【課題】小型化することが可能な走査光学系およびそれを備えたプロジェクタを提供する。
【解決手段】レーザ光を出射するレーザ光源部１と、出射されたレーザ光を平行化するレンズ光学系１１、１７、１９と、平行化されたレーザ光を所定の光路に導光する光学部品と、光学部品により導光されて入射するレーザ光を、走査ミラー３に向けて投射する投射部材（投射部材８、投射プリズム８１）と、投射されたレーザ光を投影面に向けて反射する前記走査ミラー３を有し、該走査ミラーを二次元走査することによりレーザ光の走査を行う走査部２と、を備える走査光学系１０およびそれを備えたプロジェクタ１００とし、投射部材が、走査ミラー３の非駆動状態の反射面３ａと対向する側に第一反射面を備えた構成とした。 （もっと読む）

【課題】 圧電アクチュエータを用いた光偏向器において、デバイスサイズの増大や偏向・走査性能の低下を防止しつつ、振動や衝撃を緩和して破損を効果的に回避できる光偏向器を提供する。
【解決手段】 光偏向器Ａ１は、反射面を有するミラー部１と、トーションバー２ａ、２ｂに一端が連結され他端が支持部１０に連結されて支持された圧電アクチュエータ８ａ、８ｂとを備え、圧電アクチュエータに駆動電圧を印加することでトーションバーを介してミラー部を回転駆動する。ミラー部１と支持部１０との間の空隙に設けられる衝撃緩和部９ａ、９ｂは、支持部１０のトーションバーと直交する方向のミラー部１と対向する部分に、弾性を有する感光性の高分子材料をフォトリソグラフィ処理によりパターニング加工して形成される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、捻れ梁部を支持する片持ち梁部の形状及び捻れ梁部の取付け位置を工夫することにより、より広い温度範囲に対して走査角度の安定した光走査装置を提供することを第１の目的とする。
【解決手段】本発明の光走査装置は、基板と、基板に連結された捻れ梁部と、捻れ梁部により支持されるミラー部と、基板を振動させる駆動源と、ミラー部に光を投射する光源とを備え、ミラー部は駆動源によって基板に加えられる振動に応じて共振振動し、光源からミラー部に投射される光の反射光の方向がミラー部の振動に応じて変化する光走査装置において、捻れ梁部を支持する片持ち梁部の幅を基板の幅の１／６以下にすることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】水平方向と垂直方向の走査周波数が互いに大きく異なる仕様に対しても対応可能であり、かつ、従来よりも破損しにくい２次元光偏向器及びこれを用いた画像表示装置を提供する。
【解決手段】２次元光偏向器１は、照射された光を反射するミラー部２と、ミラー部２を囲うように間隙３を有して配置されたジンバル部４と、ジンバル部４を囲うように間隙５を有して配置されたフレーム部６と、ミラー部２とジンバル部４とを接続する一対の第１トーションバー部７ａ，７ｂと、ジンバル部４とフレーム部６とを接続する一対の第２トーションバー部８ａ〜８ｄ，９ａ，９ｂと、を備え、一対の第２トーションバー部８ａ〜８ｄ，９ａ，９ｂは、所定の材料から構成された第３トーションバー部８ａ〜８ｄと、所定の材料よりも展延性を有する展延性材料から構成された第４トーションバー部９ａ，９ｂと、をそれぞれ有する。 （もっと読む）

【課題】１つのドライブ回路で圧電型と電磁型のどちらでも対応することのできるアクチュエータ駆動システムを提供する。
【解決手段】電磁型アクチュエータを駆動させるための電磁型制御信号を出力する前置回路３０と、この前置回路３０から出力される電磁型制御信号によって前記電磁型アクチュエータを駆動させるドライブ回路２０とを備えたアクチュエータ駆動システムであって、前置回路３０は、圧電型アクチュエータを駆動させるための圧電型制御信号に基づいてドライブ回路２０を動作させて、ドライブ回路２０から圧電型アクチュエータを駆動させる圧電型駆動電圧を出力させる。 （もっと読む）

【課題】 反射面を二軸周りに揺動するときの回転角を減少させることなく、反射面の二軸周りの揺動を精度良く検知できる光偏向器を提供する。
【解決手段】 光偏向器１は、第１圧電アクチュエータ３１及び第２圧電アクチュエータ５１の駆動で二軸周りに揺動する反射面２ａと、当該揺動を検知する第１検知部７１ｙ及び第２検知部７１ｘを有する第１支持部４とを備える。第２圧電アクチュエータ５１には、第１圧電アクチュエータ３１に導通する第１駆動配線Ｗｙと、第２圧電アクチュエータ５１に導通する第２駆動配線Ｗｏ，Ｗｅと、第１検知部７１ｙに導通する第１検知配線Ｗｍｙと、第２検知部７１ｘに導通する第２検知配線Ｗｍｘと、第１接地線Ｗｇｙとが並行に配置される。第１接地線Ｗｇｙは、第１駆動配線Ｗｙ及び第２駆動配線Ｗｏ，Ｗｅと、第１検知配線Ｗｍｙ及び第２検知配線Ｗｍｘとの間に配置される。 （もっと読む）

【課題】水平方向の広い角度を走査した場合においても垂直方向において変動の少ない光ビームスキャナを提供する。
【解決手段】光源と、前記光源からの光を走査する光スキャナと、前記光源より出射された光ビームを前記光スキャナに入射させるための入力光学系と、を有し、前記光スキャナは、回転軸を中心に回転する回転ミラーであって、前記光源より入射した光ビームを反射するミラーを有しており、前記回転ミラーが前記回転軸を中心に回転することにより、前記光ビームは、前記ミラーのミラー面において異なる位置に照射されるものであって、前記ミラーにおけるミラー面は、前記回転軸に垂直な面に平行な方向において、前記ミラーの一方の側から他方の側に向かって、前記回転軸に平行な方向に対するミラー面傾き角が徐々に増加していることを特徴とする光ビームスキャナを提供することにより上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】捻り振動を用いた光走査装置において、温度変化による走査特性の変化を自律的に抑制する。
【解決手段】光ビームを反射させる反射面を有する光反射部１３と、光反射部１３を捻り振動させるための回転軸となる弾性連結部１６ａ，１６ｂとを備え、上記回転軸を中心にして光反射部１３を振動させることにより、上記反射面により反射された光ビームを走査する光走査装置において、熱アクチュエータ機構を備える。熱アクチュエータ機構は、例えば弾性連結部１６ａ，１６ｂと一体に構成され、熱膨張率が互いに異なる２種類の材料の部材が積層されてなる構造を有し、自身の収縮または膨張により、弾性連結部１６ａ，１６ｂに関して温度変化に伴うバネ定数の変化を相殺する形状に変化させることで、温度変化に伴う共振周波数の変化を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】捻り振動を用いた光走査装置において温度変化による走査特性の変化を抑制する
【解決手段】光を反射させる反射面を有するミラー３１と、ミラー３１を捻り振動させるための回転軸ｋとなる弾性連結部１６ａ，１６ｂを備え、回転軸ｋを中心にしてミラー３１を揺動させて光を走査する。そしてミラー支持枠３２と熱アクチュエータ３３が、ミラー３１と弾性連結部１６ａ，１６ｂとを連結するとともに、温度が高くなるほどミラー３１の回転軸ｋ周りの慣性モーメントが低くなるようにミラー３１を変位させる。なお、ミラー３１の慣性モーメントを変化させるために、ミラー３１の反射面は、円以外の形状（図では楕円形状）を有し、熱アクチュエータ３３は、反射面に垂直な回転軸を中心にミラー３１を回転させる。 （もっと読む）

【課題】絶縁破壊を防止することが可能なアクチュエータ及び光走査装置を提供することを目的としている。
【解決手段】駆動梁と、前記駆動梁上に形成された下部電極と、前記下部電極上に設けられた圧電素子と、前記圧電素子上に設けられた上部電極とが積層されたアクチュエータであって、前記駆動梁上に形成された前記上部電極に電圧を供給するための配線と、前記上部電極とを接続する上部配線と、前記上部配線の下に前記下部電極の端部を覆うように形成されており、前記上部電極と前記下部電極とを絶縁する絶縁部と、を有し、前記絶縁部は、前記上部配線の幅方向の前記上部配線の両側に拡張された絶縁拡張部を有する。 （もっと読む）

【課題】 複雑で高価な工法を用いることなく、光スキャナ素子構造の破損を防止しながら光スキャナ素子を個片として加工できる光スキャナの製造方法を提供する。
【解決手段】 光スキャナ素子１を形成する加工ウエハ１１の表面を加工する際に、光スキャナ素子１をチップとして個片化するためのダイシングストリート１２を形成する工程と、加工ウエハ１１が光スキャナ素子１の可動部に対応したキャビティ１３を有する支持基板１４を加工ウエハ１１の一方の表面に仮接合する工程と、加工ウエハ１１の仮接合面と反対側の面を粘着フィルム１６に貼り付け、仮接合に用いた部材１５の接合力を消失させて加工ウエハから支持基板１４を剥離する工程と、粘着フィルム１６をエキスパンドさせた後、光スキャナ素子１をピックアップしてパッケージングする工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】駆動時間に依存して共振周波数が低下することを防止可能な光スキャナと、その光スキャナの製造方法とを提供すること。
【解決手段】第１軸線を中心として揺動可能な揺動部分と、揺動部分の両側に連結される一対の捩れ梁部分と、一対の捩れ梁部分の他端に連結される本体部分と、を有する平板状の構造体と、揺動部分を揺動可能に構成される駆動部と、構造体と別体に形成され、入射した光を反射する反射面を有し、揺動部分の一方の面に固定されるミラー部と、を備える光スキャナである。揺動部分は、揺動部分と一対の捩れ梁部分との接続位置に設けられ、揺動部分から第１軸線に沿って延出し、構造体を含む面に平行且つ第１軸線に沿う方向に交差する第２方向の長さが、一対の捩れ梁部分よりも大きく構成され、ミラー部と揺動部分との固定位置における応力を緩和する応力緩和構造を含む。 （もっと読む）

【課題】走査ビーム装置の較正
【解決手段】光源と、前記光源から光を受け取り、走査パターン内の、感光性位置センサでない較正パターン上でビームを走査するための走査光学素子と、前記較正パターンから後方散乱される光を前記走査パターン中の異なる時点において検出するための光検出器と、前記異なる時点の各々において検出された前記後方散乱光を、対応するそれぞれの時点に関する前記ビームの予想される位置で表すことにより、前記較正パターンの画像を生成するための画像生成論理回路と、前記較正パターンの前記生成画像を前記較正パターンの表示と比較するための比較論理回路と、を含むことを特徴とする装置。 （もっと読む）

【課題】高輝度化や大画面化を犠牲にすることなく小型化を実現できる画像形成装置を提供すること。
【解決手段】本画像形成装置は、光源素子から出射される光束を光偏向器で２次元的に偏向し、透過性を有する被走査面に２次元像を形成する光走査装置と、前記２次元像を被投射面に拡大投射する投射光学系と、を有し、前記被投射面は、外部に設けられた、可視光の一部を透過し一部を反射する半透過鏡の反射面であり、前記投射光学系は、凸面ミラーを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】有害光の影響を低減するように配置されたフォトダイオードを提供する。
【解決手段】光ビームを生成する複数の光源３ａ、３ｂ、３ｃと、複数の光源からの光ビームを重ね合わせて重合せ光ビームを生成するビームコンバイナ７と、重合せ光ビームを受けて一次光ビームと二次光ビームとに分割するビームスプリッタであり、二次光ビームの１つ又は複数の特性が一次光ビームの１つ又は複数の特性を示し、一次光ビームが通る第１の面１７と、二次光ビームが通る第２の面１９とを備える、ビームスプリッタ１１と、ビームスプリッタの第１の面により放出される一次光ビームを反射し、一次光ビームを走査することができる、ミラー構成要素２１と、二次光ビームの特性を検出するフォトダイオードとを備え、フォトダイオードは、第１又は第２の面と非平行とされ、ミラーに向けられる有害光の量を低減する。 （もっと読む）

【課題】画像の明るさや画質を確保しながら小型化を実現できる光走査装置を提供すること。
【解決手段】本光走査装置は、光源素子と、前記光源素子から出射される光束が入射するカップリングレンズと、を含む入射光学系と、前記入射光学系から出射される光束を２次元的に偏向する光偏向器と、前記光偏向器により偏向された光束が入射する凹面ミラーと、前記凹面ミラーで反射された光束が入射して２次元像が形成される透過性を有する被走査面と、を含む走査光学系と、を有し、前記光偏向器の反射面による偏角の符号と、前記凹面ミラーによる偏角の符号とが互いに反対である。 （もっと読む）

【課題】電源ノイズを抑制しつつ、省スペースで車室内の複数個所に画像を表示することができる車両用表示装置を提供すること。
【解決手段】車室内に設けられ光を投射することによって画像を表示するものであって、半導体基板に形成されたミラー部１３とミラー部１３を駆動する第１の圧電振動板１５ａ，１５ｂなどを含む２次元スキャナ１０と、ミラー部１３に対して光を照射する半導体レーザ２１〜２３とを含むプロジェクター４０を備え、運転者の視線方向に応じて画像を表示する領域を変更するようにプロジェクターを動作させるものであり、ステアリングホイールの回転角度が９０°を超えた場合は、助手席側のドア又は助手席側のサイドガラスに設けられたスクリーン５３、もしくは、ステアリングホイールの回転方向側のピラーに設けられたスクリーン５１にプロジェクター４０による画像を表示する。 （もっと読む）

【課題】大きな光偏向角が得られる光偏向装置、広範囲な範囲を走査できる光走査装置、大きさサイズの記録媒体への画像形成が可能となる画像形成装置及び大型スクリーンへの投影が可能となる画像投影装置を提供できる。
【解決手段】一対のトーションバースプリング１２、１３の一端がミラーの回動軸の仮想線から所定値オフセットしてミラー１１の両端縁に接続されている。一対のトーションバースプリング１２、１３の他端には一対のカンチレバー１４、１５の可動端がそれぞれ接続され、各カンチレバー１４、１５には圧電材料が積層されユニモルフまたはバイモルフ構造が形成されている。カンチレバー１４、１５の固定端は保持枠１６に接続されている。 （もっと読む）

【課題】低コスト化および小型化を図りつつ、質量部を互いに直交する２軸のそれぞれの軸まわりに回動させることができるアクチュエータ、光スキャナ、および画像形成装置を提供すること。
【解決手段】電源回路５は、第１の周波数で周期的に変化する第１の電圧Ｖ_１１、Ｖ_１２を発生する第１の電圧発生部５１と、第１の周波数と異なる第２の周波数で周期的に変化する第２の電圧Ｖ_２１、Ｖ_２２を発生する第２の電圧発生部５２と、第１の電圧Ｖ_１１、Ｖ_１２と第２の電圧Ｖ_２１、Ｖ_２２とを重畳する電圧重畳部５３とを備え、電圧重畳部５３で重畳された電圧を各圧電素子４１、４２、４３、４４に印加することにより、質量部をこれを支持する１対の弾性部に沿った第１の軸線まわりに第１の周波数で回動させつつ第１の軸線に直交する第２の軸線まわりに第２の周波数で回動させるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】 反射面を二次元方向に揺動するときの回転角を減少させることなく、反射面の二次元方向の揺動を検知できる光偏向器を提供する。
【解決手段】 光偏向器１は、反射面２ａを有するミラー部２を支持する第１支持部４と、ミラー部２を第１支持部４に対して第１軸Ｙ周りに揺動させる第１圧電アクチュエータ３１，３２と、第１支持部４を支持する第２支持部６と、第１支持部４を第２支持部６に対して第２軸Ｘ周りに揺動させる第２圧電アクチュエータ５１，５２とを備える。第１支持部４上には、第１圧電アクチュエータ３１，３２の圧電駆動により伝達される第１振動を検知する第１検知部７１ｙ，７２ｙと、第２圧電アクチュエータ５１，５２の圧電駆動により伝達される第２振動を検知する第２検知部７１ｘ，７２ｘとが配置される。 （もっと読む）