【課題】製箔ローラ表面の凹凸を簡易に、かつ高い精度で検出し補修する製箔ローラ検査装置を提供する。
【解決手段】製箔ローラ検査装置は製箔ローラの表面に接触し研磨剤で研磨する研磨ローラと、研磨ローラに研磨材を供給する研磨材供給手段からなる研磨手段と、製箔ローラの表面を洗浄する洗浄手段と、製箔ローラの表面の凹凸を検査する検査手段と、検査結果に従い製箔ローラの表面研磨の要否を判断する制御手段と、研磨手段、洗浄手段、および検査手段を一体化した検査研磨機構を製箔ローラに対して接離方向に移動可能に支持し、製箔ローラに接近し表面の凹凸検査および表面の研磨を行う検査補修位置と、製箔ローラから離れて製箔工程への干渉を避ける退避位置との間を移動させる移動手段と、を有する。 （もっと読む）

【課題】製造プロセス中のウエハの反りを防止する。
【解決手段】基板処理装置は、ウエハにおける、サポートプレートが貼り付けられている面とは反対側の被支持面の内周部を支持する支持ピンにより支持された積層体を減圧環境下において搬送する搬送ユニット２０とを備え、製造プロセス中のウエハの反りを防止することを可能とした。 （もっと読む）

【課題】コンパクトな構造及び改善された機械強度を有する工作機械を提供する。
【解決手段】垂直な１つの前壁３とこれに対して直角に配設された２つの側壁２，２’とを有する支柱１を有する１つの機械フレームと、前壁３に配設された１つの工作物保持装置８と、工具１４，１４’を有する少なくとも１つの工具ホルダ１０とを有し、前壁３が、仮想平面Ｅ内に位置する、軸状の工作物７を加工するための工作機械において、垂直ガイド５と工作物保持装置８が、仮想平面Ｅの向かい合う両側に配設されている。 （もっと読む）

【課題】ウエーハに面焼け等の品質低下や破損を生じさせる恐れを低減可能な研削方法を提供する。
【解決手段】回転可能なチャックテーブル５４と、該チャックテーブルで保持された被加工物１１を研削する研削砥石３２を含む研削ホイール３０を回転可能に支持する研削手段と、該研削手段を研削送りする研削送り手段と、該研削砥石３２に超音波振動を付与する超音波生成手段と、を備えた研削装置で、被加工物１１を保持ステップと、該チャックテーブル５４を回転させつつ該超音波生成手段を作動させて該研削砥石３２に超音波振動を付与するとともに、該研削送り手段により該研削手段を研削送りして回転する該研削砥石３２を被加工物１１に削り込ませるステップと、該削り込みステップを実施した後、該超音波生成手段を停止させるとともに該研削送り手段により該研削手段を研削送りして被加工物１１を研削する研削ステップと、を具備する。 （もっと読む）

【課題】 ウエーハの粗研削及び仕上げ研削が効率良くできるとともに設置面積が小さいマニュアルタイプの研削装置を提供することである。
【解決手段】 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を研削する研削手段と、該チャックテーブルに被加工物を搬出入する搬出入位置と該チャックテーブルに保持された被加工物を研削する研削位置とに該チャックテーブルを位置付ける位置づけ手段とを備えた研削装置であって、該研削手段は、該搬出入位置と該研削位置とを結ぶ直線上に配設された第１の研削手段と第２の研削手段とを含み、該チャックテーブルに対して該第１の研削手段を接近及び離反させる第１の研削送り手段と、該チャックテーブルに対して該第２の研削手段を接近及び離反させる第２の研削送り手段と、を具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 加工力を常時測定しながら適切な荷重を工具スピンドルに保持した工具へ加える。
【解決手段】 固定側に垂直に装着され、エアガイドを構成するガイド軸と、ガイド軸に同軸上に嵌合した２つのエアスライダと、２つのエアスライダの一方に装着されるとともに加工工具を装着するスピンドルと、固定側に設けた滑車と、他方のエアスライダをバランスウエイトとして構成するように、滑車を介して２つのエアスライダを連結したワイヤーとを備えた。 （もっと読む）

【課題】移動可能なキャリッジとリニアガイドを備えた装置を提供する。
【解決手段】装置は、移動可能なキャリッジと、該キャリッジを案内するためのリニアガイドであって、第１滑り面を形成する第１案内経路部と、第２滑り面を形成する第２案内経路部とからなる。第１滑り面を形成するために、キャリッジは、少なくとも１つのポケットを有し、このポケットが、第１案内経路部に沿って滑ることができ、キャリッジに作用する軽減力を作り出すために潤滑剤がポケットに圧力下で保持されている。第２案内経路部は、キャリッジに作用する摩擦力を生じる島状面を有し、軽減力を作り出すために少なくとも１つのポケットに圧力媒体が保持される時に、第１滑り面が第２滑り面の荷重を軽減するように配置される。 （もっと読む）

【課題】ワークテーブルに回転支持されたワークを、コラムに設けられた砥石車により研削加工する立型研削盤において、高精度な研削加工を実施することができる配置構成を備えた研削盤を提供する。
【解決手段】砥石車３を回転支持する砥石台１０の旋回ユニット１１の旋回テーブル２１に対する配置構成は、砥石台１０に回転可能に軸承される砥石車３の砥石軸２０が旋回テーブル２１の旋回軸２１ａに対してワークＷを回転支持するワークテーブル１側となるように配置されている。これにより、旋回テーブル２１とワークＷの干渉がなくなり、旋回テーブル２１をワークＷから上下方向に離隔させる必要がなく、砥石軸２０の長さを小さく設定することができる。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構成で研削砥石に圧電振動子が生成する超音波振動を充分伝達可能な研削ホイールを提供することである。
【解決手段】 研削装置のスピンドル先端に固定されたホイールマウントに装着される研削ホイールであって、該ホイールマウントに装着される中央部に開口を有するマウント基台と、第１面及び該第１面と反対側の第２面を有し、複数の研削砥石が該第２面の外周部に固着された円板状基台と、該マウント基台の外周部及び該円板状基台の外周部を連結する環状側壁と、該円板状基台の該第１面の中央部に配設された圧電振動子と、を具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 円筒状シリコンインゴットの側面剥ぎ切断装置上で、円筒状単結晶シリコンインゴットの結晶方位を正確に検知する方法および外周刃の横揺れ幅を小さくすることができる自己補償機構の提供。
【解決手段】 加圧冷却液供給パッド一対９６ｐ，９６ｐを外周刃９１ａを挟んで外周刃の前面および後面に設け、ポンプ９６ｐより供給される加圧液体の供給管を２分岐し、分岐された供給管のそれぞれの先端を前記一対の加圧冷却液供給パッドの液体貯め空間に望ませた外周刃横揺れ自己補償機構９６。および、レーザ光反射型変位センサｓを用い、円筒状単結晶シリコンインゴットの結晶方位を正確に検知する。 （もっと読む）

【課題】均一な磨き施工が困難な構造を有する原子炉用制御棒に対し、自動化した表面処理技術を提供する。
【解決手段】原子炉用制御棒の表面処理装置１０において、回転する研磨材３５を装着したツール３０と、原子炉用制御棒の表面に当接する研磨材３５の当接力を検知する検知手段２０と、前記当接力が所定範囲になるようにツール３０をその表面に走査させる架台１１と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】均一な鋼片の面取りを能率良く自動的に行うことができる鋼片の面取り研削方法および装置を提供する。
【解決手段】スラブＳ（鋼片）の被研削面１２に平行な面内においてそのスラブＳ（鋼片）の側縁ＳＥの方向に対して所定角度傾斜させることにより、研削砥石ＧＷの外周面のうちスラブＳの側縁ＳＥに押し当てられる部分の幅方向の一端がその側縁ＳＥに接触したとき他端がその側縁ＳＥから離隔する状態としつつ、その研削砥石ＧＷをその他端側へ向かってスラブＳの側縁ＳＥに沿って移動させることから、研削砥石ＧＷをスラブＳの側縁ＳＥに沿って速やかに移動させても研削砥石ＧＷがスラブＳに食い込みがなくなるので、均一なスラブＳの面取りを能率良く行うことができる。 （もっと読む）

【課題】仕上加工用砥石車による研削体積を可能な限り少なくすることにより、仕上加工用砥石車に要するコストを低減することができる研削方法および複合研削盤を提供する。
【解決手段】複合研削盤１を用い、被加工物Ｗを支持装置２０により支持した状態で、設定された仕上取代を残すように荒加工用砥石車７３を用いて被加工物Ｗに対して荒加工を行う荒加工工程と、荒加工工程の後に、被加工物Ｗを支持装置２０により継続して支持した状態で、仕上加工用砥石車を用いて仕上取代を取り除くように仕上加工を行う仕上加工工程とを実行する。仕上取代は、複合研削盤１の熱変位量および荒加工用砥石車に起因する研削抵抗の変化量の少なくとも一方に基づいて設定される。被加工物Ｗにおいて仕上取代を残した形状は、荒加工用砥石車７３の形状に依存しない形状とされている。 （もっと読む）

【課題】ガラス板を一貫した流れ作業で供給することができ、連続して研削することができ、而して、生産量を向上させることができるガラス板の研削装置を提供すること。
【解決手段】ガラス板の研削装置１は、ガラス板２をＸ方向に直線搬送する直線搬送手段３と、直線搬送手段３により直線搬送されるガラス板２のＸ方向に伸びた両側縁４ａ及び４ｂを夫々研削する研削ヘッド５及び６を備えた第一の研削装置と、Ｘ方向において第一の研削装置に隣接していると共に、直線搬送手段３により直線搬送されるＸ方向に直交するＹ方向に伸びた前縁７及び後縁８を夫々研削する可動の研削ヘッド９及び１０を備えた第二の研削装置とを具備している。 （もっと読む）

【課題】難削材基板の研削時に基板を高精度で研削すると共に、高い剛性を有する。
【解決手段】研削盤（１０）は、多角形をなすよう配列された少なくとも三つのリニアガイド（３１〜３３）と、これらリニアガイドに沿って摺動可能に取付けられたサドル（３４）と、サドルの下端に取付けられていて、サドルの摺動方向回りに回転可能な研削ホイール（３６）と、研削ホイールに対面して配置されていて、基板（Ｗ）を保持しつつ回転可能なチャック（２９）と、を具備し、研削ホイールが基板を研削する研削部位（Ｂ）がリニアガイドにより形成される多角形の重心に対応する位置に配置されている。さらに、研削ホイールをチャックに向かって送込む研削送り部（３７、３８）を具備し、研削ホイールを送込む送込み方向は、研削ホイールが基板を研削する研削部位と重心とを結ぶ直線上に在るのが好ましい。 （もっと読む）

【課題】簡単な機構によりワークの形状ばらつきに追従して研磨加工を行う装置を提供する。
【解決手段】ワーク１００を研磨する砥石４２と、砥石４２が取り付けられた砥石回転軸４４と、砥石回転軸４４を回転させる駆動部４６と、砥石４２を移動させるベース５４，５６とを備えた研磨装置１０において、ベース５４，５６は、駆動部４６が配設された第１ベース５４と、砥石回転軸４４が回転可能に配設され第１ベース５４に対して砥石回転軸４４に沿った方向へ移動可能に設けられた第２ベース５６とを備え、砥石回転軸４４の軸方向の移動を許容し、かつ、駆動部４６から砥石回転軸４４に対して回転力が伝達可能な動力伝達機構５２が、駆動部４６と砥石回転軸４４との間に配設されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】シリコンインゴットの角部の面取りの幅を従来のシリコンインゴット面取り装置に比較して能率良く一定にできるシリコンインゴット面取り装置を提供する。
【解決手段】一対のガイドローラ装置１８，２０をそれぞれ一対の側面２２ａ，２２ｂ上に当接させた状態で一対のガイドローラ装置１８，２０をその一対の側面２２ａ，２２ｂに沿ってシリコンインゴット２２の長手方向に移動させると、研削布紙１２はシリコンインゴット２２の角部２２ｃの断面において研削布紙１２の下面１２ａの位置と角部２２ｃの先端の位置とが位置決めされながら研削布紙１２の下面１２ａによって略一定の研削高さＨで角部２２ｃを研削してシリコンインゴット２２の長手方向に案内されるので、シリコンインゴット２２の角部２２ｃを研削高さＨだけ研削しその研削により形成された角部２２ｃの面取りの幅Ｍが従来のシリコンインゴット面取り装置に比較して能率良く一定にされる。 （もっと読む）

【課題】複数の加工テーブルで並行してウェーハを面取り加工し、スループットを向上させるとともに、砥石の総数を抑えて装置全体のコストやサイズを低減させ、維持管理も容易であるウェーハの面取り装置を提供する。
【解決手段】ウェーハ１を戴置する複数の加工テーブル２と、上記ウェーハ１の周縁部を面取りするための複数種類の加工工程にそれぞれ対応した異なる加工特性を有する複数の砥石３、４、５、６と、上記各砥石３、４、５、６をそれぞれ上記加工テーブル２間で移動させる砥石移動手段とを有し、上記各砥石３、４、５、６が、それぞれ一つの加工テーブル２に接近してウェーハ１を面取り加工し、次いで他の加工テーブルに順次移動して加工することを繰り返すことにより、複数の上記ウェーハ１、…１を上記複数の砥石３、４、５、６が同時並行して面取りする。 （もっと読む）

【課題】レンズを粗加工から仕上げ加工まで行う際に、種々の番手の砥石をホイールヘッドのスピンドルに交換しながら取付けて精度良く、しかも効率良く研削することが出来る砥石自動交換装置を備えたレンズ研削装置を提供する。
【解決手段】レンズ研削装置１は、ワークＷの着脱可能なワークホルダー２とワークＷの表面を研削する種々の番手の異なる砥石Ｔの交換可能なホイールヘッド３を有するスピンドル４とを備えた研削装置本体５と、研削装置本体５の側部に前記ワークＷの加工に対応した種々の砥石Ｔを交換保持するための移動かつ旋回可能なマガジン本体を備えた自動砥石交換装置７とを備えている。自動砥石交換装置７は、支持フレーム上に水平に設置されたベース部材上に二本のレールから成るガイド部材及び駆動手段を介して規定領域を水平方向に往復移動可能なスライドプレートが設置してある。 （もっと読む）