理液を供給して該基板に対して所定の処理を施す基板処理装置において、基板表面への処理液の再付着を効果的に防止する。
【解決手段】 スピンベース５の周縁部付近には、基板Ｗの下面周縁部に当接しつつ基板Ｗを支持する支持部７が複数個、スピンベース５から上方に向けて突出して設けられている。そして、複数個の支持部７によって基板Ｗの下面と対向するスピンベース５から所定の間隔離間させた状態で基板Ｗが水平に支持されている。そして、基板Ｗの上面と雰囲気遮断板９の対向面９ａとの間に形成される空間に対向面９ａに設けられた複数のガス噴出口９ｂから不活性ガスを噴出させる。これにより、基板Ｗはその上面側に供給される不活性ガスによって、支持部７に押圧されてスピンベース５に保持される。 （もっと読む）