【課題】アーム先端重量を軽量化してモータ容量の縮小化を図りかつモータや伝動機構のメンテナンス性を高めさらに部品コストの低減化を図る。
【解決手段】第１軸乃至第４軸駆動用モータからなるモータユニットを備えたベース部11と、第１軸を中心にベース部よりも下位にある水平面上を回動する第１アーム14と、第１アームの先端部で第２軸を中心に第１アームの下位にある水平面上を回動する第２アーム16とからなる水平アーム12と、ベース部と第１アームを連結する関節部に設けられる第１の減速機34と、第１アームと第２アームの関節部に設けられる第２の減速機35と、手首部20を上下方向に昇降させる第３軸たるボールねじ機構と、手首部を揺動させる第４軸たる揺動機構を具備する上下アーム18と、第１減速機と第２減速機の各々に同軸の多重中空軸ユニットとベルト伝動ユニットの組合せからなり、第２軸乃至第４軸の各軸に動力を伝動する伝動ユニットを具備する。 （もっと読む）

【課題】 トランスファープレス等におけるワーク搬送装置において、ワーク把持装置を移動させるサーボモータの故障による運転停止の頻度を低減させるとともに、保守部品の保管・管理の負担を軽減することができる装置を提供する。
【解決手段】 所定のワーク１を把持するワーク把持部１５と、ワーク把持部１５にそれぞれ回転可能に接続された一対のアーム７，８と、各アーム７，８のそれぞれの他端に回転可能に接続されると共に往復直線移動する一対のスライダ４，５と、一対のスライダ４，５をそれぞれ駆動する一対の駆動部１７，１８と、を備えるワーク搬送装置１０１において、一対の駆動部１７，１８が、それぞれ複数のアクチュエータ３１Ａ，３１Ｂ，３２Ａ，３２Ｂにより構成される。
（もっと読む）

【課題】 複雑な制御を何ら必要とせず、また、駆動軸を増やすことなく、ロボットのアーム先端のエンドエフェクタの向きを常に一定になるようにする。
【解決手段】 本発明の産業用ロボットは、最上位の位置に配置されるベース部１１と、ベース部１１から下方に垂設される水平多関節アーム１２と、水平多関節アーム１２の先端部に設けられる上下方向に移動自在な上下アーム１８と、上下アーム１８の下端部に連結されエンドエフェクタ２２を有する手首部２０と、を有し、さらにエンドエフェクタ２２の向きを水平関節アーム１２の回動に連動して一定の方向に保持する平行リンク機構を備えている。 （もっと読む）

【課題】 多関節アームを駆動するとき負荷を低減し、モータ容量の縮小化を図り、省エネルギの産業用ロボットを提供する。
【解決手段】 ロボットの各制御軸を駆動するモータが集中配置されるベース部１１を最上位の位置に配置し、ベース部１１から水平多関節アーム１２を垂設し、上下方向に移動自在な上下アーム１８を水平多関節アーム１２の先端部に設け、上下アーム１８の下端部にエンドエフェクタ２２を有する手首部２０を設ける。 （もっと読む）

【課題】各モータの同期動作を容易に制御できると共に、省配線化及び小型化を実現できる多関節搬送装置を提供する。
【解決手段】複数のアーム２２・・５２が互いに関節を介して回転可能に連結され、前記関節に設置された複数のダイレクトドライブ方式のモータ２１０・・５１０を有し、該複数の各モータの駆動により前記各アームを回転させて最後の前記アームに搭載した被搬送体を搬送する多関節搬送装置において、前記各モータの制御に必要な電気信号を光信号に変換して伝達する制御装置１１１と、前記光信号を電気信号に変換すると共に電気信号を光信号に変換する信号変換器２１・・４１と、前記制御装置からの前記光信号を前記信号変換器に伝達する光通信手段１１３と、該信号変換器によって変換された前記電気信号によって前記各モータを駆動すると共に前記モータからの前記電気信号に基づいて前記各モータの駆動を制御する。 （もっと読む）

【課題】 搬送装置が備えた複数の搬送アームの動作の自由度を上げる。
【解決手段】 回転台１７４に２本の昇降軸１７２，１７３が立設され，その各昇降軸１７２，１７３に，搬送アーム１７０，１７１がそれぞれ取り付けられる。搬送アーム１７０，１７１は，ウェハ支持部１９０とアーム部１９１から構成され，ウェハ支持部１９０を水平方向に進退させてウェハＷを搬送できる。一方の搬送アームのウェハ支持部１９０が前方に移動した際に，そのウェハ支持部１９０の後方側に他方のウェハ支持部１９０が通過可能な空間ができるように，各搬送アーム１７０，１７１は形成されている。これにより，搬送アーム１７０，１７１は，相互に上下方向に追い越しできる。また，２つのウェハ支持部１９０は，櫛状に形成され，ウェハ支持部１９０相互間でもすれ違うことができる。 （もっと読む）

【課題】 各種用途に臨機応変に適応できるようにして汎用性を高める。
【解決手段】 位置が固定されるベース部６と、このベース部６を支点として旋回アーム７の一端７ｓ側を水平方向に回転させる水平回転機構８と、この旋回アーム７の他端７ｔ側から起立し、かつ支持部９をＺ軸方向へ移動させるＺ軸移動機構１０と、前アーム部３と後アーム部４を回動軸部１１を介して連結したアーム機構５を有し、このアーム機構５の後端５ｒ側を装着位置の変更可能な着脱部１２を介して支持部９に装着するとともに、アーム機構５の後端５ｒ側を回転させることにより、アーム機構５の先端５ｆに支持するチャック部２をＸ軸方向に移動させるＸ軸移動機構１３を具備する。 （もっと読む）

【課題】 ダブルアーム型ロボットの旋回半径を小さくする。
【解決手段】 関節部３，４，５により回転可能に連結されて回転駆動源による回転力を伝達し所望の動作をさせるアーム２を二組備えてなるダブルアーム型ロボット１において、アーム２を構成する上腕６と前腕７とを伸ばしきった伸長位置と上腕６と前腕７とを折り畳みハンドを引き込んだ縮み位置との間を移動するようになされ、アーム２を縮み位置に移動させたときに、当該アーム２に取り付けられたそれぞれのハンド部８がアーム２の基端の関節部３の間に位置し、かつ、二組の肘関節部４を二組ともにハンド部８の移動方向に関して同方向でかつ水平方向側方に突出させ、ハンド部８の移動方向に関して肘関節部４が突出する方向と反対側に移動機構１１を配置するようにしている。 （もっと読む）

【課題】 前進時および後退時の停止位置精度を高めることができるリンク装置を提供する。
【解決手段】 リンク装置は、中間部材１２上の２つの第１支軸ｆ１において、各第１リンクアーム１０，１１と一体的に回転するように設けられた一対の第１歯車１００，１１０と、中間部材１２上の２つの第２支軸ｆ２において、各第２リンクアーム２０，２１と一体的に回転するように設けられた一対の第２歯車２００，２１０とを備えており、かつ、一方の第２歯車２１０は、第１リンクアーム１０，１１を所定の方向に揺動させて移動部材を前進させる場合にのみ、一方の第１歯車１１０と噛み合った状態で回転させられる一方、他方の第２歯車２００は、第１リンクアーム１０，１１を所定の方向とは逆方向に揺動させて移動部材を後退させる場合にのみ、他方の第１歯車１００と噛み合った状態で回転させられるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】移載室の内容積を小さくすることができる基板の搬送ロボットを提供する。
【解決手段】搬送ロボット４ａは、同心状に備える２つの駆動源１５、１６と、各駆動源１５，１６の側面に突出して備える駆動アーム１７，１８と、駆動アーム１７，１８の他端に備える２つの従動アーム１９〜２２と、２つで１組をなす従動アーム１９〜２２の先端に備えるハンド２３，２４と、からなるものである。この搬送ロボット４ａは、各駆動源１５，１６を異方向、若しくは同方向に回動することで各アーム１７〜２２を介して第一ハンド２３、第二ハンド２４を進退動作、回動することができる。 （もっと読む）

基板搬送装置は、フレーム、駆動部、及び関節アームを有している。かかる駆動部は、多数の異なる交換自在なモータモジュールから選択され、配置するのに選択自在な少なくとも１つのモータモジュールを有する。各モータモジュールは、異なる予め決められた特性を有している。関節アームは関節接続部を有している。アームは、関節結合のために、駆動部に接続されている。アームは、各々が予め決められた構造特性を有する多数の異なるアーム構造から選択自在な構造を有している。アーム構造の選択は、駆動部における配置のために、少なくとも１つのモータモジュールの選択によりなされる。
（もっと読む）

【課題】ウェーハアライメント専用装置やウェーハアライメント用のアクチュェータを使用せずに、フットプリントを最小に抑えて、低発塵でかつ、高スループットなアライメント機能を有するウェーハの搬送装置を提供する。
【解決手段】ウェーハを把持するウェーハ把持部４１と、前記ウェーハ把持部４１を支持するアーム部４０と、機台１とを有し、前記機台１は、機台座１０と、前記アーム部４０を固定支持し、かつ前記機台座１０に対して回転自在なる旋回基軸３とを有し、前記ウェーハ把持部４１は、前記ウェーハのノッチやオリフラを含む基準位置を検知する位置検知センサ５を有し、前記ウェーハが載置されるウェーハ置台１１を前記旋回基軸３が回転する回転軸心上に位置するように前記機台１に設けた。 （もっと読む）

【課題】 クリーンルーム内におけるレイアウトの自由度を低下させることがないように、既存のダブルアーム型ロボットにあまり手を加えることなく、また、その大型化や製造コスト上昇を防ぎながら、可搬重量を増大させることが可能なダブルアーム型ロボットを提供することにある。
【解決手段】 関節部（第１関節部１００Ａ，１００Ｂ、第２関節部１０１Ａ，１０１Ｂ、第３関節部１０２Ａ，１０２Ｂ）により回転可能に連結されて回転駆動源による回転力を伝達し、制御装置によって所望の動作をさせるアーム６Ａ，６Ｂを備え、二組のアーム６Ａ，６Ｂが基端の関節部における回転中心軸の軸方向に上下に配置されているダブルアーム型ロボット１において、二組のアーム６Ａ，６Ｂの各々には、二組のアーム６Ａ，６Ｂを連結する連結部が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 並列に掛け渡された複数本のタイミングベルトのそれぞれに、全長にわたり均一で、かつ所定の張力を付与可能にする。
【解決手段】 並列に掛け渡された第一及び第二タイミングベルト２４、２５の入力軸である回転軸１７には、第一及び第二タイミングベルト２４、２５にそれぞれ対応させて区分された第一及び第二プーリ２０、２１が取り付けられている。第一プーリ２０は、キー２６により回転軸１７に回転不能に固定されているが、第二プーリ２１は、回転軸１７及び第一プーリ２０に対して位相を自由に調整可能に取り付けられると共に、位相調整後にボルト２７で固定される。このように構成することにより第一及び第二タイミングベルト２４、２５は、互いに他に影響されることなく、全長にわたり均一で、かつ所定の張力を与えることができる。 （もっと読む）

【課題】 大きな駆動力を発生する高価なモータを用いることなく、簡易な制御によって、半導体ウェハなどのワークを安定に搬送することが可能な多関節型ロボットを提供することにある。
【解決手段】 ワーク３０をカセットにロード／アンロードする多関節型ロボット１において、ワーク３０を保持するハンド部７と、ハンド部７を回転可能に保持するアーム部６と、アーム部６の基端側を回転可能に保持するとともに、アーム部６の基端側の移動軌跡が、ワーク３０をロード／アンロードする方向とはほぼ直交する方向の直線となるように動作するリンク機構３と、アーム部６（又はアーム部６の先端側）を、リンク機構３の移動に整合させてワーク３０をロード／アンロードする方向に直線補間するように移動させる駆動手段（アーム部モータ５１や上支持フレームモータ６ｂ）と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 この発明は、非接触伝導によって発塵なく、かつ発ガスなく、クリーンルーム又は真空中で仕事をすることを目的としたものである。
【解決手段】 この発明は、複数のアームに夫々駆動軸を固定し、各駆動軸に夫々マグネット輪を固定すると共に、前記各駆動軸の各マグネット輪間に、遊動マグネット輪を非接触状に架設したことを特徴とする磁気による非接触駆動装置により解決した。 （もっと読む）

【課題】 たて型の射出成形機に適用されても、ユニット類が邪魔にならずに被把持物を落下させることができるとともに、落下してきた被把持物を確実に回収させることができる関節型成形品取出しロボットを提供する。
【解決手段】 駆動源２０の作動により、出力回転軸２１を回転させ、これに伴なって第１アーム２２を旋回させるとともに、動力伝達機構３０によって第１関節軸２３を逆方向に回転させ、かつ、第２アーム２４を第１アーム２２の逆方向に旋回させる。また、姿勢制御機構３５によって、第２関節軸２５の回転を出力回転軸２１の回転と同じ方向で同じ回転角の回転に変換して伝達するとともに、第３アーム２６と把持部２９の旋回を制御するロボットにおいて、第３アーム２６と把持部２９を前記第２関節軸２５の軸回りに独自に旋回させる旋回手段５２を設ける。 （もっと読む）

【課題】 ＭＲＩのガントリ内のように可動高さが制約された空間内でも、マニピュレータのピボット運動を行えるようにすること。
【解決手段】駆動装置１１とロボット本体１２とを備えて手術支援ロボット１０が構成されている。ロボット本体１２は、駆動装置１１からのベルトＶが繋がる下部構造体２１と、この下部構造体２１に対して起立状態で配置された中間リンク構造体２２と、中間リンク構造体２２の上側に配置されたアーム構造体２３とを備えている。アーム構造体２３は、基端側を支点としてほぼ水平回転可能な第１アーム３６と、この第１アーム３６の先端側を支点としてほぼ水平回転可能に取り付けられ、マニピュレータＭの上部を保持するジンバル機構４８が先端側に設けられた第２アーム３７とを備えている。 （もっと読む）

【課題】低い搬送高さを直線的に動作できる広い動作範囲を持ったコンパクトで低コストな産業ロボットのアーム構造を提供。
【解決手段】固定ベース１上に第１垂直軸ａの回りに回転自在に支持された第１水平アーム２と、第１水平アーム２の先端に第２垂直軸ｂの回りに回転自在に支持された第２水平アーム３と、第２水平アーム３の先端に第４垂直軸ｄの回りに回転自在に支持された回転基台４と、からなる水平方向移動部と、回転基台４の上に第１水平軸ｇの回りに回転自在に支持された第１垂直アーム７と、第１垂直アーム７の先端に第２水平軸ｈの回りに回転自在に支持された第２垂直アーム８と、第２垂直アーム８の先端に第３水平軸ｉの回りに回転自在に支持された第３垂直アーム９と、第３垂直アーム９の先端に作業工具を取り付けるためのフランジ１０を有する水平方向及び垂直方向移動部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 医療機器を移動自在に支持する医療機器支持アームにおいて、小容量のモータを用いつつ、広範囲にわたって操作力の負担を軽減することを可能にする。
【解決手段】 医療機器支持アーム１は、支持台２に水平回転自在に接続された第１アーム部材３Ａと、第１アーム部材３Ａに水平回転自在に接続された第２アーム部材３Ｂと、第２アーム部材３Ｂに鉛直回転自在に接続された第３アーム部材３Ｃとからなる。第３アーム部材３Ｃには、モータ２３及びバネ３ｉが設けられている。バネ３ｉは、医療機器５０の重力により生じる重力モーメントに対抗する対抗モーメントを発生させる。モータ２３は、重力モーメントと対抗モーメントとのアンバランスにより生じるアンバランスモーメントを補償する。 （もっと読む）