【課題】短時間のうちに高精度にガスバリア性を評価することを可能とするガスバリア性積層フィルムの検査方法を提供する。
【解決手段】基材２と、該基材２に形成された絶縁性のガスバリア膜４と、を有するガスバリア性積層フィルム１の検査方法であって、基材２とガスバリア膜４との間にガスバリア膜４と接する導電膜３を形成し、ガスバリア膜４の表面４ａと導電膜３との間の直流電気抵抗または交流電気抵抗を測定することにより、ガスバリア膜４の欠陥部分を検出する。 （もっと読む）

【課題】マルチ測定方式において、放熱設備などを大型化することなく低コストで発熱による不具合を未然に防止できる電子部品の特性測定装置を得る。
【解決手段】ターンテーブル５０によって測定位置Ｃに搬送されてくる複数のチップ型コンデンサの外部電極に接触して絶縁抵抗を測定する測定器７５と、ターンテーブル５０や測定機７５などを制御するコントローラ８０を備えた特性測定装置。コントローラ８０は、予め求められている発熱係数と、印加電圧と、電圧印加時間とから発熱量を求めるとともに、予め求められている放熱係数と搬送時間とから放熱量を求め、前記発熱量が該放熱量よりも大きくなると、ターンテーブル５０及び測定器７５の動作を停止させる、あるいは、ターンテーブル５０による搬送時間を延長させる。 （もっと読む）

【課題】煩雑な補正処理を行うことなく測定対象体のシート抵抗を正確に測定する。
【解決手段】測定処理部が、第１接点（プローブＰ０の接触位置）を中心とする第１仮想円上の３箇所以上の第３接点（例えばプローブＰａ１〜Ｐｃ１の接触位置）について電位をそれぞれ測定する第１測定処理と、第１仮想円と同心で第１仮想円とは半径が相違する第２仮想円上の３箇所以上の第３接点（例えばプローブＰａ２〜Ｐｃ２の接触位置）について電位をそれぞれ測定する第２測定処理とを実行し、演算処理部が、第１測定処理によって測定された複数の電位の平均値を第１接点に対する第１仮想円上の電位として演算する第１演算処理と、第２測定処理によって測定された複数の電位の平均値を第１接点に対する第２仮想円上の電位として演算する第２演算処理とを実行すると共に、演算した２つの電位と、供給した測定用電流の電流値とに基づいてシート抵抗を演算する。 （もっと読む）

【課題】近接する一対の端子間に金属の異物が挟まることに起因した測定誤差の発生を確実に回避可能とする。
【解決手段】測定対象体１４の電極１４ａに接触させる電流供給端子２および電圧検出端子３と、測定対象体１４の電極１４ｂに接触させる電流供給端子４および電圧検出端子５とを備え、各電流供給端子２，４を介して測定対象体１４に第１電流Ｉ１を供給した際に測定対象体１４の各電極１４ａ，１４ｂ間に生じる第１電圧Ｖ１の電圧値Ｖ１ｖと第１電流Ｉ１の電流値とに基づいて測定対象体１４のインピーダンスＺを測定するインピーダンス測定装置１であって、電極１４ａと非接触な状態における電流供給端子２および電圧検出端子３間の接触状態を検出する第１接触検出部９と、電流供給端子４および電圧検出端子５間の接触状態を検出する第２接触検出部１０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 ４探針プローブのクリーニングにおいて、クリーニングウェハ装着時のユーザの作業負担を軽減すると共に装置内環境を維持する。
【解決手段】 ウェハを載置する測定ステージと、測定ステージを回転させる回転駆動部と、ウェハを測定するための４探針プローブと、４探針プローブを駆動する駆動部と、クリーニング用ウェハを測定ステージに搬送する搬送部と、４探針プローブのクリーニングが必要と判断するとクリーニング用ウェハの使用済みの座標を記憶領域から読み出しこれとは異なる座標で４探針プローブをウェハに接触させてクリーニングを行い、接触に使用した座標情報を更新する制御部を有するウェハ抵抗率測定装置。 （もっと読む）

【課題】実効性のあるシート材の電気抵抗値を精度良く測定することができる電気抵抗測定装置及び電気抵抗測定方法を提供する。
【解決手段】本発明の電気抵抗測定装置は、導電性を有する上金属ロール１と、上金属ロール１に対向して配置された導電性を有する下駆動金属ロール６と、上金属ロール１に電圧を印加する高圧電源４とを有する。また、本発明の電気抵抗測定装置は、加硫ゴムシート１０が、金属ロール１、６の間を金属ロール１、６に接触しつつ通過する際に形成される、加硫ゴムシート１０を抵抗体とした電気回路における電圧を測定する電圧測定装置９を有する。さらに本発明の電気抵抗測定装置は、電圧測定装置９の測定結果に基づき、加硫ゴムシート１０の電気抵抗値を算出する演算処理部２０を有する。 （もっと読む）

【課題】測定時に部品が外れにくく、小さな部品でも部品特性の測定が容易である。
【解決手段】接触子１３４ａ、１４０ａを部品１０２に接触させて部品特性を測定するチップマウンタ１００の部品ベリファイ装置１３０において、前記接触子１３４ａ、１４０ａを側面に備えた複数のプローブ１３４、１４０と、前記部品１０２の電極１０２ａ間隔に前記接触子１３４ａ、１４０ａの間隔を調整して固定する固定手段（１４８）と、前記部品１０２を移動させると共に、上記固定手段（１４８）で固定された接触子１４０ａに前記部品１０２の電極１０２ａを接触させる部品接触手段（１０６、１０８）と、を設けた。 （もっと読む）

【課題】本発明は電気比抵抗探査ロボットに関するものであって、遠隔で制御されるロボットの移動用無限軌道に沿って所定の間隔で多数の探査電極を設けて接地面の電極間電位差を測定するようにすることで、地下浅部の３次元電気比抵抗構造を自動及び高速で測定できるようにすることを目的とする。
【解決手段】本発明の電気比抵抗探査ロボットは、フレーム１０と、上記フレームの下部に設けられる駆動手段２０と、上記フレームの下部の両側に設けられ、上記駆動手段により駆動される一対の絶縁性無限軌道３０、３１と、上記無限軌道のトラック３１の周りに沿って所定の間隔で設けられる多数の探査電極４０と、上記各探査電極に電気的にスリップ接続されるスリップリング５０と、上記スリップリングに電気的に接続されるケーブル６０とを含んでなされる。 （もっと読む）

【課題】被測定物の導電性表面における導電率などの電気特性を、複数箇所にわたって簡単にかつ精度良く測定でき、測定値に基づいて導電性表面の汚れの程度などを正確に把握、判定できるようにした、電気特性測定方法および装置を提供する。
【解決手段】被測定物の導電性表面に向けて検出子を押し付け、導電性表面と検出子との間の電気特性を測定する方法であって、導電性表面と検出子との間に導電性の帯状体を介挿し、該帯状体を測定毎に間欠的に検出子に対し相対的に移動させることを特徴とする電気特性測定方法、および電気特性測定装置。 （もっと読む）

【課題】渦電流発生部及び渦電流検出部の温度変動を抑えることによって、ライン速度の高速化等に対応でき、非接触で導電膜の表面抵抗値を高精度に連続測定することができる導電膜用非接触式表面抵抗測定装置を提供する。
【解決手段】渦電流発生部２Ａ及び渦電流検出部２Ｂを導電膜１に対して間隔をあけて設置し、非接触で導電膜１の表面抵抗値を連続的に測定する導電膜用非接触式表面抵抗測定装置において、渦電流発生部２Ａ及び渦電流検出部２Ｂの近傍に電子加熱冷却素子４を配設し、温度センサー３によって測定した渦電流発生部２Ａ及び渦電流検出部２Ｂの温度に基づいて、電子加熱冷却素子４に通電を行い、渦電流発生部２Ａ及び渦電流検出部２Ｂの温度制御を行う。 （もっと読む）

【課題】簡単に被検査物の物性値を測定することができる物性の解析方法、および、この解析方法を用いた物性解析システムを提供する。
【解決手段】物性の解析方法を、被検査物１０の漏洩磁束の磁束密度Ｂを計測する計測ステップ（ステップＳ１）と、被検査物１０の予測される物性値を設定し、この物性値を用いて被検査物１０を含む領域の磁場を解析して磁束密度を求める解析ステップ（ステップＳ２〜Ｓ６）と、計測された磁束密度Ｂと、解析された磁束密度Ｂとが所定の相対誤差範囲内にあるときは、予測された物性値を被検査物１０の物性値とする判定ステップ（ステップＳ７）とから構成し、この解析方法を、計測装置２０と解析装置３０から構成される物性解析システム１に実装する。 （もっと読む）

【課題】 被測定物の測定におけるネットワークアナライザおよびテストセットの稼動率の向上。
【解決手段】 ＤＵＴ（被測定物）５０ａ、５０ｂを測定する測定部１６と、ＤＵＴ５０ａ、５０ｂを保持する複数のハンドラ４０ａ、４０ｂと、複数のハンドラ４０ａ、４０ｂのいずれか一つを測定部１６に接続するスイッチボックス２０とを有する測定システム１において使用される測定対象切換装置であって、ハンドラ４０ａ、４０ｂによってＤＵＴ５０ａ、５０ｂが測定可能に保持されているかを問い合わせる状態確認信号を送信する状態確認部１２と、ハンドラ４０ａ、４０ｂによってＤＵＴ５０ａ、５０ｂが測定可能に保持されていることを示す測定可能信号を受信し、受信した測定可能信号に対応する一つのハンドラ４０ａまたは４０ｂに測定部１６を接続することをスイッチボックス２０に指示する切換指示部１４とを備える。 （もっと読む）

【課題】 プラズマディスプレイパネル用ガラス基板の表面の印刷パターン等の膜厚と電極の抵抗値とを、安定した状態で正確に、一つの装置で測定する。
【解決手段】 搬送手段１０で搬送された被測定物５を位置決め固定する位置決め固定手段２０と、固定された被測定物５の表面の印刷パターン６の厚さを測定する膜厚測定手段３０と、被測定物５の表面の印刷パターン６の抵抗値を測定する第１抵抗測定手段４０及び第２抵抗測定手段５０と、膜厚測定手段３０と第１抵抗測定手段４０とを搭載し、被測定物５の任意の位置に膜厚測定手段３０及び第１抵抗測定手段４０を移動させる第１ＸＹ粗動ロボット６０と、第２抵抗測定手段５０を搭載して第１抵抗測定手段６０と連動させて動作する第２ＸＹ粗動ロボット６１と、膜厚又は抵抗測定を選択する選択手段６５と、装置全体を制御する制御手段７０とを備える膜厚抵抗測定装置１。 （もっと読む）

移動度及びシート電荷密度を非接触で測定するための装置（１０）であり、該装置は、マイクロ波源（１６）、マイクロ波パワーを、測定位置における半導体ウエハ又は平面パネルディスプレイ用パネルのようなサンプル（５９）に伝達する円形の導波管（５０）、前方へのマイクロ波パワーを検出する第１の検出器（１８）、サンプルから反射されたマイクロ波パワーを検出する第２の検出器（２３）及び、ホール効果パワーを検出する第３の検出器（９５）を有する。テスト装置（１０）内でウエハ（５９）を自動的に位置決めするための自動位置決めシステム（７００）も設けられる。位置決めシステム（７００）は、第１のエンドエフェクタ（７０６）及び回転／昇降器（７０４）を有しており。第１のエンドエフェクタは、シート素子（５９）をつかんで、テスト装置（１０）内の所望の位置に移動させる。一方、回転／昇降器（７０４）は、シート素子（５９）のシータ角のインクリメンタルな調整が出来、該シート素子の位置を手動で調整する必要なく、完全なシート素子の自動マッピングが可能となる。第２のエンドエフェクタ（７１６）を第１のエンドエフェクタ（７０６）の反対側に設け、装置（１０）の反対側の端部に位置するシート抵抗テストモジュール（７１８）内にシート素子（５９）を自動で位置決めするために使用することも出来る。
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【課題】
大面積基板に製膜された膜全面の特性をオンラインで自動的に、迅速且つ正確に測定する。
【解決手段】
測定子１０、保持部５、１７、８、９、４、７、３、２、１９、及び制御部３０を具備する膜特性検査装置を用いる。測定子は、基板１５上に製膜された膜の電気特性の計測に用いる。保持部は、測定子を基板の移動する経路上にその経路から離れて保持する。制御部は、測定子と保持部とを制御する。制御部は、移動中の基板が所定の位置に到達したことを示す検知信号に基づいて、保持部へ測定開始信号を出力する。保持部は、その測定開始信号に基づいて、測定子を、移動中の基板上に乗せて一時的に基板と共に移動するように保持する。制御部は、移動中の基板上のその膜の電気特性を測定子を用いて測定する。 （もっと読む）