【課題】酸化及び溶損を防止することができるプローブカード用接触端子を提供する。
【解決手段】半導体デバイスを検査するプローブカード１０のベース１１において半導体デバイスと対向する面には、複数のポゴピン１２が配され、各ポゴピン１２のプランジャー１４は柱状の接触部１４ｃを有し、接触部１４ｃは、柱状の中心部１４ｄと、中心部１４ｄの側面を覆う外部筒１４ｅとを有し、外部筒１４ｅを構成する材料の硬度及び比抵抗は、中心部１４ｄを構成する材料の硬度及び比抵抗と異なる。 （もっと読む）

【課題】ダブルアーム構造のカンチレバー型プローブの最適構造と、上側アームのスペーサに対する密着強度を向上させるプローブ構造、及び、その製造方法を提供する。
【解決手段】接触子１２と、上側アーム２４と下側アーム１６の２枚の板材で構成されているアーム部の一方の端部に接触子１２が取り付けられ他方の端部が固定されたアーム部とから成るプローブ１０を備え、上側アーム２４と下側アーム１６はスペーサＡ１８及びスペーサＢ２０を介して接合され、スペーサＡ１８には、上側アーム２４との接触面に凹部２２を形成し、上側アームの一部がスペーサＡ１８内に食い込むアンカー形状としたプローブカードである。凹部２２は、圧子を打ちこんで形成し、歪加工により打ち込まれた圧子形状よりも開口部を狭くした形状としてさらに密着強度を向上させている。 （もっと読む）

【課題】円筒形状部が抵抗溶接による固定の前後においてほぼ円形形状を維持している接続端子を提供する。
【解決手段】対象点間を接続する接続治具に用いられる接続端子は、小径の導電部とそれを囲むように配置された大径の円筒形状部とを備え、小径の導電部の先端部が、大径の円筒形状部の先端部から突出し、小径の導電部の一部が、大径の円筒形状部の一部に接合されており、小径の導電部に接合された大径の円筒形状部の部分を少なくとも含む円筒形状部の軸線の周りの帯状部分の一部に切欠き部が形成されている。 （もっと読む）

【課題】試験器インタフェース接触要素及び支持ハードウエアを清浄化するための装置を提供する。
【解決手段】試験される半導体ウェーハ、個別化ＩＣ装置、又はパッケージ化ＩＣ装置にウェーハ探針器又はパッケージ装置ハンドラ内に清浄化媒体２０を装着する段階を含み、清浄化媒体は、研磨性、粘着性、硬度のような所定の特性を有し、接触要素及びサポート構造体を清浄化する上面を有する。接触要素を清浄化媒体に接触させる段階を更に含み、それによってウェーハ探針器又はパッケージ装置ハンドラの通常の作動中にプローブ要素からあらゆるデブリが除去される。 （もっと読む）

【課題】コンセント形状（穴の間隔）が異なる様々な国のコンセントに対して使用することのできるコンセント測定プローブ及び電圧測定器を提供する。
【解決手段】測定プローブ３Ａ、３Ｂのグリップ３１には、グリップ３１の軸線方向においてバリア３４の一側及び／又は他側に、且つ、バリア３４に隣接して保持溝３５、３６が形成され、対をなす測定プローブ３Ａ、３Ｂを互いに平行に配置して一体に組み合わせたとき、互いに一方の測定プローブの環状鍔部３４の外周の一部が、他方の測定プローブの保持溝３５、３６に嵌合し、両測定プローブ３Ａ、３Ｂを一体的に固定し、対をなす両測定プローブ３Ａ、３Ｂの探針３２、３２間の距離を所定値に設定する。 （もっと読む）

【課題】検査対象物の所定の部位に、検査用プローブを垂直に押し当てた状態で、相対的な位置の微調整も可能とする検査用プローブの支持機構を実現すること。
【解決手段】本発明に係る検査用プローブの支持機構は、検査対象物の所定の部位に接触させて当該検査対象物の電気的な検査を行うための検査用プローブを、前記所定の部位を含む面に対して垂直に保った状態で、前記所定の部位に接触させた状態もしくは離間させた状態に移動可能に支持する移動手段と、
前記検査用プローブを、前記所定の部位に接触させた状態もしくは離間させた状態で、前記所定の部位を含む面と平行な方向にのみ微動可能に支持する支持手段と、
を備えている。 （もっと読む）

【課題】電極から確実に酸化膜及び有機物を除去することができる、半導体装置の検査用ソケットを提供する。
【解決手段】第１方向に沿って伸びる貫通孔を有する基材と、前記第１方向に沿って伸び、先端が前記貫通孔の一端から突き出るように前記貫通孔に配置され、検査時に先端で被検査対象装置に設けられた被検査装置電極に押し当てられる、第１ピン部と、前記第１ピン部が前記被検査装置電極に押し当てられたときに、前記第１ピン部が前記基材に対して前記第１方向に沿って変位するように、前記第１ピン部を弾性的に支持する、弾性支持機構と、前記第１ピン部が変位したときに、前記第１ピン部を回転させる、第１ピン部用誘導機構とを具備する。前記第１ピン部は、２重構造であり、被検査装置電極に押し当てられたときに何れか一方の電極が回転する。 （もっと読む）

【課題】電気部品のＳｎ（錫）を含む端子に繰り返し接触して電気的に接続される電気接触子において、電気抵抗値の上昇を抑制し、適切な試験が行えるようにする。
【解決手段】導電性を有する材料から成る基材１２と、端子に接触したときに熱を加えられることにより端子中のＳｎが溶け込んで拡散する材料から成る接触部１４とを有するコンタクトピン１１。これにより、接触部１４の成分が電気部品端子側に溶け込むことなく、下地層１３が露出しないと共に、接触部１４表面にＳｎが酸化物として蓄積され難い。 （もっと読む）

【課題】異種金属からなる線材を接合して構成される検査用プローブにおける接合箇所の品質を向上した検査用プローブの製造方法を提供する。
【解決手段】少なくとも一方の先端部に検査用接触部が形成される第１の線材及び第２の線材を接合して構成される検査用プローブの製造方法を、第１の線材の端面と第２の線材の端面とを突き合わせた状態でこの突き合わせ部を筒状部材の内径側に配置し、筒状部材にレーザ光を照射することによって筒状部材を第１の線材及び第２の線材とそれぞれレーザ溶接した後に、溶接部の外周面を製品外径まで研磨する構成とする。 （もっと読む）

【課題】 簡便な構成であるとともに、対象物表面に形成される酸化被膜を好適に除去することができる接触子を提供する。
【解決手段】 被検査物の対象部の電気的特性を検査するための検査装置用の検査用治具に取り付けられる接触子であって、一端が前記検査装置と電気的に接続される電極部と導通接触する円筒部と、
先端が前記対象部に当接するとともに前記円筒部の他端から延出し、後端が前記円筒部内に配置される棒状部とを有し、円筒部は、前記一端部と前記他端部との間に、該円筒部の壁面周縁に長軸方向の螺旋状のばね部と、前記棒状部と電気的に導通されるとともに接合される接合部を有し、前記一端部に、前記棒状部を該円筒部の円周方向に回転駆動させるための回動部を有していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】プランジャから直接配線に導通して、高周波及び高電流での検査に対応可能とすると共に、プローブの交換を容易に行え得る検査ユニットを提供する。
【解決手段】配線支持ボード２３に、配線１１の線本体１１ｂをレーザ溶射等により一体成形したボール状端子１１ｃを所定量移動自在かつ弾性部材４１により付勢して収納する。ピンボード２２を貫通しかつスプリング２６により付勢されてプランジャ２５が所定量移動自在に支持される。プランジャ２５の後端部に、弾性部材４１により付勢されたボール状端子１１ｃが接触する。 （もっと読む）

【課題】プローブピン照明用の発光ダイオードや測定制御用の操作スイッチを有するプローブ装置において、測定器本体に接続するコネクタを小型かつ簡素化する。
【解決手段】測定器本体２０に接続されるコネクタ１０Ｂと、プローブピン１１と、プローブピン１１のピン先に向けて光を照射する照明用発光ダイオード１４ａと、照明用発光ダイオード１４ａの駆動を制御するとともに、測定器本体２０に所定の指示信号を与える操作スイッチ１３ａとを備えている電気測定器用プローブ装置において、内蔵電池１２を備えているとともに、コネクタ１０Ｂは、プローブピン１１にて検出された電気信号を測定器本体２０に与える第１接続手段１１ａと、操作スイッチ１３ａによる指示信号を測定器本体２０に伝達する第２接続手段とを有し、第２接続手段に指示信号を光信号として測定器本体２０に送信する送信用発光ダイオード１７ａを用い、照明用発光ダイオード１４ａおよび送信用発光ダイオード１７ａの駆動電源を内蔵電池１２より得る。 （もっと読む）

【課題】プローブ先端形状が変化しても針入抵抗の変化を小さくでき、研磨層（クリーナ層）に対する針入量のバラツキを小さくして全てのテストプローブを均一にクリーニングする。また表面での付着物捕捉作用を増大させてテストの信頼性向上と製品の歩止まり向上を可能にする。
【解決手段】微細な研磨剤が混入されかつテストプローブ（１６，１８）の先端が進入可能な研磨層（４２）と、この研磨層（４２）の少なくとも一方の表面に積層され高分子ゲルから成る表面層（４４）とを備え、テストプローブ（１６，１８）の先端を表面層（４４）から研磨層（４２）に進入させることによりクリーニングする。 （もっと読む）

【課題】 車両のメンテナンス時や車両事故現場におけるレスキュー時に、高圧バッテリーユニットと車両シャーシとの間での漏電状態を検出する簡易な漏電検出器を提供する。
【解決手段】 車両に搭載された高圧バッテリーユニットと車両のシャーシとの間の絶縁抵抗の低下により発生する漏電状態を検出する携帯型の器体１０を備えた漏電検出器であって、器体１０に着脱自在に取り付けられ、車両のシャーシに接触させる接地用プローブ１４と、器体１０の先端に設けられ、高圧バッテリーユニットに接触させる検知子１５と、器体１０に内蔵され、絶縁抵抗の低下により流れる漏電電流で発生する電圧を検出する検知回路部とを具備する。 （もっと読む）

【課題】プローブへの電極の溶着が生じても該電極からの離反時にアーム部に過度の反り返り変形を生じることのないプローブ組立体を提供する。
【解決手段】プローブ組立体は、プローブ基板と、該プローブ基板に支持される取付け部、該取付け部から前記プローブ基板に間隔をおいて該プローブ基板にほぼ沿って伸長するアーム部および該アーム部に設けられプローブ基板から離れる方向へ突出する針先部をそれぞれ有する複数のプローブと、プローブ基板に支持され、プローブの前記針先部がプローブ基板から離れる方向への作用力を受けたときにアーム部に生じる反り返り変形を規制する手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】組立性が良好で電気的性能に優れ、かつ中心軸とコンタクト位置とのオフセット量を調整可能なコンタクトプローブ及びそれを備えたソケットを提供する。
【解決手段】先端側円柱部２９は、基端側円柱部２１が絞り部４０２と係合しているときに、基端側円柱部２１を基点として揺動可能である。先端側円柱部２９の振れ量Ｂは、先端側円柱部２９の長さとチューブ４の内径（開口径）によって決定される。すなわち、先端側円柱部２９の揺動範囲は、側面がチューブ４の内側端縁４０５に接するまでの範囲である。 （もっと読む）

【課題】従来と比較してコンタクトピッチを狭めることの可能なコンタクトプローブ及びソケットを提供する。
【解決手段】フランジ部１４は、Ｘ方向から見ると先端側円柱部１９よりも幅が狭く、Ｙ方向から見ると先端側円柱部１９よりも幅が広い。Ｘ方向に突出したフランジ部１４を有する隣り合うコンタクトプローブ１００は、Ｘ方向と４５°を成す方向あるいはＹ方向に並べて配置される。隣り合うコンタクトプローブ１００は、先端側円柱部１９の側面のうち軸方向から見てフランジ部１４が外側に延びない部分同士が対面するため、従来よりもコンタクトピッチを狭めることができる。 （もっと読む）

【課題】均一な厚さで絶縁被覆され、各プローブ間の被膜厚のばらつきが小さく、高温雰囲気でも絶縁膜相互の融着が生じることない電着被膜にて被覆され、且つ、変形することなく先端部の電着被膜部が剥離されているプローブピンを提供する。
【解決手段】分子骨格中にシロキサン骨格を有し、分子中にアニオン性基を有するブロック共重合ポリイミドを含む絶縁体が金属細線１１０の表面に電着塗装されて電着被膜部１３０を形成しており、金属細線１１０の少なくとも一方の端部の電着被膜部１３０が、極性溶媒にて剥離除去されている。 （もっと読む）