【課題】小型で、しかも安価でありながら、汎用性に優れた基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板処理部ＰＳでは、それぞれが互いに異なる現像処理を施す２つの現像処理ユニット１０Ａ、１０Ｂと、現像処理された基板に超臨界乾燥処理を施す超臨界乾燥処理ユニット２０と、これらの処理ユニット１０Ａ、１０Ｂ、２０に取り囲まれるように配置された主搬送ロボット３０とが設けられている。この主搬送ロボット３０は未処理基板Ｗを受け取ると、該基板Ｗに形成されているレジスト膜の膜材料に対応する現像処理ユニットに基板Ｗを搬送する。そして、現像処理が完了すると、いずれの現像処理ユニット１０Ａ、１０Ｂで現像処理されたのかを問わず、主搬送ロボット３０は現像処理を受けた基板Ｗを超臨界乾燥処理ユニット２０にウェット搬送する。 （もっと読む）

【課題】対象物の画像と対象物に関する情報との関連付けを容易に行うことのできる技術を提供する。
【解決手段】複数の商品ＡＲ１〜ＡＲ４に関する複数の画像ＭＧ１〜ＭＧ５をデジタルカメラで撮像する。また、各商品に付加されているバーコードを機械的に読み取り、撮像される画像の数および順番に対応する数および順番でＪＡＮコードが配列されたＪＡＮコードファイルＪＣＦを作成する。そして、複数の画像ＭＧ１〜ＭＧ５とＪＡＮコードファイルＪＣＦとを用いて、複数の画像ＭＧ１〜ＭＧ５にＪＡＮコードを関連付ける。 （もっと読む）

【課題】薬液よる基板の薬液処理後、純水処理時における基板表面へのパーティクルの転写を抑制する。
【解決手段】ウエハＷに洗浄処理を行う基板処理方法において、フッ酸（ＨＦ）等の薬液を貯溜した第１処理槽１１にウエハＷを浸漬させつつ薬液によりウエハＷに薬液処理を行う薬液処理工程と、塩酸（ＨＣｌ）を含む液体を第２処理槽２１へ供給し、第２処理槽２１を塩酸を含む液体により洗浄する処理槽洗浄工程と、第２処理槽２１へ純水（Ｈ_２Ｏ）を供給し、薬液処理工程で薬液処理されたウエハＷを第２処理槽２１に貯溜された純水に浸漬させつつ純水によりウエハＷに純水処理を行う純水処理工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 撮像時における黒基準補正に要する時間を短縮し、かつ、容易に高画質の画像を入力することが可能な画像入力装置を提供する。
【解決手段】 デジタルカメラ１は、複数の画素を有する二次元ＣＣＤ２０と、シェーディング補正処理部４０と、画像メモリ５０とを備えている。画像メモリ５０には、二次元ＣＣＤ２０における各画素毎の黒基準値Ｂ（ｘ，ｙ）を表す黒基準画像であって複数の異なる温度において予め取得された複数の黒基準画像が、その各取得時におけるオプティカルブラック画素（二次元ＣＣＤ２０内に設けられた遮光画素）の画素値に関連づけて格納されている。シェーディング補正処理部４０は、複数の黒基準画像と撮像時におけるオプティカルブラック画素の画素値Ｆとに基づいて撮像画像の各画素毎の黒基準値を算出し、当該算出された各画素毎の黒基準値を用いて、撮像画像のシェーディング補正処理を行う。 （もっと読む）

【課題】 調整が容易でその製作コストも安価であり、経時的に安定した均一なレーザビームを照明エリア上に照明することが可能な照明装置を提供すること。
【解決手段】 照明装置は、シリンドリカルレンズアレイ１５と、バーレーザ１２から出射されたレーザビームにおけるエミッタ１１の列設方向の遠視野像をシリンドリカルレンズアレイ１５上に投影するシリンドリカルレンズ１６と、シリンドリカルレンズアレイ１５により分割されたレーザビームの遠視野像を空間光変調器１３の表面のライン状の照明エリアに重畳して投影するシリンドリカルレンズ１７と、バーレーザ１２から出射されたレーザビームにおけるエミッタ１１の列設方向と直交する方向の近視野像を空間光変調器１３の表面のライン状の照明エリアに結像するシリンドリカルレンズ１８、１９とを備える。 （もっと読む）

【課題】 基板を純水で洗浄した後その基板表面を乾燥させる場合に、基板表面へのパーティクルの付着を少なく抑え、基板を特に加熱したりしなくても基板表面を速やかに乾燥させることができ、乾燥処理のための有機溶剤の使用量も少なくて済む方法を提供する。
【手段】 純水を洗浄槽１２内へ供給して上昇水流を形成するとともに、その上部の越流部から純水を溢れ出させ、洗浄槽内の純水中に基板を浸漬させて洗浄し、洗浄後に基板を純水中から引き上げ、その純水中からの基板の引上げが行われている間、基板の周囲へ水溶性で基板に対する純水の表面張力を低下させる作用を有する有機溶剤の蒸気を不活性ガスと共に供給する。 （もっと読む）

【課題】 印刷内容が変更されるとページ全体の印刷内容を再ＲＩＰ処理する必要があるために迅速に対応することができない。
【解決手段】 印刷内容である出力画像データを出力装置に出力する画像割付装置において、印刷内容の各構成部品である部品データをビットマップ形式にて格納するデータディスク３０を設ける。さらに部品データのページに対する割付位置を割付情報としてデータディスク３０に格納する。また、印刷の際にビットマップ形式の部品データをページメモリに展開して出力画像データを生成するページメモリコントローラ２１ａを設ける。これにより、部品データに変更が生じた場合には変更された部品データのみにＲＩＰ処理を施すだけで出力が可能となる。また、割付位置が変更された場合には割付情報を変更するのみで出力が可能となる。その結果、印刷内容の変更に対して迅速に対応することができる。 （もっと読む）

【課題】 ロボットのアクセスする領域が常に変化する場合でも、アクセス時のロボット間の相互干渉を回避でき、また、ロボットの平均アクセス速度を向上させることができる。
【解決手段】 スレーブ側である第２のコントローラ２００は、第２の基板搬送ロボット３３を或る収納棚にアクセスさせようとするとき、第１のコントローラ１００に対しその棚番号を表す棚番号信号２８０とアクセス要請のためのアクセス要請信号２７０を出力する。メイン側である第１のコントローラ１００は、第１の基板搬送ロボット３１がその収納棚にアクセス中でなければ、第２のコントローラ２００に対しアクセス許可を与えるためのアクセス許可信号１７０を出力する。第２のコントローラ２００は、アクセス許可信号１７０が入力されるまで、第２の基板搬送ロボット３３を待機させているが、入力されたら、その収納棚にアクセスさせる。 （もっと読む）

【課題】 原版を原版ホルダに正確に位置決めする。
【解決手段】 原版供給台６１は、原版ホルダ３２に対向し、複数の原版を載置する第１姿勢と最上部に載置された原版を平坦な状態にする第２姿勢との間で変形可能である。維持手段６２は原版供給台６１を所望の姿勢に維持可能である。原版供給台６１は少なくともその一部６４に弾性変形可能な弾性部材を用いて形成しておく。原版ホルダ３２により原版供給台６１上の原版を押圧して最上部の原版を平坦にするとともに原版供給台６１を下方に凸に湾曲させた後、原版ホルダ３２を原版から離間させて原版の歪を除去する。その後、原版ホルダ３２を原版に接近させて原版を吸着、保持させる。原版の歪を除去し、原版ホルダに対し正確に位置決めできる。 （もっと読む）

【課題】 設置面積を増加させることなく雰囲気ガス中の所定の物質の濃度を安価に管理することが可能な基板処理装置および気中濃度管理システムを提供することである。
【解決手段】 気中濃度管理システム３は基板処理部１上に設けられる。第１の測定ポート３１は１次フィルタ２１の下流側に配置され、第２の測定ポート３２は基板処理部１内に配置される。三方弁３３は第１の測定ポート３１および第２の測定ポート３２のいずれか一方を選択的に濃度判定器３４に導通させる。濃度判定器３４は、第１の測定ポート３１または第２の測定ポート３２から供給される雰囲気ガス中のアンモニア濃度が所定の基準値以上であるか否かを判定し、アンモニア濃度が基準値以上になったときに警報を発生する。 （もっと読む）