【課題】直胴部と受け皿部との境界部分からのＳｉＯガスの漏洩を防止し、ＳｉＣ化の早期進行を防止するようにしたカーボン製ルツボを提供する。
【解決手段】シリコン等の金属単結晶引上げ装置に使用される石英ルツボ４を保持するためのカーボン製ルツボ５であり、直胴部９と受け皿部１０とが分割されて構成されている。石英ルツボ４とカーボン製ルツボ５との間には、カーボン製ルツボ５の内面の、少なくとも直胴部９と受け皿部１０との境界部分Ａを覆うように、黒鉛質シート１１が配置されている。黒鉛質シート１１は膨張黒鉛シートである。 （もっと読む）

【課題】炭素電極の原料として低品質な仮焼石油コークスを使用することができ、かつ、熱膨張係数が低く、高品質な炭素陽極を得ることができる炭素陽極の製造方法を提供する。
【解決手段】アルミニウム精錬用の炭素陽極の製造方法であって、溶剤を用いて石炭を改質して、改質炭である無灰炭を製造する無灰炭製造工程と、前記無灰炭を炭素化処理して無灰炭コークスとする炭素化工程と、前記無灰炭コークスと、生石油コークスを仮焼して得られた仮焼石油コークスと、を混合して炭素材料とする炭素材料製造工程と、前記炭素材料を加熱処理して炭素陽極とする炭素陽極製造工程と、を含み、前記炭素材料製造工程において、前記炭素材料の粒度配合として、粒径が０．２５ｍｍ以上の粒部を、前記無灰炭コークスと前記仮焼石油コークスとで構成し、粉径が０．２５ｍｍ未満の粉部を、２．０質量％以上の硫黄を含有する前記仮焼石油コークスで構成するように混合する。 （もっと読む）

【課題】金属不純物でシリコンウエハの汚染を大幅に少なくすることが可能なガラス状炭素製プラズマエッチング用電極を提供する。
【解決手段】貫通孔内壁を含む全表面に付着した鉄付着量が、全表面積に対し、２μｇ／ｃｍ^２以下であるガラス状炭素製プラズマエッチング用電極。 （もっと読む）

【課題】内側るつぼの損傷および傾きを防いで作業性を向上することができ、また、圧縮率が高くても、ガス遮蔽性が保たれることにより、外側るつぼのＳｉＣ化や減肉等の発生を防ぐことができるるつぼ用保護シートを提供する。
【解決手段】内側るつぼ２と外側るつぼ３を有するるつぼ１において、両るつぼの間に配設される膨張黒鉛からなるシート４であって、ガス透過率が、１．０×１０^−４ｃｍ^２／ｓより小さく、厚さ方向から34.3ＭＰａの加圧力で加圧圧縮したときにおいて、圧縮率が２０％以上である。 （もっと読む）

【課題】内側るつぼの損傷および傾きを防止して作業性を向上することができ、また、圧縮率が高くても、外側るつぼから内側るつぼに均一に熱を伝えることができる程度に熱伝導率が保たれることにより、製品品質の低下を防ぐことができるるつぼ用保護シートを提供する。
【解決手段】内側るつぼ２と外側るつぼ３を有するるつぼ１において、両るつぼの間に配設される膨張黒鉛からなるシート４であって、面方向の熱伝導率が、１２０Ｗ/（ｍ・Ｋ）以上であり、厚さ方向から34.3ＭＰａの加圧力で加圧圧縮したときにおいて、圧縮率が２０％以上である。 （もっと読む）