【解決手段】 複数の金属部品Ｗを収容した洗浄カゴＢを洗浄液１３内に浸漬させた状態において、対向位置の壁面３Ａ、３Ｂの噴射ノズル２１から同時に洗浄液１３を噴射させると、相互に対向する位置の噴射ノズル２１から噴射された洗浄液１３が洗浄槽３内で衝突し、その衝突位置Ｘに洗浄液１３による乱流が生じる。この状態において、調整手段２２が壁面３Ａの各噴射ノズル２１の噴射圧力を徐々に大きくするとともに、壁面３Ｂの各噴射ノズル２１の噴射圧力を徐々に小さくする。これにより、上記洗浄液１３の衝突位置Ｘが洗浄槽３内で右方へ移動して、洗浄槽３内の洗浄液１３が攪拌される。
【効果】 洗浄カゴＢ内の金属部品Ｗを満遍なく洗浄することができる。 （もっと読む）

【課題】 基板の搬送速度を変更した場合においても、基板を均一に処理することが可能な基板処理装置を提供する。
【解決手段】 ガラス基板１００を水平方向に搬送する搬送ローラ９と、処理液吐出口２１が形成され、この処理液吐出口２１とガラス基板１００の表面との間が処理液の液膜により液密状態となる位置に配置された処理液吐出ノズル２と、処理液保持面３１を備え、処理液吐出口２１と処理液保持面３１との間に処理液の液溜まりを形成可能となる位置に配置された液溜まり保持部材３と、ガラス基板１００の表面に供給された処理液がガラス基板１００の搬送方向に対して上流側に流出することを防止するためのエアナイフ５と、ガラス基板１００の裏面に洗浄液を供給する一対の裏面洗浄部４とを備える。 （もっと読む）

【課題】磁気ディスク用ガラス基板において、ガラス基板表面の粗さを大きくすることなく、換言すると、ガラス基板表面の粗さが大きくなることを抑えつつ、ガラス基板表面に付着した金属汚染物質を効果的に除去する。
【解決手段】ガラス基板の洗浄工程を有する磁気ディスク用ガラス基板の製造方法において、洗浄工程においては、シュウ酸イオンと鉄の２価イオンとを含む洗浄液７を用いて酸性条件下で洗浄を行い、洗浄工程と並行して、または、相前後して、洗浄液に含まれる２価の鉄イオンが酸化されて生成した３価の鉄イオンを紫外線照射２により還元する操作を行う。 （もっと読む）

【課題】平流しの基板搬送路上で被処理基板に供給した第１の処理液を分別回収して第２の処理液に置き換える動作を効率よくスムーズに行い、現像斑の発生を抑制する。
【解決手段】被処理基板Ｇに第１の処理液Ｄを供給する第１の処理液供給手段９と、前記第１の処理液が液盛りされた前記被処理基板の基板面に対し、所定のガス流を吹き付ける気体供給手段２１と、前記被処理基板の基板面に対し前記第２の処理液Ｓを吐出する第２のリンス手段２３と、前記気体供給手段と前記第２のリンス手段との間に設けられ、前記気体供給手段によりガス流が吹き付けられた前記被処理基板の基板面に対し、所定の流速で前記第２の処理液を吐出する第１のリンス手段２２と、前記基板搬送路上において、前記第１のリンス手段により供給された第２の処理液によって、基板幅方向に延びる液溜まり部を形成する液溜まり形成手段２７とを備える。 （もっと読む）

【課題】蒸着マスクに強固に付着した付着物を、蒸着マスクにダメージを与えるおそれを低減しつつ、効率よく除去する蒸着マスク洗浄装置、蒸着マスク洗浄システムおよび蒸着マスク洗浄方法を提供する。
【解決手段】有機ＥＬデバイスの製造工程に用いられる蒸着マスク１６を洗浄するための蒸着マスク洗浄装置としての電解洗浄装置１３は、蒸着マスク１６を収容する洗浄槽としての電解槽２０と、電解槽２０にアルカリ性の電解液を供給するポンプ２１および貯留槽２２からなる電解液供給部と、洗浄槽内に設けられている陽極電極２３および陰極電極２４の電極と、陽極電極２３および陰極電極２４の電極間に通電する通電部２６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 端縁に段差を有する基板を処理する場合であっても、端縁を十分清浄に洗浄処理し、乾燥させることが可能な基板処理装置を提供する。
【解決手段】 電子ペーパ製造用基板１０は、最初にレジストの剥離処理がなされる。次に、電子ペーパ製造用基板１０は、洗浄液噴出ノズル５１からその長辺Ｓ１に洗浄液が噴出され、その長辺Ｓ１を洗浄処理されるとともに、表面および裏面に洗浄液を供給されて洗浄処理され、さらに、洗浄液噴出ノズル５２からその短辺Ｓ２に洗浄液が噴出され、その短辺Ｓ２を洗浄処理される。そして、電子ペーパ製造用基板１０はエアナイフ８０によりその両面の洗浄液を除去された後、ヒータ部９０によりその長辺Ｓ１および短辺Ｓ２を乾燥処理される。 （もっと読む）

【課題】着脱性やメンテナンス性に優れ、梁型のノズル保持機構が無くても撓まない長尺型の処理液吐出ノズルを提供すること。
【解決手段】この処理液吐出ノズル６４に取り付けられるたわみ補正機構７４は、ノズルヘッダ管６８の第１および第２の中間点Ｐ_M1，Ｐ_M2で補強面６８ａに突出して設けられる第１および第２の中間ジョイント部７８，８０と、ノズルヘッダ管６８の第１および第２の中間ジョイント部７８，８０の間たとえば長手方向の中心点Ｐ_Cで補強面６８ａに突出して設けられる中心ジョイント部７６と、中心ジョイント部７４と第１の中間ジョイント部との間に架け渡される第１の連結棒８０と、中心ジョイント部７８と第２の中間ジョイント部８０との間に架け渡される第２の連結棒８４とを有している。 （もっと読む）

【課題】 端縁に段差を有する基板を処理する場合であっても、端縁を十分清浄に洗浄処理することが可能な基板処理装置を提供する。
【解決手段】 電子ペーパ製造用基板１０は、第１、第２の剥離部３５、３６に搬送され、レジストの剥離処理がなされる。次に、電子ペーパ製造用基板１０は、洗浄液噴出ノズル５１からその長辺に洗浄液が噴出され、その長辺を洗浄処理されるとともに、第１洗浄部３７において表面および裏面に洗浄液を供給されて洗浄処理される。次に、電子ペーパ製造用基板１０は、第１洗浄部３７から第２洗浄部３８、第３洗浄部３９および第４洗浄部４０に順次搬送され、それらの洗浄部において表面および裏面に洗浄液を供給されて洗浄処理される。このとき、第２洗浄部３８においては、洗浄液噴出ノズル５２からその短辺に洗浄液が噴出され、その短辺を洗浄処理される。 （もっと読む）

【課題】インゴットをスライスして形成されるウエハを１枚ずつ分離して、ウエハの表裏面を容易かつ均一に洗浄可能にするウエハの分離装置の提供。
【解決手段】支持台Ｃに接着剤により貼着されたインゴットが支持台Ｃの一部まで含めて短冊状にスライスされて形成されたウエハＷを、当該ウエハＷが支持台Ｃにぶら下げられた状態で保持するホルダ２０と、ウエハＷを１枚ずつ吸着して、支持台Ｃの部分で分離するための分離ハンド２２とを含む分離装置２である。 （もっと読む）

【課題】ディスク駆動装置の清浄度を向上し、磁気ヘッドがトレースするときの磁気ヘッドと記録ディスクとの隙間を小さくした場合にＴＡ障害の発生率を低く保つことのできる技術を提供する。
【解決手段】ディスク駆動装置の製造方法において、組立工程では、クリーンルーム内で固定体に軸受ユニットと軸受ユニットによって固定体に対して回転自在に支持される回転体とを組み付けてサブアセンブリを組み立てる。洗浄工程では、サブアセンブリの固定体と回転体の少なくとも一方に洗浄液と第１気体との混合物を吹付けて洗浄する。密封工程では、サブアセンブリを密封部材により密封する。 （もっと読む）

【課題】車両支持用ベアリングやベアリング周辺部品などの形状が複雑な部品についても、表面に付着する油類を機械的に且つ高効率に除去できる洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄液５０を収容し、筒状容器からなり周壁に油流入部が設けられた油回収部１１を中心部に有する洗浄槽１０と、洗浄液５０の通過が自在な材料からなり、洗浄すべき部品を収容して洗浄槽１０内の油回収部周囲に挿入される籠状の部品容器２０とを備え、洗浄槽１０内の洗浄液５０を槽内に循環させると共に、槽内の洗浄液５０が油回収部１１回りの両方向の旋回流を形成するように、吐出ノズル１０Ａ，１９Ａから洗浄槽内面の接線に沿って両方向へ洗浄液５０を吐出し、洗浄槽１０内の洗浄液５０を槽内に循環させると共に、槽内の洗浄液５０が上下方向の旋回流を形成するように、槽底部１０Ｂの２つの吐出ノズルから上方へ洗浄液を吐出する。 （もっと読む）

【課題】液体への投入・排出時におけるワークへの負荷を低減して、ワークの折損や装置からの脱落を防止できると共に、貯留槽からリークする液体の量を削減でき、また、装置全長を短縮することができる搬送装置を提供する。
【解決手段】この搬送装置１は、板状のワークＷを貯留槽の液体に対して投入・排出を行う搬送装置において、前記ワークＷの保持を行う保持部１１、１２、２１、２２を有すると共に回転可能に支持されたワーク保持手段１０、２０を備え、前記ワークＷを保持させた前記ワーク保持手段１０、２０を回転させて該ワークＷを前記貯留槽３０の液体Ｌに対して投入・排出を行う。 （もっと読む）

【課題】従来の定置洗浄方法を改良して、好適に連続洗濯機内の全体を自動洗浄することができる連続洗濯機の定置洗浄方法を提供する。
【解決手段】各浴槽６に配設され通常の洗濯時の水位よりも高水位に設定されたオーバーフロー管７と、オーバーフロー管から溢れ出た水を貯留する貯水タンク８と、貯水タンクの水を圧送するポンプ１１と、ポンプからの水を噴射すべく外側ハウジング２の内側に配設された噴射ノズル１０とを備え、浴槽内に洗浄液を入れて内側ハウジングを回動若しくは連続して回転することにより浴槽内を洗浄するとともに、噴射ノズルから洗浄液を外側ハウジング内に噴射して浴槽内の自動洗浄を行う。 （もっと読む）

【課題】洗浄後の欠陥の発生が極めて少ないフォトマスク関連基板を得られる洗浄方法及び洗浄装置提供することを目的とする。
【解決手段】フォトマスク関連基板の洗浄方法において、少なくとも、前記フォトマスク関連基板の表面の異物をあらかじめ除去する前処理工程と、該前処理工程の後に前記フォトマスク関連基板にＵＶ光を照射するＵＶ照射工程と、該ＵＶ照射工程の後に前記フォトマスク関連基板を湿式で洗浄する湿式洗浄工程とを行うことを特徴とするフォトマスク関連基板の洗浄方法。 （もっと読む）

【課題】基板の処理に使用される処理液の消費量を低減すること。
【解決手段】基板処理装置は、処理液を吸収可能で弾性変形可能なスポンジ４１と、スポンジ４１に処理液を供給する貯留槽４０と、基板Ｗを保持する基板搬送ロボット２１とを含む。基板搬送ロボット２１は、スポンジ４１と基板Ｗとを相対移動させてスポンジ４１と基板Ｗの下面とを接触させることにより、スポンジ４１に吸収されている処理液を基板Ｗの下面に供給させる。 （もっと読む）

【課題】除去性能を高めた空調用フィルタの洗浄を効率的に行う。
【解決手段】ローラコンベア９とローラコンベア９で搬送されるフィルタ２に洗浄液を散布する洗浄液散布ノズル５０ａ〜５０ｆと、フィルタ２に高圧ガスを噴射する高圧ガス噴射ノズル６０ａ〜６０ｃと、散布された洗浄液１７ａ〜１７ｃを回収する回収タンク７２ａ〜７２ｃと、洗浄液を洗浄液散布ノズル５０ａ〜５０ｆに循環させる循環系統と、を含む各洗浄ステージ４ａ〜４ｃを含み、精密洗浄ステージ４ｃは、未使用洗浄液噴霧ノズル５０ｇが配置され、精密洗浄ステージ４ｃ、粗洗浄ステージ４ｂは各回収タンク７２ｃ，７２ｂからフィルタ搬送方向上流側の各回収タンク７２ｂ，７２ａに洗浄液を順次移送する移送系統を備え、予備洗浄ステージ４ａは回収タンク７２ａの洗浄液９０ａを外部に排水する排水ポンプ７７ａを備える。 （もっと読む）

【課題】複数の部材で構成される複合トレイを洗浄する複合トレイ洗浄装置を低コストで実現する複合トレイ分解／組立ユニットを提供する。
【解決手段】本発明は、載置面を有するトレイ部材６１と仕切部材６２とを少なくとも含む複合トレイ６０を分解洗浄するための複合トレイ洗浄装置１に用いられる複合トレイ分解／組立ユニットに関する。複合トレイ分解／組立ユニットは、搬送面１１に載置された複合トレイ６０を所定の搬送方向Ａに搬送するコンベア１０によって搬送される複合トレイ６０を、トレイ部材６１と仕切部材６２とに分解する分解装置２０と、分解装置２０によって分解されたトレイ部材６１および仕切部材６２を洗浄する洗浄装置３０によって洗浄された仕切部材６２を、トレイ部材６１の載置面側に取り付けて、複合トレイ６０を組み立てる組立装置とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ワークが搭載されるトレイを安定して、かつ、連続的に移動させ、処理室での処理効率を向上させつつ、処理室での処理をより確実に行うこと。
【解決手段】ワークが搭載される複数のトレイと、前記複数のトレイが係合される第１レール部と、前記複数のトレイのうちの搬送方向上流側端部に位置するトレイを搬送方向下流側に向けて前記第１レール部に沿って移動させる第１移動手段と、前記第１レール部が貫通するように配置され、前記第１移動手段によりその内部に搬入されたトレイに搭載されたワークに対して所定の処理を行う処理室と、を備え、前記トレイが、前記第１レール部と係合し、前記第１レール部に沿う前記トレイの移動が案内される被案内部を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】洗浄液中に溶解しきらずに洗浄液面に浮上した浮遊物による線条材の汚染を低減する。
【解決手段】線条材に付着する付着物を洗浄液によって除去する洗浄ユニットと、該洗浄ユニットの後段に配置され前記線条材に付着した前記洗浄液を除去する乾燥ユニットとを備えた線条材の洗浄乾燥装置であって、前記洗浄ユニットは、前記洗浄液を貯留する洗浄槽と、前記洗浄槽内の洗浄液面を、前記線条材が大気中から前記洗浄液に進入する際に洗浄液面と交差する箇所を含む進入領域と、前記線条材が前記洗浄液から前記大気中に出る際に前記洗浄液面と交差する箇所を含む進出領域とに分離して、前記線条材から除去されて前記進入領域の前記洗浄液面に浮遊する前記付着物が前記進出領域に流れ込むのを阻止する分離阻止体とを備えている。 （もっと読む）

【課題】トンネル式洗浄機において、流体排気通路で洗浄機の各チャンバからの均等な蒸気排気を容易にし、各チャンバからの熱損失を最小限にするため最適化される。
【解決手段】トンネル式洗浄機には、トンネル式洗浄機のチャンバを分離する間隔を保つ二重壁カーテンが含まれ、チャンバ間およびトンネル式洗浄機外への流体および熱移動が防止される。二重壁カーテンにはトンネル式洗浄機の操作の間にカーテンが互いに粘着することを抑制する表面が含まれる。またトンネル式洗浄機には種々の寸法の物品に対し乾燥効率を均等にする空気マニホールドが含まれる。 （もっと読む）