【課題】より簡素な構成で把持対象物の把持確認及び把持解除確認を行うこと。
【解決手段】第１及び第２の把持部材が把持対象物を把持する把持位置よりも閉側の位置である基準位置に位置しているか否かを検出する検出手段を設け、把持対象物の把持後に前記第１及び第２の把持部材を前記基準位置に移動するように制御し、前記第１及び第２の把持部材が前記基準位置に位置していることが検出されなかった場合に、把持対象物の把持が正常であると判定し、把持対象物の把持の解除後、前記第１及び第２の把持部材を前記基準位置に移動するように制御し、前記第１及び第２の把持部材が前記基準位置に位置していることが検出された場合に、把持の解除が正常であると判定する。 （もっと読む）

【課題】従来に比して、より小型・軽量であって、ワークの把持動作に要する時間の短縮を図った把持装置を提供する。
【解決手段】把持される対象たるコネクティングロッド２を挟圧するための一対の挟圧部５・６を１組以上（本実施形態では４組）備えるとともに、１組以上の一対の挟圧部５・６を挟圧方向に向けて相対変位させるためのアクチュエータ７を備え、各挟圧部５・６の一対の挟圧部によりコネクティングロッド２を挟圧するときにコネクティングロッド２と当接する部位において、コネクティングロッド２の外形形状に倣った凹凸部が形成される一対の把持部８・９を備える、コネクティングロッド２を把持するための把持装置３であって、一対の把持部８・９のうち、一方の把持部９は、挟圧方向に向けて弾性変形する弾性部材１０を介して、挟圧部６に支持される。 （もっと読む）

【課題】搬送ロボットにより基板を搬送する際に、ハンド上の基板の中心位置の検出精度を向上できるようにした基板位置検出方法を提供する。
【解決手段】ハンド７に、搬送経路上の所定位置に設定した検出点ＰＳに基板の周縁があるか否かを検出するセンサで検出可能な指標として、Ｒ方向に所定距離ＬＲ０離れた第１指標７３と第２指標７４とを設ける。第１指標７３が検出点にあると検出されたときのロボット動作量から求めたハンドのＲ方向位置を基準位置として、基準位置から、第２指標７４が検出点にあると検出されたときのロボット動作量から求めたハンドのＲ方向位置までの変位量ＬＲを算出し、この変位量ＬＲと指標７３，７４間の距離ＬＲ０との比を補正係数として算出する。そして、基板の周縁の各箇所が検出点にあると検出されたときのロボット動作量から求めたハンドのＲ方向位置を、当該Ｒ方向位置と基準位置との偏差に補正係数を乗算して補正する。 （もっと読む）

【課題】配線によりロボットハンドやロボットアームの可動範囲が制限されることを抑制する。
【解決手段】組立ロボットは、ロボットアーム、ロボットハンド２および制御部を備え、ロボットハンド２は、ワークを把持する把持部、および、把持部に駆動用の圧縮エアを供給する電磁弁３３を備える。組立ロボットでは、把持部制御信号が制御部からロボットハンド２の無線通信部３５へと無線にて送信され、把持部によるワークの把持状態を示す把持状態信号が、無線通信部３５から制御部へと無線にて送信される。このため、制御部とロボットハンド２との間において、把持部制御信号および把持状態信号の送受信用の配線が不要となる。このように、ロボットハンド２に接続される配線を削減することにより、配線によりロボットハンド２やロボットアームの可動範囲が制限されてしまうことを抑制（または防止）することができる。 （もっと読む）

【課題】配線によりロボットハンドやロボットアームの可動範囲が制限されることを抑制するとともに把持部の種類を容易に変更する。
【解決手段】組立ロボットでは、制御部から固定部３１へと出力された把持部制御信号および結合部制御信号が、スリップリング３５を介して回転部３２へと伝達され、また、把持状態取得部から出力された把持状態信号が、回転部３２からスリップリング３５を介して固定部３１へと伝達されて制御部へと送られる。このため、固定部３１と回転部３２との間における信号伝達用の配線が外部に露出することを抑制することができ、配線によりロボットハンドやロボットアームの可動範囲が制限されてしまうことを抑制することができる。また、ロボットハンドでは、把持部および把持状態取得部を備えるハンド先端部が、結合部３２３により回転部３２に対して着脱自在に固定されるため、把持部の種類を容易に変更することができる。 （もっと読む）

【課題】 保持部材の姿勢に異常があるか否かを確実かつ容易に検出すること。
【解決手段】 保持部材であるフォーク３Ａを前進させたときに、当該フォーク３Ａがその前を通過するように、フォーク３Ａの進行方向に対して側方にラインセンサ４を設ける。そして、フォーク３Ａをラインセンサ４に対して進退させたときに、当該フォーク３Ａの上下方向の位置と、フォーク３Ａの進退方向の位置とを対応付けたデータを取得する。この取得されたデータに基づいて前記進退方向の位置に対して上下方向の位置を二次微分した値を演算し、この値に基づいて保持部材の姿勢の異常の有無を判定する。 （もっと読む）

【課題】電動アクチュエーター或いはメカニカルチャックが故障した場合に部品交換が容易であり、汎用性が高く、メカニカルチャックにおけるフィンガーのワークに対する芯出し作業を手動で簡単に行える電動チャックの提供。
【解決手段】モータ９と、その回転出力軸に回転が止められて螺合した直動出力軸１１とを備えた電動アクチュエーター３に、プッシャー２２が押圧されることによりワーク把持用のフィンガー３５が開かれ、プッシャー２２が押圧されていない時はバネの力でフィンガー３５が閉じるメカニカルチャック４を着脱可能に取り付けてある。回転出力軸に直動出力軸１１を軸方向に調整できるハンドル１９を固定する。ハンドル１９は放熱部材を兼ねたアルミ合金製とすることがある。 （もっと読む）

【課題】 予め定められた一方向にエンドエフェクタを移動させることで教示位置を教示可能な自動教示装置を提供する。
【解決手段】 半導体搬送ロボット１は、ハンド２と、第１及び第２光電センサ１４，１５と、制御部２８とを有する。第１及び第２光電センサ１４，１５は、ハンド２に設けられ、互いに異なる方向に延びる光軸Ｌ４，Ｌ５を有する。制御部２８は、予め定められた仮教示位置ｐ_ｃに向かってハンド２を移動させて第１及び第２光電センサ１４，１５により正教示位置ｐ_ｒに配置される冶具３１に立設されるピン３２を夫々検出させ、検出したときのハンド２の位置である第１及び第２検出位置ｐ_１，ｐ_２に基づいて正教示位置ｐ_ｒと仮教示位置ｐ_ｃとのズレ量Δｒ、Δθを演算して正教示位置ｐ_ｒを求める。制御部２８は、ピン３２を検出させる際、光軸Ｌ４．Ｌ５が延びる方向と異なる方向にハンド２を移動させる。 （もっと読む）

【課題】安全制御手段を内蔵したロボットと併用することによって、該安全制御手段を２重化することができ、また、該ロボットと別個に使用することができる安全制御装置を実現する。
【解決手段】安全制御装置２は、センサにより検出された外界の状態に応じて内部状態を遷移させるか、または、安全制御手段１１ｂにより発行されたコマンドに応じて内部状態を安全制御手段１１ｂと同期させるＦＰＧＡ基板２１であって、内部状態を安全制御手段１１ｂと同期させるときに、センサにより検出された外界の状態が予め設定された特定の条件を満たしているか否かを判定し、満たしていないと判定した場合にはサーボ機構１２への電力供給を断つＦＰＧＡ基板２１を備えている。 （もっと読む）

【課題】作業員の侵入を検知するとともに、作業員の位置の検出することができる、きわめて構成が簡単な侵入検知機能付き安全位置検出装置を実現することを課題とする。
【解決手段】ロボットから所定距離離れた境界線に沿って配設されライトカーテンを構成する複数の侵入検知センサ用のマーカと、人に取り付けた人位置検出用センサ用のマーカと、前記侵入検知センサ用のマーカ及び人位置検出用センサ用のマーカからの光を受光する受光器とを備え、マーカからの光は、符号化された所定の符号パターンとなるように能動的にデジタル符号化し、送信信号として機能する光として投光される。 （もっと読む）

【課題】フォークに光センサの配線をすることなくワークの有無を検知することができる移載機を提供すること。
【解決手段】屈伸可能に連結された第１アーム１及び第２アーム２を左右に１対配設し、第１アーム１の基部をそれぞれ駆動軸３に接続するとともに、第２アーム２の先端部でフォーク４を支持し、各アーム１、２の屈伸によりフォーク４を進退するようにした移載機において、フォーク４上のワークＷの有無を検知する光センサ１０を移載機本体７に設けるとともに、フォーク４上のワークＷの有無によって開閉する遮光板１２と、その作動機構１３からなるシャッタ機構を有するミラー１１を配設し、光センサ１０の光をミラー１１に反射させることによりワークＷの有無を検知できるようにし、かつ、光センサ１０をミラー１１が通過する経路から外れた位置に取り付ける。 （もっと読む）

【課題】 高い信頼性を持って迅速に相対ティーチングができるようにした搬送ロボットの相対ティーチング方法を提供する。
【解決手段】 基板Ｓをロボットハンド１３にて支持した状態で同一平面内を旋回及び伸縮動作させ、前記旋回方向に沿って配置された複数の処理室Ｌ、Ｐ１乃至Ｐ３間で基板を搬送する搬送ロボット１に対し、その搬送動作を教示するとき、いずれか一の処理室に対して伸縮動作する際に基準となる座標データを教示し、この座標データに基づいて他の処理室に対して伸縮動作する際に基準となる座標データを教示する。一の処理室における座標データを教示する際にその伸縮軌道データを取得し、他の処理室における座標データを教示する際に、前記一の処理室及び他の処理室への搬送ロボットの伸縮ストロークが相互に異なると、前記伸縮軌道データから前記ロボットハンドの位置を補正する。 （もっと読む）

【課題】 教示位置検出手段により教示位置を検索する際に、教示位置検出手段の周辺のスペースが狭くとも教示位置が精度良く検出できるロボットを提供する。
【解決手段】 ロボット１は、レーザセンサ１０を備えるロボットハンド２を３つの連結部５，６，７が街道可能に連結されたアーム３によって移動させてターゲット冶具１８を検索し、ターゲット冶具１８が検出された検出位置である直進開始位置からターゲット冶具１８に向かってロボットハンド２を直進させる多関節ロボットである。更にロボット１は、制御装置３３を備える。制御装置３３によりロボットハンド２を移動させて第１及び第２検出位置でターゲット冶具１８を検出させ、これら２つの検出位置の位置情報を取得し、これら２つの位置情報に基づいて、前記ロボットハンド２が予め定められた経路Ｃを直進するように前記直進開始位置を較正する。 （もっと読む）

【課題】ウエハの引っ掻き傷や粒子による汚損を最少にして半導体ウエハを確実に移送し得る試料把持用端部エフェクタを提供すること。
【解決手段】光源、及び受光部に作動するように連結された本体を有する端部エフェクタを設け、前記光源、及び受光部は離間するそれぞれの光源光路開口、及び受光路開口を有し、これ等開口の間に光透過路に沿って光ビームが伝搬し、これ等光ビームが既知のビーム形状であるように前記光源光路開口、及び受光路開口の寸法を定め、前記試料と本体との空間を狭くするため、これ等試料と本体との間の相対運動を与え、前記相対運動を与えることに組み合わせて、前記光透過路に交差するように前記試料を位置決めする。 （もっと読む）

【課題】物品に位置ズレが生じていても、物品を適切に保持できる物品保持装置を提供する。
【解決手段】物品保持装置13は、物品２の側面部３，４，５に対して進退可能でそれぞれが異なる側面部３，４，５に引っ掛かるフック体21，41，51を備える。各フック体21，41，51には、対応する側面部３，４，５を検知する検知手段42，52を取り付ける。対応するフック体21，41，51を進退させる駆動手段23を各フック体21，41，51に対応して設ける。物品保持装置13は、検知手段42，52の検知に基づいて駆動手段23を制御して各フック体21，41，51の進出動作を個別に停止させる制御手段61を備える。 （もっと読む）

【課題】基板検出センサのセンサ信号を取りこぼさないようにすることで、基板搬送システムの基板搬送精度を向上させる。
【解決手段】フォーク３４を動作させる搬送アーム３１と、搬送アーム３１を駆動するアーム駆動モータ３２と、アーム駆動モータ３２の回転角度を検出するモータエンコーダ３３と、基板を検出可能な基板検出センサ４と、基板検出センサ４からのセンサ信号４１を受信し、センサ信号４１が変化すると同時にモータエンコーダ３３からのエンコーダ値を保持するラッチ回路２４と、センサ信号の変化の順番と、そのときのエンコーダ値とを各々セットにして順次記憶する記憶手段２５と、記憶手段２５に記憶されたデータをもとに基板５の位置を演算する演算部と、を備える基板搬送システム１とした。 （もっと読む）

【課題】アームやフォークを短くしても必要な移載ストロークを得ることができ、移載機を小型軽量で低価格にするとともに、さらに、旋回動作を必要とすることなく前後の棚にアクセスすることができ、動作時間を短縮化できる移載機を提供すること。
【解決手段】屈伸可能に連結された第１アーム１及び第２アーム２を左右に１対配設し、第１アーム１の基部をそれぞれ駆動軸３に接続するとともに、第２アーム２の先端部でフォーク４を支持し、各アーム１、２の屈伸によりフォーク４を進退するようにした移載機において、第２アーム２の先端部に第２アーム２の揺動に伴って一体に回転するギヤ５を固設するとともに、第２アーム２の内側で各ギヤ５に噛合する進退方向のラック６をフォーク４に設ける。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成により搬送ロボットに対して搬送対象ポイントまでのハンドの移動経路を自動的に教示することが可能な自動教示システムを提供する。
【解決手段】 自動教示システムは、第１の光学センサ７２、第２の光学センサ７４、記録手段および算出手段を実現するＣＰＵ５０を備える。第１の光学センサ７２および第２の光学センサ７４は、搬送対象ポイントに対する相対位置が予め定められるように配置される。第１の光学センサ７２は、ハンド２０の水平方向の一端部を検出可能に構成される。第２の光学センサ７４は、ハンド２０の水平方向の他端部を検出可能に構成される。ＣＰＵ５０は、第１の光学センサ７２および第２の光学センサ７４によってハンド２０の端部が検出された時におけるロボット座標系における座標値を記録するとともに、その座標値に基づいてロボット座標系における搬送対象ポイントの座標値を算出する。 （もっと読む）

【課題】位置決め装置と搬送ロボットとを具える半導体製造装置における設備立ち上げ時の各ポートでの基準位置教示の時間短縮を目的とする。
【解決手段】ウエハ等の円盤状物４７の円周と検出手段の軌跡４３とが交わる２点Ｗ１、Ｗ２を検出し、この２点とこれらを結ぶ線分の垂直二等分線４２上の特定点Ｏと円盤状物の半径ｒとを用いて円盤状物の中心位置Ａを算出する。これにより搬送ロボットに位置決め作業をさせ、その結果を用いて搬送経路の修正ばかりでなく設備立ち上げの際の基準位置教示も大部分自動化できた。ノッチがある場合は、円盤状物の円周を検出手段の２本の軌跡で検出し、正しい中心位置を見いだす。またノッチを有する半径未知の円盤状物では、その円周を検出手段の、共にノッチに掛からない距離だけ互いに離間した３本の軌跡で検出して半径を求めることで、直径の異なるウエハを用いる混合生産も可能となった。 （もっと読む）

【課題】吸着台上の被吸着物２０を真空吸着して保持する吸着装置１において、凹凸がある被吸着物２０でも確実に吸着するとともに、被吸着物２０が置かれていない吸着孔１９を確実に塞ぐようにする。
【解決手段】
前記吸着台は、複数の吸引孔１９を配し、近傍に光源１４を配し、前記吸着孔１９は、それぞれ電磁石５により開閉するバルブ機構８と、近傍にフォトセンサ１５を配し、前記被吸着物２０による前記光源１４からの光の遮断を前記フォトセンサ１５により検知して被吸着物２０の有無を判定し、被吸着物２０が置かれていないと判定したときは、前記電磁石５を駆動してバルブ機構８を塞ぐようにした。 （もっと読む）