【課題】移載部に設置すべきセンサの配線に起因する断線、パーティクルの問題が発生しない伸縮式移載装置を提供する。
【解決手段】基台１に対して移載部５が水平方向に進出後退する伸縮式移載装置３０であって、この移載部５に設置すべきセンサ６Ａ、６Ｂを無線式とし、このセンサ６Ａ、６Ｂに電源を供給する充電池７を移載部５に備え、この移載部５が待機位置にあるときに、充電池７を充電する非接触充電手段８を基台１に備えた。 （もっと読む）

【課題】ロボットアームの移動時間を短くすることのできる最適な作業対象物の配置位置の決定を支援する技術を提供する。
【解決手段】水平多関節ロボットのロボットアームにより搬送される作業対象物の配置決定方法であって、作業対象物の配置候補位置を複数指定する工程と、所定の位置と複数の配置候補位置のそれぞれとを通過するロボットアーム移動経路をそれぞれ指定する工程と、各ロボットアーム移動経路のそれぞれにおけるロボットアームの移動をシミュレーションし、その移動の際のロボットアームの回転角度が反映されたロボットアーム移動時間をそれぞれ求める工程と、ロボットアーム移動時間が最も短くなるロボットアーム移動経路に対応する配置候補位置を最適な配置位置として決定する工程とを含むものである。 （もっと読む）

【課題】フォトマスク等の基板の移載が容易に行える基板移載装置を提供する。
【解決手段】本発明による基板移載装置１００は、ベース部１１１に固定されたシャフトを中心に回転可能な回転胴部１１２と、回転胴部１１２の側面に上下動可能に取り付けられたアーム部１２０と、アーム部１２０の先端部に水平方向に回転可能に取り付けられた把持部１３０とを備える。把持部１３０は、上下動可能な下側把持爪１３３と上側把持爪１３４とによって、移載対象となる基板を垂直に立てた状態で上下方向に把持する。更に、把持部１３０は、垂直に立てた状態で把持されている基板に垂直な軸を中心に微小角度回転することができ、基板の重さでアーム部１２０がたわんで把持部１３０が傾いてしまうような場合にも、基板を水平に保持することができる。 （もっと読む）

【課題】クリーンロボットとしての適性を確保しつつフットプーリントの縮小を図ることが可能な基板搬送ロボットを提供すること。
【解決手段】先端アーム３の先端部３７が水平面上を直線移動（Y軸移動）し得る連動式アームユニット３００と、第２電動モータ３６を駆動源とする駆動力を受け回転中心５１aを回転中心に水平面上を回転し得る単独回転式アーム５１と、第３電動モータ、第４電動モータ５６、５７を駆動源とし基部６９、７３を回転中心に水平面上を回転し得る単独回転式ハンド６８、７２とを備える。先端アーム３の先端部３７の水平直線（Y軸）上の位置、単独回転式アーム５１の水平回転位置、及び単独回転式ハンド６８、７２の水平回転位置をそれぞれ制御し、単独回転式ハンド６８、７２を、先端アーム３の先端部３７の直線移動方向（Y軸移動方向）に対して直交する水平方向（X軸方向）へ前進及び後退させる。 （もっと読む）

【課題】作業者が対象物を移動する作業を補助する作業補助装置を提供する。
【解決手段】作業補助装置１００は、把持装置１０と、把持装置１０を回転軸Ｑの回りに回転可能に連結する移動装置２０を備える。対象物Ｗは把持装置１０と作業者Ｔにより保持される。作業者Ｔが対象物Ｗを回転させると、作業補助装置は、対象物Ｗの姿勢角と目標姿勢角の偏差が小さくなる方向の回転を対象物に与えると推定される「回転軸の移動方向と移動量」を指定する第１移動指令値を算出する。第１移動指令値に従って移動装置を移動させる。把持装置１０と移動装置２０は回転可能に連結されているため、回転軸Ｑが移動する際の対象物Ｗの回転は回転軸Ｑと作業者Ｔの位置関係で規定される。作業者Ｔは、回転軸Ｑが移動する際の対象物Ｗの回転を理解しやすい。作業補助装置は、作業者Ｔが理解し易いように対象物Ｗを移動させることができる。 （もっと読む）

【課題】ウェハ等の基板を搬送する搬送機構において、構成を簡単にしながらも一度に搬送できる基板の枚数を増加させ、更に可動部のケーブルレスを実現する。
【解決手段】案内ガイド１８によって移動可能な移動ベース２１と、移動ベースに回転可能に載置されたロボットベース２０と、ロボットベース２０上に固定された第１アーム２７と、第１アーム２７の両端に支持された２つの第２アーム２８と、その各々の先端に支持されたピンセット３０とを備えるとともに、移動ベース２１を挟むように敷設された第１及び第２のリニアモータの可動子１２、１４を連結部材１６、１７を介してロボットベース２０に連結させた。 （もっと読む）

【課題】防塵効果が高く、アーム部が複数になっても対応できる防塵機構を提供すること
【解決手段】基板を搭載するアーム部を支持するとともに、支柱９外面に設けられた直線状の開口部１２を介して支柱９内に設けられた案内機構２２へと接続されて、案内機構２２に従って、開口部１２の開口を移動する支持部材４と、開口部１２を封じて、支柱９内部と外部とを隔離するシールベルト５と、を備え、案内機構２２によって支持部材が移動しても、シールベルト５によって支柱の内部が外部に露出しないよう構成された基板搬送装置において、シールベルト５が、その両端を支柱内部に固定されるとともに、支持部材４に回転可能に支持されたローラに巻装されて、開口部１２を封じるようにした。 （もっと読む）

【課題】 塵埃の飛散を抑えるとともに、ウェハ移載装置内での干渉を防ぐことができ、構造および制御が簡単なウェハ搬送ロボットを備えるウェハ移載装置を提供する。
【解決手段】 ロボットアーム４１の最小回転半径Ｒが、（Ｂ／２＜Ｒ≦Ｂ−Ｌ０）に設定される。これによってロボットアーム４１が正面壁１１０と干渉することを防いで、ロボットアーム４１のリンク体４１ａ〜４１ｃのリンク長さを大きくすることができる。またロボットアームの角変位動作領域を３６０°未満、たとえば１８０°程度に制限することで、ロボットアームが背面壁に干渉することも防ぐことができる。リンク長さを大きくすることで、ロボットを左右方向に走行駆動させる直動駆動機構をなくして、塵埃の発生を抑えることができる。またリンク長さを大きくすることで、ロボットアームに必要なリンク数を減らすことができ、ロボットの構造を簡単化してロボット制御を容易にすることができる。 （もっと読む）

【課題】 長い走行距離でも防塵機能を維持し、装置本体の高さを変えることのないコンパクトで安価な走行装置を提供する。
【解決手段】 移動側の発塵部近傍に送風装置を設け、固定側にも装置の位置によって排気量を調節出来るようにしたフィルタ付きの排気装置を備える。 （もっと読む）

【課題】 サーボをオフしてからロボットの可動部分が微小変位した場合であっても、サーボをオフすることにより停止した教示動作を簡易に再開することが可能なロボット教示システム、及びこれに使用するコントローラ、教示操作端末、並びにロボット教示方法を提供する。
【解決手段】 ロボット１００とロボットコントローラ２００と教示操作端末３００とを有するロボット教示システムにおいて、コントローラ２００又は教示操作端末３００のいずれか一方又は双方に設けられ、ロボット１００の教示動作がサーボをオフすることにより停止した場合に、その直前の位置座標Ａを記憶するメモリと、教示操作端末３００に設けられ、停止した教示動作を再開する契機を与える復帰スイッチ３０４１と、教示動作を再開する際に、ロボット１００を、現在位置座標Ｂから位置座標Ａへ復帰移動させる制御を行う復帰制御手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】半導体移送装備を提供すること。
【解決手段】半導体移送装備において、ウエハ移送ロボット１０００は、フレーム内に装着され、所定の昇降軸に沿って上下移動する昇降部材を含むロボットボディー１００と、駆動リンクと複数の被動リンクとからなり、駆動リンクは昇降部材に装着され、被動リンクの末端部はロードポートが装着されたフレーム面に沿って水平方向に線形移動する関節アーム２００と、被動リンクの末端部に装着され、垂直の回転軸を中心に回転するスイングユニット３００と、スイングユニットに装着されるベース、ベースに装着されて水平方向に直線往復運動する複数のスライディングユニット、およびウエハカセットからウエハを引き出し、収納するウエハハンドを含む直交アーム４００とを備える。 （もっと読む）

【課題】 劣駆動マニピュレータは、軽量、低コスト化が見込まれて種々の研究がなされているが、制御が難しく実用化の例は少ない。劣駆動マニピュレータの利点を活かしかつ制御をやさしくするような構成法が課題であった。
【解決手段】 遊星ギアユニットのプラネタリギアキャリアに第一リンクを固定し、リングギアに第二リンクを固定し、これらに第三リンク、第四リンクを追加してパンタグラフを構成する．またサンギア回転軸にアクチュエータを設けた構成とする。こうすると劣駆動マニピュレータでありながら、簡単な比例制御でハンド部を任意の円軌道や任意角度の直径軌道を動かすことができることを確認した。 （もっと読む）

【課題】先行技術の不利益を取り除いたロボット構造を提供すること。
【解決手段】このロボット構造は、ベース構造２と並進と回転の両方によりこのベース構造に関して移動できる少なくとも一つの第一アーム４０とベース構造に関してこの第一アームを移動させる移動手段１２、２２、３２と、工具７２を受ける受け部材７０と動力供給組立体８０とから成る。移動手段はベース構造或いは第一アームのいずれか一方に関して前記運動軸線に沿う並進によって移動でき且つベース構造或いは第一アームのいずれか他方に独立して並進運動できない中空移動部材３２から成り、この中空移動部材はベース構造或いは第一アームのいずれか一方に関して運動軸線を中心とする回転によって移動でき、その間に同時にベース構造或いは第一アームのいずれか他方に独立して回転運動できない、そして動力供給組立体はベース構造から第一アームへ前記中空移動部材３２を介して延びている。 （もっと読む）

【課題】 ＭＲＩのガントリ内のようにアームの可動高さが制約された空間内でも、マニピュレータのピボット運動を行えるようにすること。
【解決手段】駆動装置１１とロボット本体１２とを備えて手術支援ロボット１０が構成されている。ロボット本体１２は、ほぼ水平方向に動作する第１及び第２アーム３６，３７を備えている。第２アーム３７には、その先端側に設けられたジンバル機構４８と、このジンバル機構４８に支持されるとともに、マニピュレータＭがその軸線方向に移動可能に保持されるスライダー４９とを備えている。ジンバル機構４８は、アーム３６，３７の動作に応じて、スライダー４９を介してマニピュレータＭの姿勢を変化させ、スライダー４９は、マニピュレータＭの姿勢の変化に伴って、その先端の高さ位置がほぼ一定となるように、マニピュレータＭを軸線方向に移動させる。 （もっと読む）

【課題】アーム駆動時における、ケーブルを内包する中空部材のアームへの接触を防止できるロボットを提供する。
【解決手段】スカラロボット１は、ベース２と、ベース２よりも上方側において、ベース２に対して第２軸Ａ２回りに回転可能で、第２軸Ａ２から水平方向へ延びる第２アーム４と、第２アーム４内部の回路と、ベース２内部の回路とを接続するケーブル３１と、第２アーム４から上方へ延びてから湾曲してベース２まで垂れ、ケーブル３１を内包する可撓性のダクト６と、ダクト６のうち第２アーム４から上方へ延びる部分を、第２軸Ａ２に対して第２アーム４の延びる方向とは反対側へ傾斜するように第２アーム４に対して固定する保持部材３４とを備える。 （もっと読む）

【課題】アームの後方への張り出しを縮小できるロボットを提供する。
【解決手段】スカラロボット１は、ベース２と、ベース２に対して第２軸Ａ２の軸回りに回転可能なアームと、第２軸Ａ２から離れた位置において第２アーム４に保持される作業軸５であって、第２アーム４に対して当該作業軸５の軸方向及び軸回りに移動可能な作業軸５とを備え、第２アーム４は、作業軸５を当該作業軸５の軸方向へ移動させる駆動力を生じる３軸モータ４７と、作業軸５を当該作業軸５の軸回りに回転させる駆動力を生じる４軸モータ５０とを備え、３軸モータ４７と４軸モータ５０とは、第２軸Ａ２と作業軸５との間において、第２軸Ａ２から作業軸５への方向に対して並列に配置されている。 （もっと読む）

【課題】ケーブルや配管の折れ曲がりによる断線、配管の詰まり等のトラブルを生じないスムーズなケーブル巻取りができる水平多関節ロボットを得る。
【解決手段】 本発明の水平多関節ロボットは、本体に関節を介して設けた第１アーム11と、第１アームに関節を介して設けた第２アーム12と、第２アームの先端部に設けられた上側と下側の二つの手首からなる手首部18と、二つの手首を駆動する手首回転軸15と、第２アームに設けられ手首部を駆動するモータ21と、第２アームに設けられ手首部のうち下側の手首に挿通されるエア配管あるいは電気配線等のケーブルを巻き取る巻取部とを有するもので、ケーブルの巻取部は、手首回転軸に設けた第１巻取部64と、第１巻取部の水平位置に回転可能に設けられたプーリを有しかつタイミングベルト38で連結された第２巻取部65とを有し、第１巻取部の回転に連動して第２巻取部を回動する。 （もっと読む）

【課題】押出し加工を利用しつつ、回転動作に適した形状の筐体を実現できるロボットを提供する。
【解決手段】スカラロボット１は、ベース２と、ベース２に対して第１軸Ａ１回りに回転可能な第１アーム３とを備え、ベース２の外形を構成する筐体８のうち第１軸Ａ１に沿う外周部１０は、第１軸Ａ１の軸方向への押出し加工により形成されている。 （もっと読む）

【課題】 大型の滅菌装置を用いることなく、効果的に滅菌可能なロボットを提供する。
【解決手段】 封止部１８８によって、清潔空間外１０７から清潔空間１０４内に汚染物質が侵入することを防ぐことができ、滅菌駆動部１２０を清潔空間１０４に配置し、動力伝達部１２１を清潔空間外１０７に配置することができる。滅菌駆動部１２０を動力伝達部１２１から分離させて、高温高圧滅菌することで、清潔空間１０４に属するロボット部分で雑菌が繁殖することを抑えて清潔空間１０４を清潔に保つことができる。また滅菌駆動部１２０を、動力伝達部１２１に対して分離することで、ロボット全体を滅菌する場合に比べて、小形の滅菌装置を用いて滅菌することができる。 （もっと読む）

【課題】真空室内に配置された加工ステージのレイアウトをコンパクトに変更できるように真空用ロボットを構成する。
【解決手段】真空ロボット１０は、機台１１内に４本の駆動軸を同心上に配置する。第１の駆動軸２１は、第１のアーム１２を機台１１に対して旋回可能に連結し、第２の駆動軸２２は、第２のアーム１３を第１のアーム１２に対して旋回可能に連結し、第３の駆動軸２３は、第１のハンド１４を第２のアーム１３に対して旋回可能に連結し、第４の駆動軸２４は、第２のハンド１５を第２のアームに対して旋回可能に連結する。第１の駆動軸２１、第２の駆動軸２２、第３の駆動軸２３、第４の駆動軸２４を、それぞれ独立した駆動源で駆動するとともに、それぞれ磁性流体シール５１を嵌着する。 （もっと読む）