【課題】各生産装置の稼働率が低下することを抑制することができると共にリードタイムの増加を抑制することができる搬送システムおよびその制御方法を提供する。
【解決手段】複数の生産装置それぞれに対する保管庫に収容されている合計カセット数を示す保管庫データを作成し、保管庫データに基づいて合計カセット数が閾値以上である場合には当該カセットを処理する生産装置を特定装置とする特定装置データを作成する。そして、特定装置データに基づいて搬送元移載箇所または搬送先移載箇所が特定装置である搬送指示の優先度を高いものに変更し、搬送元エリアに搬送指示が割付けられていない搬送台車がなく、選択した搬送指示の優先度が搬送指示変更部で高いものに変更され、かつ搬送元エリアに搬送指示が割付けられているがカセットを搭載せずに搬送元エリアを搬送している搬送台車がある場合、当該搬送台車に改めて選択した搬送指示を割付ける特別割付けを行う。 （もっと読む）

【課題】搬送ラインの途中において、薄板状ワークの搬送方向に沿う両側縁部以外の部分に接触することなく、一時保管可能な薄板状ワーク保管装置を提供する。
【解決手段】ガラス基板Ｗを支持する棚段３１を上下方向に複数具備して、複数枚のガラス基板Ｗを互いに間隔をおいて積層状態で格納可能としたワーク格納カセット３と、カセット昇降機構５と、ガラス基板Ｗにワーク格納カセット３の棚段３１に対する搬入搬出の移動力を付与する駆動ローラ６を備え、棚段３１は、ガラス基板Ｗの搬入搬出方向と直交する方向に対向配置されて、ガラス基板Ｗの両側縁部Ｗｓと当接して上方への湾曲状態を保持しつつ回転する一対のローラ３２，３２をガラス基板Ｗの搬入搬出方向に複数組具備している。 （もっと読む）

【課題】基板を収納する端数カセットを減らし、カセットを格納するストッカー規模を縮小し、更に従来行われていたオペレーターによる端数カセットに収納されていた基板の集約混載、及び生産工程へ投入するロットの基板を集約混載されたカセットから選び出し事前準備することを可能とした在庫管理システム及び在庫管理方法を提供する。
【解決手段】予定管理部と、設定管理部と、ライン管理部と、実績管理部と、カセット情報管理部と、に基づいて端数カセットに格納されている基板を集約混載すると判断または集約混載されているカセットから当該工程へ投入予定の基板を事前準備して当該工程へ投入可能なカセットを用意すると判断する判断部と、カセット搬送指示をストッカー設備に通知するストッカー搬送管理部と、カセット搬送指示に従ってカセット内の基板のソート計画を作成するソート計画部と、を備えたことを特徴とする在庫管理システム。 （もっと読む）

【課題】経路上に進入禁止区間が設けられた場合であっても、効率的な搬送作業を可能とする搬送車システムを提供すること。
【解決手段】経路１４０と、複数の搬送車３００と、複数の搬送車３００の制御を行うコントローラ１２０とを備える搬送車システム１００であって、ＭＣＳ１２０は、搬送要求を受信する通信部１２１と、進入禁止区間を示す区間情報および予備期間を示す予備期間情報を記憶する記憶部１２２と、搬送要求が、予備期間内において実行の開始が予定され、かつ、目的地が進入禁止区間に含まれている特定搬送要求であるか否かを判定する判定部１２５と、当該搬送要求が特定搬送要求であると判定された場合、目的地の代わりとなる代替目的地を決定する代替目的地決定部１２６と、決定された代替目的地に、複数の搬送車２００のうちのいずれかの搬送車２００を向かわせるための搬送指令を送出する指令送出部１２７とを備える。 （もっと読む）

【課題】 クリーンルームで行われる半導体製造プロセス等において、棚に運搬容器を保管する際に塵埃が発生し、また他のエリアで運搬容器に付着した塵埃が落下して、同じ棚に保管されている他の運搬容器に付着する可能性があった。
【解決手段】 棚１０は、クリーンルームで用いられるものであり、少なくとも１段の棚板１１を有する。各棚板１１は、所定の間隔Ｇをあけて上下に対向配置された上板部１２と下板部１３とを有している。上板部１２は、空気を通過させる複数の開口部１４を有している。下板部１３は、少なくとも上板部１２の開口部１４に対向する部分に、塵埃を捕捉する塵埃捕捉部（粘着マット１５）を有している。 （もっと読む）

【課題】複合搬送装置及びそれを用いた搬送方法を提供する。
【解決手段】複合搬送装置は、基台と、少なくとも一つの積み込み機構と、降ろし機構と、を備えている。基台は当該基台上に少なくとも一つのカセットを備えている。積み込み機構は基台の一側に隣接し、カセットに複数の目的物を積み込むために用いられる。他方、降ろし機構は、基台の他側に隣接し、カセットから複数の目的物を降ろすために用いられる。基台は少なくとも二つの領域を備え、各々の領域は積み込み機構又は降ろし機構に隣接し、カセットは、目的物の積み込み動作及び降ろし動作を実行するために、二つの領域の間を移動する。 （もっと読む）

【課題】
簡単な制御でファンフィルタユニットの消費電力を低減する。
【構成】
クリーンルーム用の自動倉庫は、棚と、棚の間口へクリーンエアを送風する複数のファンフィルタユニットと、倉庫内搬送装置と、ファンフィルタユニットと倉庫内搬送装置とを制御するコントローラとを備えている。コントローラは棚を物品の入庫位置が属する清浄エリアと省エネエリアとに区分し、清浄エリアへのクリーンエアの送風量を省エネエリアに比べて大きくするように、複数のファンフィルタユニットを制御する。 （もっと読む）

【課題】工程の形態に合わせて柔軟に構成の変更が容易な電子部品の検査装置、測定装置、包装装置およびシステムを提供すること。
【解決手段】電子部品を検査する検査部４ａと、検査部４ａに供給する複数の電子部品を貯留する供給貯留部１２と、検査部４ａにて検査された後の複数の電子部品を貯留する排出貯留部２２と、排出貯留部２２に貯留された複数の電子部品を、次工程の別の下流側装置からの信号を受けて当該下流側装置に送り出すエジェクタ装置３０と、前工程の別の上流側装置に対して電子部品を送り出すように信号を送る制御装置６０と、を有する検査装置である。供給貯留部１２は、上流側装置から送り出される電子部品を受け取るための受取接続部４４を有し、排出貯留部２２は、下流側装置へ電子部品を送り出すための送出接続部３４を有する。 （もっと読む）

【課題】ラックに設置されてトレイと連結され、地震や外部衝撃時に振動がラックに加わってトレイが揺れる時にともに揺れるコネクタユニットを備えることによって、トレイとコネクタユニットとの電気的接続が解除されることを防止することができるエネルギー貯蔵システムを提供する。
【解決手段】複数のバッテリーセル、前記複数のバッテリーセルが収納されるように形成される複数のトレイ、および前記複数のトレイが収納されるように形成され、複数の結合プレートと前記複数の結合プレートに設けられた複数のコネクタユニットを含むラックを含み、前記コネクタユニットは前記結合プレートと接触し、締結ホールを含むベースプレート、およびワッシャーヘッド部と、前記ワッシャーヘッド部に連結され、前記締結ホールを通過して前記結合プレートに結合されるワッシャーボディー部を有するフロートワッシャーを含み、前記締結ホールの直径が前記ワッシャーボディー部の直径より大きい。 （もっと読む）

【課題】マガジンの移動機構を簡単化して製造コストを低減することができる液剤塗布装置及び液剤塗布方法を提供することを目的とする。
【解決手段】液剤塗布前の基板４を収容した基板供給用のマガジン５が設置される基板供給部Ｒ１、基板供給部Ｒ１に設置された基板供給用のマガジン５から取り出されて作業位置に移送された基板４に液剤Ｑを塗布する塗布ヘッド１４、液剤塗布後の基板４を収容する基板回収用のマガジン５が設置された基板回収部Ｒ２を備えた液剤塗布装置１において、基板供給部Ｒ１に設置された基板供給用のマガジン５を新たな基板供給用のマガジン５に交換する場合に、基板回収部Ｒ２から基板回収用のマガジン５を取り除いてその基板回収部Ｒ２にそれまで基板供給部Ｒ１に設置されていた基板供給用のマガジン５を次に使用する基板回収用のマガジン５として移動させた後、基板供給部Ｒ１に新たな基板供給用のマガジン５を設置する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、一般的には、ＲＦＩＤアンテナが、コンテナ上に取付けられたＲＦＩＤタグから情報を入手することを可能にする装置に関する。
【解決手段】本装置は、アンテナが発生したＲＦ場を、ＲＦＩＤタグの近くの位置に再現する。一実施の形態では、本装置は、ピックアップデバイスと、ピックアップデバイスに電気的に結合された再現デバイスとを具備する。別の実施の形態では、本装置は、アンテナとＲＦＩＤタグとの間を走るＲＦ場のための磁路を作る少なくとも１つの磁気ロッドを具備する。別の実施の形態では、本装置は、ピックアップアンテナと再現アンテナとを具備し、再現アンテナは、該再現アンテナからＲＦＩＤタグの近くにＲＦ信号を伝送するようになっている。 （もっと読む）

【課題】サイズの小型化を図り、面積生産性を向上させることができる液剤塗布装置及び液剤塗布方法を提供することを目的とする。
【解決手段】液剤Ｑが塗布される前の基板４を収容した基板供給用のマガジン５が設置される基板供給部Ｒ１、基板供給部Ｒ１に設置された基板供給用のマガジン５から取り出されて作業位置に移送された基板４に液剤Ｑを塗布する塗布ヘッド１４、塗布ヘッド１４により液剤Ｑが塗布された基板４を収容する基板回収用のマガジン５が設置された基板回収部Ｒ２を備えた液剤塗布装置１において、基板供給部Ｒ１と基板回収部Ｒ２が上下方向に並んで位置する。 （もっと読む）

【課題】高効率のマテリアル取扱システム（ＡＭＨＳ）を提供する。
【解決手段】本発明は、マテリアル取扱システムであり、複数の貯蔵容器を含み、各貯蔵容器は、少なくともマテリアルの１ユニットを保持するようになっている少なくとも一つの貯蔵ユニット、及び、少なくとも一つのオーバーヘッドホイストを含み、このオーバーヘッドホイストは、所定の位置へ搬送するために複数の貯蔵容器の選ばれた一つにおける少なくとも一つのマテリアル・ユニットに直接にアクセスできるオーバーヘッドホイスト搬送サブシステム、を備える。 （もっと読む）

【課題】
共通のシミュレーション結果に対し、複数の端末で各々の観点から解析を行う。
【構成】
処理装置間でワークを搬送する搬送車システムをシミュレーションする。搬送車システムでの複数の仮想的な搬送車の走行をシミュレーションし、シミュレーションにより得られたデータと搬送車システムの背景画像とを複数の端末へ送信する。各端末は、データを画像として表示する搬送車システム内のエリアと時間の範囲とを端末毎にユーザが指定し、指定された範囲内のデータを画像化すると共に搬送車システムの背景画像と合成し、合成された画像をモニタに表示する。 （もっと読む）

【課題】
半導体等の生産計画に沿って搬送車システムを動作させた際の状況をシミュレーションする。
【構成】
処理装置での仮想的な生産計画を管理し、生産計画に従って、仮想的な搬送車への走行計画を作成し、作成した走行計画に従って、仮想的な搬送車の位置と速度を時間の関数として表す走行スケジュールを作成し、走行スケジュールに従って仮想的な搬送車を、実在の搬送車システムの制約に従って、かつ搬送車間の干渉を回避するように走行させる。 （もっと読む）

【課題】カラーフィルタ製造ラインでカセット交換の際に製造ラインへの基板投入や、製造ラインからの基板回収時に発生する、投入、回収停止が無く、しかも設置場所のスペースを縮小することが出来、更に設備費用の削減を可能とする、ローダとアンローダを提供する。
【解決手段】ローダ本体と、その下流に第一のコンベアバッファを備え、ローダ本体はローダ本体上にセットされた第一のカセットからガラス基板を１枚ずつ外部に取り出す機能を有し、第一のコンベアバッファは、第一のコンベアと、第一のバッファで構成され、第一のコンベアは、前記１枚ずつ取り出されたガラス基板を下流に設置された第一の処理装置に直接搬送する機能と、前記第一のバッファに収納する機能と、を有し、更に前記第一のコンベアは、前記第一のカセットの交換時に第一のバッファに収納したガラス基板を前記下流に設置された第一の処理装置に搬送することを特徴とするローダ。 （もっと読む）

【課題】処理装置の制御負荷の増加を回避しながらも、処理作業効率の向上を図ることができる処理設備を提供する。
【解決手段】複数の処理装置１及び処理対象物を貯留する貯留装置Ｑを経由する搬送ラインに沿って走行して処理対象物を搬送する搬送車３を管理する搬送管理手段ＨＣが、処理装置１から主管理手段ＪＣに対して通信される処理進行情報を監視して、複数の処理装置１のうちで、処理対象物の処理が終了した又は終了間近である処理装置１を、主管理手段ＪＣから搬送指令情報が通信されてくる以前に、事前搬送元として抽出し、その処理装置１から処理対象物を搬出するために、事前搬送元として抽出した処理装置１に対して搬送車３を走行させる事前搬送制御を実行するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】被搬送物の位置ずれを効率良く補正することができる搬送車を提供する。
【解決手段】搬送車１は、走行台車３と、ターンテーブル９と、カセットＷ載置すると共に、所定の伸縮方向に沿って伸縮してカセットＷを出し入れする移載装置１１と、移載装置１１にカセットＷが載置されたときに、伸縮方向におけるカセットＷの第１位置を検出する第１位置検出センサ１３と、移載装置１１にカセットＷが載置されたときに、伸縮方向に水平面で直交する方向におけるカセットＷの第２位置を検出する第３位置検出センサ１７と、移載装置１１がカセットＷを取り込んでからカセットＷの移送先に到達するまでに、カセットＷの位置ずれの補正量を算出し、補正量を加味した走行台車３の移動量、ターンテーブル９の回転量及び移載装置１の伸張量を設定するコントローラ１９とを備える。 （もっと読む）

【課題】処理ラインの生産効率を低下させることなく、カセット搬送を行うことを可能とする仕掛りカセット搬送制御システムを提供する。
【解決手段】ガラス基板を処理する処理ラインの基板回収装置から、仕掛り中の基板を収納するカセットを搬送制御するシステムであって、カセットに収納されたガラス基板を一時的に保管するストッカ設備を管理するストッカ設備管理システムと、予め設定されたカセット搬送の優先度情報と、過去のカセット搬送における目標時間に対するカセット搬送情報と、ガラス基板の処理ラインにおけるカセット搬送に影響を与える要因情報と、に基づいてカセット搬送の指示を行う工程管理システムと、を備えたことを特徴とする仕掛りカセット搬送制御システム。 （もっと読む）

【課題】複数のウエハ型被処理物を一時保管するための装置および方法を提供する。
【解決手段】本発明は複数のウエハ型被処理物１７を一時保管するための装置に関し、この装置は、フレーム１と、少なくとも２つの搬送要素３とを備え、搬送要素は、各々、フレームに接続された上側と下側の偏向装置５の周りを垂直方向に循環し、被処理物１７を水平方向に載せるための等間隔の複数の支持領域４を有し、各搬送要素３の偏向装置５のうち少なくとも一方が駆動され、搬送要素３間に空きスペースがある。装置はさらに上側の偏向装置５間の搬入位置３３を備える。搬入位置で、各被処理物１７を対応する支持領域４上に配置できる。装置はさらに、搬入位置３３の下方の、水平搬送装置７、８、９を含む静止取出し装置を備え、静止取出し装置の第１の端部は、搬送要素３間の空きスペース内にある。本発明はまた、上記装置を用いる、複数のウエハ型被処理物１７の一時保管方法に関する。 （もっと読む）