【課題】高速で姿勢角度を算出すること。
【解決手段】姿勢角演算装置は、移動体の状態量を検出する状態検出手段と、状態検出手段により検出された移動体の状態量に基づいて、移動体の姿勢を示す四元数を算出する四元数算出手段と、四元数算出手段により算出された四元数におけるヨー軸成分をキャンセルして四元数の修正を行った修正四元数（Ｑｍｏｄ＝ｗ＋ｘｉ＋ｙｊ＋ｚｋ）を算出する修正手段と、修正手段により算出された修正四元数に基づいて、近似式を用いて移動体のロール角α及びピッチ角βを高速に算出する姿勢角計算手段と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、外乱振動を抑制して検出精度を損なわずに小型化した慣性力センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の慣性力センサは、角速度検出素子６１と、この角速度検出素子６１を上面に中空保持する載置部６３とこの載置部６３に配線パターン６４を介して接続された外方部６５とからなる防振手段６２と、角速度検出素子６１からの出力信号を処理するＩＣ６７と、角速度検出素子６１、防振手段６２およびＩＣ６７を収納するパッケージ６８とを備え、パッケージ６８の内底面に加速度検出手段６６を設けたものである。 （もっと読む）

【課題】熱による温度特性の変化の影響を低減したＭＥＭＳセンサを提供する。
【解決手段】センサ温度を測定するための温度センサ３が搭載された信号処理用ＬＳＩ１と、前記信号処理用ＬＳＩ上に搭載されたＭＥＭＳセンサチップ２と、を有し、前記ＭＥＭＳセンサチップ２を前記信号処理用ＬＳＩ１の発熱部上に搭載する。 （もっと読む）

【課題】検出の精度を高めることができる物理量検出センサーを提供する。
【解決手段】自励発振回路２６は、振動腕２１ａ、２１ｂに固定される駆動電極２２ａ、２２ｂを通じて、振動腕２１ａ、２１ｂの自励発振を引き起こす駆動信号を供給する。物理量の作用に応じて振動腕２１ａ、２１ｂに対して相対的に変位する相対変位片上には検出電極２５ａ、２５ｂが配置される。検出電極２５ａ、２５ｂは、駆動電極２２ａとの間で静電結合を生じる距離で駆動電極２２ａから離れる。検出回路２７は、駆動信号に基づき、検出電極２５ａ、２５ｂからの静電容量信号を駆動信号検出する。 （もっと読む）

【課題】姿勢角速度バイアスを推定する計算の効率を向上する技術を提供する。
【解決手段】姿勢推定部８は、傾斜角センサの計測結果に基づいて倒立二輪車本体の姿勢角度の四元数表現である第１姿勢角度四元数α_measuredを生成する第１姿勢角度四元数生成部２０と、ジャイロセンサの計測結果に基づいて倒立二輪車本体の姿勢角度の四元数表現である第２姿勢角度四元数α_predictを予測して生成する第２姿勢角度四元数生成部２１と、カルマンフィルタ係数K₁を生成するフィルタ係数生成部２２と、下記式（９）により姿勢角速度バイアス四元数b_nを推定する姿勢角速度バイアス四元数推定部２６と、を備える。ただし、b_n-1は、前回の姿勢角速度バイアス四元数である。
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【課題】構造設計が容易であり、体格の増大と、熱応力による検出精度の低下とが抑制された半導体装置、及び、その製造方法を提供する。
【解決手段】母基板（１０）と、母基板（１０）に連結された複数の子基板（３０）と、子基板（３０）に形成された素子と、を有する半導体装置であって、母基板（１０）と子基板（３０）とを連結する連結部（５０）を有し、複数の子基板（３０）の内、ある子基板（３０）に形成された素子は、互いに対向する可動電極と固定電極から成るコンデンサを有し、該コンデンサの静電容量変化に基づいて物理量を検出するセンサ部（４０）であり、任意の子基板（３０）と母基板（１０）とを連結する連結部（５０）と、任意の子基板（３０）とは異なる子基板（３０）と母基板（１０）とを連結する連結部（５０）とは、高さ方向の長さが異なり、複数の子基板（３０）は、高さ方向に並んでいる。 （もっと読む）

【課題】体積の増加を伴わずに従来に比べて電子部品の実装面積を増加させることができるセンサーモジュールを提供する。
【解決手段】センサーモジュールは、脚体１８、１９および脚体１８、１９の一端に接続された天井体２１を含むマウント部材１６と、センサー素子３２、３３を含む電子部品とを備える。マウント部材１６には、相互に非平行な垂線ベクトルを有する固定面が複数設けられ、固定面３５、３６の少なくとも２つにはセンサー素子３２、３３が備えられ、かつ、脚体１８、１９と天井体２１とにより区画されるキャビティ２５内に電子部品の少なくとも１つが配置される。 （もっと読む）

【課題】動的な物体の姿勢および角速度を含んだ動き情報を決定するシステムである。
【解決手段】３つの略直交する方向における磁場の強度および／または方向を、本体基準座標系において測定するための磁場検知デバイス７１と、物体の全加速度を本体基準座標系において測定するために適合されている加速度検知デバイス７２と、フィルタにおいて、全加速度の測定データおよび磁場の測定データと運動力学的モデルとを組み合わせることによって、姿勢および角速度を算出するために適合されているプロセッサ７５とを備えている。 （もっと読む）

【課題】小型化を図りつつ、電子部品の位置決めを簡単かつ正確に行うことができるセンサーデバイスおよび電子機器を提供すること。
【解決手段】センサーデバイス１は、角速度センサー７１１が実装された第１のリジッド基板２１と、角速度センサー７１２が実装された第３のリジッド基板２３とを有する実装基板２と、実装基板２を固定する台座３とを有している。また、台座３は、ｘ軸およびｙ軸に沿う第１固定面を有する基部３１と、基部３１上に設けられ、且つ、ｘ軸およびｙ軸に沿う第２固定面およびｙ軸およびｚ軸に沿う第３固定面の少なくとも一方を有した突出部４１〜４４と、を含み、リジッド基板２１、２２、２３の各々は、第１固定面、第２固定面または第３固定面に支持され、角速度センサー７１１、７１２は、検出軸が互いに交わっている。 （もっと読む）

【課題】小型化を図りつつ、電子部品の位置決めを簡単かつ正確に行うことができるセンサーデバイスおよび電子機器を提供すること。
【解決手段】センサーデバイス１は、内側に固定面１０１、１０２を有する固定部材３と、固定部材３の固定面１０１、１０２に直接または間接的に固定された少なくとも１つの電子部品７とを有し、固定部材３が、電子部品７を収容するケーシング１０の一部を構成する。また、固定面１０１、１０２は、互いに直交している。 （もっと読む）

【課題】本発明は、慣性センサに関する。
【解決手段】本発明による慣性センサ１００は、絶縁領域１２３と通電領域１２５とに区画された配線層１２０を含むメンブレン１１０と、メンブレン１１０の中央部分１１３の下部に備えられた質量体１３０と、メンブレン１１０を支持するようにメンブレン１１０の縁１１５の下部に備えられて質量体１３０を包むポスト１４０と、を含む構成を有しており、メンブレン１１０を安価のメタルコアで形成することにより、慣性センサ１００の全体的な製造コストを低減するだけでなく、寄生容量を減少させることで慣性センサ１００の感度を向上させることができる効果がある。また、メンブレン１１０から延長された質量体１３０を金属で形成することにより、質量体１３０の質量密度を高めることで慣性センサ１００の感度を向上させることができる長所がある。 （もっと読む）

【課題】小型化を図りつつ、モジュールの位置決めを簡単かつ正確に行うことができる保持部材、モジュールおよび電子機器を提供すること。
【解決手段】保持部材７は、モジュール１の保持の位置を決めるアライメント部７４１〜７４４を有し、アライメント部７４１〜７４４は、モジュール１を固定する載置面７４１ａ〜７４４ａを有している。保持部材７の中心に対し平面視で互いに直交する第１軸Ｊ１および第２軸Ｊ２により、保持部材７を第１〜第４の領域Ｓ１〜Ｓ４に区分けしたときに、アライメント部７４１〜７４４は、領域Ｓ１〜Ｓ４にそれぞれ１つずつ設けられている。 （もっと読む）

【課題】ノイズの発生を抑制することで優れた信頼性を発揮しつつ、かつ、センサー素子の配置の自由度が高いモジュールおよび電子機器を提供すること。
【解決手段】モジュール１は、アナログ回路を有する第１のリジッド基板２１と、デジタル回路を有する第２のリジッド基板２２と、角速度センサー４１２を有する第３のリジッド基板２３と、アナログ回路とデジタル回路とを電気的に接続するように第１のリジッド基板２１と第２のリジッド基板２２とを連結し、且つ可撓性を有する第１の連結部２６１と、アナログ回路と角速度センサー４１２とを電気的に接続するように第１のリジッド基板２１と第３のリジッド基板２２とを連結し、且つ可撓性を有する第２の連結部２６２と、を有する。 （もっと読む）

【課題】零点ドリフトのオフセット精度が高いヨーレイト検出装置を提供する。
【解決手段】車両のヨーレイトを検出するヨーレイトセンサ２と、車両の前方を撮像するカメラ３と、カメラ３の画像から走行中の道路の直線性を評価して車両の直進判定を行う直進判定部４と、車両が直進中におけるヨーレイトセンサ２の読み値をオフセット値に設定し、このオフセット値でヨーレイトセンサ２の零点ドリフトをオフセットするオフセット部５とを備える。 （もっと読む）

【課題】内圧変動による振動子の出力信号の変動が補正された角速度センサを提供する。
【解決手段】直交の関係にあるｘ方向とｙ方向それぞれに変位可能な振動子（１９）と、振動子（１９）をｘ方向に振動させる駆動部（３７，５５）と、振動子（１９）のｘ方向の振動振幅を検出する振幅検出部（３６，５４）と、振動子（１９）のｙ方向への変位量を検出する変位検出部（３８，５６）と、振動子（１９）を密閉空間に収納するパッケージ（７０）と、を有する角速度センサであって、振幅検出部（３６，５４）の出力信号に基づいて、変位検出部（３８，５６）の出力信号を補正する補正部（５７）を有する。 （もっと読む）

【課題】 異なる複数のセンサの各出力に対し、各センサの線形動特性の逆伝達関数を用いて補償すると共に、この逆伝達関数に対応したフィルタを施し、最終的に姿勢変換を行うようにして、姿勢推定を適切且つ高精度に行える姿勢推定装置を提供する。
【解決手段】 角速度センサ１０と傾斜計２０の各逆モデルを動特性補償部分と姿勢変換部分とに分け、センサ動特性については近似線形特性として伝達関数を同定し、その逆伝達関数を用いて特性を補償すると共に、逆伝達関数に対応してフィルタを設計し、且つ出力信号への姿勢変換演算の前にフィルタを施すようにすることから、逆伝達関数を用いた特性補償で、有効周波数領域の拡大を図りつつ、逆伝達関数とフィルタの伝達関数の積についてはプロパーな伝達関数とすることができ、確実な演算処理で姿勢推定が実行でき、複数のセンサを用いる相補フィルタの手法で精度のよい姿勢推定を行える。 （もっと読む）

【課題】加速度の検出時、検知電極に加えて加振電極を利用することにより、加速度の測定感度を向上させる慣性センサを提供する。
【解決手段】慣性センサは、可撓基板部に変位可能に浮遊状態で支持される駆動体と、駆動体の変位を検出する検知電極１１１ａ、１１１ａ’、１１１ｂ、１１１ｂ’を有する変位検出部と、駆動体を加振させる加振電極１１２ａ、１１２ａ’、１１２ｂ、１１２ｂ’を有する加振部と、検知電極及び加振電極が連結される差動増幅器ＤＡと、差動増幅器に連結され、加速度及び角速度を算出する回路部と、を含み、検知電極と加振電極を利用して加速度を算出する。 （もっと読む）

【課題】ウェハ貫通ビア（ＴＷＶ）を使用した相互接続において、ダイ区域の消費を低減し、ダイ区域を利用可能とする、バッチ製作された３Ｄ相互接続を提供する。
【解決手段】１つまたは複数の垂直相互接続を製作する。ウェハ積層体を形成するために複数のウェハをパターニングおよび積層するステップを含む。ウェハ積層体の１つまたは複数の切断刃の通り道内でウェハ積層体に複数の開口を形成し、導電性材料を複数の開口の側壁に堆積させる。ウェハ積層体は、側壁の導電性材料が、結果として得られる積層ダイの縁部部分に露出されるように、１つまたは複数の切断刃の通り道に沿い、複数の開口を通ってダイシングする。 （もっと読む）

【課題】電位差によって生じる静電力の影響を抑え、Ｓ／Ｎ比の低下やセンサ感度の変動を防止できる複合センサを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明に係る複合センサは、第１可動部および第２可動部と、これらの周辺に配置されている第１ダミー部および第２ダミー部を、積層基板の層内に形成して備えている。第１ダミー部と第２ダミー部は電気的に分離されており、第１可動部と第１ダミー部には第１電位が印加され、第２可動部と第２ダミー部には第２電位が印加される。 （もっと読む）