【課題】 被検面が傾いていても測定精度を悪化させることのない多波長干渉計を提供する。
【解決手段】 波長が互いに異なる少なくとも２つの光束を参照光と被検光とに分割し、分割された参照光の周波数と被検光の周波数とを異ならせ、被検光と参照光とを干渉させる干渉計において、干渉光を複数の光束に分割する分割部を有し、分割された複数の光束を各波長について検出する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で広い計測レンジと高い計測精度とを実現した計測装置を提供する。
【解決手段】計測装置は、第１光源、第２光源、第１検出器、第２検出器及び算出部を備える。第１光源は第１波長と第２波長との間で波長が走査された走査区間を含む第１光を生成する。第２光源は第３波長の第２光を生成する。第１検出器は第１光を参照面及び被検面に各々照射することで生成された第１干渉縞を検出する。第２検出器は第２光を参照面及び被検面に各々照射することで生成された第２干渉縞を検出する。第３波長は第１波長及び第２波長の合成波長より短い。算出部は第１時刻において第２干渉縞の位相のデータから第２干渉縞の次数が算出できなくなった場合に、第１時刻より後の走査区間における第１干渉縞の位相の変化に基づいて第１時刻以降における第２干渉縞の次数を算出し、該算出された第２干渉縞の次数を用いて第１時刻以降における被検面の形状を算出する。 （もっと読む）

【課題】検出用走査を行うことなく、ワンショット撮影により、高さ方向のダイナミックレンジの大きい、被検面の１ライン上の微細な凹凸形状情報を容易に取得し得る、形状測定装置および形状測定方法を提供する。
【解決手段】 空間的にインコヒーレントで広帯域スペクトルを有する光を射出する面状の光源１０からの照明光を、対物レンズ１３Ａ、Ｂを介して参照面１４および被検面２０に照射し、得られた参照光と測定光を干渉させ、その干渉光をスリット１６Ａにより線状に整形し、分光器１６により分光し、２次元撮像手段１７により得られたスペクトル干渉情報に基づき被検面２０の形状を解析する。光源１０、被検面２０、スリット１６Ａ、および光源１０、参照面１４、スリット１６Ａは各々互いに共役である。被検面２０を介する系路の光路長と、参照面１４を介する経路の光路長との間にオフセットが設けられる。 （もっと読む）

【課題】干渉計測システムなどの振動感知システムのために、データ取得中は音響ノイズを最小限にしながら、環境制御をするための方法およびシステムの提供。
【解決手段】計測機器を含む振動感知計測システムのために環境制御を提供するための装置であって、前記振動感知計測システムを囲う熱的に安定したミニ・エンバイロメントを提供するための手段と、音響ノイズおよび振動から生じる前記振動感知計測システムの測定誤差を最小限にするための手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】光束を測定リフレクタ方向に向ける偏向ユニットを簡素かつコンパクトにする。
【解決手段】光線偏向ユニット４０に二つのカルダンフレーム４１，４２を備えたカルダン構造を含んでおり、その内の第一カルダンフレーム４１は第一回転軸Ａ１を中心に動作的に変位自在であり、第一カルダンフレーム内にある第二カルダンフレーム４２は、第一回転軸に対して直角に向いた第二回転軸Ａ２を中心に動作的に変位自在である。二つの回転軸は、参照リフレクタ３０が配設されている位置固定された参照点Ｒで交差している。カルダンフレームに多数のミラーが固定して配設されているので、複数のミラーを介することにより光束が、測定リフレクタへ向けられる時に位置固定された参照点を中心に旋回自在である。 （もっと読む）

【課題】 測定される距離の測定誤差を容易に低減できる追尾式レーザ干渉計および追尾式レーザ干渉計の制御方法を提供する。
【解決手段】 追尾式レーザ干渉計１は、移動体に取り付けられたレトロリフレクタＲで反射された測定光Ｌ２１を受光する検出器２２２を備える追尾用光学部２２を有する本体２と、追尾用光学部２２からの受光信号に基づいて本体２の姿勢を制御し、本体２にレトロリフレクタＲを追尾させる制御手段３とを備えるものであって、制御手段３は、レトロリフレクタＲに入射する測定光Ｌ２とレトロリフレクタＲで反射される測定光Ｌ２とを平行とするように検出器２２２で受光される測定光Ｌ２１の目標位置Ｑ２を設定する目標位置設定部３２と、本体２の姿勢を制御し、レトロリフレクタＲで反射された測定光Ｌ２１を目標位置Ｑ２に入射させる姿勢変更部３３とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、測定対象物の表面形状をより高い精度で測定することができる形状測定装置および形状測定方法を提供する。
【解決手段】本発明の形状測定装置Ｓは、光へテロダイン干渉を行う一面側測定部２および他面側測定部３によって測定対象物ＷＡの厚さを測定するものであって、一面側測定部２が測定対象物に複数の測定光を照射することで、１回の測定で測定対象物ＷＡにおける厚さと表面形状とを測定する。 （もっと読む）

【課題】回転機構の回転角度を適切に取得することができる追尾式レーザ干渉測長計の提供。
【解決手段】追尾式レーザ干渉測長計１は、第１の再帰反射体としての測定基準器２と、被測定物Ｗに取り付けられる第２の再帰反射体としてのターゲット３と、測定基準器２にレーザ光源から出射される光を導くとともに、測定基準器２にて反射された光を出射する本体部４と、測定基準器２を中心として本体部４を回転させる回転機構５と、回転機構５を制御する制御装置６とを備える。本体部４は、測定基準器２にて反射された光を受光し、受光した光の位置を検出する二次元ＰＳＤを備える。制御装置６は、回転機構５の回転角度を取得する角度取得部６３と、二次元ＰＳＤにて検出される光の位置に基づいて、角度取得部６３にて取得される回転機構５の回転角度を補正する角度補正部６４とを備える。 （もっと読む）

【課題】 長い距離を高い精度でしかも短時間に測定することが可能な距離計および距離測定方法を提供する。
【解決手段】
第１の光源１から出射されて基準面４に照射される基準光Ｓ_１と第２の光源２から出射されて測定面６に照射される測定光Ｓ_２と干渉光Ｓ_３を基準光検出器３により検出して得られる干渉信号と、上記基準面４により反射された基準光Ｓ_１’と上記測定面５により反射された測定光Ｓ_２’との干渉光Ｓ_４を測定光検出器６により検出して得られる干渉信号を信号処理部７に供給して、上記信号処理部７により、上記干渉光Ｓ_３を検出した干渉信号と上記干渉光Ｓ_４を検出した干渉信号の時間差から、光速と測定波長における屈折率から上記基準面までの距離と上記測定面までの距離の差を求める。 （もっと読む）

【課題】自己結合型のレーザ計測器を利用して、簡単かつ安価な構成で精度の良い反射型光電スイッチを実現する。
【解決手段】反射型光電スイッチは、半導体レーザ１と、半導体レーザ１から放射されたレーザ光と物体１０からの戻り光との自己結合効果によって生じる干渉波形を含む電気信号を検出する検出手段（フォトダイオード２、電流−電圧変換増幅部５）と、干渉波形の情報から、物体１０までの距離が基準距離より遠いか近いかを判定する距離判定処理手段（フィルタ部６、計数部７、判定部８）とを備える。 （もっと読む）

【課題】光周波数発生器を用いた絶対距離測定方法及びシステム。
【解決手段】（ａ）光周波数発生器１００を用いて、安定化した異なる複数の波長λ_ｉを生成するステップと、（ｂ）周波数走査干渉計２００を用いて、測定する距離の初期推定値を取得するステップと、（ｃ）取得した初期推定値の不確度の範囲を分析するステップと、（ｄ）多波長干渉計によって各波長λ_ｉに対する干渉信号を解析して、各波長λ_ｉに対する小数部ε_ｉを測定するステップと、（ｅ）初期推定値の不確度の範囲内で、各波長λ_ｉに対する整数部ｍ_ｉを決定するステップと、（ｆ）上記異なる複数の波長λ_ｉに対するそれぞれの小数部ε_ｉ及び整数部ｍ_ｉを用いて、測定する距離の絶対距離Ｌを測定するステップとを含む。 （もっと読む）

本発明は、軸方向に離間する、供試体（Ｐ）、特に眼（Ａ）の複数の領域（Ｔ_１、Ｔ_２）を測定するためのショート・コヒーレンス干渉計装置に関し、干渉計は、複数の個別の測定ビームが通って供試体（Ｐ）に照射される少なくとも１つの測定ビーム経路、および参照ビームが通る参照ビーム経路（Ｒ）からなり、個別の測定ビーム（Ｍ_１、Ｍ_２）は、参照ビームと重ねられて干渉状態になり、個別の測定ビーム（Ｍ_１、Ｍ_２）は、供試体（Ｐ）に照射されたとき、軸方向距離（ｄ）に適合した量だけ互いに対して軸方向に変位し、干渉計装置（Ｉ）は、干渉するやり方で、個別の測定ビーム（Ｍ_１、Ｍ_２）を参照ビームと重ね、また、ビームをそれぞれの測定ビームに関連した検出器（Ｄ_１、Ｄ_２、．．、Ｄ_Ｎ）へ導き、個別の測定ビーム（Ｍ_１、Ｍ_２、．．、Ｍ_Ｎ）は、参照ビームと重なり、結合されて混合光になり、そこでは、参照ビームと重ねられる際に測定ビームが別々の位相位置を有する。
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【課題】特に雑音信号の回避によって測定品質が改善された干渉計を備えた光学測定装置を提供する。
【解決手段】信号評価ユニット２と、コヒーレンス長１ｃｍ以下の光を発生する光源３と、少なくとも１つの検出器４ａ、４ｄとを含む干渉計を備えた、物体１の光学的測定を行うための光学測定装置。信号評価ユニットは検出器）の測定信号から物体１の運動データを算出するように形成された振動測定評価部２ｆを含む。焦点制御部２ｄによって制御される光路長を変化させる光路長調整手段１１は、測定ビームまたは参照ビームの光路長を前記焦点制御部の制御信号に応じて変化させる。焦点制御部は、光路長調整手段を制御して、測定ビームと参照ビームの光路長を調整する。 （もっと読む）

【課題】半平面ビームスプリッタを使用して、マイクロ機械加工を施した干渉計が得られる。
【解決手段】ビームスプリッタは、入射ビームＩを受容するように光結合しており、入射ビームをそれぞれ異なる媒体内を伝播する２つの干渉ビームＬ１、Ｌ２に分岐するように動作する。こうした媒体の一方に埋め込まれた固定鏡Ｍ２は、一方の干渉ビームＬ２を反射し、この干渉ビームを、上記媒体を通って半平面ビームスプリッタへ戻す。その一方で、アクチュエータによって制御される可動鏡Ｍ１は、他方の干渉ビームＬ１を反射して、この干渉ビームを他方の媒体を通って上記半平面ビームスプリッタへ戻す。検出面Ｄ１またはＤ２は、反射された干渉ビームＬ３、Ｌ４間の干渉によって生成された干渉パターンを検出する。 （もっと読む）

【課題】コンパクトで測定安定性に優れた光学システム用偏菱形アセンブリをより容易に製造する手段を提供する。
【解決手段】ガラスプレートを切断することによって偏菱形アセンブリを製造する。ガラスプレートはそれらの間のコーティングによって互いに接着される。切断の角度は例えば４５°であり、切断によって生じた表面は光学的な許容誤差範囲内で仕上げられる。これらの光学表面により、偏菱形アセンブリを、多軸干渉計の偏光ビームスプリッタ（PBS）のような光学部品に直接取り付けることができる。さらに、測定ビームの分離間隔を広げる１／４波長板、キューブコーナー反射鏡、及び偏菱形部品などの部品をPBSに取り付けて、コンパクトで熱的に安定な一体型ビーム光学系を作製することができる。基準ビーム用の１／４波長板に反射性コーティングや他の基準反射鏡を配置することによって、基準ビームの全ビーム経路を一体型構造内に保持することができる。 （もっと読む）

【課題】 従来ＯＣＴ眼科用の場合、参照光側で高速光遅延装置として複数のプリズムを等間隔に配した円板を高速回転させ深さ方向の走査を行っており、またサンプル側に配設された光スキャナによりデータ取得を高速化する方式があるが、回転方式の円板は小型化が困難かつ高速回転にはバランス調整を要し光学系も複雑でかつ、円板回転で複数のプリズムが切替わる瞬間は参照光データが取得できず、またサンプル側のプローブ内に光スキャナがあるものは、プローブが振動や衝撃に弱い問題があった。
【解決手段】 本体の参照側に配置された深さ方向の高速光遅延装置が、光ファイバからの光源光を導入するコリメートレンズとその光を受ける二次元方向高速光スキャナと、その光を受けて反射する回折格子と、同反射された回帰光を受ける前記高速光スキャナ及び前記コリメートレンズを配設してなる。 （もっと読む）

【課題】外部共振器型の波長可変レーザ装置において、小型化とともに、高速かつ安定した波長掃引を可能にする。
【解決手段】レーザ装置１０は、半導体レーザ媒質１１と、半導体レーザ媒質１１から射出した光を波長分散する分散素子である回折光学素子１３と、波長分散された光が入射される空間変調素子１５とを備える。空間変調素子１５は、制御信号に応じて光を変調する複数の画素１５ａを有し、波長分散された光の一部を選択的に反射して帰還させて戻り光とする。半導体レーザ媒質１１と空間変調素子１５が外部共振器の両端部を構成し、半導体レーザ媒質１１の射出端面１１ａから、戻り光の波長のレーザ光Ｌ０が射出される。 （もっと読む）

【課題】 光ファイバリングの一部に印加された物理的外力とその位置を同定し、且つ光ファイバリングの切断と切断位置を検出する。
【解決手段】 光ファイバ侵入監視装置１は、波長が異なる２つの光源９，２５と、この２つの光源９，２５に対応して光ファイバの干渉光を検出する２種類の受光部１３，２９とを備えた光ファイバ振動センサ検出装置４９と、この光ファイバ振動センサ検出装置４９の各光源９，２５と各受光部９，２５に接続される第１分岐結合器５１と、この第１分岐結合器５１に一端側を接続した光ファイバリング干渉型の振動センサ２３、２９を構成する振動センサ用光ケーブル６９と、この振動センサ用光ケーブル６９の他端側に接続した第２分岐結合器５３と、から構成され、前記振動センサ用光ケーブル６９に、ケーブル切断検出用光ファイバ７を収容している。 （もっと読む）

【課題】 被検体の計測における光の利用効率を向上させるとともに、波長依存性を無くして光学系の構成を簡略化した光干渉装置を提供すること。
【解決手段】 光出射部１はコントローラ４からの駆動信号に基づいて光発生器１０から異なる特定波長を有する近赤外線可干渉光を光干渉部２に出射する。光干渉部２は、透過孔２１ｄによって低反射領域が形成されたビームスプリッタ２１により、入射した近赤外線可干渉光の大部分を被検体に透過するとともに一部を可動ミラー２２に反射する。そして、ビームスプリッタ２１は、被検体で反射した計測光と可動ミラー２２で反射した参照光とを干渉させ、干渉した干渉光を光検出部３に出射する。光検出部３は入射した干渉光を受光するとともに同干渉光の光量分布を用いて被検体に関する所定の情報を算出する。そして、表示部５は算出された所定の情報を所定の態様で表示する。 （もっと読む）

【課題】コンパクトでなお且つ移動鏡の傾きによる誤差や大きな摩擦力を生じることのない干渉計を提供する。
【解決手段】干渉計の移動鏡駆動機構として、長尺状のガイドレール４０と、ガイドレール４０に嵌着され、該ガイドレール４０上を摺動するスライダ３０と、前記スライダ３０に固定された移動鏡１６と、該スライダを駆動する複数のボイスコイルモータ５０とを備えた移動鏡駆動機構を用いる。ここで、駆動源である複数のボイスコイル５１を、前記スライダ３０の移動方向に垂直な面内においてスライダ３０の移動中心に対して対称な位置に配置する。これにより、左右のコイル５１に加わる電磁力を合成した力の作用点をスライダ３０の移動中心と一致させ、移動鏡の移動時における回転モーメントの発生を防止することができる。 （もっと読む）