【課題】ＣＯ_２等の高圧冷媒が通過する流路等の圧力の検出に用いた場合でも、高圧による破損を防止し、安全な圧力センサを提供する。
【解決手段】圧力検出素子２と、圧力検出素子が内面に固定されたべース４と、べースに対向して配置された受け部材５と、べースと受け部材とで挟持されたダイアフラム６と、ダイアフラムを挟持した状態のべース及び受け部材を、両者が互いに離間するのを防止するように両者を挟持する挟持部材１３と、ベースとダイアフラムとの間の空間に封入された液体とを備え、受け部材とダイアフラムとの間の空間内の圧力が、ダイアフラム及び液体を介して圧力検出素子へ伝達される圧力センサ１。挟持部材１３を備えるため、べースと受け部材との間に繰り返し高圧が付加された場合でも、両者が離間することがなく、べースと受け部材とが溶接接合されている場合でも、溶接部の割れを回避し、圧力センサの破損を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】信頼性を向上させることが可能な複合基板、この複合基板を備えた電子デバイス及び電子機器の提供。
【解決手段】複合基板１は、基板本体である絶縁部２０と、絶縁部２０を貫通する分離部１５と、を備え、分離部１５は、一方の端部につば部１５ａを有する柱状であって、つば部１５ａと柱状部１５ｂとに跨り、つば部１５ａを貫通する凹部１５ｃと、凹部１５ｃによりつば部１５ａから柱状部１５ｂにかけて形成された開口部１５ｄとを、有し、絶縁部２０における凹部１５ｃ内の部分と柱状部１５ｂを取り巻く部分とが、開口部１５ｄを介して一体化されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】差圧／圧力伝送器のダイアフラムが反応する過大圧の設定値を任意に設定する。
【解決手段】高圧側受圧部及び低圧側受圧部を有する本体１と、本体１に設置された圧力センサ２と、高圧側受圧部に設けられた高圧側センターダイアフラム１９と、凸形状の面を有する高圧側固定金具７と、低圧側受圧部に設けられた低圧側センターダイアフラム２０と、凸形状の面を有する低圧側固定金具８とを含む差圧／圧力伝送器において、高圧側固定金具７の凸形状の面を高圧側センターダイアフラム１９に押し当てて螺合機構により押し当て量を変化させることを可能とし、低圧側固定金具８の凸形状の面を低圧側センターダイアフラム２０に押し当てて螺合機構により押し当て量を変化させることを可能とした構成とする。 （もっと読む）

【課題】水衝撃のような急激な圧力変動に対して信頼性が高く、温度特性が安定で、ローコスト化が可能な、圧力センサを実現する。
【解決手段】測定ダイアフラムに歪センサが形成されている圧力センサにおいて、第１の絶縁基板の一方の面に形成された凹状の第１の測定室と、前記第１の絶縁基板に設けられ前記第１の測定室に連通する第１の導圧孔と、前記第１の絶縁基板の一方の面に一方の面が接合され前記測定ダイアフラムを形成する半導体基板と、この半導体基板の他方の面に前記第１の測定室に対応した位置に設けられた半導体歪ゲージと、前記半導体基板の他方の面に一方の面が接合された第２の絶縁基板と、この第２の絶縁基板の前記一方の面に前記第１の測定室に対向して対称形状をなして設けられた凹状の第２の測定室と、前記第２の絶縁基板に設けられ前記第２の測定室に連通する第２の導圧孔と、を具備したことを特徴とする圧力センサである。 （もっと読む）

【課題】耐圧が向上された差圧・圧力測定装置を実現する。
【解決手段】半導体圧力センサ本体の一方の面に一方の面が接合されこの半導体圧力センサ本体の他の面を隙間を有して覆いモールド材よりなるモールドパッケージとを具備する半導体圧力測定装置において、凹部を有する２個の耐圧性の耐圧カバー部材と、この耐圧カバー部材の前記凹部の開口部が対向配置されこの凹部内に隙間を有して前記モールドパッケージが配置され前記凹部の前記開口部が互いに溶接接合されて形成される耐圧カバーと、前記耐圧カバーに設けられ前記隙間に連通する信号取出し孔と、この信号取出し孔に集中して配置された８個の信号端子と、前記信号取出し孔を介して前記隙間に充填され前記モールドパッケージの前記モールド材よりヤング率の大きな接着材よりなる充填体と、を具備したことを特徴とする差圧・圧力測定装置である。 （もっと読む）

【課題】簡略な構成で過大圧力による影響を排除することができ、上限圧力の変更調整作業を簡易に行う。
【解決手段】測定対象の流体を収容し、流体の圧力を検出する本体部２と、本体部２内に流体を導入する導入流路３ｈを有する流体導入部３と、を備える圧力センサ１であって、本体部２は、導入流路３ｈの一端と連なる導入孔２１ｈを有する固定部２１と、固定部２１の導入孔２１ｈが形成されている面と対向する面に形成される感圧部２２ｄ、２２ｓを有する可動部２２と、固定部２１と可動部２２とを連結し、本体部２内に収容される流体の圧力に応じて伸縮可能な伸縮連結部２３と、導入流路３ｈに挿通され、流体導入部３の導入口を閉塞可能な蓋部２５ｃを一端に有する棒状体２５と、棒状体２５の他端を可動部２２内に連結支持する支持部２６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】許容過負荷を超えるオーバー圧がかかっても精度低下を生じることがなく、かつ、測定する流体の滞留を少なくできる圧力検出装置を提供すること。
【解決手段】一面に受圧面１Ｃが形成されるケース１の内部に取付孔１Ａが形成され、このケース１の取付孔１Ａに基板２０が固定され、この基板２０にダイアフラム２１が対向配置され、このダイアフラム２１と基板２０とにダイアフラム２１の変位を検出する変位検出部２２が設けられ、ダイアフラム２１の基板２０と対向する面とは反対側の面に密接して隔膜２３が設けられるとともに、この隔膜２３の外周部２３Ａがケース１の凹部１Ｄに固定される。隔膜２３はケース１の受圧面１Ｃと面一になるよう配置され、かつ、外周部２３Ａとダイアフラム２１に接する中央部２３Ｂとの間に応力を吸収する応力吸収部２３Ｃが設けられる。 （もっと読む）

【課題】圧力変動現象に基づいて圧力計の内部機構が破損するのを防止する。
【解決手段】圧力計（１０）が、圧力を測定して表示針により表示する圧力測定表示部（１１）と、該圧力測定表示部から延びていて圧力検出通路（２２）が形成された取付部（２１）と、圧力検出通路に配置されていてオリフィス（６２）が形成されたオリフィス部材（６０）とを有している。なお、オリフィス部材を備える代わりに、圧力検出通路の一部にオリフィスが形成されていてもよい。また、圧力計組立体（１）が、圧力検出通路が形成された取付部を含む圧力計（１０）と、圧力計の取付部と管路とを接続する継手（３０、４０）とを有し、継手の内部通路の一部にオリフィス（４９）が形成されている。 （もっと読む）

【課題】簡便にセンサの耐圧性能を向上させた振動式圧力センサを実現することにある。
【解決手段】 ダイアフラムに振動子が設けられた検出素子を備えた振動式圧力センサにおいて、
前記検出素子の上面に設けられた圧力保護部材と、
前記検出素子の下面に設けられた支持部材と
を具備し、
前記圧力保護部材は、前記ダイアフラムと所定の間隔を保つように形成され、
前記ダイアフラムは過大圧力が印加されることにより変位して前記圧力保護部材に押圧されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】製造が容易で、ダイアフラムの受圧感度を高めると共に、耐衝撃性も十分確保することを可能とする圧力センサーを提供することを目的としている。
【解決手段】本発明の圧力センサー１０は、ダイアフラム４０と、感圧素子となる枠付き振動子３０と、基板２０を積層し、前記感圧素子の圧電振動片３１を密閉する内部空間Ｓを形成して、前記ダイアフラム４０の撓みに基づく前記感圧素子の周波数変化から圧力を検出する圧力センサー１０であって、前記内部空間Ｓに前記ダイアフラム４０の破壊限界を超えた撓みを抑制するストッパーを備えたことを特徴としている。 （もっと読む）

本発明は、マイクロマシニング型の構成素子のための製造方法、相応の構成素子複合体、及び相応のマイクロマシニング型の構成素子に関する。本発明に係る方法は、以下のステップ、すなわち、第１の前面側の表面（Ｖ１；Ｖ１′；Ｖ１′′；Ｖ１′′′）及び第１の背面側の表面（Ｒ１；Ｒ１′；Ｒ１′′；Ｒ１′′′）を備える、多数の半導体チップ（ＳＣ１，ＳＣ２，ＳＣ３；ＳＣ２′′；ＳＣ１′′′，ＳＣ２′′′；ＳＣ３′′′）の第１の複合体（Ｗ１；Ｗ１′；Ｗ１′′；Ｗ１′′′）を用意するステップと、第２の前面側の表面（Ｖ２；Ｖ２′′′）及び第２の背面側の表面（Ｒ２；Ｒ２′′′）を備える、対応する多数のキャリア基板（ＳＳ１，ＳＳ２，ＳＳ３；ＳＳ１′′′，ＳＳ２′′′，ＳＳ３′′′）の第２の複合体（Ｗ２；Ｗ２′）を用意するステップと、前記第１の前面側の表面（Ｖ１；Ｖ１′；Ｖ１′′；Ｖ１′′′）及び／又は前記第２の前面側の表面（Ｖ２；Ｖ２′′′）に、排気通路（ＳＫ，ＫＧ）を備える構造化された付着層（ＳＧ）を印刷するステップと、前記第１の前面側の表面（Ｖ１；Ｖ１′；Ｖ１′′；Ｖ１′′′）と、前記第２の前面側の表面（Ｖ２；Ｖ２′′′）とを、それぞれ１つの半導体チップ（ＳＣ１，ＳＣ２，ＳＣ３；ＳＣ２′′；ＳＣ１′′′，ＳＣ２′′′；ＳＣ３′′′）及び対応するキャリア基板（ＳＳ１，ＳＳ２，ＳＳ３；ＳＳ１′′′，ＳＳ２′′′，ＳＳ３′′′）を備える多数のマイクロマシニング型の構成素子に対応するようにアライメント調整するステップと、前記第１の前面側の表面（Ｖ１；Ｖ１′；Ｖ１′′；Ｖ１′′′）と、前記第２の前面側の表面（Ｖ２；Ｖ２′′′）とを、前記構造化された付着層（ＳＧ）を介して、圧力を印加した状態で結合するステップであって、各々の半導体チップ（ＳＣ１，ＳＣ２，ＳＣ３；ＳＣ２′′；ＳＣ１′′′，ＳＣ２′′′；ＳＣ３′′′）が前記対応するキャリア基板（ＳＳ１，ＳＳ２，ＳＳ３；ＳＳ１′′′，ＳＳ２′′′，ＳＳ３′′′）に、それぞれのマイクロマシニング型の構成素子に対応するように結合され、このとき、周囲雰囲気のガスが前記排気通路（ＳＫ，ＫＧ）を通して外部に逃げることができるように結合するステップと、マイクロマシニング型の構成素子を個別化するステップと、を有する。
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【課題】ダイアフラム割れを防止し、耐久性に優れた半導体圧力センサを得る。
【解決手段】真空状態で密閉されたキャビティを挟んで基板両側に一対のダイアフラムを形成し、基準圧力が印加される一方のダイアフラムの周縁に基準ブリッジ回路を構成する複数の圧力感応抵抗素子を配置するとともに、測定すべき圧力が印加される他方のダイアフラムの周縁に測定用ブリッジ回路を構成する複数の圧力感応抵抗素子を配置して、基準ブリッジ回路の中点電位及び測定用ブリッジ回路の中点電位をセンサ出力として出力する半導体圧力センサ。 （もっと読む）

【課題】熱膨張によって生じた熱応力の影響を軽減して圧力測定が可能な、壊れにくい構造の圧力センサを提供する。
【解決手段】一面の周縁部に周縁突出部００１ｂが形成され、略中央部に圧力伝達突出部００１ｄが形成され、外圧に応答して変位する感圧ダイアフラム００１ａを備える感圧部材００１と、受圧突出部００２ｂが形成された受圧ダイアフラム００２ａを備え、受圧ダイアフラム００２ａの変位により圧力を検出するセンサチップ００２と、一面の周縁部に支持突出部００３ａが形成され、かつ略中央にセンサチップ００２を搭載するベース部材００３と、からなり、ベース部材００３を感圧ダイアフラム００１ａ側へと押圧する押圧機構と、を設け、該押圧機構で押圧されたときに、圧力伝達突出部００１ｄと受圧突出部００２ｂのそれぞれの先端が当接し、かつ周縁突出部００１ｂと支持突出部００３ａのそれぞれの先端が当接する構成とされている。 （もっと読む）

【課題】 大きい差圧が加わったときのダイアフラムの過大変位を防止する。広い差圧範囲に亘り測定ができ、低差圧範囲では高い分解能で測定ができる。
【解決手段】 ダイアフラム１１２は、高圧室１０８と低圧室１０４との差圧の増大により前方移動する中央部１１２Ｃと、中央部１１２Ｃを移動可能に支持するフランジ部１１２Ｂを備える。フランジ部１１２Ｂは、外側環部１１２ＢＡと内側環部１１２ＢＢを有する。フランジ部１１２Ｂの前方に、ダイアフラム１１２の過度な変位を制限するガイド１０６Ａが配置される。差圧が低圧範囲にある時、外側環部１１２ＢＡと内側環部１１２ＢＢの双方がガイド１０６Ａから離れていて、実効受圧面積が大きい。差圧が高圧域にある時、外側環部１１２ＢＡがガイド１０６Ａに当接し、内側環部１１２Ｂはガイドから離れ、実効受圧面積が小さい。 （もっと読む）

【課題】高感度化を図りつつも破壊耐圧の低下を抑制することが可能なセンサ装置を提供する。
【解決手段】センサ装置１は、フレーム部１０と、可動部２０と、フレーム部１０と可動部２０とに架け渡されるカーボンナノチューブ素子３１とを備えている。さらに、センサ装置１は、フレーム部１０と可動部２０とを連結すると共に蛇腹状に形成されたコルゲート部４０を備え、カーボンナノチューブ素子３１の抵抗値の変化によって、検出対象となる物理量を検出する構成となっている。 （もっと読む）

【課題】予加重のバラツキが抑えられた保護ダイアフラムを備えた差圧・圧力伝送器を提供する。
【解決手段】複数の接液ダイアフラム(9)と保護ダイアフラム(1)を有し、空間の圧力を当該空間の外部に伝送する伝送経路(13)を有する受圧部材(1,7,9)を複数備えるダイアフラム式の差圧・圧力伝送器(100)において、受圧部本体(19)は、保護ダイアフラム(1)の外周部(51)に接する外周面(25)を有し、受圧部材(7)は、接液ダイアフラム(9)に接する第１の面(71)と、保護ダイアフラム(1)に接する第２の面(5)とを具備し、第２の面(5)は、保護ダイアフラム(1)の内周部(52,53)に接する内周面(5)を有し、内周面(5)は、保護ダイアフラム(1)の内周部(52,53)を押圧するように、外周部(51)よりも高くなった段付の凸状部として形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】小型化でき、更に、電気絶縁性、温度特性が向上された差圧測定装置を実現する。
【解決手段】本体ボディに設けられたセンサ部取り付け穴にセンサ部が取り付けられる差圧測定装置において、前記センサ部取り付け穴に挿入固定される絶縁材よりなるセンサ台座と、このセンサ台座の一面に取り付けられたセンサチップと、このセンサチップの周囲の前記センサセンサ台座にもうけられたリードピン穴と、このリードピン穴に貫通挿入され前記センサチップの検出信号を伝達する金属よりなるリードピンと、前記リードピン穴に前記リードピンを封着する封着体とを備えるセンサ部を具備したことを特徴とする差圧測定装置である。 （もっと読む）

【課題】大きな圧力が瞬間的に作用する場合や、大きな圧力が繰り返し作用するような被測定体の測定に好適に使用することができる燃焼圧センサを提供する。
【解決手段】筒状に形成されたハウジング１２の前端面にダイアフラム３０が固定され、ダイアフラム３０が受ける圧力をハウジング１２内に装着されたセンサ部１４に伝達し、圧力によって変化するセンサ部１４の出力を検知して被測定体の圧力を検出する燃焼圧センサにおいて、ダイアフラム３０は、ハウジング１２の前端面に固定されるフランジ部３２と、該フランジ部３２の内周縁に沿って設けられたダイアフラム部３５と、ダイアフラム部３５に連結する圧力伝達部３６とを備える。圧力伝達部３６は、ダイアフラム部３５に連結する側が、センサ部１４に当接する当接面３６ｂにくらべて縮径した縮径部３６ａに形成されている。 （もっと読む）

【課題】応力集中による耐圧劣化を低減することができる圧力センサ及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明にかかる圧力センサの製造方法は、第１半導体層１とダイアフラム４を構成する第２半導体層３との間に設けられた絶縁層２を備えた圧力センサの製造方法であって、絶縁層２をエッチングストッパとして、感圧領域となる部分の第１半導体層１をエッチングする工程と、感圧領域となる部分の絶縁層２をエッチングする工程と、第１半導体層１の側壁に保護膜７を形成する工程と、保護膜７を形成した後、感圧領域となる部分の第２半導体層３をエッチングして、ダイアフラム４を形成する工程と、を備えるものである。 （もっと読む）

差圧センサ（２１４、３３８、５１８、６３８）が差圧送信機（２００、３００、４００、５００、６００、７００）内に配置され、第１および第２のセンサ入力部を有する。第１の隔離ダイヤフラム（２３０、３３０）は第１のプロセス流体導入部（２１０、３１０）に近接して配置され、第１の充填流体体積部分（３３４）を通じて第１のセンサ入力部に機能可能に接続される。第２の隔離ダイヤフラム（２３２、３３２）は第２のプロセス流体導入部（２１２、３１２）に近接して配置され、第２の充填流体体積部分（３３６）を通じて第２のセンサ入力部に機能可能に接続される。測定回路（２１８）が差圧センサに機能可能に接続され、該差圧センサの電気的パラメータを測定し、該測定されたパラメータを提供するように構成される。第３の流体体積部分（３５４）が実質的に差圧センサをとり囲む。第３の流体体積部分（３５４）は差圧センサに圧縮力を及ぼす。
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