【課題】 圧力検出装置の検出精度を向上させる。
【解決手段】 圧力検出装置用基体１は、絶縁基板１１と、絶縁基板１１の上面に設けられた第１電極２と、絶縁基板１１の上面に第１電極２を囲んで設けられた枠体１２と、枠体１２上に絶縁基板１１および枠体１２とともに密閉空間１７を形成するように設けられたダイヤフラム１３と、ダイヤフラム１３の下面に設けられた、第１電極２と対向する第２電極３と、ダイヤフラム１３の上面のうち第２電極３と上下に重なり合う部分に設けられた金属層１４と、金属層１４を覆うように設けられたセラミック層１５とを備えている。これにより、金属層１４が変質して圧力が加わった際のダイヤフラム１３の撓み量が変化することを抑制できる。 （もっと読む）

【課題】優れた検出精度を有する物理量検出器および物理量検出器の製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の圧力センサー１（物理量検出器）は、受圧により変位する変位部３１を含むダイアフラム３と、ダイアフラム３の外周部３２を保持する周状のリング部２１が設けられている保持部材２と、を備え、リング部２１は、リング部２１に沿って保持部材２に周状の凹部を設けることにより変位部３１の変位方向に突出した凸条２４を含み、凸条２４にダイアフラム３の外周部３２が溶接により接合されている。また、ダイアフラム３の外周部３２は、変位部３１の変位方向に突出した凸部をなす。 （もっと読む）

【課題】 圧力検出装置の検出精度を向上させる。
【解決手段】圧力検出装置用パッケージ１は、絶縁基板１１と、絶縁基板１１の上面に設けられた第１電極２と、絶縁基板１１の上面に第１電極２を囲むように設けられた枠体１２と、枠体１２上に絶縁基板１１および枠体１２とともに空間１５を形成するように設けられたダイヤフラム１３と、ダイヤフラム１３の下面に設けられた、第１電極２とともに静電容量を形成する第２電極３と、ダイヤフラム１３の上面のうち枠体１２と上下に重なり合う部分に互いに離して設けられた複数の柱状部材１４とを備えている。複数の柱状部材１４を備えていることにより、検出精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】飛行物体が離着陸する施設において発生するダウンバースト等の気象変動を予測するために利用可能な情報をリアルタイムに可視化して提供することができる気象変動情報提供システム、気象変動情報提供方法、気象変動情報提供プログラム及び記録媒体を提供すること。
【解決手段】気象変動情報提供システム１は、飛行物体の離着陸の目標位置を含む離着陸領域に分散して配置される複数の気圧計測装置２と、データ処理装置４と、を含む。データ処理装置４は、複数の気圧計測装置２の各々から気圧データを取得する気圧データ取得部３２と、気圧データ取得部３２が取得した気圧データに基づいて、気圧の変化に起因して発生する局所的な気象変動に関する情報を生成する気象変動情報生成部３４と、を含む。気象変動情報生成部３４は、気象変動に関する情報の少なくとも一部として、離着陸領域における気圧分布を表す時系列の画像情報を生成する。 （もっと読む）

【課題】測定環境由来のコンタミネーションを低減して安定的に圧力を測定可能な物理量検出モジュールを提供する。
【解決手段】変位部（ダイアフラム５６）を有するダイアフラム基板４８と、ベース基板１４と、を有し、前記ダイアフラム基板４８と前記ベース基板１４とで設けられた気密空間１３を有する物理量検出素子１０と、前記物理量検出素子１０を収容するための容器（実装基板１１２、蓋体１２２）と、を備え、前記容器（蓋体１２２）の前記ベース基板１４と対向する部位に圧力導入口１２４が配置され、前記ダイアフラム基板４８は、前記変位部の外側に、前記変位部と前記容器との間に隙間を設けるようにスペーサ５７を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 圧力の急激な変化に正しく応答する圧力センサを提供する。
【解決手段】 本発明の圧力センサは、電極層２と圧電体層３とが複数積層され、各電極層２に第１の電極２１および第２の電極２２を備え、隣り合う電極層２の第１の電極２１と第２の電極２２とが圧電体層３を介して対向するように配置され、隣り合う電極層２の第１の電極２１の端部同士が積層方向に重なるとともに第１の電極２１の端部同士が接続部４を介して電気的に接続されていることを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】ＳＡＷの信号強度及び検出感度を向上することができると共に、長期に亘って高い作動信頼性を確保することができ、且つシンプルな構成で製造容易化及び低コスト化を図り易いセンサを提供すること。
【解決手段】圧電性基板１１と、圧電性基板１１の一方の面に接合され、圧電性基板１１との間に気密封止されたキャビティを画成させる封止基板１２と、を具備するパッケージ１３と、圧電性基板１１の一方の面に形成され、キャビティ内に配設されたＩＤＴ１６と、封止基板１２の圧電性基板１１と接合する面と反対の面に形成され、パッケージ１３外部に露出すると共に引出し電極を介してＩＤＴ１６に導通された外部接続電極１８と、を備え、圧電性基板１１は、パッケージ１３外部から作用する力学量に応じて変位する変位部を有し、圧電性基板１１には、変位部２１を圧電性基板１１の他方の面側に露出させる開放部Ｅが設けられ、パッケージ１３は、封止基板１２の外部接続電極１８を形成した面を回路基板上に表面実装するセンサ１０を提供する。 （もっと読む）

【課題】ＳＡＷの信号強度及び検出感度を向上することができると共に、長期に亘って高い作動信頼性を確保することができ、且つシンプルな構成で製造容易化及び低コスト化を図り易いセンサを提供すること。
【解決手段】圧電性基板１１と、圧電性基板の一方の面１１ａに接合され、圧電性基板との間に気密封止されたキャビティを画成させる封止基板１２と、を具備するパッケージ１３と、圧電性基板の一方の面に形成され、キャビティ内に配設されたＩＤＴ１６と、両基板のうちの少なくとも一方に形成され、パッケージ外部に露出すると共に引出し電極を介してＩＤＴに導通された外部接続電極１８と、を備え、圧電性基板が、パッケージ外部から作用する力学量に応じて変位する変位部２１を有し、圧電性基板には変位部を圧電性基板の他方の面側に露出させる開放部Ｅが設けられているセンサ１０を提供する。 （もっと読む）

【課題】特に複数の感圧素子の一方が他方の圧力変化に影響されることがない流速センサーを提供することを目的としている。
【解決手段】本発明の流速センサー１０は、筐体の収容空間の第１の開口部を封止する第１のダイアフラム２０ａと、収容空間の第２の開口部を封止する第２のダイアフラム２０ｂと、感圧部と一対の基部を有して一対の基部を結ぶ方向を検出軸とする感圧素子４０と、を有し、感圧素子４０は、一対の基部を前記ダイアフラムの支持部に接続し、検出軸はダイアフラムの受圧面に平行であり、第１のダイアフラム２０ａは、流体の流れる方向に向けた動圧導入口から導入された圧力を受圧し、第２のダイアフラム２０ｂは、流体の流れる方向とほぼ直交した方向に向けた静圧導入口から導入された圧力を受圧し、第１及び第２のダイアフラム２０ａ，２０ｂの受圧面側に断熱部６０が設けられたことを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】ＳＡＷの信号強度及び検出感度を向上することができると共に、長期に亘って高い作動信頼性を確保することができ、且つシンプルな構成で製造容易化及び低コスト化を図り易いセンサを提供すること。
【解決手段】圧電性基板１１と、圧電性基板１１の一方の面に接合され、圧電性基板１１との間に気密封止されたキャビティＣを画成させる封止基板１２と、を具備するパッケージ１３と、圧電性基板１１の一方の面に形成され、圧電性基板１１と前記封止基板１２との接合部及びキャビティＣ内に配設されたＩＤＴ１６と、封止基板１２又は圧電性基板１１を厚み方向に貫通すると共にＩＤＴ１６に導通する貫通電極３３と、圧電性基板１１及び封止基板１２のうちの少なくとも一方に形成され、貫通電極３３に導通する外部接続電極１８と、を備え、圧電性基板１１は、パッケージ外部から作用する力学量に応じて変位する変位部２１を有し、圧電性基板１１には、変位部２１を圧電性基板１１の他方の面側に露出させる開放部Ｅが設けられているセンサ１０を提供する。 （もっと読む）

【課題】リフロー等の高温処理による圧力検出値のドリフトが生じるのを低減する力検出器及びその製造方法を提供する。
【解決手段】圧力センサー１の枠部１０８とダイアフラム層２０とは第１接合材４０で接合され、感圧素子層１０の一対の基部１６ｂと一対の支持部２１０とは、第１接合材４０の融点よりも高い融点を有する第２接合材５０で接合されている。 （もっと読む）

【課題】 圧力検出装置用パッケージの圧力の測定範囲を拡げる。
【解決手段】 基部１１および基部１１の上部に位置する枠状部１２を有する絶縁基体１と、枠状部１２の内側であって、基部１１の上面に設けられた第１電極層３と、第１電極層３の上面との間に気密封止された空間を形成するように枠状部１２上に接合された、内面が上方に反っているダイヤフラム２と、ダイヤフラム２の内面であって平面視して第１電極層３と重なる領域に設けられた第２電極層４とを備えている圧力検出装置用パッケージ１０である。撓むことのできる範囲を拡げることが可能になるので、圧力の測定範囲を拡げることができる。 （もっと読む）

【課題】温度上昇によって抵抗値が大きく低下することのない圧力センサ素子を提供すること。
【解決手段】圧力センサ素子は、上面と下面とを有する圧電素子と、前記上面と前記下面との少なくとも一方を少なくとも部分的に覆う高抵抗材料膜とを備えており、高抵抗材料膜の電気抵抗値は圧電素子の電気抵抗値よりも大きい。 （もっと読む）

【課題】 外部の圧力を感度良く検出することができる圧力センサ用パッケージおよび圧力センサを提供することにある。また、圧力センサ用パッケージの製造方法を提供することにある。
【解決手段】 本発明の圧力センサ用パッケージは、内部空間Ｓを有する絶縁構造体１と、内部空間Ｓの互いに対向する内壁面の上側及び下側のそれぞれに設けられた上側電極６及び下側電極５とを備え、内壁面の上側或いは下側の少なくとも一方が、外部からの圧力が印加された際に可撓する可撓領域を有する圧力センサ用パッケージであって、絶縁構造体１には、内部空間Ｓから絶縁構造体１の外表面まで延びる空隙部７が形成されている。 （もっと読む）

【課題】 振動子の寄生抵抗や寄生容量による共振特性（Ｑ値やゲイン等）への影響を低減して、発振回路の安定した発振を実現し得ると共に、振動式センサの測定精度を向上させ得る発振回路およびそれを用いた振動式センサを提供する。
【解決手段】 静電駆動型振動子（固定電極１および振動子３）の出力電流信号を電圧信号に変換する電流電圧変換回路を、演算増幅器１４並びに抵抗１１，１２および１３を備えた負性インピーダンス変換回路１０で構成することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】気圧測定用発振器を用いた新たな気圧推定手法の提案。
【解決手段】水晶振動子型気圧センサー１において、処理部１０は、基準発振器３０の発振周波数を気圧測定用の水晶発振器２０の発振周波数に合わせるように制御する。そして、処理部１０は、基準発振器３０の基準発振信号と水晶発振器２０の水晶発振信号との位相差をコスタスループを用いて検出する。そして、処理部１０は、基準発振器３０の発振周波数と位相差とを用いて気圧を推定する。 （もっと読む）

【課題】圧電膜の膜剥がれを防ぎ、ショートしにくい高い耐久性を有する圧電素子を提供する。
【解決手段】圧電素子は、平板状の第１の電極１０と、第１の電極１０の一方主面を被覆するように形成された第１の圧電膜１１と、第１の電極１０の他方主面を被覆するように形成された第２の圧電膜１２と、第１の圧電膜１１または第２の圧電膜１２を介して第１の電極１０と対向するように配置された第２の電極２０とを備え、第１の圧電膜１１が一方主面から両側面を経て他方主面まで回り込んで形成されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、感度が高く特性の向上した圧力センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】中空孔２２を内側に設けた筒部２３とこの筒部における中空孔の上部を閉塞する平板部２４とからなる容器２１と、この容器における平板部の上面に設けるとともに駆動電極および検出電極を設けた振動子と、前記容器に設けられ、前記振動子における駆動電極に駆動信号を入力し、かつ前記振動子における検出電極からの出力信号を処理する処理回路３５とを備え、前記処理回路により、振動子の固有振動数の変化を検出することにより、中空孔に充填された被検出液体３６の圧力を検出する構成としたものである。 （もっと読む）

【課題】支持手段による副共振が感圧素子の主共振へ影響することを抑制できる圧力センサーの構造を実現することを目的としている。
【解決手段】容器の開口部２２を封止し、可撓部２４ｂと当該可撓部２４ｂの外側の周縁部２４ｃとを有し、前記可撓部２４ｂが力を受けて前記容器の内側または外側に変位する受圧手段と、前記周縁部２４ｃに一端を固定し、他端を前記一端から前記可撓部の変位方向と平行に延出した複数の支持手段３２と、第１の基部４０ａと第２の基部４０ｂとを有し、前記第１の基部４０ａと前記第２の基部４０ｂとを結ぶ方向が前記可撓部２４ｂの変位方向と平行となるように前記第１の基部４０ａと前記第２の基部４０ｂが配置され、前記第１の基部４０ａが前記可撓部２４ｂの内側の中央部２４ａに固定された感圧素子４０と、前記第２の基部４０ｂと、前記支持手段３２の前記他端とを接続する固定部３４と、を備え、前記支持手段３２に前記感圧素子４０よりもＱ値が低い緩衝部５０を配置したことを特徴とする圧力センサー。 （もっと読む）

【課題】感圧素子の素子面に対し交差する方向から作用する振動・衝撃を抑制する圧力センサーを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の圧力センサー１０は、容器と、前記容器の開口部２２を封止し、受圧部の外側に周縁部を有すると共に力を受けて前記容器の内側または外側に変位する受圧手段と、前記周縁部２４ｃに一端３２ａを固定し、他端３２ｂを前記一端３２ａから前記受圧手段の変位方向と平行に延出した複数の支持手段３２と、前記受圧部に固定される第１の基部４０ａを有し、第２の基部４０ｂを前記第１の基部４０ａから前記受圧手段の変位方向と平行に配置した感圧素子４０と、前記感圧素子４０の前記第２の基部４０ｂを固定する第１の接続片３６と、前記第１の接続片３６の両端を前記第１の接続片３６のいずれか一方の主面側に延出させて前記支持手段３２の他端３２ｂと接続する第２の接続片３８を備えた固定板３４と、を備えたことを特徴としている。 （もっと読む）