【課題】伸長状態でのアーム剛性と位置決め精度を向上することができるロボットアームを提供する。
【解決手段】第１及び第２のアーム311,321を連動させる連動部340が、一方が第２のアーム321に固定された等長の第１の連動リンク341,342と、これらに連結された等長の第２の連動リンク343,344とを有する交差リンク機構と、一方が第２の連動リンク343,344の片方に固定された等長の第３の連動リンク343,344と、一方が第１のアーム311に固定され他方が第１の連動リンク341,342のうち他方に固定された等長の第４の連動リンク347,348とを有する交差リンク機構とからなり、一方の第１の連動リンク341と一方の第４の連動リンク347とのいずれかは、第１又は第２のアーム311又は321に対し該アームの軸線から外れるよう傾けて固定されている。 （もっと読む）

【課題】 ２つの関節アームにて平面的な作業を有効的に行うことができる多関節ロボットを提供する。
【解決手段】 第１の関節アーム１および第２の関節アーム３が連接されて成り作業領域面Ａ上の作業を行う多関節ロボットにおいて、第１の関節アーム１は一端１ａに第１の関節アーム１を作業領域面Ａにおいて水平方向に回転するために作業領域面Ａにおいて鉛直方向にて成る第１の回転軸２を有し、第２の関節アーム３は第２の関節アーム３を作業領域面Ａにおいて水平方向に回転するために作業領域面Ａにおいて鉛直方向にて成る第２の回転軸４を介して第１の関節アーム１より作業領域面Ａ側に配設され、作業領域面Ａ上において第１の回転軸２を回転可能に保持する保持手段５を備え、第２の関節アーム３の回転移動半径Ｒ_２は第１の関節アーム１の回転移動半径Ｒ_１と同一長さにて成る。 （もっと読む）

【課題】ダブルアーム型ロボットの旋回半径を小さくする。
【解決手段】関節部３，４，５により回転可能に連結されて回転駆動源による回転力を伝達し所望の動作をさせるアーム２を二組備えてなるダブルアーム型ロボット１において、二組のアーム２に設けられる基端の関節部３の回転中心軸を上下（または軸方向）に配置するようにしている。 （もっと読む）

【課題】 ハンドリングロボットの静的そり補正方法及び装置において、大型ガラスをハンドリングするためのエンドエフェクターの動作時にエンドエフェクターの自重またはエンドエフェクターにかかる荷重に起因する静的そりを最適に補正すること。
【解決手段】 ガラスハンドリングのためのロボットアーム２０，３０の関節部に補償部材を挟みこんでエンドエフェクター２２，３２のそり角度を補正する第１段階と、前記エンドエフェクターのガラス搬送時に自重に起因する静的そりを実時間で補正する第２段階と、から構成されるハンドリングロボットの静的そり補正方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】 作業軸の上下を使い分けられるようにすることにより、１種類のロボットで様々なワークの搬送形態、種類等に対応できるようにした水平多関節型ロボットを提供する。
【解決手段】 関節軸１４、１６により連結された複数の水平アーム１５、１７を有し、そのうちの先端アーム１７の先端部に設けられた作業軸１８が、上下両端部にエンドエフェクタの取付部１８ｂ、１８ｃを有するものとする。 （もっと読む）

【課題】 高精度の位置精度を有し、またシール性のよいリンク駆動機構およびこれを用いた産業用ロボットを提供する。
【解決手段】 一方の平行リンクを構成する第１アーム１１と、他方の平行リンクを構成する第２アーム１２と、前記第１アーム１１と第２アーム１２を連結する端部の間に介在し、両方の平行リンクの端部が連結される連結ベース３と、一方のアームの連結端部に設けられた波動歯車減速機３０付き駆動モータ５０とを備え、前記波動歯車減速機３０は、同一方向に回転する２つの出力軸３７、３８を有し、その第１出力軸３７は他方のアームの端部に連結され、第２出力軸３８は前記連結ベース３に連結される構成とする。 （もっと読む）

【課題】停止位置精度の不正確さと搬送アームの動作遅れを低減し、高速基板搬送を可能にした搬送ロボットとその搬送方法を提供する。
【解決手段】略中央部に第１の駆動軸１４が設けられ、第１の駆動軸を回動中心にして、水平面内で回動可能に支持された第１のアーム１１と、第１のアームの略両端部に第２および第３の駆動軸９ａ，９ｂが設けられ、第２および第３の駆動軸を回動中心にして、水平面内で回動可能に支持された第２および第３のアーム６ａ，６ｂと、第２および第３のアームの略先端部を回動中心にして、水平面内で回動可能に支持されたワーク支持部３ａ，３ｂとが備えられ、第２および第３の駆動軸を回動させる第２および第３の駆動源１５ａ，１５ｂは、第２の駆動軸９ａと第１の駆動軸１４との間および第３の駆動軸９ｂと第１の駆動軸１４との間に各々設けられている （もっと読む）

【課題】水平方向のアームの遊びを除去し、バネ定数を向上させることによって停止時、加減速時の振動及び軌跡の振れを除去して高剛性で制御性の良いアームとすることができる水平アームを有するロボットを提供する。
【解決手段】水平アームを水平面内で回動する駆動軸に片側方向への回動力であるバネ力を付与した水平アームを有するロボットにおいて、このロボットは複数の水平アーム１２，１３，１４を有するとともに、シリンダ３１による直線移動をラック３０、ピニオン３３で回転駆動力に変換し、この駆動力を、隣接するアーム間に設けたチェーン３４，３５の動力伝達手段を介して各アームの駆動軸に伝達することにより各駆動軸に片側方向への回動力であるバネ力を付与した構成とする。 （もっと読む）

【課題】薬剤使用単位の搬送および保管システム（２００）に用いるロボットアーム（１０）を提供する。
【解決手段】ロボットアームは、第１カム軌道区間（２８）と、第２カム軌道区間（３４）を有する基板（２６）を備えている。第１アームセグメント（６２）は、基板（２６）に回転可能に取り付けられている。また、第２アームセグメント（９６）は、第１アームセグメント（６２）に回転可能に取り付けられており、第１および第２カム軌道区間（２８、３４）と係合して、第２アームセグメント（９６）の動きを案内するカム軌道従動子（１０８）を備えている。プラットホーム（１４８）は、第２アームセグメント（９６）の端部に固定され、製品（２０８）と係合する。アーム（１０）が退縮した位置から伸展した位置へ伸展する際、一連の方位スプロケット（８、１２９０、１２２、１３８）および駆動チェーン（１５４、１５６）は協働し、プラットホーム（１４８）の方位を背面方向に維持する。 （もっと読む）

【課題】ティーチングのための処理室内における作業を不要としながら、より正確なティーチングを実現する。
【解決手段】ティーチングに際しては、遮断板１２の回転軸１３の中空部分の下端部に、ＣＣＤカメラ２２が取り付けられる。そして、ＣＣＤカメラ２２に撮影されるスピンベース６の平面画像に基づいて、スピンベース６の中心（チャック保持位置中心）のＸ座標およびＹ座標が取得される。その後、基板搬送ロボット２のハンド１７によって、ダミーウエハＤＷがチャック保持位置中心と設計上推定される位置に配置される。そして、ＣＣＤカメラ２２によって撮影されるダミーウエハＤＷの平面画像に基づいて、そのダミーウエハＤＷの中心のＸ座標およびＹ座標が取得され、これと先に取得したチャック保持位置中心のＸ座標およびＹ座標とに基づいて、両中心間の水平方向のずれ量が教示情報として取得される。 （もっと読む）

【課題】搬送効率を向上させ得る搬送装置を提供する。
【解決手段】ベース部３１を回動させるモータ３２と、ベース部３１の中心部に挿通された中心軸３３を回動させるモータ３４と、基材１０１を保持可能に構成されると共に中心軸３３に対して接離する方向に沿ってスライド可能にベース部３１に配設されたスライダ３５ａ，３５ｂと、中心軸３３の回動に応じてスライダ３５ａ，３５ｂをスライドさせるリンク機構とを備えている。これにより、基材１０１を搬送する効率を向上させることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 ２組の平行リンクを連結してなる搬送アームの先端に設けられた基板搬送台を安定した状態で高精度に搬送できるコンパクトなアーム構造を実現する。
【解決手段】２組の平行リンクを連結してなる第１と第２搬送アーム１００と２００とを有し、第１と第２の搬送アーム１００と２００の直線移動と他方の退避動作とを同期をとって行う際、旋回動作が付与される第１搬送アーム１００のアーム１１１と、第２搬送アーム２００のアーム２１１とを所定屈曲角度をなし一体形成した旋回アーム１０とする。旋回アーム１０に同軸駆動源の一方の駆動源から所定の旋回動作を付与するとともに、第１と第２の搬送アーム１００、２００のいずれかに、他方の駆動源から同期した同方向への旋回動作を付与する。第１あるいは第２搬送アームのうち、旋回動作が付与された搬送アームの搬送台を退避させるとともに、他の搬送アームの搬送台を直線移動させるようにした。 （もっと読む）

【課題】搬送ロボットが半導体ウエハ等の基板を保持する際に生じるアームの撓みを、小さな駆動源による大きな動力で、高精度に傾きを修正できる基板の傾き補正装置を提供する。
【解決手段】減速機を備える駆動源を作動してスライド部材１２を直線運動させることにより、このスライド部材１２とエンドエフェクタ８及びエンドエフェクタ基台７を連結する支持部材１４，１５によりエンドエフェクタ８の一端を昇降させることで揺動させる基板の傾きを補正する。 （もっと読む）

【課題】
雰囲気汚染を回避しながらも、高精度にロータの回転角度を検出できるモータシステムを提供する。
【解決手段】
第１外側ロータ２１と第２外側ロータ２１’との間に、磁気シールド板２５，４１を配置しているので、相互の磁気的干渉を抑制し、誤駆動や連れ周りなどの不具合を回避している。又、本体１２においてダイレクトドライブモータＤ１，Ｄ２の間を延在するフランジ部１２ａの外周縁１２ｂは、磁性体である炭素鋼を材料とし、第１ステータ２９と第２ステータ２９’から発生する磁束によって、第１外側ロータ２１又は第２外側ロータ２１’に誤った回転方向の推力を発生させないように、互いの磁界を遮蔽する磁気シールドとして機能する。 （もっと読む）

【課題】
雰囲気汚染を回避しながらも、高精度にロータの回転角度を検出でき、更に信頼性を確保できるダイレクトドライブモータを提供する。
【解決手段】
隔壁１３の円板部１３ａの肉厚が、円筒部１３ｂの肉厚より厚くなっているので、寸法精度や機械精度および温度変化に起因して、隔壁１３に変形が生じた場合でも、薄肉の円筒部１３ｂが先に変形することで、隔壁１３の軸方向応力や曲げ応力を緩和することができ、それによりシール不良や破壊などを防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】基板搬送機構のメンテナンスを容易にする。
【解決手段】基板処理装置６１０は、グレーチング６０５上に載置され、グレーチング６０５の上方空間である２階部分６０２に配置されている。基板処理装置６１０は、複数の処理ユニットと、主搬送ロボットＭＴＲとを備えている。複数の処理ユニットは、主搬送ロボットＭＴＲを囲むように設けられている。エレベータ機構６１５は、主搬送ロボットＭＴＲをグレーチング６０５の上方の２階部分６０２とその下方の１階部分６０１との間で昇降させるためのものである。このエレベータ機構６１５によって、主搬送ロボットＭＴＲを１階部分６０１に下ろすことにより、主搬送ロボットＭＴＲを全方向からメンテナンスできるようになっている。 （もっと読む）

【課題】装置の省スペース化を容易に実現できる基板搬送装置およびそれを用いた基板処理装置を提供すること。
【解決手段】インデクサロボット１３には、第１ロボットアーム１６および第２ロボットアーム１７が備えられており、第１ロボットアーム１６および第２ロボットアーム１７は、いわゆる３リンク方式とされている。これにより、第１ロボットアーム１６および第２ロボットアーム１７を延ばした状態では、必要なリーチの長さを確保できる。よって、これらを折りたたんだ状態においては、インデクサロボット１３の占有面積を小さくすることができる。よって、回転昇降台を回転させた場合のインデクサロボット１３の旋回直径Ｌ１および移動範囲Ｐ１を小さくすることができ、基板搬送装置１のフットプリントを小さくして省スペース化を容易に実現できる。 （もっと読む）

【課題】 搬送アームの先端に設けられ、簡単な機構により旋回時及び伸縮時に確実に基板を保持するとともに、所定位置で容易に基板保持を解除できるようなコンパクトな把持構造を実現する。
【解決手段】 基板Ｗを保持させた状態で直進運動可能な搬送アームを、旋回軸回りに旋回して基板Ｗを搬送可能な基板搬送装置の把持機構１０において、旋回軸と一体的に回転して搬送アームの先端に取り付けられた搬送ベースプレート８の直進運動方向と一致する磁性体からなる規制プレート３５を設ける。搬送アームの縮退に伴って搬送ベースプレート８が規制プレート３５に近接した際に、搬送ベースプレート８上のクランク３０の一部に取着された永久磁石３２が規制プレート３５に磁力吸引され、クランク３０が支点回りの回動し、スライド部１３が直進運動方向に変換され永久磁石３２の磁力吸引力が及ぶ規制プレート３５の範囲において、スライド部１３先端の基板把持アーム１２の先端で基板Ｗを把持する。 （もっと読む）

【課題】 ２組の平行リンクを連結してなる搬送アームの先端に設けられた基板搬送台を安定した状態で高精度に搬送できるコンパクトなアーム構造を実現する。
【解決手段】 第１平行リンク１０と第２平行リンク２０とが共有短節２６によって連結され、第１平行リンク１０のアーム端の回転軸に付与された旋回動作により、第２平行リンク２０の自由端側に設けられた搬送台５０を直線移動させる搬送アーム１において、共有短節２６を構成する各関節から、第１平行リンク１０の各アーム１１，１２を所定量延長した端部支点間を連結する下面連結プレート１６と、第２平行リンク２０の各アーム２１，２２上の所定量内側の中間支点２３，２４間を連結した上面連結プレートとを、連結プレート１６，１７間の直線移動方向への横ズレを規制し、連結プレート１６，１７が平行状態を保持して相対変位を許容するように平行保持を図る板バネ１８を連結した。 （もっと読む）

【課題】ガラス板の搬送ロボットの回動により、搬送ロボット自身から発生する塵埃を低減して、かつ、ガラス板を含む稼働範囲を狭くすると共にガラス板の可搬送範囲を広くする。
【解決手段】駆動源による駆動アームの回動を、ガラス板を保持するエンドエフェクタを回動可能に支持する従動アームに伝達する回動伝達手段を駆動アームと従動アームとから独立して備えることで、駆動源の上方領域をエンドエフェクタが進退運動により通過できる搬送ロボット。 （もっと読む）