【課題】半導体ウェハー等の光照射工程においてウェハー上のひずみの発生を抑制し、それにより半導体チップ製造における歩留まりを向上する。
【解決手段】本発明は基板に付された光硬化材料を硬化させるために閃光放電ランプを点灯させる閃光放電ランプ点灯装置を提供する。閃光放電ランプ点灯装置は、入力電圧を昇圧する昇圧回路及び昇圧回路の出力を充電する蓄電回路からなる昇圧充電回路、閃光放電ランプを絶縁破壊させて蓄電回路からのエネルギーを閃光放電ランプに投入させるための始動回路、並びに閃光放電ランプに複数回にわたる一連の点灯を行わせるために昇圧充電回路及び始動回路を制御する制御部を備え、制御部は、一連の点灯において、相対的に低いエネルギーを蓄電回路に充電して点灯させる弱照射モードの後に相対的に高いエネルギーを蓄電回路に充電して点灯させる本照射モードを適用するように構成される。 （もっと読む）

【課題】３８００〜４５００Ｋの高色温度のセラミックメタルハライドランプにおいて、高演色かつ高効率なランプを提供する。
【解決手段】セラミックス製発光管における壁面負荷を２０〜３０Ｗ／ｃｍ^２として、発光管に発光物質としてハロゲン添加物のヨウ化物を封入する。ハロゲン添加物のヨウ化物は（１）ヨウ化ディスプロシウム（ＤｙＩ_３）、（２）ヨウ化ツリウム（ＴｍＩ_３）、（３）ヨウ化セリウム（ＣｅＩ_３）、（４）ヨウ化ナトリウム（ＮａＩ）、（５）ヨウ化カルシウム（ＣａＩ_２）、及び（６）ヨウ化タリウム（ＴｌＩ）からなり、上記（１）〜（６）の総量に対して（１）ヨウ化ディスプロシウム（ＤｙＩ_３）を７ｍｏｌ％以上１２ｍｏｌ％以下とし、かつ、（１）ヨウ化ディスプロシウム（ＤｙＩ_３）に対する（３）ヨウ化セリウム（ＣｅＩ_３）の封入ｍｏｌ比（ＣｅＩ_３／ＤｙＩ_３）を０．２以上０．６以下とした。 （もっと読む）

【課題】搭載された高圧水銀ランプをフル・スタンバイ点灯する紫外線照射装置において、スタンバイ点灯からフル点灯に切り替えた直後に、所定の波長の範囲の積算光量が時間的に変動しない所望の紫外線を照射することができる紫外線照射装置を提供すること。
【解決手段】発光管内に水銀が封入され、管壁負荷が１０〜３０Ｗ／ｃｍ^２である高圧水銀ランプと、該高圧水銀ランプに供給する電力を、定格電力によって点灯させるフル点灯モードと、該フル点灯モードよりも低い電力によって点灯させるスタンバイ点灯モードとを切換可能に駆動できるランプ点灯装置とを備える紫外線照射装置において、前記フル点灯モード時の前記高圧水銀ランプより放射される波長５２５ｎｍの照度Ｉｆと、スタンバイ点灯モード時の該高圧水銀ランプより放射される波長５２５ｎｍの照度Ｉｓとの比をＩｓ／Ｉｆ（％）とし、Ｉｓ／Ｉｆが３０％以上、１００％未満であること。 （もっと読む）

【課題】両端に第１電極と第２電極が配置された長尺状の発光管よりなるフラッシュランプおよびフラッシュランプ発光装置において、フラッシュランプを長尺化しても、パルス幅の伸びを抑制しつつ、充電電圧を小さくすることができる構造のフラッシュランプ及びフラッシュランプ発光装置を提供することである。
【解決手段】前記フラッシュランプの発光管の中間部には、第３電極が配設されるとともに、これらの隣り合う全ての電極間で個別に且つ同時に閃光放電することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 アーク放電の揺らぎの発生を抑制することができるフラッシュランプを提供する。
【解決手段】 フラッシュランプ１では、陰極６０の先端部分６２と陽極７０の先端部分７２とが基準線ＲＬ上において対向しており、基準線ＲＬを含む基準面ＲＳに対して、トリガ電極８０の先端部分８２が一方の側に位置し、トリガ電極９０の先端部分９２が他方の側に位置している。さらに、トリガ電極８０の先端部分８２の終端８２ａ及びトリガ電極９０の先端部分９２の終端９２ａが基準線ＲＬから離れており、各先端部分８２，９２が、基準線ＲＬに近くなるほど先細りとなるように形成されている。これにより、陰極６０の先端部分６２の終端部からトリガ電極８０の先端部分８２の終端部及びトリガ電極９０の先端部分９２の終端部を経由して陽極７０の先端部分７２の終端部に至る経路という限られたＲで、アーク放電が生じることになる。 （もっと読む）

【課題】人体に安全でかつ低コストで紫外線硬化樹脂を硬化させることができるフラッシュランプ、及び同フラッシュランプを用いた紫外線照射装置を提供することを目的とする。
【解決手段】キセノンを主成分とする放電ガス５が封入された発光管２を備えるフラッシュランプ１において、発光管２は２７０ｎｍ近傍の紫外線を遮蔽する耐熱ガラスより形成され、発光管２の電位傾度が単位発光長あたり７０Ｖ／ｃｍ以上１５０Ｖ／ｃｍ以下の範囲となる電圧で紫外線を含むパルス光が発生し、このパルス光が３２０ｎｍ以上４５０ｎｍ以下の範囲内でピーク波長を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】光源から出射される光出力を高いものとするとともに、発生した光を無駄にすることなく効率良く利用することが可能な光源装置を提供する。
【解決手段】光源装置であって、放電媒体が封入された発光部を有するランプと、前記ランプから出射した光を反射する凹面形状の反射面と光出射方向側に設けられた開口とを有し、前記ランプから出射した光を反射して前記開口より出射する凹面反射鏡と、前記凹面反射鏡の前記開口側からレーザー光を入射させ、レーザー光を前記ランプに照射するレーザー発振器と、前記レーザー発振器から出射したレーザー光の形状をリング状に成形するための成形部材と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ランプの放射光を効率的に利用できるとともに、小型化の要請に適した光学装置を提供することである。
【解決手段】放電ランプ１０と凹面反射鏡２０よりなる光学装置において、（イ）凹面反射鏡２０は、前方楕円面反射鏡部分２１、中央球面反射鏡部分２２および後方楕円面反射鏡部分２３から構成される。（ロ）仮想接線ＶＴＬと光軸Ｚがなす角度αと、仮想直線ＶＳＬと光軸Ｚがなす角度βの関係がβ＞αとなる。（ハ）電極Ｅ１の体積Ｖ（ｍｍ^３）と、ランプ電力（Ｐ）との関係が、０．０７×ＥＸＰ（０．０１４×Ｐ）＜Ｖを満たす。 （もっと読む）

【課題】人間の目の残像作用により発光体を制御し省エネルギーを達成する方法を提供する。
【解決手段】発光モジュールの制御回路に交換制御回路を配置することにより時間周期ごとに分割した高周波および低周波電流の出力信号を提供し、単位時間ｔを分割して信号を出力し、そして交換制御回路に対応する高効率出力回路により出力効率の異なる電流を出力し、それぞれ一定の時間正常な電流、一定の時間省エネルギー電流を供給するという間歇方式により電流を制御して発光モジュールを発光させ、かつ発光モジュールが正常な電流を受けて発光する周波数を１６回／秒またはそれ以上に設定する。 （もっと読む）

本発明は定格出力１．５ｋＷを超える直流電流動作用の水銀高圧放電灯に関する。本発明によれば、水銀高圧放電灯は少なくとも一部の領域がタングステン成分を含む材料から成るアノードを有しており、該アノードの材料は２００個／ｍｍ^２を超える粒子数および１９．０５ｇ／ｃｍ^３より大きい密度を有する。
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【課題】水銀ランプの点灯時間の影響を受けることなく、経過によらず、波長２００ｎｍ以下の紫外線の発生を抑えるとともに、波長２５０〜３５０ｎｍの光を良好に放射できるショートアーク型水銀ランプを提供すること。
【解決手段】石英ガラスからなる発光部１１に陰極２０と陽極３０が対向して配置され、発光部１１の中に水銀が２〜１２（ｍｇ/ｃｍ^３）、少なくともアルゴン（Ａｒ）もしくはクリプトン（Ｋｒ）が１〜８気圧封入させて、発光部１１の肉厚ｔ（ｍｍ）と、発光部１１に含まれるチタン濃度ｎ（ｗｔ・ｐｐｍ）の関係が、２０≦ｎ×ｔ≦１２０を満たすことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】冷陰極蛍光ランプ１を別のガラス管２で覆い、隙間を真空断熱層３として、両端を封止した構造の二重管冷陰極蛍光ランプの課題は、第１に、冷陰極蛍光ランプ１の外壁とガラス管２の内壁とが接触して、真空断熱層３の断熱効果が消失するのを防止することと、第２に、ガラス管の第一封止部２１の加熱封止が、冷陰極蛍光ランプの第一封止部１１の再加熱負担となり、クラック等の封止破壊が発生するのを防止することである。
【解決手段】第１の課題の解決手段は、真空断熱層３のスペーサ手段として、冷陰極蛍光ランプ１の外周にコイルばね３２を巻き付けることである。第２の課題の解決手段は、ガラス管の第一封止部２１に、予めフリットガラス２４を塗布し仮焼成した上で、大気圧中での加熱封止を行うことで、加熱を通常よりも短時間として、冷陰極蛍光ランプの第一封止部１１の再加熱負担を軽減することである。 （もっと読む）

【課題】 小型化や密閉化等により発光管の周囲温度がより高温になったとしても、光の利用率の低下を抑制し得るランプユニットを提供すること。
【解決手段】 内部に放電室１８が形成された発光管１６を有する高圧放電ランプ１２と、凹面の反射面を有し、かつ前記放電室１８からの射出光を反射して集光する反射鏡である回転楕円面鏡１４と備えたランプユニット１０であって、前記発光管１６のうち、前記放電室１８を形成している発光部２０の外面には、複数の凸部５０が形成されており、前記凸部５０は、前記放電室１８からの射出光の一部を反射させて前記放電室１８へ一旦戻し、前記反射面へと射出させるプリズムを構成している。 （もっと読む）

【課題】
洗浄や表面改質・殺菌等の用途に適した長寿命かつ高強度の紫外線を発生するフラッシュランプを提供すること。
更に、フラッシュランプからの紫外線を応用した用途において、工業的に要求されるラインスピードに見合うスピードで殺菌を行うことができて、長時間の使用においても紫外線強度が低下することがない、フラッシュランプを用いた殺菌方法及び装置を提供すること。
【解決手段】
単結晶アルミナからなる発光管を具備したフラッシュランプであり、管壁負荷が４０ｋＷ／ｃｍ^２以上で点灯するものにおいて、Ｃｒ濃度が０．１ｗｔ．ｐｐｍ以上、５０ｗｔ．ｐｐｍ以下の発光管を用いる。
更にこのフラッシュランプの放射光を用い、波長１３０ｎｍ〜１０００ｎｍの範囲の積分放射強度Ａと、波長１３０ｎｍ〜３００ｎｍの範囲の積分放射強度Ｂとの比率Ｂ／Ａが０．０８以上でランプを点灯すると高い殺菌効果が得られえる。 （もっと読む）

【課題】
電極間色温度差を低減した直流点灯形の水銀フリーのメタルハライド放電ランプおよびこれを点灯するメタルハライド放電ランプシステムを提供する。
【解決手段】
メタルハライド放電ランプは、耐火性で透光性の気密容器１と、気密容器１内に封装された一対の電極２Ａ、２Ｂと、ハロゲン化物および希ガスを含み、かつ、本質的に水銀を含まないで気密容器１内に封入された放電媒体とを具備し、気密容器１内に流れるランプ電流の向きが時間とともに変化しない単一方向で、かつ、放電媒体の放電アークが音響的共鳴現象を利用して電極間を結ぶ直線方向に矯正されるように点灯される。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、電極間の色温度差を許容範囲内にした直流点灯用として好適なメタルハライド放電ランプおよびこれを点灯するメタルハライド放電ランプシステムを提供する。
【解決手段】
メタルハライド放電ランプＭＨＬは、耐火性で透光性の気密容器１と、一対の電極２Ａ、２Ｂと、ハロゲン化物および希ガスを含んで封入され、かつ、本質的に水銀が封入されていない放電媒体とを具備し、気密容器内に流れる電流の向きが時間とともに変化しない単一方向で点灯した際に、一方の電極の先端から電極間距離の１／８間での範囲における相関色温度をＴ_Ａ（Ｋ）とし他方の電極の先端から電極間距離の１／８間での範囲における相関色温度をＴ_Ｂ（Ｋ）（ただし、Ｔ_Ａ＞Ｔ_Ｂとする。）としたとき電極間相関色温度差Ｔ_Ａ−Ｔ_ＢがＴ_Ａ−Ｔ_Ｂ≦３０００を満足する。 （もっと読む）

【課題】減光が可能なだけでなくその減光範囲全体に亘って一貫した光色性が提供できる高輝度放電ランプを提供すること。
【解決手段】セラミックから形成された透光性エンベロープと、第１の電極アセンブリと、第２の電極アセンブリと、１００〜５００キロパスカルの冷間充填圧力を有する密閉容積内の不活性充填ガスと、NaI及びCeI_３及びDyI_３を含有する充填材料が含まれており、前記エンベロープは密閉容積を定める壁部を有しており、前記第１の電極アセンブリ及び第２の電極アセンブリは、ランプ外方から壁部を通って封着方式で密閉容積と接触すべく当該容積まで延在しており、前記充填材料は、水銀またはインジウムまたはガリウムまたは亜鉛の元素を含まないか若しくはこれらの元素を含んだ化合物を含有しないように構成する。 （もっと読む）

【課題】 水稲の出穂遅延を防止することができる近赤外線光を照射しつつ、赤色光を照射しない近赤外線光蛍光灯を提供することである。
【解決手段】 蛍光灯内面に鉄付活アルミン酸リチウムを主成分とする塗料を塗布することにより近赤外線光を発光させ、赤色光の発光を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、紫外線を放射しないで、しかも使用するにつれての比光量の低下量を小さくした閃光放電管およびこれを組み込んだストロボ装置を提供する。
【解決手段】 本発明の閃光放電管は、希ガスを封入したガラスバルブ１３の両端部に主電極２，３がビードガラス４，５によって封止され、前記ガラスバルブ１３の外周面にトリガ電極９が形成されている。そして、前記ガラスバルブ１３が紫外線カットガラスによって形成され、該ガラスバルブ１３の内面に二酸化珪素の被膜１４が形成されている。また、本発明のストロボ装置は、前記本発明の閃光放電管が組み込まれている。 （もっと読む）

【課題】点灯直後の明るさが所要以下で、かつ所要の明るさまでに立ち上がる立上り時間が所要時間以上であって、ランプ効率が良好で寿命の長い蛍光ランプ、電球形蛍光ランプおよび照明器具を提供する。
【解決手段】内面に蛍光体層を有するとともに、水銀を含む放電媒体を封入した発光管５と；発光管内に放電を生起させる電極と；発光管からの光束が点灯直後は安定点灯時の３０％以下であり、かつ、安定点灯時の光束の８０％に達するまでの時間が１０分以上となるように発光バルブ内の水銀蒸気圧を制御する制御手段と；を具備している。 （もっと読む）