【課題】老朽化したコークス炉における炭化室の炉壁の変形状態（壁面の凹凸、窯幅の変化）を、炭化室内部に測定装置を入れることなく、炭化室外部から簡便に精度良く測定することができるコークス炉の炉壁診断方法およびコークス炉の炉壁補修方法を提供する。
【解決手段】炭化室１０の外側にレーザー式３次元形状測定装置２０を配置し、レーザー式３次元形状測定装置２０によって、蓋１２をとった状態の窯口１１から斜めにレーザー２１を照射して、炉壁（壁面）１３の形状を点群として測定する工程を、炭化室１０の左右の壁面１３ａ、１３ｂに対して独立して実施した後、左右を独立して測定した壁面の形状を、炭化室１０周辺の基準物２２を元に合成して、一つの形状データ（点群）にまとめて左右合成炉壁形状とし、その左右合成炉壁形状から左右の壁面間の距離（窯幅）を計算して、炉壁形状（壁面の凹凸、窯幅の変化）の診断を行う。 （もっと読む）

【課題】レーザ干渉計の計測精度を改善する。
【解決手段】露光装置は、投影光学系ＵＬと、原版Ｒまたは基板Ｗを保持して移動可能なステージ１ｒ、１ｗと、ステージを支持する定盤４と、原版または基板の表面の高さ及び傾きを検出する検出手段７と、投影光学系と検出手段とを支持する架台８と、定盤と架台との間における、ステージを含む空間の空調を行う空調手段と、該空間内に光路を有してステージの位置を計測するレーザ干渉計６と、を有する。上記検出手段は、光電検出手段２７と、パターンを投影する投光光学系と、原版または基板上に投影された上記パターンの像を光電検出手段に再結像させる受光光学系とを有する。光電検出手段を含む検出手段の第１の部分は、上記空間の外において架台に支持され、検出手段の第２の部分は、上記空間内において架台に支持され、第１の部分と第２の部分とは、受光光学系の瞳面と像面との間で分割されている。 （もっと読む）

【課題】箱体で一体化されていて高温環境での使用にも適う光ファイバセンサを実現。
【解決手段】 箱体１１と、一対のファイバ保持具２０，３０と、両保持具間に張られた部分が内部空間１２に収容されその張設部分にＦＢＧ８ａが形成されている光ファイバ８とを備え、ファイバ保持具２０，３０が離接方向への相対移動を許容する形で箱体１１に装着されており、巻付部材からなるファイバ係止部２１，３１と被測定物に対する取付部２６，３６との間の中継部２３〜２５，３３〜３５に断熱材が組み込まれており、箱体１１には冷却手段１５が付設されている。中継部２３〜２５が上層断熱板２３と中層連結板２４と下層断熱板２５とを具備し、ファイバ係止部２１と中層連結板２４とが上層断熱板２３を挟んで断熱性締結具２８にて連結され、中層連結板２４と取付部２６とが下層断熱板２５を挟んで耐熱性締結具２７にて連結される。ファイバ保持具３０も同様である。 （もっと読む）

【課題】 回折格子が形成する面内の方向（Ｙ方向）の変位及びその面に垂直な方向（Ｚ方向）の変位を、光源から出射される光から回折格子を用いて複数の回折光を発生させることにより計測できる変位計測装置を提供する。
【解決手段】 第１乃至第３の回折光ｌ_１、ｌ_２、ｌ_３を発生させる第１回折格子ＧＢＳ０と、被計測物と共に移動可能な第２回折格子ＧＴ０と、第２回折格子で回折した第１及び第２の回折光による干渉光を受光する第１受光部ＰＤｘと、第２回折格子で回折した第１の回折光と、第１回折格子を透過した第３の回折光とをそれぞれ反射する反射部ＦＭと、反射部で反射され第２回折格子で回折した第１の回折光と、反射部で反射された第３の回折光と、による干渉光を受光する第２受光部ＰＤｚと、第１受光部で受光した光に基づいてＹ方向の変位を算出し、かつ第２受光部で受光した光に基づいてＺ方向の変位を算出する演算部ＣＵと、を有する。 （もっと読む）

【課題】耐火物を内張りした溶融金属収容体における耐火物の残存厚みを測定可能とする耐火物のプロファイル測定方法および耐火物の厚み測定方法を得る。
【解決手段】耐火物を内張りした溶融金属収容体における前記耐火物のプロファイル測定方法であって、前記溶融金属収容体に溶融金属を収容した後、前記溶融金属を前記溶金属収容体より排出し、前記耐火物が赤熱している状態で前記耐火物およびその周囲に配置された基準点を含んで撮像し、該撮像は同一対象に対して撮影角度を異にした複数の画像を撮像するものであり、その画像データを取得して前記耐火物のプロファイルを算出する。 （もっと読む）

【課題】撮像手段によって撮像される画像にズレが生ずることがない加工装置を提供する。
【解決手段】被加工物を保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された被加工物を撮像するための光学系と撮像素子を備えた撮像手段と、チャックテーブルに保持された被加工物を加工する加工手段と、チャックテーブルを該撮像手段の撮像領域を含む加工送り方向に移動せしめる移動手段と、撮像手段と該加工手段および該移動手段を制御する制御手段とを具備する加工装置であって、撮像素子に電力を供給する電源回路に開閉スイッチが配設されており、制御手段は撮像手段による撮像工程を実施する際に開閉スイッチを閉路し、撮像手段による撮像工程が終了したら開閉スイッチを開路する。 （もっと読む）

【課題】 対象物を光ストライプで照射し、対象物表面から反射した光を検出することで、対象物の表面上の複数の点からデータを捕捉するための走査プローブ（２）に関する。走査プローブは、（ａ）光ストライプ（５５）を生成および発するためのストライプ生成手段（１４）、（ｂ）対象物表面から反射した光ストライプを検出するための画素の配列を有する画像センサを備えるカメラ（１６）、（ｃ）カメラ（１６）によって検出された強度に応じて、フレームの取得中に光ストライプ（５５）の強度を調節するための手段を備える。ストライプ長を修正する手段、処理手段のための隔離された区分室、およびスキャナのための取り付け可能なダストカバーを有するスキャナにも関する。 （もっと読む）

【課題】炉体内に溶鋼が入っているときでも炉体の熱変形量を正確に測定することのできる転炉炉体の熱変形量測定方法を提供する。
【解決手段】炉体１の外周に設けられたトラニオンリング２にレーザー距離計６を設け、このレーザー距離計６から炉体１の外表面にレーザー光線を照射して炉体１の熱変形量を測定するようにした。 （もっと読む）

【課題】加熱炉内で加熱されながら搬送されている被加熱材の蛇行量を高精度に測定することを目的とする。
【解決手段】ウォーキング式加熱炉２の装入口２ａから抽出口に向けて搬送される被加熱材Ｓの蛇行量を測定する方法である。加熱炉２の炉心Ｐ１に対して平行であって被加熱材Ｓの搬送方向を向くように画像計測用カメラ１６を設置する。そして、被加熱材Ｓの上に耐火レンガＢＬを載置し、被加熱材Ｓとともに装入口２ａから抽出口に移動する耐火レンガＢＬを画像計測用カメラ１６で撮影し、その撮影した映像を画像処理して耐火レンガＢＬの位置変化を演算する。そして、その位置変化に基づいて被加熱材Ｓの搬送時に発生する蛇行量を求める。 （もっと読む）

【課題】測定範囲および測定時間のいずれにも制限を受けることがなく、連続して炉幅を測定することができる炉幅測定装置を提供する。
【解決手段】発光素子と受光素子を外装内に収納したレーザ式変位センサ１６，１７と、外装を取り囲むとともに、吸熱面側をその外装に向けて配置される複数のプレート状ペルチェ素子２０ａ〜２０ｄと、上記外装とペルチェ素子の吸熱面との隙間を埋めるアルミブロック１８，１９と、ペルチェ素子の放熱面側に配置される冷却フィン群２１ａ〜２１ｄと、を一体化してセンサユニットＳＵとし、このセンサユニットを、冷却用空気の導入部と、冷却に供せられたその冷却用空気を排出する排出部と、レーザ光を通過させる計測窓２６，２８とを備えた筺体１３内に収納したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】コークス炉炭化室等の高温の炉室内における炉幅を迅速かつ容易に測定するため、冷却水配管の設置を必要とせず、かつ炉内に測定装置を挿入し測定を行い抽出するのに必要な時間内において高温に耐え得るような炉幅測定方法を提供する。
【解決手段】相対する炉壁間の幅を測定するための炉幅測定方法であって、炉幅を測定する測定ユニット２は炉幅計測器８と電源装置１０とを有し、測定ユニット２は吸熱能力を有する液体７を充填したジャケットに収納され、更にジャケットの外側は断熱材４で覆われている炉幅測定装置を用いる。測定ユニット２は更に炉幅測定データを外部データ記録装置２２に伝送するためのワイヤレス伝送送信機１８又はワイヤレス伝送受信機及びデータ記録装置９を有する。データ記録装置において、炉幅測定データとともに水平方向の測定現在位置データを記録する。 （もっと読む）

【課題】 ガラス体へ直接接触することなく色収差に基づいて熱ガラス体の厚さを測定する方法を提供する。
【解決手段】 本発明方法を、光源からの光ビームを収束装置を用いて生成直後の熱ガラス体上へ集束させ、ガラス体からの反射光を分光計へ導いて反射光スペクトルを得、ガラス体の前面及び後面それぞれからの反射光の反射光強度が最大となる２つの波長を見出し、見出した２つの波長間の差からガラス体の厚さを測定し、厚さの測定中収束装置の温度を１２０℃以下に維持し、及び少なくとも１個の熱遮断性フィルターを用いて集束装置への熱放射の到達を実質的に遮る各工程から構成する。 （もっと読む）

【課題】 測定精度の良い三次元形状測定装置を提供する。
【解決手段】 ガイドレールと台座部材とからなる滑動機構１３３，１３４を有するＸＹ−テーブル１３０を石定盤１０５上に設置することで、上記ＸＹ−テーブルの内側に空間１５１を形成する。上記ＸＹ−テーブルに設けた基準板へレーザ光１１１ｄを導くための基準板用光学系１２２を上記空間に配置することで、被測定物の形状測定精度の向上を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】 光源から出射された光を検出側に伝送する光ファイバの屈曲やストレスによる偏波の乱れを減少させることにより高精度な定点検出や変位計測を可能とする。
【解決手段】 光源１２から出射された可干渉性又は干渉性の低い光は、偏光板１３に入射すると、消光比が例えば３０ｄＢのように高い直線偏光となる。この消光比の高い直線偏光を集光レンズ１４によって集光し、かつ直線偏光ビームの偏波軸を、偏波保持タイプの光ファイバ１５の光学軸に合わせて偏波保持タイプの光ファイバ１５に入射する。このように、偏光板１３によって直線偏光とされたビームを偏波保持タイプの光ファイバ１５に入射するとき、上記ビームの偏波軸を、上記光ファイバ１５の光学軸３４に合わせると、上記光ファイバ１５の屈曲やストレスによる消光比の変動を少なくすることができる。 （もっと読む）