【課題】カメラ等の画像データ入力装置を作業ヘッド近傍に備えることなく、簡易に且つ正確に動作プログラムを作成することができる自動生成プログラムおよび装置の提供。
【解決手段】作業ヘッドを作業対象物に対して相対移動させて所望の作業を行わせるための動作プログラムを自動生成するプログラムであって、作業対象物または領域の形状データを入力可能とする基準データ入力画面を表示する第１のステップと、作業対象物または領域の画像データを読み込む第２のステップと、前記読み込んだ画像データの歪みを補正する第３のステップと、前記補正された画像データを背景として移動経路を指定可能とする移動経路入力画面を表示する第４のステップと、前記入力画面で指定された移動経路に基づき動作プログラムを自動生成する第５のステップと、を有することを特徴とする自動生成プログラムおよびそれに関する装置。 （もっと読む）

【課題】吸引時の配線基板の姿勢を安定させることにより、配線基板への吸引部の接触を確実に防止することができる配線基板搬送用治具を提供すること。
【解決手段】本発明の配線基板搬送用治具１１は吸引部２０を備える。吸引部２０には、凹部の内周面にて開口するエア吹出穴が設けられる。また、配線基板搬送用治具１１には、エア吹出穴にエアを供給するエア流路２２１が設けられ、エア流路２２１上には、作業者によって操作されるスイッチ部５１が設けられる。スイッチ部５１には、エア流路２２１が延びる方向とは直交する方向に長い断面形状を有する貫通孔６１が設けられる。なお、貫通孔６１がエア流路２２１と連通しない操作位置であれば、エア流路２２１を閉鎖する閉鎖状態となり、貫通孔６１がエア流路２２１と連通する操作位置であれば、エア流路２２１を開放する開放状態となる。 （もっと読む）

【課題】イオンエアを基板主面全体に拡散させることにより、異物の除去や除電を確実にかつ均一に行うことができる配線基板の非接触搬送装置を提供すること。
【解決手段】本発明の非接触搬送装置は吸引部を備える。吸引部は、吸引面に凹部７３が設けられるとともに、凹部７３の内周面にて開口する６個のエア吹出穴８１が設けられる。また、凹部７３の中心部には、基板主面１２０に向けてイオンエアを吹き付けるためのイオンエア吹出穴８２が設けられる。各エア吹出穴８１は、仮想円Ｃ２上においてイオンエア吹出穴８２を取り囲むように設けられ、中心軸Ｃ１を基準として等角度間隔で配置されるとともに、仮想円Ｃ２の接線Ｌ１に対して同じ角度θ１だけ傾斜した状態で開口する。 （もっと読む）

【課題】寸法をより低減しながらもより大きな把持ストローク確保できるようにしたハンド装置及びロボット装置並びに機械製品の製造システムを提供する。
【解決手段】第１部材と、第１部材に固定された固定部材と、第１部材の一端部に固定された第１指部材と、第１部材の一端側から他端側にかけて設けられたスライド機構と、スライド機構にスライド自在に取り付けられた第１スライダ部材と、一端部が第１スライダに固定された第２部材と、第１部材の一端側から他端側に設けられたガイド機構と、ガイド機構にスライド自在に取り付けられた第２スライダ部材と、第２スライダ部材に固定された第２指部材と、固定部材と、第１スライダ部材との相対変位を第２スライダ部材に伝達する変位増加機構とを有して構成する。 （もっと読む）

【課題】小片部材を浮上させて安定保持し運搬すること出来る運搬装置およびその運搬方法を提供する。
【解決手段】気体の噴出により小片部材を浮上させて所定の位置へ運搬する小片部材の運搬装置であって、小片部材の外周近傍を小片部材の厚さ方向に移動可能に配置されるとともに先端付近の側面に設ける気体噴出孔を有する気体噴出体と、気体噴出体を小片部材の外周部の近傍に移動させた状態において、気体噴出孔から小片部材の下面側に気体を噴出して小片部材を浮上させる小片部材浮上手段と、気体噴出体により小片部材を浮上支持した状態で気体噴出体を所定の位置に移動させることにより小片部材を所定の位置に運搬する運搬手段と、所定の位置で噴出する気体を停止して小片部材を落下させる小片部材落下手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】被搬送物である配線基板への異物の付着を防止することにより、配線基板の歩留まりを向上することができる配線基板の非接触搬送装置を提供すること。
【解決手段】本発明の非接触搬送装置は吸引部２０を備える。吸引部２０は、吸引面２１に凹部７３が設けられるとともに、凹部７３の内周面にて開口する第１エア吹出穴８１が設けられる。非接触搬送装置は、第１エア吹出穴８１から凹部７３の内周面に沿って噴出したエアにより発生する負圧によって、配線基板１１０の基板主面１２０を吸引面２１に吸引保持して搬送する。また、凹部７３内において第１エア吹出穴８１とは異なる位置には、基板主面１２０に向けてエアを吹き付けるための第２エア吹出穴８２が設けられる。 （もっと読む）

【課題】異物の周囲への拡散を抑えて被搬送物である配線基板への異物の付着を防止することにより、配線基板の歩留まりを向上することができる配線基板の非接触搬送装置を提供すること。
【解決手段】本発明の非接触搬送装置は吸引部２０を備える。吸引部２０は、吸引面２１に凹部７３が設けられるとともに、凹部７３の内周面にて開口するエア吹出穴８１が設けられる。非接触搬送装置は、エア吹出穴８１から凹部７３の内周面に沿って噴出したエアにより発生する負圧によって、配線基板１１０の基板主面１２０を吸引面２１に吸引保持して搬送する。また、吸引部２０には、基板主面１２０上の異物を回収する集塵穴４２が、吸引面２１における凹部７３の外側領域にて開口するように配設される。 （もっと読む）

【課題】高速搬送であっても、姿勢を安定させた状態で配線基板を搬送することができる配線基板の非接触搬送装置を提供すること。
【解決手段】本発明の非接触搬送装置は吸引部２０を備える。吸引部２０は、吸引面２１に凹部７３が設けられるとともに、凹部７３の内周面にて開口するエア吹出穴８１が設けられる。非接触搬送装置は、エア吹出穴８１から凹部７３の内周面に沿って噴出したエアにより発生する負圧によって、配線基板１１０の基板主面１２０を吸引面２１に吸引保持して搬送する。また、吸引部２０には、真空引きするための真空吸着穴４５が、凹部７３の外側領域にて開口するように配設される。 （もっと読む）

【課題】被搬送物である配線基板の帯電を防止することにより、配線基板の歩留まりを向上することができる配線基板の非接触搬送装置を提供すること。
【解決手段】本発明の非接触搬送装置は吸引部２０を備える。吸引部２０は、吸引面２１に凹部７３が設けられるとともに、凹部７３の内周面にて開口するエア吹出穴８１が設けられる。非接触搬送装置は、エア吹出穴８１から凹部７３の内周面に沿って噴出したエアにより発生する負圧によって、配線基板１１０の基板主面１２０を吸引面２１に吸引保持して搬送する。また非接触搬送装置では、吸引部２０とは別体にイオナイザを設け、イオナイザから放出されるイオンエアをエア吹出穴８１から噴出するエアとして用いる。 （もっと読む）

【課題】搬送される被搬送物に搬送装置が把持や吸着するための専用の領域を新たに設けることなく、被搬送物を搬送することができる搬送装置を提供する。
【解決手段】 基板搬送装置１００は、穴部２０１が形成された基板２００を搬送可能な搬送装置であって、基板２００に向けて進退可能に設けられると共に、基板２００の表面に位置する穴部２０１の第１開口部から穴部２０１内に挿入可能な第１状態と、穴部２０１内に挿入された状態で、第１開口部と反対側に位置する第２開口部の開口縁部と係合可能な第２状態とに切替可能とされた係止機器１４０を備える。 （もっと読む）

【課題】ワークの加工装置又は検査装置において、前記フィルム状ワークを２箇所で把持して、Ｘ方向及びＹ方向に加えて回転方向の位置決めもすることができ、小型化及び低コスト化が可能なワーク把持位置決め装置及び把持装置を提供する。
【解決手段】駆動部は、Ｙ方向に延びる１対の平行なＹガイド５，１２と、Ｙガイドに沿って移動可能のＹ台座２１，３１と、Ｙ駆動部材６，１３と、Ｙ台座２１，３１上に設けられＸ方向に延びるＸガイド２，９と、Ｘガイドに沿って移動可能のＸ台座２２，３２と、Ｘ駆動部材３，１０と、を有する。把持部１，８は、ワークの一方の面に接触してこれを支持する基部と、ワークの他方に面側に設けられ水平軸を介して揺動可能な爪部材と、この爪部材を揺動させる爪駆動部と、を有し、爪部材は、爪駆動部により基部に向けて揺動したときに基部との間でワークを点で把持する。 （もっと読む）

【課題】 ホルダとスライダ間の生じる真空リークを防止し、スライダの円滑なスライド動作を確実に行なうことができるワークの吸着装置を提供する。
【解決手段】 基端外周部にフランジ１１ｇを突設させたスライダ本体１１ｂに、段部１１ｃを介して小径部１１ｄを一体的に形成し、かつ真空吸引用の通路１１ａを上下に開口させたスライダ１１を形成し、スライダ本体１１ｂの外周部に、弾性を有する中空円筒状のシース１３を、隙間を存して嵌め込み、スライダ本体１１ｂの小径部１１ｄをホルダ１２に挿通させ、前記小径部１１ｄの先端部をホルダ１２の先端部から突出させた状態で、スライダ１１をホルダ１２に対してスライド可能に保持し、前記シース１３の先端面を、ホルダ１２の基端開口面に、基端面をスライダ１１のフランジ１１ｆ上面にそれぞれ密着係合さてワークの吸着装置とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、種々の処理装置に組み込むことによって作業効率の向上および品質のばらつき抑制を実現するアライメント方法およびその装置を提供することである。
【解決手段】吸着テーブル４上に配設された複数の基板保持プレート１７の夫々にアライメントマーク２０を有する被処理基板１８を保持し、アライメントマーク撮像用カメラ１９で撮像して得られた被処理基板１８のアライメントマーク２０の位置データに基づいて吸着テーブル４の基板保持プレート１７に対応する両側に配設されたアライメント機構を制御し、夫々のアライメント機構に設けられた基板保持プレート用支持ピン１０ａ、１０ｂを介して基板保持プレート１７をＸ、Ｙおよびθ方向に制御して被処理基板１８のアライメントを行なう。 （もっと読む）

【課題】耐久性の向上を図る。
【解決手段】パッド本体３１の下面側には、弾性材料からなる弾性パッド部３２が接続されている。弾性パッド部３２は、吸着時に被吸着物である液晶パネル１１に対して当接可能とされる。パッド本体３１及び弾性パッド部３２には、内部を貫通し弾性パッド部３２における液晶パネル１１との対向面に開口する排気路４２が確保されている。パッド本体３１及び弾性パッド部３２の接続部分３４は、外周側からカバー３５によって保持されている。 （もっと読む）

【課題】把持装置の動力源にどのようなものを用いても測定対象の測定に悪影響を与えることのない把持装置の構成を提供する。
【解決手段】モータ１１０のシャフト４７に結合されたピニオン４３は、互いに平行に移動する１対のラック４１に係合している。１対のラック４１にはそれぞれ１対の爪部４５が結合されている。１対のラック４１に対して、１対の爪部４５を閉じる方向にばね１２０の付勢力が常時付与される。測定対象（把持対象物）を把持する際には、モータ１１０の駆動により、ばね力に抗して、１対の爪部４５が互いに遠ざかる方向にラック４１を平行にスライドさせる。１対の爪部４５の間に測定対象が位置した状態でモータ１１０の駆動を停止すれば、ばね力により１対の爪部４５の間隔が狭まり、測定対象が把持される。再度モータ１１０が駆動されない限り、この把持状態が維持される。 （もっと読む）

【課題】 作業効率を向上させ、作業の迅速化を図ることのできるチャック治具を提供する。
【解決手段】 ＸＹＺの三次元方向に移動可能、そして回転可能に設置された治具本体１と、この治具本体１の複数の面にそれぞれ形成された複数の凹み穴１０と、各凹み穴１０を被覆して半導体ウェーハＷ等の被保持物品を着脱自在に密着保持する複数の保持層２０と、各保持層２０に被覆された凹み穴１０の空気を外部に排気する複数の排気路３０とを備える。半導体ウェーハＷを片面持ちではなく、両面持ちで密着保持することができるので、作業の迅速化が期待できる。 （もっと読む）

【課題】多数個取り用の配線基板などを最小限の接触で且つ可及的に非接触状態を保って、表面に形成したバンプなどを損傷せず且つ割れなどを生じることなく、確実に搬送できる配線基板の搬送方法およびこれに用いる搬送装置を提供する。
【解決手段】搬送すべき配線基板Ｋの表面Ｋａと対向する底面１１の中央部を負圧にする吸引手段６と、かかる吸引手段６を挟んで左右対称に配置される一対の接触部材３０と、上記吸引手段６に対して一対の接触部材３０を下向きに押圧するコイルバネ（弾性体）２６と、を含み、かかるコイルバネ２６に抗して一対の接触部材３０を配線基板Ｋの表面Ｋａにて対向する一対の辺に線接触した際に、上記吸引手段６の底面１１は、上記配線基板Ｋの表面Ｋａに接触しない位置にある、配線基板の搬送装置１。 （もっと読む）

【課題】 把持機構が備える各部分の動きを小さくすることにより小型化が可能になるワークの把持機構およびそれを用いた把持システムを提供すること。
【解決手段】 把持爪２６を備えたハンドベース部２３と、他方の把持爪２８を備えたクランプアーム２４と、クランプアーム２４を連動させた状態でハンドベース部２３の基端側と先端側との間を移動して把持爪２８を把持爪２６に対して進退させる楔ブロック２５とで把持機構２０を構成した。そして、ハンドベース部２３に前部ガイド溝２７ａを設け、クランプアーム２４に前部ガイドピン３９ａを設けた。また、ハンドベース部２３に後部ガイド溝２７ｂを設け、クランプアーム２４に後部ガイドピン３９ｂを設けた。また、楔ブロック２５に楔ガイド溝２５ａを設けてクランプアーム２４を回転させることにより、把持爪２８を把持爪２６に押圧できるようにした。 （もっと読む）

【課題】吸盤に対する清掃や交換等のメンテナンス作業が容易にできる吸着装置とその取付構造を提供する。
【解決手段】吸着装置６０は、吸着ユニット４０の取付板４４に穿設された取付孔５４に着脱自在に取り付けられる。その構造は、下端近傍に係止部６６が形成された吸引用のパイプの下側に設けられた吸盤６２と、パイプが挿通される筒部と、筒部の上端に形成された回動操作部７４と、筒部の下端に固着され、取付孔５４に挿通されて回動することにより、その取付孔５４から抜き出し不能とされる係止プレート７６とからなるストッパー部材と、筒部が挿通され、取付孔５４を挿通不能な押さえ部材７８と、回動操作部７４と押さえ部材７８との間の筒部に挿嵌される第１コイルばね８０と、係止プレート７６と係止部６６との間のパイプに挿嵌される第２コイルばね８２とを備える。 （もっと読む）