【課題】エンコーダの検査を高精度且つ容易に行うことが可能なサーボモータを提供する。
【解決手段】エンコーダ１００は、シャフトＳＨに連結され、複数の反射スリット１１１からなるスリットアレイＳＡが円周方向に沿って形成された円板状のディスク１１０と、スリットアレイＳＡに光を照射する点光源１２１、及び、点光源１２１から照射されスリットアレイＳＡで反射された光を受光する受光アレイ１２２を備えた光学モジュール１２０と、光学モジュール１２０が設けられる基板１３０と、モータＭのハウジング１０に固定され、ディスク１１０を内部に収容しつつ、光学モジュール１２０がスリットアレイＳＡと対向するように基板１３０を支持する、円筒状の支持部材１４０と、を有する。 （もっと読む）

【課題】製造コストが低く、特性、膜厚分布及び形成膜の密着性が良好であり、格子形状の精度も高い光電エンコーダのスケール及びその製造方法を提供する。
【解決手段】光電式エンコーダのスケールは、導電性で表面に光反射面が形成されたベース材と、ベース材の表面にめっき法によって形成され、ベース材に所定のピッチで配列された光吸収性の黒色格子とを備える。この発明によれば、製造コストが低く、特性、膜厚分布及び形成膜の密着性が良好であり、格子形状の精度も高い光電エンコーダのスケール及びその製造方法を提供できる。 （もっと読む）

【課題】スケールからの反射光による像のコントラストを高くし光検出器の誤検出を防ぐ。
【解決手段】下地部材に第１領域と第２領域とが交互に配置された反射型光学式スケールであって、下地部材に第１領域と第２領域とが交互に配置され、第１領域は、波長λの光の反射率が第２領域よりも高く、第１領域は、下地部材の上に配された反射部材と、反射部材の上に配された第１材料で構成された層と、第１材料で構成された層の上に配された第２材料で構成された層と、で構成され、第２領域は、下地部材の上に配された第２材料で構成された層で構成され、第１材料および第２材料は、光について透過性を有し、第１材料は、反射部材および第２材料よりも光の屈折率が低く、第２材料は、下地部材よりも光の屈折率が低く、第１材料および第２材料の光学膜厚は、第１領域の方が第２領域よりも光の反射率が大きくなるように設けられている。 （もっと読む）

【課題】原点検出精度を向上させた信頼性の高いエンコーダシステムを提供する。
【解決手段】エンコーダシステム１００は、複数のマークを備えた担持体１１と、担持体１１の移動方向に第１の距離だけ互いにずらして設けられ、複数のマークを読み取り可能なセンサ１２、１３と、センサ１２、１３の検出信号を演算処理する演算処理部１４とを有し、演算処理部１４は、担持体１１がセンサ１２、１３に対して相対移動している際に、複数のマークのうち一つのマークが第１の距離だけ移動するのに要する第１の時間、および、複数のマークのうち隣接する二つのマークがセンサ１２またはセンサ１３による検出位置を通過するのに要する第２の時間を演算し、第１の時間および第２の時間から算出された第１の指標が原点位置を特徴付ける第２の指標に相当する場合、第１の指標の算出に用いられたマークパターンを原点マークパターンであると判定する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、湾曲可能であって高精度に微小位置変位の測定を実現することの可能な光学スケール、及び、それを備えた光学ユニットを提供することを目的とする。
【解決手段】 光透過性を有する樹脂基板２と、該樹脂基板２面上に所定のパターンにて積層形成されているアルミニウム金属膜３とからなる積層構造体４を備え、該積層構造体４におけるアルミニウム金属膜形成面側の表面を覆って光透過性を有する粘着層５が積層されており、且つ、粘着層５面上にアルミニウム金属膜３よりも正反射率の低い低反射層６が積層されている光学スケール１により、湾曲可能であって高精度に微小位置変位の測定を実現することの可能な光学スケール１、及び、それを備えた光学ユニット１０が提供される。 （もっと読む）

【課題】高分解能を有するアブソリュートエンコーダに有用なスケールを提供する。
【解決手段】 アブソリュートエンコーダのスケールには、少なくとも１つの方向に沿って所定のピッチで複数のマークが配列されている。前記スケールは、前記少なくとも１つの方向に沿って前記所定のピッチで配置された光反射性または光透過性を有する複数のマークを含む基材を有する。前記複数のマークのうちの一部のマークには、光を減衰させる膜が形成されている。 （もっと読む）

【課題】歩留まりの低下を防ぐことが可能なエンコーダ用スケールの製造方法、エンコーダの製造方法、エンコーダ及びモータ装置を提供すること。
【解決手段】基板の一の基板面と基板の外周面との間に設けられるエッジ部を曲面にする面取り工程と、当該面取り工程の後、一の基板面に機能材料を含む液状体の薄膜を形成する薄膜形成工程と、一の基板面にパターンを形成するパターン形成工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】光透過型エンコーダにおいて、安価な製造コストで、変位量検知の分解能をより一層高めることを可能とする。
【解決手段】光透過型エンコーダ用スケールの側壁にスリット孔及び遮光部を成形するための櫛歯部１１を有する雌金型１０と、雌金型１０と対になる雄金型２０とを備える。櫛歯部１１は、複数の歯形１２と歯溝１３とが交互に並んで成り、雄金型２０は、歯形１２の歯先面１５と当接してスリット孔の入射面又は出射面を成形する当接面２１と、歯溝１３を区画して遮光部を成形する成形面２２を有する。それぞれの歯形１２において、歯元１７の厚みを歯先１８の厚みよりも薄くして、バリの発生によって変位量検知の精度が低下することを防止する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、１００℃〜１３０℃程度の高温下で、蒸気・切削油等にも触れる可能性のある環境下でも、安定した検出精度を維持することのできる光学式エンコーダを提供し、かつ、光学式エンコーダに用いられるコード板の製造において、コード板の金型の十分な寿命と、得られる成形品（コード板）の高い信頼性とを確保することを目的とする。
【解決手段】本発明は、投光部と、受光部と、樹脂材料からなるコード板とを備えた光学式エンコーダであって、前記コード板は、Ｖ字溝またはＶ字突起を含むコードパターンを有し、前記樹脂材料は、１３０℃における検出に用いられる波長の光に対する屈折率が１．６以上であり、かつ、ガラス転位点が１９０℃以下であることを特徴とする、光学式エンコーダである。 （もっと読む）

【課題】パターンが経年劣化等の変化することにより、位置検知用のセンサからの出力信号が変化したとしても、行程位置を把握することができるアクチュエータの行程位置検知装置を提供する。
【解決手段】油圧シリンダ１（アクチュエータ）のロッド４に、ストローク方向の範囲内において変化がない基準部とストローク位置を特定できるように変化させる符号化部とを有するパターンＸを描画して、基準部を検知する基準センサ（基準検知部）が出力する基準信号に基づき位置検知センサ（位置検知部）が出力する位置信号を判断して、ストローク位置を把握する制御装置とを備える。 （もっと読む）

【課題】回転体の駆動計測または計測に基づいた駆動制御を行い、かつ、ロータリエンコーダの取り付け偏心も検出または補正制御可能とするロータリエンコーダ装置を提供する。
【解決手段】先ず（１５０）では、ロータリエンコーダからのアナログ出力を（１５１）でＡ／Ｄ変換し、（１５２）でＰ₁、Ｐ₂、Ｐ₃・・・Ｐ₇₂等のパターンごとに出力される（１５３）回転パルス信号成分抽出と、（１５４）偏心信号成分抽出を行っており、具体的には、偏心による『当該ロータリエンコーダにおいて、回転角度に対するＨとＬレベルパルス幅の比率に応じて回転軸芯に対するロータリエンコーダの取り付け偏心量と、偏心位相を検出する偏心量位相検出手段』のロータリエンコーダ１周分（Ｐ₁、Ｐ₂、Ｐ₃・・・Ｐ₇₂）のパターンから得られるＨ／（Ｈ＋Ｌ）のＳｉｎ関数の周期変動の振幅と位相を求め、その変動成分を分離（フィルタリング）する事により求められる。 （もっと読む）

【課題】検出精度を向上させることができるエンコーダ、光学モジュール及びサーボシステムを提供すること。
【解決手段】複数の反射スリットが測定軸に沿って並べられたスリットアレイＳＡ１，ＳＡ２と、スリットアレイの一部に対向し測定軸Ｃ上で相対移動可能な光学モジュール１３０とを備え、光学モジュールは、スリットアレイに光を照射する点光源１３１と、スリットアレイと平行な面内において測定軸と垂直な幅Ｒ方向で点光源に対してオフセットした位置に配置され、点光源から照射されて反射スリットで反射された反射光をそれぞれ受光する複数の受光素子が測定軸に沿って並べられた受光アレイＰＡ１，ＰＡ２とを有し、複数の受光素子は、測定軸方向で点光源に近い受光素子ほど幅方向の長さが短い形状をそれぞれ有し、幅方向における点光源と反対側の端部Ｅｎが測定軸に沿った位置になるように並べられる。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、回転体の相対回転角および絶対回転角を検出することができる光学式エンコーダを提供する。
【解決手段】相対回転角検出部２２は、相対回転角検出用受光部２０からの出力信号を受けて、コードホイール１の透過領域としての光オン部１１ａ，１１ｂおよび遮断領域としての光オフ部１２からの光量の相違に基づいて、コードホイール１の相対回転角を検出する。一方、絶対回転角検出部２３は、絶対回転角検出用受光部２１からの出力信号を受けて、コードホイール１の第１の領域としての第１光オン部１１ａおよび第２の領域としての第２光オン部１１ｂからの光量の相違に基づいて、コードホイール１の絶対回転角を検出する。 （もっと読む）

【課題】複数本の線状材を円筒部材の内壁に規則的に並べることで、ロータリーエンコーダとして小型化が可能となる。
【解決手段】ロータリーエンコーダ１００で用いられる円筒型スケール１０２の作製方法であって、屈曲可能な基材１０８の上に、Ｙ軸の方向に伸びる線材１０５（線状材）を複数本規則的に設けるパターン形成工程と、基材１０８を、Ｙ軸を中心に円筒部材１０４の内壁の曲率に合わせて屈曲させ、線材１０５を内壁に貼り付ける貼付工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】受光面積を増大することで反射光を有効活用できるようにする。
【解決手段】インクレ用受光素子群１４０Ｌ，１４０Ｒを、光源１３０を間に挟んで回転ディスク１１０の円周方向に分割して配置し、第１及び第２アブソ用受光素子群１５０Ｄ，１５０Ｕを、光源１３０に対し回転ディスク１１０の半径方向における外側及び内側の両方に配置する。これにより、第１及び第２アブソ用受光素子１５１，１５２については連続して配置しつつ、光源１３０の周囲を４方向から囲むようにインクレ用受光素子群１４０Ｌ，１４０Ｒとアブソ用受光素子群１５０Ｄ，１５０Ｕを配置することができる。 （もっと読む）

【課題】受光面積を増大することで反射光を有効活用できるようにする。
【解決手段】インクレ用受光素子群１４０Ｌ，１４０Ｒを、光源１３０を間に挟んで回転ディスク１１０の円周方向に分割して配置し、第１及び第２アブソ用受光素子群１５０Ｄ，１５０Ｕを、光源１３０に対し回転ディスク１１０の半径方向における外側及び内側の両方に配置する。これにより、第１及び第２アブソ用受光素子１５１，１５２については連続して配置しつつ、光源１３０の周囲を４方向から囲むようにインクレ用受光素子群１４０Ｌ，１４０Ｒとアブソ用受光素子群１５０Ｄ，１５０Ｕを配置することができる。 （もっと読む）

【課題】受光素子ごとの受光光量を均一することで検出精度を向上できるようにする。
【解決手段】反射型エンコーダ１００は、回転軸ＡＸ周りに回転可能に配置され、インクリメンタルパターンＩＰ、及び、第１及び第２シリアルアブソリュートパターンＡＰ１、ＡＰ２が円周方向に沿って形成された回転ディスク１１０と、光源１３０、複数のインクレ用受光素子１４１を含むインクレ用受光素子群１４０Ｌ，１４０Ｒ、及び、複数の第１及び第２アブソ用受光素子１５１，１５２を含む第１及び第２アブソ用受光素子群１５０Ｄ，１５０Ｕを備え、回転ディスク１１０と対向して配置された基板１２０とを有し、第１及び第２アブソ用受光素子群１５０Ｄ，１５０Ｕは、基板１２０において、光源１３０を中心とする同心円状の光量分布の等高線ＣＬに沿って各アブソ用受光素子１５１，１５２が配置されている。 （もっと読む）

【課題】 検出素子の配置誤差や環境の、温度変動があっても、全周にわたり高精度に角度検出ができるロータリーエンコーダを得ること。
【解決手段】 回転軸を中心に半径方向に等間隔で、また回転方向に連続的に半径が変化し、反射率または透過率が変化する一定幅の螺旋パターンが形成されたロータリースケールと螺旋パターンを照明する光源と螺旋パターンを介した光を検出する第１の受光部を含むセンサユニットを有し、第１の受光部は２組以上のセンサアレイから成る第１のセンサアレイ群より成り、螺旋パターンを読み取るときの第１読み取り領域は螺旋パターンの回転方向の全周にわたり半径方向に１周期以上の螺旋パターンが含まれており、螺旋パターンの半径方向の周期に対応した正弦波状信号を出力し第１のセンサアレイ群より出力された信号に基づく２相の正弦波状信号から求めた第１の位相信号に基づいてロータリースケールの回転角度信号を得ること。 （もっと読む）

【課題】膜厚が均一な回折格子膜を有する光学スケールを製造する。
【解決手段】少なくともベース基材３と、ベース基材３上に形成された回折格子４を有する回折格子膜５とを有する光学スケール１の製造方法において、回折格子膜５を構成する樹脂１１をベース基材３上に塗布し、均一に伸ばした後、樹脂１１を硬化して樹脂層１３を形成し、ベース基材３上の樹脂層１３に回折格子４を形成して回折格子膜５を形成する。 （もっと読む）