【課題】コンタクトプローブの適正なストローク量を確保すると共にコンタクトプローブの小型化を図ることができる半導体素子用ソケットを提供する。
【解決手段】半導体素子用ソケット１０は、ベース部材２０に取り付けられた可動ベース用ばね１２によりベース部材２０上に上下方向に移動可能に配置された可動ベース部材３０と、可動ベース部材３０上に配置され、ＩＣパッケージ５０を支持する可動台座４０とを備え、可動台座４０が下方に移動することで、可動ベース部材３０を下方向に移動させることができる。 （もっと読む）

【課題】検査用治具へ被検査体を搭載する際に位置決め用のマークとなるアライメントマークを、コストを抑えつつ高精度に加工することが可能なアライメントマークの加工方法を提供する。
【解決手段】微小電気機械システム技術によって、接触子３３を基板３２の縁部から突出するように形成すると同時に、基板３２の縁部から突出するようにマーキング孔８５を有するアライメントマーキング用マスク８６を形成し、検査用プローブ３１をプローブブロック１２の固定ブロック２１に支持させた状態で、アライメントマーキング用マスク８６へレーザーＬを照射し、マーキング孔８５を通過したレーザーＬで被検査体ブロック１３へアライメントマーク８１を形成する。 （もっと読む）

【課題】精度の高い検査に対応することができる測定用保持具及び測定装置を提供する。
【解決手段】実施形態に係る測定用保持具は、複数の半導体チップを含むパッケージ、前記パッケージの側面から露出し前記半導体チップの電極と導通する導通部、を有する被測定物を保持する測定用保持具である。測定用保持具は、前記被測定物を配置する位置に貫通孔が設けられた支持基板と、前記支持基板に前記被測定物を固定する固定部と、前記支持基板に対して少なくとも１軸方向に可動に設けられ前記導通部と接触する探針部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】カバー部材が装着された状態、取り外された状態のいずれにおいても、常に所望の検査精度が得られる帯電量まで、電荷を逃がすことができる電気部品用ソケットを提供する。
【解決手段】端子が設けられた電気部品を収容し、配線基板２０上に配設されるソケット本体１３と、このソケット本体１３に設けられ、電気部品の端子に接触される上側接触部及び配線基板２０に接続される下側接触部が形成されたコンタクトピンとを備えたＩＣソケット１０において、ソケット本体１３には、導電性を有するコイルスプリング２１が配設され、このコイルスプリング２１には、ソケット本体１３が配線基板２０に配設された場合に、配線基板２０に設けられたアース部に当接して接続されてアースを行う配線基板側アース部２１ｃと、ソケット本体１３上に収容された電気部品を押圧するカバー部材が配設された場合に、カバー部材に当接して接続されてアースを行うカバー部材側アース部２１ａとを有する。 （もっと読む）

【課題】コンタクト不良の発生を抑制することが可能なソケットを提供する。
【解決手段】ダイ５０の電極パッド５１に接触するバンプ３２４が形成されたベースフィルム３２と、バンプ３２４に電気的に接続された外部端子３１２と、を有する試験用キャリア２０が電気的に接続されるソケット１１は、外部端子３１２と接触するコンタクタ１２５と、ベースフィルム３２におけるバンプ形成部分３２ａとバンプ周囲部分３２ｂとを押圧する弾性部材１３１と、を備えており、弾性部材１３１は、第１の弾性層１３２と、第１の弾性層１３２よりも柔軟であり、第１の弾性層１３２に積層されてベースフィルム３２に接触する第２の弾性層１３３と、を有している。 （もっと読む）

【課題】他の装置を用いなくても、ＩＣソケットに実装されたＩＣを所望の温度に制御するとともに、温度制御中でも外部からＩＣの特性を測定することが可能な技術を提供することを目的とする。
【解決手段】ＩＣソケット５１は、ＩＣ（Integrated Circuit）２１〜２３を実装可能なＩＣソケット５１であって、ＩＣソケット５１に実装されたＩＣたる実装ＩＣ２１〜２３の底部と対向配置される底板部１と、底板部１上に載置され、実装ＩＣ２１〜２３の側部を覆い、実装ＩＣ２１〜２３の上部を露出する開口穴２ａが設けられた蓋部２と、底板部１に組み込まれ、実装ＩＣ２１〜２３の底部と接触して加熱／吸熱する第１加熱／吸熱部３，４ａ，４ｂ，５ａ，５ｂ，５ｃとを備える。 （もっと読む）

【課題】効率的に半導体装置の試験を行える半導体試験装置及び半導体試験方法を提供する。
【解決手段】半導体試験装置は、試験のために半導体装置１０が接合されるコンタクト部５を有する測定治具６と、半導体装置１０を測定治具６へと搬送する搬送部２と、半導体装置１０を試験するテスタ９と、測定治具６と半導体装置１０との接合を示す信号を出力するセンサ４とを備えている。そして、搬送部２へ搬送を指示する信号ａと、センサ４からのコンタクト部５と半導体装置１０との接合を示す信号ｃとを監視制御部８が監視して、これら信号が揃ったときにテスタ９へ半導体装置１０の試験開始を指示する。 （もっと読む）

【課題】微細ピッチ化及び微細領域化された電極を備えた被検査体に対しても良好に検査を行うことができ、しかも、長寿命の検査用治具を提供する。
【解決手段】複数の電極を有する被検査体の検査を行う検査用治具１１であって、被検査体の電極に接触される導電性を有する複数の接触子３３が微小電気機械システム技術によって基板３２に形成された検査用プローブ３１と、検査用プローブ３１の配線が外部に導通接続可能に検査用プローブ３１を支持するプローブブロック１２と、被検査体が着脱される被検査体ブロック１３とを備え、被検査体を装着した状態でプローブブロック１２と被検査体ブロック１３とが近接されることにより、検査用プローブ３１の接触子３３が被検査体の電極に接触される。 （もっと読む）

【課題】ピッチを狭小化し、繰り返しの使用による耐久性および耐熱性が高く、バネ性を有しながら、接触対象間で確実かつ良好な導通を得ることができるコンタクトプローブおよびプローブユニットを提供すること。
【解決手段】板厚が均一な略平板状をなし、異なる基板間を接続するコンタクトプローブ２０と、コンタクトプローブ２０を保持するプローブホルダ１０と、を備えたプローブユニット１であって、コンタクトプローブ２０は、一方の基板の電極と接触する第１接触部と、他方の基板の電極と接触する第２接触部と、第１および第２接触部を接続する接続部と、第１および第２接触部に加わる荷重によって弾性変形する弾性部と、弾性部の接続部との連結側と異なる側の端部に設けられ、第２接触部側と反対方向に突出してプローブホルダ１０に取り付けられる取付部と、を有し、プローブホルダ１０が、取付部を挟み込んで保持する。 （もっと読む）

【課題】接触安定化、高密度化および薄肉化のいずれについても高いレベルで達成し得る電気貫通部を備える異方導電性部材を提供する。
【解決手段】板状の弾性ソケットと、弾性ソケット内に個別に保持されて弾性ソケットの厚さ方向に電流を通過させる複数の電気貫通部とを備える異方導電性部材であって、電気貫通部は、電気的に接続しつつ弾性ソケットの厚さ方向に相対位置を変動可能な第一および第二の可動部材を備え、これらの可動部材が近接するように外力が付与されたときにこれらの可動部材を離間させる弾性復元力が弾性ソケットに生じるように、これらの可動部材は、少なくとも近接した状態では弾性ソケットの一部を圧縮可能に配置され、これらの可動部材の相対位置の変動を可能とする摺動接触構造は可動制限手段を備え、弾性ソケットにおける電極接触部側の主面に設けられた剛性材料からなる電極側板状部材を異方導電性部材はさらに備える。 （もっと読む）

【課題】電極から確実に酸化膜及び有機物を除去することができる、半導体装置の検査用ソケットを提供する。
【解決手段】第１方向に沿って伸びる貫通孔を有する基材と、前記第１方向に沿って伸び、先端が前記貫通孔の一端から突き出るように前記貫通孔に配置され、検査時に先端で被検査対象装置に設けられた被検査装置電極に押し当てられる、第１ピン部と、前記第１ピン部が前記被検査装置電極に押し当てられたときに、前記第１ピン部が前記基材に対して前記第１方向に沿って変位するように、前記第１ピン部を弾性的に支持する、弾性支持機構と、前記第１ピン部が変位したときに、前記第１ピン部を回転させる、第１ピン部用誘導機構とを具備する。前記第１ピン部は、２重構造であり、被検査装置電極に押し当てられたときに何れか一方の電極が回転する。 （もっと読む）

【課題】電子部品パッケージ等の電子装置を端子コンタクトユニットに接続する際に、その電子装置の変形や破損を防止することが可能なソケットを提供する。
【解決手段】本発明によるソケット１００は、電子部品２が実装され、且つ、例えばケース４を有する電子装置１を、本体１０１及び蓋１０２によって画成されるキャビティ１０内に収納するものである。本体１０１には、電子装置１が載置される台座１１３、及び、電子装置１の端子５に接続する端子コンタクトユニットとしてのプローブピン１１５が設けられている。また、蓋１０２は、蓋上部部材１２０にバネＢ１を介して接続された第１ヘッド１２１と、その第１ヘッド１２１にバネＢ２を介して接続された第２ヘッド１２２を有しており、第１ヘッド１２１が電子装置１の回路基板３の周縁部を押圧する一方、第２ヘッド１２２がケース４の上壁面４ａを押圧するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】半導体モジュールのテストポイント配線処理用に空間要件が軽減された半導体パッケージ用キャリアおよび半導体パッケージを提供する。
【解決手段】 本発明は、半導体パッケージと、側壁（１６）により隔てられた頂面（１２）および底面（１４）を有する半導体パッケージ（１００）用キャリア（１０）とに関し、当該キャリア（１０）は、構成要素（５０）用の着座部（２２）と、前記着座部（２２）に載置された前記構成要素（５０）を前記キャリア（１０）に電気接続する少なくとも１つの端子領域（２４、２６）とを有し、テストポータル（３０）が前記キャリア（１０）の外面に構成され、前記キャリア（１０）に構成された１若しくはそれ以上の電気接点を前記テストポータル（３０）に配線する１若しくはそれ以上の配線経路（３８）が前記キャリア（１０）に内設される。 （もっと読む）

【課題】半導体チップをサブマウント上に接合した形態の半導体装置を容易に安定して検査することを目的とする。
【解決手段】検査治具１４の蓋部１３に開口部２１を設けて半導体チップ１０の端子を露出させることにより、半導体チップ１０を損傷させることなくプローブ１５を半導体チップ１０の端子に直接接続して検査を行うことができるため、半導体チップ１０をサブマウント１１上に接合した形態の半導体装置１０Ａを容易に安定して検査することができる。 （もっと読む）

【課題】半導体装置を精度よく検査することができる検査装置およびその制御方法を提供する。
【解決手段】検査装置は、アーム部（１）によってソケット（２２）に装着された半導体装置（ＤＵＴ）をその周囲からシールドする、導電性のシールド部材（１２２）を有する。シールド部材は、半導体装置がソケットに装着されている装着期間に、バネ受け部（２４）およびアーム部に接続することができるように、ソケットに対向する保持部の保持面（Ｓ３）に固定されている。アーム部は、導電性の支柱（１１）と、支柱の下端と、保持部の前記保持面に対する反対面（Ｓ４）との間に存在する絶縁部（１２３）とを更に有する。 （もっと読む）

【課題】組み立てが容易で、半導体素子の電極部との安定した接触および半導体素子の電極部をワイピングすることが可能な半導体素子用ソケットを提供する。
【解決手段】コンタクトプローブ１１は、半導体素子７３の電極部７２が接触される接点部１６を有するプランジャ１２と、プランジャ１２を半導体素子７３の電極部７２に向けて付勢するコイルスプリング２５とを備え、接点部１６は、プランジャ１２に設けられプローブ収容孔６１の軸方向に延びた片持形状の接触片１５の先端に設けられ、接触片１５は、プローブ収容孔６１より接点部１６側の位置に軸方向と直交する方向に突出した突起部１８を有し、突起部１８の頂点１８ａの位置が、軸方向で見てプローブ収容孔６１より外側にある。 （もっと読む）

【課題】テスト効率向上のために迅速に着脱可能な電気接続モジュールを備えたテストソケットを提供する。
【解決手段】テストソケットが、テスト基部および少なくとも１個の電気接続モジュールを含む。この少なくとも１個の電気接続モジュールはテスト基部内に着脱可能に取り付けられ、少なくとも１個の電気接続モジュールのそれぞれがフレームおよび導電性エレメントを有する。フレームは、ＩＣを収容してテストするための受入れ孔を有する。導電性エレメントは、フレームの下に着脱可能に取り付けられる。長い時間の使用の後、無効な電気接続モジュールまたはそれの導電性エレメントが、電気接続モジュールをテスト基部から直接取り外すことによって新しいものまたは有効なものと迅速にかつ容易に交換されることができる。それゆえに、テスト装置のアイドル時間または無駄時間が短縮され、テスト効率が高められる。 （もっと読む）

【課題】 低コストでありながら、電子備品との電気的接続を確実に行うことができるソケットを提供する。
【解決手段】 本発明のソケット１は、ベース１０と、ベース１０の上面から片持ち梁状の弾性変形部２４を突出させたコンタクト２０と、ベース上を水平方向に移動可能なスライダー３０と、スライダー３０を矢印Ｓの方向に付勢するスプリング４０と、スライダー３０を第１の位置に固定し、かつ当該固定を解除するロック機構とを有する。スライダー３０には、電子装置を搭載する搭載面３６ｃと、載置面３６ｃに形成された複数の端子収容孔３４とを有し、弾性変形部２４の先端の接点部２４ａが対応する端子収容孔３４内に位置する。スライダーが第２の位置にあるとき、弾性変形部の接点部は、載置面に載置された電子装置の端子と干渉しない退避位置にあり、スライダーが第１の位置に固定されたとき、弾性変形部の接点部が電子装置の端子と接触可能である。 （もっと読む）

【課題】実仕様に合致したより正確な光量検査を効率よく行う。
【解決手段】複数のステージ２１が設けられ、複数のステージ２１を移動させるインデックステーブル２と、ステージ２１上に搭載され、半導体チップとしてのＬＥＤ素子チップ５が内部に収容されて通電可能とされるソケット６と、半導体ウエハ４を個片化した後の複数のＬＥＤ素子チップ５のうち、これよりも数が少ない一または複数のＬＥＤ素子チップ５を、インデックステーブル２の複数のステージのうち、これよりも数が少ない一または複数のステージ２１上の各ソケット６に移送するピッカー７１と、一または複数のステージ２１に一または複数のＬＥＤ素子チップ５を搭載して一または複数のＬＥＤ素子チップ５を検査する検査手段を有している。 （もっと読む）