【課題】回転軸と推進構造部との接触圧力について制約がなくステージの大型化に対応可能であり、さらに粗動移動時においてステージあるいは推進構造部と他の構成部材との衝突を回避することができる載物台用送り機構を提供すること。
【解決手段】物体を載置する載物台と、回動によって前記載物台を駆動する駆動軸と、前記駆動軸を加圧保持して前記駆動軸の回動を前記載物台の駆動に変換する変換部と、前記変換部の前記駆動軸に対する加圧保持および加圧解除を行うアクチュエータと、前記アクチュエータを制御する制御部とを備えたことを特徴とする載物台用送り機構。 （もっと読む）

【課題】プラテン上を２次元移動するスライダの位置を制御するＸＹステージにおいて、光軸調整に高い精度が要求される反射型センサを用いることなく、スライダの接触・衝突を防止できるようにする。
【解決手段】プラテン上の平面を２次元移動するスライダの位置を制御するＸＹステージであって、スライダに、他物体が前記平面上の所定の基準距離内に存在していることを検出する超音波センサが配置され、超音波センサが、基準距離内に他物体が存在していることを検出すると、超音波センサが配置されているスライダの移動を停止させる制御部を備える。 （もっと読む）

【課題】多段階の位置決めが可能であり、故障や停電等の電気系統のトラブルが発生した際の復旧が極めて容易な汎用位置決めテーブルを提供する。
【解決手段】汎用位置決めテーブル１は、一方向に摺動可能なテーブル１１と、当該一方向と平行をなす軸を中心に回転可能なシャフト１３１と、シャフト１３１の側面上に設けられた、摺動するテーブル１１を停止させるための複数のストッパ１３２と、を備えている。ここで、摺動するテーブル１１は、複数のストッパ１３２のうちシャフト１３１の回転により切り替え可能な一のストッパ１３２に当接することで停止させられる。 （もっと読む）

【課題】 平行配置されたリニアガイド間の不平行性を吸収する機能を備える位置決めステージを実現する。
【解決手段】 軸方向に移動制御されるスライダを有する一対のリニアモータを、所定距離を隔てて平行に配置し、前記一対のリニアモータの夫々のスライダ間をブリッジ部材で橋渡しした位置決めステージにおいて、
前記ブリッジ部材と前記スライダの一方との結合部に介在し、前記ブリッジ部材の橋渡し方向の移動を可能とするスライド機構を備える。 （もっと読む）

【課題】 電装系によらない衝突防止機能を備えた平面位置決め装置を実現する。
【解決手段】 平板状のプラテンと、その上面をＸ軸方向及びＹ軸方向にスライドして位置制御されるスライダよりなる平面位置決め装置において、
前記スライダを前記プラテンのＸ軸またはＹ軸方向の端縁部に拘束し、その端縁部に沿って移動可能に保持する磁気拘束手段を備える。 （もっと読む）

【課題】ベース部材に凹部が存在している場合でも、不測の挙動を示すことを抑制する。
【解決手段】第一部材の第一面１０Ａに形成された溝部１４の内側に設けられた第一流体吹出部１１と、溝部１４とは異なる第一面１０Ａ内の領域に設けられた第二流体吹出部２１Ａ、２１Ｂとを有する。 （もっと読む）

【課題】大きな推力を必要とするアライメント装置を小型化出来、ステージが傾いた場合でも自重による移動がないアライメントステージを提供する。
【解決手段】支持機構を設けた直動ガイド１０３を回転機構１０２が載置し、その回転機構１０２をリニアモータ装置１０１が載置することにより、支持機構を回転・二方向に移動可能とする回転・二方向移動装置Ｉを構成し、この回転・二方向移動装置Ｉを２台備えて、その各リニアモータ装置１０１の固定子駆動軸１０１ｂを共通とし、この固定子駆動軸１０１ｂに各可動子１０１ａを直列配置し、可動子側１０１ａにマグネットＭ、固定子駆動軸１０１ｂ側に電機子Ｃを配置し、かつブレーキをそのブレーキシューがレールの側面に押圧可能となるように可動子１０１ａに配設した。 （もっと読む）

【課題】 原点復帰時のスライダ部同士の衝突を防止し、レーザ干渉計のつなぎ箇所にて発生する累積検出誤差をキャンセルする機能を備えたＸＹステージを実現する。
【解決手段】 四辺形のプラテン上で２個のスライダ部を夫々２次元方向に位置制御するにＸＹステージにおいて、
前記四辺形の対角点位置又は一辺の両端位置に、前記スライダ部の夫々に対応する原点位置検出手段を設けた。 （もっと読む）

位置決め装置は、第１部材（１’）と、第１部材に対して移動可能な第２部材（４）とを備える。滑動・粘着ドライブ（２、３、４）は、２つの部材（１’、４）の直動移動（Ｐ）をもたらすために、第１部材（１’）と第２部材（４）との間において動作する。位置決め装置は、第１部材（１’）と滑動・粘着ドライブ（２、３、４）とに結合され、滑動・粘着ドライブ（２、３、４）の直動シャフト（３）を機械的に保護し、直動シャフト（３）の回転移動および／もしくは側方移動を防ぐ一体型接合部（１２、１３）を備える。
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【課題】 本発明はステージ装置の大型化に伴いガイドレールの加工及び位置調整を容易に行えることを課題とする。
【解決手段】 ステージガイド機構２８のガイドレール３０は、断面がほぼ正方形であり、水平面に対して各４辺が４５度の傾斜角度を有するように取り付けられる。調整機構３６は、ガイドレール３０の下部傾斜面３０ａ，３０ｂを両側から押圧する一対の調整ブロック５０,５１と、調整ブロック５０をベース１４の上面（水平面）に固定する固定用ボルト５２と、調整ブロック５０を側方から押圧して取付位置を調整する調整ねじ５４と、調整ブロック５０,５１に螺入され調整ブロック５０,５１をガイドレール３０に締結する締結ボルト５６とを有する。調整機構３６により、ステージ装置１０を設置した後にガイドレール３０の歪みがなくなるように調整することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】保持治具にワークを装着する時や、保持治具にワークを装着した状態で搬送する時にはワークに疵を付けず、又、加工時や測定時には剛性の高い３点支持で振動や変形を抑えることができ、ワークを着脱しても位置の再現性が良好であるワークの保持方法及びワーク保持治具を提供すること。
【解決手段】ワークを保持する保持方法において、該ワークの周辺部における３点で該ワークを点接触状に支持するとともに、該３点支持の支持剛性を切り替える。又、ワークを保持するワーク保持治具において、該ワークの周辺部における３点で該ワークを点接触状に支持するとともに、該３点支持の支持剛性を切り替える。 （もっと読む）

試料台（６）を基体部（４）に対して動かすための位置決め部材（２）が記載されている。位置決め部材は、駆動軸に沿って膨張及び収縮するように配置された圧電素子によって駆動されており、圧電素子は、基体部に取り付けられた入力端と、圧電素子の駆動軸から離間するように反対方向に延在する第１の出力レバー（１４）及び第２の出力レバー（１６）とを備えている。それぞれの出力レバーは、圧電素子が膨張するときに圧電素子によって作用されるように配置された内側アーム部と、試料台が台支持部（２６，２８）を介して取り付けられた出力アーム部とを備えている。出力レバーは、圧電素子が出力レバーの内側アーム部に作用し、外側アーム部を、駆動軸を含む平面内で動かすように取り付けられている。出力レバーのこの動きは、台支持部を介して試料台に伝導し、試料台を基体部に対して駆動軸に平行な方向に沿って動かす。
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