【課題】遮光マスクがなくてもパネルにダメージを与えることなく必要な波長の光をパネルに照射することができる光照射装置、およびメタルハライドランプを提供すること。
【解決手段】メタルハライドランプと二重管と酸化膜とを有する。メタルハライドランプは、筒状、石英ガラス素材の発光管を有する。二重管は、メタルハライドランプの発光管を筒状に包囲する位置に設けられた筒状、石英ガラス素材の第１の管である内管と、内管を筒状に包囲する位置に設けられた筒状、石英ガラス素材の第２の管である外管とを備え、第１の管と第２の管との間の空間に流体を流し得るようにその間の空間が閉じられた空間である管である。酸化膜は、二重管の外管の外面上、または二重管の内管のメタルハライドランプに対向する面上に形設された、膜厚が０．４μｍ以上、１．０μｍ以下の、チタン、シリコン、ビスマスまたはセリウム、およびタンタルを含有する膜である。 （もっと読む）

【課題】エキシマランプにおいて放電が局所的に消失したときにも、当該放電の消失によるエキシマ光の強度の低下を確実に検知することができ、しかも、エキシマランプからのエキシマ光を高い効率で放射することができる紫外線照射装置を提供する。
【解決手段】放電容器および当該放電容器の内表面に形成されたアルミナを含む紫外線反射膜を有するエキシマランプを備えてなる紫外線照射装置であって、
前記紫外線反射膜におけるアルミナからの蛍光を検出する光センサが設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明が解決しようとする課題は、紫外線照射により接着力が低下する粘着剤の剥離工程用途において、粘着剤の剥離性が高く、また、寿命時間が長い紫外線蛍光ランプを提供することである。
【解決手段】実施形態の紫外線蛍光ランプ１００は、紫外線照射により接着力が低下する粘着剤の剥離工程に使用する紫外線蛍光ランプであって、放電容器１０１と、放電容器１０１に封入される放電媒体と、放電媒体に電力を供給する電極１０５ａ、１０５ｂと、放電容器１０１の内側に塗布された蛍光体層１１０と、を具備し、第１の蛍光体ＹＰＯ_４：Ｃｅと、第２の蛍光体ＳｒＢ_４Ｏ_７：Ｅｕとを有する蛍光体層１１０における前記第１の蛍光体ＹＰＯ_４：Ｃｅと前記第２の蛍光体ＳｒＢ_４Ｏ_７：Ｅｕの総量に対する、前記第１の蛍光体ＹＰＯ_４：Ｃｅの重量比が６０〜９５％である。 （もっと読む）

【課題】本発明は、紫外線を発生することができる紫外線源としての安価、かつ耐久性に優れた紫外線透過キセノン放電管を得る。
【解決手段】本発明の紫外線透過キセノン放電管１は、外囲器２の両端に、外囲器内部にキセノンガス５を封入した状態でビードガラス３を介して放電電極Ａ，Ｋを構成する電極ピン４を気密封着してなるキセノン放電管であって、外囲器として熱膨張係数が３〜３．３（１０^−６Ｋ^−１）のホウケイ酸ガラスを用い、電極ピン４として熱膨張係数４．４（１０^−６Ｋ^−１）のタングステンを用い、ビードガラスとして熱膨張係数が外囲器の熱膨張係数とタングステンの熱膨張係数の間となる３．８〜４．１（１０^−６Ｋ^−１）のホウケイ酸ガラスを用いて構成される。また、ビードガラスの熱膨張係数は、外囲器との間の熱膨張係数の差が金属電極との間の熱膨張系数の差より大きくなるように設定されることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】発光管の両端にシュリンクシールによる封止部が形成され、当該封止部内にはスペーサガラスの両面に金属箔を有し、該金属箔が電極に接合されてなるロングアーク型放電ランプにおいて、金属箔の膨張収縮によるスペーサガラスの破損を防止するとともに、金属箔のシワの発生を防止でき、更に、封止部での金属箔の箔浮きを回避することができる構造を提供するものである。
【解決手段】前記金属箔の幅をＷ（ｍｍ）、厚みをＴｈ（ｍｍ）とし、前記スペーサガラスの厚みをＴｇ（ｍｍ）としたとき、
１１４≦Ｗ／Ｔｈ≦４４４、かつ、Ｗ×Ｔｇ≦１３．６
の関係を満足することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ハンダを用いることなく、電極に接続することができるコネクタを有する放電管及び該放電管を備える発光装置を得る。
【解決手段】本発明の放電管２は、筒状のガラスバルブ８と、所定の半径を有する電極９と、該電極９に接続可能なコネクタ１０と、を備え、電極９は、ガラスバルブ８の長手方向に沿って所定の長さを有して径大となる径大部１２を備え、該径大部１２は、コネクタ１０を掛止する第１の掛止部１４と、コネクタ１０を接触させる接触部１５とを有し、コネクタ１０は、電極９を内部に挿入可能な筒形状のコネクタ本体１６と、電極９がコネクタ本体１６の筒心方向に挿入される状態で電極９の第１の掛止部１４を掛止する第２の掛止部１７と、コネクタ本体１６と電極９の接触部１５とを電気的に接続する接続部１８と、を備えるという構成を有している。 （もっと読む）

【課題】 低い焼成温度および短い焼成時間で反射膜を形成することができる外部電極型放電ランプの製造方法および外部電極型放電ランプの提供。
【解決手段】 外部電極型放電ランプの製造方法は、発光管の内部に希ガスが封入され、当該発光管の内表面にアルミナを含有する反射膜が形成されると共に、当該発光管の外表面に一対の電極が配置されてなる外部電極型放電ランプを製造する方法であって、発光管を形成する材料であるガラス管の内表面に、アルミナを含有すると共にリン酸からなる結着材を含有する塗布液を塗布して焼成することにより反射膜を形成する反射膜形成工程を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】石英ガラスからなる発光管と、該発光管の内面上に塗布された紫外光を放射する蛍光体層とを備えた蛍光ランプにおいて、波長２００〜２６０ｎｍの紫外光を効率よく放射し、かつ、前記発光管の内面上の蛍光体層が容易に剥がれることがないようにした構造を提供することにある。
【解決手段】前記蛍光体層は、一般式が（Ｙ_１−Ｘ，Ｐｒ_Ｘ）Ａｌ_３Ｂ_４Ｏ_１２で表される蛍光体を備えるものであることを特徴とする。
また、前記蛍光体はｘが０．０５〜０．０７の範囲であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 効率的に放電管の全長にわたってほぼ均一に放電を生起させることのできる無電極放電紫外放射装置を備えた高効率の液体処理装置の提供。
【解決手段】 被処理液体の流入口から流出口に至る処理液体流路に配設されて前記流路を通る処理液体に対して紫外線を照射する放電管を有する液体処理装置において、前記放電管を内部を貫通する空洞部を有してなる筒状に形成し、該空洞部内に誘導コイルを巻き回したフェライトコアを配置する。誘導コイルは複数あって、各誘導コイルは放電管の長手方向に沿って分散してフェライトコアに配設される。複数の誘導コイルを分散して巻き回したフェライトコアの外周を囲むように放電管を配置したので、高い周波数でコイルを励磁する必要がなく、また放電を放電管の一部に集中させることなく放電管全長にわたって均一的に生起させることができる。更に、フェライトコアを冷却する手段を講ずる必要が無く簡便な構成である。 （もっと読む）

【課題】放電容器の外表面に一対のメッシュ状の光透過性外部電極が設けられ、前記放電容器の内表面には反射膜が形成されるとともに、該反射膜には光モニター用の採光口が形成されてなるエキシマランプにおいて、前記採光口の輪郭線を形成する反射膜のエッジ部での放電の集中を防止して、放電容器内の放電が安定になり、紫外光のモニターが正確に行われるようにした構造を提供することである。
【解決手段】前記採光口の輪郭線が、前記メッシュ状の光透過性外部電極の素線と直線的に重なることのないように形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】小形化が可能であるとともに、高い紫外線照度を確保し得る紫外線ランプ、紫外線ランプユニット及びこれらを用いた紫外線ランプ装置を提供する。
【解決手段】本発明は、軸方向へ互いに略平行に延出する直管部１ｃを有して中間部１ａが屈曲されるとともに、両端部に熱陰極形の一対の電極２ａ、２ｂが封止されて封止部４が形成され、管外径の寸法Ｄがφ５ｍｍ〜φ８ｍｍであって、前記封止部４から軸方向の端部までの全長の寸法Ｌが３５ｍｍ〜６０ｍｍ、軸方向と直交する方向の幅寸法Ｗが１２ｍｍ〜１８ｍｍに形成された紫外線透過性のバルブ１と、このバルブ１内に封入された水銀及び希ガスを含む放電媒体とを備える紫外線ランプである。 （もっと読む）

【課題】 内部リード棒の強度が十分に高く、内部リード棒の折れを防止した放電ランプを提供することにある。
【解決手段】 本発明の放電ランプは、発光管１１の両端に封止管１２が連設された放電容器１と、封止管１２の内部に配置された金属板５と、先端に電極２が設けられ、電極２とは反対側の後端側が金属板５の中心に形成された貫通孔に挿通されて金属板５に固定されたタングステン製の内部リード棒３と、内部リード棒３の外周と封止管１２の内周との間に配置された内部リード棒３を保持するガラス製の保持用筒体４とよりなる放電ランプにおいて、金属板５は、ロウ材によって内部リード棒３に固定されており、保持用筒体４より発光管１１側に伸び出した部分の内部リード棒３の結晶粒径が金属板５が固定されている部分の内部リード棒３の結晶粒径より小さいことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】断面矩形の扁平状放電容器の外表面に一対の電極が配置されるとともに、前記放電容器の１面に光出射部が形成されてなるエキシマランプと、該エキシマランプを収容するケーシングと、該ケーシングに設けられて、前記エキシマランプの光出射部からの放射光をケーシング外に出射するための光取出窓よりなる光照射装置において、エキシマランプの幅方向での照度の均一性が向上した光を照射できるような光照射装置を提供することである。
【解決手段】前記エキシマランプは、前記光出射部と反対側の内壁面にのみ反射膜が形成されるとともに、前記ケーシングは、前記エキシマランプの側壁を透過した光を前記光取出窓に向けて反射させる反射ミラーを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ランプを簡単に取り外して、ランプの部品をリサイクルすることができ、生産コストを低減することができる露光装置用ランプを提供する。
【解決手段】小型水銀ランプ１０は、バルブ２０と、該バルブ２０から発生した光を前方へ反射させる集光鏡２１と、バルブ２０の端部を保持するホルダー２２と、を備える。バルブ２０と集光鏡２１のランプ取付孔４８との間には、断熱材５０が配置される。 （もっと読む）

【課題】波長２００〜２２５ｎｍの紫外線を高い強度で放射することができるショートアーク型キセノンランプを提供する。
【解決手段】発光管と、この発光管内に互いに対向して配置された陽極および陰極とを有し、前記発光管内に５気圧以上のキセノンおよび水銀が封入されてなるショートアーク型キセノンランプにおいて、前記発光管の内容積１ｃｍ³ 当たりの前記水銀の封入量が０．１〜４．０ｍｇ／ｃｍ³ であり、当該水銀の封入量をＭ（ｍｇ／ｃｍ³ ）とし、前記陰極の先端と前記発光管の内表面との最短距離をＬ（ｍｍ）としたとき、０．６＜Ｍ×Ｌ＜３２を満足することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】接着剤の乾燥のバラツキや長期保管時の自然乾燥によってシール部におけるリード線やモリブデン箔が腐蝕することがなく、発光管の気密性を安全にかつ長期に亘って確保する。
【解決手段】紫外線ランプは、石英ガラスからなり放電空間部１１ａの両端にシール部１１ｂが設けられた発光管１１と、シール部に密着封止されたモリブデン箔１２と、一端が放電空間部に向けて突出配置され他端がモリブデン箔に接続されてシール部に密着封止された電極１３と、一端がモリブデン箔に接続されてシール部に密着封止され他端が発光管の外部に導出されたリード線１４と、リード線を覆うようにシール部に接着剤２１で固定されたベース１９とを備える。ベースは、接着剤がシール部とのみ接触し、リード線及び該リード線の他端に接続される電線１７とは接触しないようにシール部に接着固定される。 （もっと読む）

【課題】 本発明の目的は、小型化及び短尺化の要請に適する特定の端部構造を備えたエキシマランプを提供すること。
【解決手段】 扁平な放電容器を備え、該放電容器の外壁面に一対の電極が設けられてなり、該放電容器の端部に板状の封止部材が設けられ、該放電容器の放電空間内にエキシマ放電を発生させるエキシマランプであって、該放電容器の少なくとも一方の端部において、該封止部材の位置する該放電容器の部位が縮径してなる凹部と、該凹部に巻付けられた線状部材と、該線状部材を介して該放電容器がその中に圧入して固定されるベース部材と、を有することを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】 メタルハライドが封止部に滲入することを防止して長寿命のメタルハライドランプを提供すること、更にはランプを点灯する給電装置が電流を切り替えて点灯する場合でも、メタルハライドランプの封止部の不具合を回避できるメタルハライドランプ点灯装置を提供すること。
【解決手段】 石英ガラス製の発光管の内部に発光物質として鉄を含み、発光管の両端に電極の軸部を支持する保持用筒体が具備されると共に、封止部にモリブデン箔が埋設されてなるメタルハライドランプであって、保持用筒体の長さをＬ（ｍｍ）、ランプの電流をＩ（Ａ）とすると、Ｌ／Ｉ（ｍｍ／Ａ）が０．１７以上であると共に、発光管の内部に錫、ビスマス、ガリウム、鉛及び亜鉛のうち少なくとも１種が封入されていることを特徴とする。またこのメルハライドランプと給電装置とを具備したメタルハライドランプ点灯装置とする。 （もっと読む）

【課題】石英ガラスからなる発光管と、励起されることにより紫外光を放射する蛍光体層とを備えた蛍光ランプにおいて、製造時に焼成工程を減らして１回で済むようにして、製造にかかるコストおよび時間を低く抑えつつ、発光管に蛍光体層を強固に安定的に保持・形成することができる蛍光ランプの構造及びその製造方法を提供する。
【解決手段】蛍光体層が、蛍光体粒子とシリカ粒子を含むものであり、好ましくは、前記蛍光体層に含まれるシリカ粒子は、平均粒径が１０〜１００ｎｍであり、該蛍光体層に含まれる割合が２〜２０ｗｔ％であり、更に好ましくは、前記シリカ粒子の平均粒径が１０〜５０ｎｍである。また、蛍光ランプの製造方法は、蛍光体粒子とシリカ粒子などと有機溶媒とを混合して蛍光体塗布液を調製し、これを石英ガラスからなる管に塗布し、乾燥および焼成する。 （もっと読む）

【課題】内部に一対の電極を有する発光管と、内部に金属箔が埋設されて封止部を形成する側管とを有するロングアーク型放電ランプにおいて、発光管と側管との溶着部に含まれるＯＨ基が点灯時に放電空間内に放出されることがないような構造および、その製造方法を提供することである。
【解決手段】前記発光管が無水石英ガラスよりなり、該発光管と側管の溶着部が、電極と金属箔との接合位置より外端部側に位置していることを特徴とし、更には、前記発光管に端部管を形成して、該端部管と側管とを溶着することを特徴とする。 （もっと読む）