【課題】本発明は、色差分析を用いた偏光板のムラ自動検査装置及び検査方法に関する。
【解決手段】本発明は、少なくとも１枚の基準偏光板及び上記基準偏光板に装着される被検査偏光板又は偏光素子を含む検査部と、上記検査部の一面に位置し上記検査部に光を照射する光源部と、上記検査部の他面に位置し上記被検査偏光板又は偏光素子を撮影しその画像を演算部に伝送する撮影部と、上記撮影部から伝送された被検査偏光板又は偏光素子の画像を検査領域別に色差分析して微細ムラを検出する演算部と、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】磁気光学効果として観測される信号の絶対値を校正すると共に効率よく測定する。
【解決手段】磁気光学スペクトル分光装置１は、偏光面の角度φ_１，φ_２が調整可能な回転機構付き直線偏光板４，７と、回転偏光子法を用いた各直線偏光板４，７における偏光面の角度別のそれぞれの測定値４１に基づいてカー回転角の絶対値４３をそれぞれ算出する第１算出手段５１と、カー回転角の絶対値４３と第１直線偏光板４における偏光面である入射光偏光面の角度φ１との相関の有無を判別する相関判別手段５２と、相関が無いと判定された場合、偏光変調法を用いた測定値４２に基づいて試料のカー回転角のスペクトル４４を算出する第２算出手段５３と、スペクトル４４におけるカー回転角の値をカー回転角の絶対値４３に適合させる乗算を行い、校正されたスペクトルを当該試料の磁気光学特性のスペクトル４５として算出する第３算出手段５４とを備える。 （もっと読む）

【課題】被検体としての光学部品に対するレーザ耐力を非破壊で定量的に測定することができ、損傷メカニズムについても高精度に分析する。
【解決手段】光源１１により発生された光パルスをポンプ光とプローブ光に分離するビームスプリッタ１３と、分離したポンプ光とプローブ光との遅延時間を調整する遅延時間調整部１５と、ポンプ光に対するプローブ光の偏光方向を互いに直交する方向に制御する第１の偏光素子３６と、ポンプ光及びプローブ光を被検体２に照射する照射光学系と、プローブ光が被検体２から反射したプローブ信号を検出する受光素子３１と、受光素子３１により検出されたプローブ信号に基づいて被検体２からの反射率を解析するＰＣ３３とを備え、反射率から電子励起とその緩和による反射率ピークの高さ及び／又は幅を同定し、予め入力されている損傷度合と反射率ピークの高さ及び／又は幅の相関情報を照合して、当該被検体の損傷度合を判別する。 （もっと読む）

【課題】従来、反射防止層を形成した後でなければ検出できなかった、偏光板が有するスジムラ等の欠陥を、反射防止層を形成する前に検出可能な偏光板の検査方法および該方法を利用した偏光板の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明にかかる偏光板の検査方法は、検査対象である検査偏光板の一方の面側に配置された第一偏光板を介して検査偏光板に光を照射しつつ、検査偏光板の他方の面側に配置された第二偏光板を介して検査偏光板を観察することによって検査偏光板の欠陥を検査する偏光板の検査方法であって、第一偏光板と検査偏光板とは、第一偏光板の吸収軸と検査偏光板の吸収軸とがなす角が０度±５度となるように配置され、第二偏光板と検査偏光板とは、第二偏光板の吸収軸と検査偏光板の吸収軸とがなす角が９０度±５度となるように配置される。 （もっと読む）

【課題】楕円偏光板における偏光板の透過軸と位相差板の遅相軸又は進相軸との間の貼合角を短時間で測定できるようにする。
【解決手段】光源１から光をバンドパスフィルタ２を通して単一波長とした測定光が光検出器８に至る測定光路上に偏光子３と検光子６が配置されている。楕円偏光板５を測定対象試料として偏光子３と検光子６の間の測定光路上に配置し、偏光子３と検光子６とをそれぞれ１回転させたときの偏光子及び検光子の内側の円の部分と外側の円環状の部分の透過光強度変化をライトガイド７で分離して別々に光検出器８に導き、その２つの透過光強度変化図形の最大透過光強度の方位の差から楕円偏光板の偏光板と位相差板との貼合角を測定する。 （もっと読む）

【課題】偏光板と位相差板との貼合角を短時間で測定する。
【解決手段】偏光板に位相差板２枚が貼合された被測定物に対して基準方向の直線偏光が照射され、被測定物の偏光板を第１の位相差板とみなし、その位相差値をすべての波長λ_iに対してλ_i／２、その遅相軸方位を変数φ１とし、被測定物の位相差板を第２の位相差板とみなしてその位相差値を変数Ｒ２_i、遅相軸方位を変数φ２とし、３つの変数φ１、φ２及び基準波長での位相差Ｒ２₀を所定の範囲にわたって、所定の刻みで変化させながら楕円率と楕円方位角とを計算で求める。そして、実測で得られた波長λ_iごとの楕円率と楕円方位角に最も近くなる波長λ_iごとの計算値の楕円率と楕円方位角を導く変数φ１とφ２を求め、φ１の２倍をφp、φ２をφrとして、｜φp−φr｜により楕円偏光板の貼合角を求める。 （もっと読む）

【課題】２つの光学系を通過した照明光を検出して、その２つの光学系のそれぞれの偏光特性を計測する。
【解決手段】照明光学系ＩＬＳ及び投影光学系ＰＬの偏光特性を計測する方法において、照明光学系ＩＬＳ及び投影光学系ＰＬを通過した照明光ＩＬの第１の偏光特性を計測する工程と、照明光学系ＩＬＳと投影光学系ＰＬとの間にプリズム部２２Ａを配置する工程と、照明光学系ＩＬＳ、プリズム部２２Ａ、及び投影光学系ＰＬを通過した照明光ＩＬの第２の偏光特性を計測する工程と、その第１及び第２の偏光特性に基づいて照明光学系ＩＬＳ及び投影光学系ＰＬの各偏光特性を求める工程と、を含む。 （もっと読む）

本発明は、異なる屈折率の少なくとも２つの層の積層体で形成された光学部品の波面を、この光学部品の面に位置する点の反射または透過の測定から測定するための方法に関する。 （もっと読む）

【課題】シート状フイルムを連続搬送して製造するフイルムの製造工程において、オンラインで厚み方向レタデーションＲｔｈを正確に算出する。
【解決手段】第１の偏光特性測定部１１がフイルム法線方向から偏光特性測定をおこなう。この測定結果に基づいて、軸／レタデーション算出手段６１が試料１６の配向軸方位を算出する。面内方位制御手段６４は、第２の偏光特性測定部１７の斜め入射光が算出された配向軸方位と平行になるように、第２の偏光特性測定部１７を方位旋回させる。試料１６が搬送ロール２１で搬送され、第１の偏光特性測定部１１で測定した領域が第２の偏光特性測定部１７の測定位置に達すると、第２の偏光特性測定部１７が測定を開始する。軸／レタデーション算出手段６１は、第１の偏光特性測定部１１と第２の偏光特性測定部１７の測定結果に基づいて、厚み方向レタデーションＲｔｈの算出を行う。 （もっと読む）

【課題】製造工程内でフイルムの複屈折特性を正確に測定し、工程条件にフィードバックする。
【解決手段】含水率測定部８１が試料１６の含水率を、厚み測定部８２が試料１６の厚みを、第１の偏光特性測定部１１および第２の偏光特性測定部１７が試料１６の複屈折特性の測定を行う。軸／レタデーション算出手段６１は、第１の偏光特性測定部１１および第２の偏光特性測定部１７の測定結果から試料１６のレタデーションを算出する。さらに、含水率測定部８１で測定された含水率を厚み測定部８２で測定された厚み値で規格化し、あらかじめ求めておいた含水率とレタデーションの相関式を用いて、算出したレタデーションを補正する。算出したレタデーションに基づいて、工程条件にフィードバックする。 （もっと読む）

【課題】偏光素子の劣化を監視して検査精度の低下を把握することが出来る検査装置を提供すること。
【解決手段】光源から照射された光によって被検査物（半導体ウェハ１０）から生じる光を検出する検出部（撮像素子３５）と、前記光源から前記検出部に至る光路（照明光学系２０、受光光学系３０）中に配置された偏光素子２３，３３と、これら偏光素子２３，３３の基準となる基準偏光素子との比較に基づいて偏光素子２３，３３の劣化度を監視するモニター部５０とを備える。 （もっと読む）

【課題】ハイブリッドネマチック配向液晶フィルムを含む光学フィルムの欠陥の検査を的確に行うことができる光学フィルムの検査方法を提供する。
【解決手段】液晶をハイブリッドネマチック配向させた第１液晶フィルムを含む光学フィルムの検査方法であって、前記光学フィルムに対し、光源から第１偏光板を通して光を照射し、前記光学フィルムに対して前記光源と反対側に、液晶をハイブリッドネマチック配向させた第２液晶フィルムと第２偏光板とからなる欠陥検査用素子を、前記第２液晶フィルム側が前記光学フィルム側に隣接するように配置し、且つ前記欠陥検査用素子を、前記光学フィルムに対し傾斜させて、前記光学フィルムを検査する。 （もっと読む）

【課題】厚み方向のレターデーションに起因する位相差性の欠陥を検査可能な位相差フィルム検査装置を提供することを主目的とする。
【解決手段】互いに吸収軸が直交するように配置された第１直線偏光板および第２直線偏光板と、位相差フィルムを、上記第１直線偏光板および上記第２直線偏光板の間に配置されるように支持する位相差フィルム支持部と、上記第１直線偏光板側に配置され、上記位相差フィルム支持部に支持された位相差フィルムに第１直線偏光板を通して光を照射する光源と、上記第２直線偏光板側に配置され、上記２直線偏光板を透過した光を受光する、指向性を備える受光機とを有する位相差フィルム検査装置であって、上記受光機の垂直受光角度θ^１が０°＜θ^１＜９０°の範囲内となり、かつ、平行受光角度θ^２が０°＜θ^２＜９０°の範囲内であることを特徴とする位相差フィルム検査装置を提供することにより、上記課題を解決するものである。 （もっと読む）

【課題】特に偏光板２枚に位相差フィルムを挟んだクロスニコル形態でのムラ撮像において、全面撮像の計測が容易、且つ短時間で高精度に行えるようにする。
【解決手段】位相差フィルムの光学ムラを検出する光学ムラ検出装置１００において、位相差フィルムと偏光板とを一体に保持して所望の傾斜角度に設定するステージ２５と、位相差フィルムの一方の側から照明する照明手段２７と、位相差フィルムの他方の側から偏光板を介して照明手段２７からの照明光の透過光画面を撮像する撮像手段２９と、撮像手段２９から得られる撮像画像の輝度情報から輝度ムラ成分を検出するムラ検出手段３１とを備え、撮像手段２９が、位相差フィルムの所定の検査領域内における撮像方向の角度変動を２度以内となるように、位相差フィルムから離間配置された位置から望遠撮像する。 （もっと読む）

【課題】光学補償フィルムの貼合条件の最適化を効率よく行う。
【解決手段】光源１からの光を偏光板２を通して液晶セル３に入射させ、液晶セル３の法線方向に配置した光検出ユニット１０Ａ及び液晶セル３の法線方向に対して一定角度θの方向に配置された光検出ユニット１０Ｂそれぞれで、検光子４を１回転したときの透過光強度変化を測定する。その透過光強度変化から、３つの波長ごと及び受光角０゜と受光角θの合計６組について、それぞれ楕円率と楕円方位角を算出する。このとき、液晶セル３と光検出ユニット１０Ａ，１０Ｂの間に配置された２枚の光学補償フィルム８，９の方位φ１，φ２を所定の範囲、一定角度ごとに変化させたときに、光検出ユニット１０Ａ，１０Ｂで測定される６組の偏光状態が、予め設定した目標の状態に最も近くなるφ１、φ２を自動的に見つけ出す。 （もっと読む）

【課題】偏光装置が提供するデータおよび前記照合データを照合、迅速且つ精確に被測量偏光板の軸向回転角度を測量計算することができる偏光板軸向測量装置および測量方法を提供する。
【解決手段】偏光板軸向測量装置および測量方法であって、測量装置は１つの被測量偏光板を置き、１つの光発生装置と、１つの偏光装置と、１つの測量照合装置からなり、光発生装置は光源を提供することができ、偏光装置は光発生装置に対応して設置されて被測量偏光板を載置することができ、且つ被測量偏光板を回転不要な状況で、光源が被測量偏光板を透過した後の光信号を測量するとともに、解読可能なデジタル信号に変換し、測量照合装置は、前記偏光装置と電気信号的に接続し、少なくとも１つの照合データを予め設け、偏光装置が提供するデータを受信し、前記照合データと照合する。 （もっと読む）

【課題】液晶装置の光学特性を正確に評価する。
【解決手段】光学特性評価装置４００では、回転機構８１ｂが、評価装置４００による液晶装置１の光学特性評価時に、第１偏光板４５ａを固定した状態で、光軸４０を中心にして第２偏光板４５ｂを回転させ、第１偏光板４５ａ及び第２偏光板４５ｂの夫々に透過軸を相互に直交させる。第１偏光板４５ａ及び第２偏光板４５ｂの夫々の透過軸を相互に直交させることによって、ＶＡモードで配向が規制される液晶を用いた液晶装置１の光学特性を正確に評価できる。 （もっと読む）

【課題】保護膜が貼り付けられた状態で、表面の詳細な検査が可能な偏光板の検査方法を提供する。
【解決手段】偏光板の検査方法は、ＣＣＤカメラを用いて偏光板全体にピントを合わせて、ＣＣＤカメラと偏光板との距離Ｄ１を測定する工程を含む。画面上にて画像を分割して、ピントがずれている分割領域Ｒｘを特定する工程を含む。この分割領域Ｒｘにピントを合わせてＣＣＤカメラと偏光板との距離Ｄｘを測定する工程を含む。距離Ｄｘと距離Ｄ１との差により分割領域Ｒｘにおける欠陥の有無を判定する工程を含む。 （もっと読む）

【課題】複屈折材料からなる偏光層が可視光を遮蔽する層と共に積層された光学積層体に対して、偏光層の光学主軸分布を精度良く簡便に測定することが可能な光学主軸分布測定方法および光学主軸分布測定装置を提供すること。
【解決手段】偏光層３５と可視光遮蔽層３１との積層構造を有する光学積層体１９に対して、偏光層３５における層内の光学主軸分布を求める光学主軸分布測定方法であって、偏光層３５の吸収ピーク波長帯域が含まれるとともに他の層に対しては透過する赤外光を、特定の偏光方向の直線偏光光に設定して光学積層体１９に照射し、赤外光が照射された光学積層体１９からの透過光量を測定し、透過光量値と赤外光の直線偏光方向に基づいて、偏光層３５の光学主軸を求めるようにした。 （もっと読む）

【課題】試料により変調された光のストークスパラメータ、および試料の楕円率、方位角を精度よくかつ効率よく測定する光学特性計測装置および方法を提供する。
【解決手段】測定される試料により変調された光の光路上に、試料側から１／４波長板、１／２波長板、１／４波長板の順で構成された位相シフタ、検光子、および光検出器を有する。１／２波長板、および検光子は、回転可能なように構成されている。 （もっと読む）