【課題】特性が良好な圧力センサを実現する。
【解決手段】測定ダイアフラムに歪センサが形成されている圧力センサにおいて、絶縁基板の一方の面に形成され第１の測定ダイアフラムを形成する第１の凹部と、絶縁基板の一方の面に形成され第２の測定ダイアフラムを形成し第１の凹部と同一形状をなす第２の凹部と、第１の測定ダイアフラムの所定箇所に一端が固定され第２の測定ダイアフラムの第１の測定ダイアフラムの所定箇所に他端が固定された振動式半導体歪ゲージ素子と、絶縁基板の他方の面に一方の面が接続され第１の凹部と第１の測定室を構成し第２の凹部と第２の測定室を構成する支持基板と、支持基板の他方の面に一方の面が接する支持台と、支持基板と支持台とを貫通し一方端が第１の測定室に連通し他方端が外部に開口する第１の導通孔と、支持基板と支持台とを貫通し一方端が第２の測定室に連通し他方端が外部に開口する第２の導通孔とを具備したことを特徴とする圧力センサである。 （もっと読む）

【課題】測定環境由来のコンタミネーションを低減して安定的に圧力を測定可能な物理量検出モジュールを提供する。
【解決手段】変位部（ダイアフラム５６）を有するダイアフラム基板４８と、ベース基板１４と、を有し、前記ダイアフラム基板４８と前記ベース基板１４とで設けられた気密空間１３を有する物理量検出素子１０と、前記物理量検出素子１０を収容するための容器（実装基板１１２、蓋体１２２）と、を備え、前記容器（蓋体１２２）の前記ベース基板１４と対向する部位に圧力導入口１２４が配置され、前記ダイアフラム基板４８は、前記変位部の外側に、前記変位部と前記容器との間に隙間を設けるようにスペーサ５７を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】最適化された感度を有するＭＥＭＳおよび／またはＮＥＭＳ圧力測定デバイスを提供する。
【解決手段】基板２上で懸架された変形可能な膜４であって、膜の面の１つが測定される圧力を受けるように意図された膜と、歪みゲージを備え、膜４の変形を検出する手段であって、基板２上に形成される検出手段６と、膜４の変形を増幅された形で検出手段６に伝達する変形不能なアーム１４とを備え、アーム１４が、膜４の面にほぼ平行な軸線Ｙの周りで回転可能に基板２にヒンジ留めされ、膜４の変形を増幅された形で検出手段６に伝達するように膜と一体である。 （もっと読む）

【課題】姿勢が変化しても、オフセット値を自動補正することで、姿勢に影響しない圧力測定装置を実現する。
【解決手段】中央部にセンターダイヤフラムが形成された本体と、該本体の両側面にすり鉢状の凹部が形成され該凹部を覆うと共に周縁が固定された接液ダイヤフラムと、前記本体内または本体の近傍に形成された圧力検出部と、前記凹部と圧力検出部を連結して形成された導圧路と、前記凹部および導圧路に封入された封入液からなる圧力測定装置において、前記本体内または本体の近傍に該本体の傾きを検出する傾斜検出手段を設け、前記圧力検出部と傾斜検出手段の出力に基づいて前記圧力検出部の出力を補正する補正演算手段を設けた。 （もっと読む）

【課題】 振動子の寄生抵抗や寄生容量による共振特性（Ｑ値やゲイン等）への影響を低減して、発振回路の安定した発振を実現し得ると共に、振動式センサの測定精度を向上させ得る発振回路およびそれを用いた振動式センサを提供する。
【解決手段】 静電駆動型振動子（固定電極１および振動子３）の出力電流信号を電圧信号に変換する電流電圧変換回路を、演算増幅器１４並びに抵抗１１，１２および１３を備えた負性インピーダンス変換回路１０で構成することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】振動子の長手方向の歪を検出して静圧を測定する振動式絶対圧トランスデューサにおいて測定精度を向上させる。
【解決手段】半導体基板と、両端が半導体基板に固定された振動子と、振動子を励振するための電圧を入力または振動子の周波数に応じた電気信号を取り出すための複数の端子とを備え、半導体基板は、ダイアフラムを有さない振動式絶対圧トランスデューサ。ここで、複数の端子のすべてが、半導体基板上において、振動子の一方の固定端を通り、振動子の長手方向と直交する固定端線よりも外側の領域に配置されていることが望ましい。 （もっと読む）

【課題】タイヤ状態を高精度に検出することができるタイヤ状態検出装置を提供すること。
【解決手段】タイヤ状態検出装置１００は、ホイールに固定される空気入りタイヤ２００のタイヤ状態を検出する装置であって、所定の振動をタイヤ２００に入力する振動入力部１１０と、所定の振動が入力されたときのタイヤ２００の周波数情報を取得する周波数情報取得部１２０と、取得された周波数情報からタイヤ２００の共振周波数および反共振周波数を抽出し、抽出したタイヤ２００の共振周波数および反共振周波数から、タイヤ２００を外側慣性モーメント、内側慣性モーメント、およびこれらの間に働く弾性力のばね定数を用いてモデル化したときの、外側慣性モーメントおよびばね定数を算出するタイヤ状態推定部１３０とを有する。 （もっと読む）

【課題】局地的に発生して短時間に消滅する所与の気象変動を予測するための情報を提供する気象変動予測情報提供システム及び気象変動予測情報提供方法を提供すること。
【解決手段】気象変動予測情報提供システム１は、局所的な特定地域に配置された少なくとも１つの気圧計測装置２と、気圧計測装置２の各々が計測した気圧データを処理するデータ処理装置４とを含む。気圧計測装置２の各々は、気圧に応じて共振周波数を変化させる感圧素子を有し、当該感圧素子の振動周波数に応じた気圧データを出力する気圧センサー１０を含む。データ処理装置４は、気圧計測装置２の各々が計測した気圧データを継続して取得する気圧データ取得部３２と、気圧データ取得部３２が取得した気圧データに基づいて、局所的な特定地域における所与の気象変動を予測するための情報を生成する気象変動予測情報生成部３４と、を含む。 （もっと読む）

【課題】高精度にかつ安価に製造することができる振動式トランスデューサを実現する。
【解決手段】振動梁の共振周波数を測定することにより振動梁に印加された歪を測定する振動式トランスデューサにおいて、前記真空室内に設けられ前記基板に対して引張の応力が付与され前記基板面に平行方向より垂直方向の断面厚さが長い断面形状を有するシリコン単結晶の振動梁と、前記基板面に平行に設けられ前記振動梁に一端が接続される板状の第１の電極板と、前記振動梁を挟んで前記基板面に平行に対向して設けられ前記振動梁と前記第１の電極板と共に前記基板面に平行な一平面状をなす板状の第２，第３の電極板と、前記振動梁と第２，第３の電極板との対向する側壁部面に設けられ相互の付着を防止する凸凹部と、を具備したことを特徴とする振動式トランスデューサである。 （もっと読む）

【課題】消費電力をより低減できる圧力検出装置を提供する。
【解決手段】 振動子を配したセンサ部により測定対象の圧力を検出する圧力検出装置において、
前記センサ部の動作タイミングを制御する制御部と、
この制御部から指示される動作タイミングに基づいて前記センサ部に駆動電圧を印加する電源部とを備え、
この電源部は、前記駆動電圧の印加に先立ち、前記駆動電圧よりも低い電圧であって前記振動子の発振を促す初期電圧を印加することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】従来より広い範囲の気体の圧力を十分な精度で測定することができるようにした真空計を提供する。
【解決手段】振動体４と、振動体４と対向して静電力により振動体４を駆動する加振電極５と、振動体４と対向する検出電極６と、振動体４と検出電極６との間の静電容量を検知することにより振動体４の振動を検出する振動検出部と、振動体４を加振する駆動信号を生成する駆動信号生成部とを有し、前記駆動信号を加振電極５に印加し振動体４を共振状態に保持して、振動体４の振動特性から雰囲気の圧力を測定する圧力測定部を備えた真空計において、圧力測定部の測定出力信号による測定圧力レベルを基準圧力レベルと比較する圧力レベル判定部を有するとともに、圧力レベル判定部の判定出力信号に応じて振動体４と検出電極６との間の電位差を可変する電位差変更手段を備えてなる構成とする。 （もっと読む）

【課題】 振動子の小型化に伴う、電極や配線を形成する際の負担を軽減すること。
【解決手段】 音叉型振動片は、基部１０と、基部から、所定面内で第１方向に延出すると共に、所定面内で第１方向に垂直な第２方向に所定幅を有し、かつ、第１方向および第２方向の各々に垂直な方向であって所定面に垂直な第３方向に所定厚みを有する振動腕２０と、振動腕の第１面および第１面に対向する第２面の少なくとも一方に設けられ、第１方向の電界を生じさせる電極４１ａ，４１ｂと、第１方向の電界によって、振動腕に前記第１方向の伸縮を生じさせて、振動腕２０を第３方向に振動させ、かつ、振動腕２０における第２方向の所定幅をｗとし、第３方向の所定厚みをｔとしたとき、ｗ＞ｔが成立する。 （もっと読む）

【課題】温度特性の優れた圧力センサーを提供すること
【解決手段】圧力センサー１は、パッケージ２の内部にセンサーチップ３を搭載してなり、センサーチップ３は、異なる位置に設けられパッケージ２に固定される少なくとも一対の固定部３２１、３３１と、固定部３２１、３３１間に形成され、パッケージ２の熱膨張によって生じ、一対の固定部３２１、３３１を介してセンサーチップ３に加わる応力を緩和する応力緩和部３４とを有している。また、応力緩和部３４は、切り欠きである。 （もっと読む）

【課題】圧力検出が高感度、高精度、高確度で信頼性が高く、ウォッチに実装可能な小型
、低背型の絶対圧力感知ユニットを得る。
【解決手段】圧力感知ユニットは、振動部１１ａ、１１ｂ、及び振動部１１ａ、１１ｂの
両端に夫々接続される被支持部（基部）１２ａ、１２ｂを有する圧電振動片１０と、各被
支持部１２ａ、１２ｂを夫々支持する一対の突出部８ａ、８ｂを一面に備えたダイアフラ
ムとしての薄肉部７ａを有した基板６と、圧電振動片１０を含む薄肉部７ａの一面を気密
的に包囲するために基板６に固定された蓋部材２０と、を備えたことを特徴とする圧力感
知ユニットである。 （もっと読む）

【課題】ダイアフラム付電子デバイスを提供する。
【解決手段】パッケージ１４と、前記パッケージ１４の主面に形成され力を受けて変位するダイアフラム４０と、前記ダイアフラム４０に接続され、前記ダイアフラム４０の変位を受けて力を検知する感圧素子２４と、を有する圧力センサー１２と、前記圧力センサー１２が実装される実装部材５０と、界面張力により前記圧力センサー１２を保持し、前記ダイアフラム４０を露出した状態で前記圧力センサー１２を前記実装部材５０に保持させるゲル状の樹脂剤６０と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】実用的なタイヤ空気圧管理装置、空気圧情報を出力可能な車両用タイヤの提供。
【解決手段】タイヤ内に設けたフローティング電極を並列した強誘電体と、温度１００℃でほぼ１００ボルトの表面電位を維持するエレクトレットと対向電極部とを交互に配列した可動体との相対的平行移動により振動発電を行い、タイヤ空気圧センサと無線通信部に供給する。発電による蓄電量が充分になるまで空気圧センサまたは無線通信部の機能を保留する。振動があるのに所定時間タイヤから空気圧データが送信されないと警告を発する。車両の動力が停止していても外部の振動で空気圧をチェックするため待機する。同一タイヤの空気圧データの経時変化を処理する。所定時間内に４輪の空気圧データが揃わないとき警告する。４輪の空気圧をクロスチェックする。外部からの空気圧測定値でタイヤ内測定値を較正する。 （もっと読む）

【課題】圧力測定装置に内蔵されるモールド部品の組み付け位置精度向上が出来る圧力測定装置を実現する。
【解決手段】支持台に固定された圧力センサチップと、この圧力センサチップに対向して配置された磁界発生部と、この磁界発生部がインサート成形されたモールド体と、このモールド体を保持するヨークホルダーと、このヨークホルダーを前記支持台に固定する金属キャップとを具備する圧力測定装置において、前記ヨークホルダーの外側面に一端が接続され前記圧力センサチップと前記磁界発生部の水平位置決め中心点を中心に放射状に設けられた棒状体と前記ヨークホルダーに設けられ前記棒状体が挿入されるガイド部とを有する位置決め手段を具備したことを特徴とする圧力測定装置である。 （もっと読む）

【課題】製造バラツキによる受圧感度の劣化を防ぎ、かつ高い受圧感度を実現することのできるダイアフラム式圧力センサーを提供する。
【解決手段】上記課題を解決するためのダイアフラム式圧力センサーは、ダイアフラム１２と、ダイアフラム１２の可撓部１４に設けられた２つの支持部１６間に端部を固定される振動片２６とを備え、支持部１６は、可撓部１４における受圧時の応力が最も大きくなる領域を通過する軸線上に、可撓部１４の縁辺から可撓部１４の長さの５％から１０％の範囲内に支持部１６の端部が位置するように配置したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】加速度感度を低減した圧力センサー素子、圧力センサーを提供する。
【解決手段】パッケージ４４と、前記パッケージ４４の一面に設けられた第１ダイアフラム４６と、前記パッケージ４４の前記一面に対向する面に設けられた第２ダイアフラム４８と、前記パッケージ４４内部に配置された感圧素子３２と、を有し、前記感圧素子３２は、長手方向の一端に形成された第１基部３４と、前記一端の前記長手方向の反対側の他端に形成された第２基部３８と、前記第１基部３４及び前記第２基部３８との間に形成された振動部３６と、を有し、前記長手方向が各ダイアフラムの変位の方向に対して垂直に配置され、前記第１基部３４は前記第１ダイアフラム４６に接続され、前記第２基部３８は前記第２ダイアフラム４８に接続されている。 （もっと読む）

【課題】感圧素子とダイヤフラムとの接合強度が維持されつつ、小型化された圧力センサーの提供。
【解決手段】圧力センサー１は、振動片部１３と振動片部１３の両端に接続される一対の基部１４とを有する双音叉素子１５と、双音叉素子１５の一対の基部１４が接合部材４０を介して接合される一対の支持部２３を有するダイヤフラム層２０と、を備え、各支持部２３の搭載面２４に、段差部２５が設けられ、各支持部２３と各基部１４とが、搭載面２４と一方の主面１１との間で接合され、更に各段差部２５の側壁２６と、側壁２６に対向する基部１４の側壁１８との間で接合されていることを特徴とする。 （もっと読む）