【課題】光源に近い位置に照射面を設定して照度を高めつつ当該照射面で高い均斉度を実現できる照射装置を提供すること。
【解決手段】光源ユニット３と、前記光源ユニット３が基端４Ａに配置され先端開口４Ｃに照射面が設定される補助反射ユニット４と、を備え、前記補助反射ユニット４は、多角錐台状の反射面６５を有する第１反射鏡６０と、前記第１反射鏡６０の先端６０Ａに連続して前記先端開口４Ｃを形成する円筒状の反射面６６を有する第２反射鏡６１と、を備える照射装置１を構成した。 （もっと読む）

【課題】焦点ずれによる初期化ムラを解決できる光記録媒体の初期化装置を提供する。
【解決手段】ビームエキスパンダーと、ビームエキスパンダーからのレーザ光を反射させる第１のガルバノミラーと、第１のガルバノミラーからのレーザ光を反射させる第２のガルバノミラーと、第２のガルバノミラーからのレーザ光を前記光記録媒体の所定のスポットに集光するｆ・θレンズとを備える。 （もっと読む）

【課題】フィルタの寿命を延ばすことができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板処理装置１は、基板Ｗに供給される処理液をろ過するフィルタ１６を内部で保持するハウジング１７と、ハウジング１７に保持されている状態のフィルタ１６の温度を変化させるフィルタ洗浄機構２２とを含む。フィルタ洗浄機構２２は、ハウジング１７に保持されているフィルタ１６を加熱および／または冷却することにより、フィルタ１６の温度を変化させて、フィルタ１６に対する異物の結合力を低下させる。 （もっと読む）

【課題】超臨界状態を実現するために必要な圧力よりも低い圧力環境下で、基板Ｗに設けられたパターンを倒壊させることなく基板Ｗを乾燥できる基板処理装置及び基板処理方法を提供する。
【解決手段】乾燥処理ユニット３０は、主に、乾燥処理チャンバ３１、二酸化炭素供給機構３２、第１窒素供給機構３３、液体窒素供給機構３４、第２窒素供給機構４４、及び排出機構３５を備える。置換液であるＩＰＡ液で覆われた基板Ｗが乾燥処理チャンバ３１内に保持された状態で、液体二酸化炭素が基板Ｗの表面を覆う。乾燥処理チャンバ３１内が、液体窒素供給機構３４により冷却されることで液体二酸化炭素は固体二酸化炭素へと凝固する。そして排出機構３５により、乾燥処理チャンバ３１内を大気圧に戻すとともに、第１窒素供給機構３３が気体窒素を供給することで昇温され、基板Ｗ表面の液体は昇華する。 （もっと読む）

【課題】 形状が円盤状である被照射物に光照射するに適し、寿命末期において電極スパッタにより発光管内面黒化が生じ電極周辺部の発光領域の照度低下が起きたとしても有効発光領域には影響が無く、高い均斉度が保持されるフラッシュランプを提供する。
【解決手段】 電極先端位置を有効発光領域から、少なくとも内面黒化が想定される領域の長さの分だけ離す。すなわち、有効発光部の両端に連設される当該ランプ発光管の端部を有効発光部に対して同じ方向に垂直に屈曲させ、かつ該端部を前記長さの分だけ延長し、その分だけ内部の電極先端位置を発光管外端側へ引っ込めることによって、電極先端周辺の放電空間が有効発光部に掛からない構成とする。 （もっと読む）

【課題】芯出しシャフトを利用して原盤データが転写された被転写ディスクを原盤から剥離することができるディスク製造装置を提供する。
【解決手段】ディスク製造装置は、データが記録された情報面を有する原盤１０と、中央に円形の開口を有するＯリング４０ｂと、空気挿通孔が形成されていると共に、空気挿通孔の出口でありＯリング４０ｂを嵌めるためのＯリング嵌入溝が形成された芯出しシャフト４０と、原盤１０の芯出し孔Ｇ１と原盤１０のデータを転写するための被転写ディスク２０の中心孔Ｓとに芯出しシャフト４０を通し、原盤１０と被転写ディスク２０の芯出しおよび剥離の際に芯出しシャフト４０を制御する芯出しシャフト駆動部７０と、原盤１０と被転写ディスク２０とを剥離する際、Ｏリング４０ｂをＯリング嵌入溝より芯出しシャフト４０の表面側に突出させるよう空気挿通孔に圧縮空気を送る圧縮空気制御部８０とを備える。 （もっと読む）

【課題】優れたスループットを実現できる導電性素子を提供する。
【解決手段】導電性素子は、第１の波面および第２の波面を有する基体と、第１の波面上に形成された導電層とを備える。導電層は、導電パターン部を形成し、第１の波面および第２の波面が、０≦（Ａｍ１／λｍ１）＜（Ａｍ２／λｍ２）≦１．８（但し、Ａｍ１：第１の波面の振動の平均幅、Ａｍ２：第２の波面の振動の平均幅、λｍ１：第１の波面の平均波長、λｍ２：第２の波面の平均波長）の関係を満たす。 （もっと読む）

【課題】製造効率が改善された光記録媒体の製造方法及びその製造装置を提供する。
【解決手段】基板上に複数の記録層と、複数の記録層の間に、凹凸形状を有する中間層とを有する光記録媒体の製造方法であって、中間層を形成する工程において、放射線硬化性樹脂原料を放射線透過性スタンパと前記記録層を有する基板との間に塗布し、放射線透過性スタンパと記録層を有する基板とを重ね合わせる第一の工程と、放射線透過性スタンパと記録層を有する基板とを、互いに接近する方向に加圧した状態で捻ることにより、放射線硬化性樹脂原料を延伸する第二の工程と、基板の中心孔近傍のみに放射線を照射し、放射線硬化性樹脂原料を硬化させる第三の工程と、記録層を有する基板及び放射線透過性スタンパの回転を行うと同時に、放射線硬化性樹脂原料を硬化させ、放射線透過性スタンパと記録層を有する基板とを接着する第四の工程とを、少なくとも有する。 （もっと読む）

【課題】基板表面に付着したパーティクル等の汚染物質を除去するための基板洗浄方法および基板洗浄装置において、高いスループットを得られ、しかもパーティクル等を効果的に除去することのできる技術を提供する。
【解決手段】基板の上面に液膜を形成し（ステップＳ１０１）、凍結ガスとして例えば低温の窒素ガスを吐出する凍結用ノズルをスキャンして液膜を凍結させた後（ステップＳ１０２，Ｓ１０３）、凍結ガスよりも冷却能力の高い流体、例えば凍結ガスよりさらに低温の窒素ガスを吐出する冷却用ノズルをスキャンして凍結した液膜をさらに低温まで冷却する（ステップＳ１０４，Ｓ１０５）。その後、リンス処理により凍結膜とともにパーティクルを除去し（ステップＳ１０７）、基板を乾燥させる（ステップＳ１０８）。 （もっと読む）

【課題】紫外線照射に対する充分な耐光性と、紫外線硬化樹脂から剥離するときに物理的な破損を生じない程度の柔軟性とを併せ持つ信号転写基板を用い、同一の信号転写基板で複数回、紫外線硬化樹脂への信号転写が可能な多層情報記録媒体の製造方法と製造装置を提供する。
【解決手段】少なくとも、基体上に塗布された紫外線硬化樹脂と、転写基板の情報信号面を対向するように貼り合わせる工程と、紫外線硬化樹脂に対して、信号転写基板が設置された紫外線透過テーブル側から紫外線を照射し、硬化させる工程と、紫外線硬化樹脂と前記信号転写基板の界面から剥離する工程と、からなり、信号転写基板が有機無機ハイブリッド材料によって形成されている。 （もっと読む）

【課題】吐出される液滴の噴霧状態を調整することができる二流体ノズルを提供すること。二流体ノズルから吐出される液滴を用いて所期の処理を基板に施すことができる基板処理装置を提供すること。
【解決手段】二流体ノズル３は、ケーシングを構成する外筒２０と、外筒２０に内嵌された内筒２１と、内筒２１を外筒２０に固定するための固定ナット２３とを含む。内筒２１の大径円筒部２４の外周には、雄ねじ３６が形成されている。外筒２０の内周の基端部には、雄ねじ３６に螺合する雌ねじ３７が形成されている。固定ナット２３は、内筒２１の雄ねじ３６と螺合する雌ねじ孔３１を有している。外筒２０と内筒２１とはねじ嵌合により連結されている。雄ねじ３６に対する外筒２０のねじ込み量を調節することによって、遮蔽部４３に対する短筒部４７の軸方向の位置を調節することができる。 （もっと読む）

【課題】スタンパによる樹脂層への転写不良や気泡の混入を防止しつつ、樹脂層へ確実に凹凸を転写することができる転写装置および転写方法ならびに光ディスク製造装置および製造方法を提供すること。
【解決手段】減圧ケース１０の内部の減圧雰囲気において、樹脂層ＲとスタンパＳＴとを貼合し、また樹脂層Ｒにディスク基板Ｄ１を貼付することで、気泡の混入を確実に防止できる。さらに、減圧雰囲気において、エネルギー線照射手段７からのエネルギー線を樹脂層Ｒに照射して硬化させることで、大気中の酸素による硬化阻害を防止することができ、樹脂層Ｒに形成した凹凸を確実に定着させることができる。また、振動体３２でスタンパ保持部材３１を振動させつつスタンパＳＴを樹脂層Ｒに押圧して貼合することで、樹脂層ＲをスタンパＳＴの微細な凹凸に追従させてなじませ、凹凸を樹脂層Ｒに確実に転写することができる。 （もっと読む）

【課題】接着シートを支持する支持手段周りの構造の簡略化を図ることができるようにすること。
【解決手段】シート貼付装置１０は、接着シートＳを支持する支持手段２２と、この支持手段２２に一体的に設けられた押圧手段２３と、支持手段２２及び押圧手段２３をスタンパＳＴに向かって変位可能な変位手段２５と、支持手段２２及び押圧手段２３とスタンパＳＴとを当該被着体スタンパＳＴの被着面と平行な方向に相対移動可能な移動手段２６とを備えて構成されている。変位手段２５は、支持手段２２とは別体に設けられている。 （もっと読む）

【課題】、複数の環状基板を所定の厚みに効率よく形成することができる研削装置を提供する。
【解決手段】中心に穴を備えた環状基板を研削する研削装置であって、中心に穴を備えた複数の環状基板を収容する第１のカセット機構と、該第１のカセット機構に収納された複数の環状基板を所定枚数搬送する搬送機構と、該搬送機構によって搬送された所定枚数の環状基板を仮置きする仮置き機構と、該仮置き機構に仮置きされた所定枚数の環状基板を同時に保持テーブルに搬入する搬入機構と、該保持テーブルに保持された所定枚数の環状基板を同時に研削する研削機構と、該研削機構によって研削された所定枚数の環状基板を該保持テーブルから同時に搬出する搬出機構と、該搬出機構によって搬出された所定枚数の環状基板を洗浄する洗浄機構と、該洗浄機構によって洗浄された所定枚数の環状基板を収容する第２のカセット機構とを具備している。 （もっと読む）

データディスク、前記ディスクの形成のための方法及び装置が開示される。データディスクは、第２の基板構造に結合される第１の基板構造（９００）を含み、１つの硬化性材料層が前記２つの基板構造の少なくとも１つの異なる側に配置され、かつ前記２つの硬化性材料層の１つの表面（９０４）上に形成される少なくとも１つのグルーブ（９０６）を含む。
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【課題】スタンパを原盤から剥離するときに、スタンパ及び原盤が歪んだり傷ついたりするのを防ぐことを目的とする。
【解決手段】本発明のスタンパの剥離方法は、原盤上に電解めっき法を用いてスタンパを形成した後に、形成されたスタンパと原盤を水中に固定し、スタンパと原盤の境界面に向けてノズルから水を噴出させることを特徴とする。また、本発明の剥離装置は、原盤或いはメタルマスタとその上に形成されたスタンパとを内部に固定・収納可能な空洞を有し、前記空洞の中に収納されたスタンパつき原盤のスタンパと原盤の境界面に向けて水を噴出するノズルと、噴出された水を容器外に排出する排出口を有し、前記ノズルと排出口以外は開口部を有さない容器からなり、前記排出口の断面積はノズル先端断面面積より大きく、前記排出口の開口幅は前記スタンパの直径より小さいことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 環境温度や環境湿度が急激に変化した直後の変形が少なく、また十分な表面硬度を有し、耐磨耗性や記録膜保護性に優れた光記録媒体に好適な積層体を与える光記録媒体用活性エネルギー線硬化性組成物を提供する。
【解決手段】 特定の積層体の保護層とした際に、該積層体が（１）表面硬度及び（２）温度変化による反りの変位量について特定の特性を有する光記録媒体用活性エネルギー線硬化性組成物、又は該積層体が（３）表面硬度及び（４）湿度変化による反りの変位量について特定の特性を有する光記録媒体用活性エネルギー線硬化性組成物。 （もっと読む）

【課題】本発明は、均一な膜厚でなる円板状の光ディスクを製造する。
【解決手段】本発明は、注型セルＳＬを介してベース金型３１及びカバー金型３２によって形成され、中央に中央孔部ＳＬｈを有する円板状の注入空間ＪＳに対し、注入空間ＪＳにおける内縁部分に接続して形成された注入孔としての注入ノズル受け部３３から液状材料が注入される。注入空間ＪＳの円板の平面方向において注入ノズル受け部３３及び中央孔部ＳＬｈの中心を通る直線上に形成された排出孔としての排出ノズル受け部３４から空気が排出される。さらに注入空間ＪＳに注入された液状材料を硬化させ、スペーサ群及び平板１５が取り除かれることにより、硬化された液状材料である記録層１０１を注入空間ＪＳから取り出すようにする。 （もっと読む）

【課題】良好な光学的性能を維持しつつ多層光記録媒体の生産性を向上することを目的とする。
【解決手段】基板１０と、基板１０上に設けられた複数の光記録層１３と、各光記録層１３の間に設けられた中間層１２とを備え、中間層１２は、複屈折性を有し、隣接する中間層１２同士は複屈折主軸の方位が互いに９０°異なるように多層光記録媒体（光ディスク１）を構成する。この多層光記録媒体を製造する際には、例えば、積層方向に隣接する記録層単位２０同士の関係で、塗布済みウェブの長手方向の向きが互いに９０°異なるようにして、複数枚の記録層単位２０を基板１０に積層する。 （もっと読む）

【課題】Ｂｌｕ−ｒａｙ方式の光情報記録媒体であって、使用環境に関わらず、良好な記録及び再生特性を維持しうる光情報記録媒体、該光情報記録媒体の製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明は、案内溝を表面に有する基板の該表面に、光反射層、記録層、バリア層、光透過層、及びハードコート層を少なくともこの順に積層してなり、温度２３℃±２℃、相対湿度４５〜５５％の条件下で２４時間以上保存した後に、温度２３℃±２℃、相対湿度４５％〜５５％の環境下で測定した、記録及び再生を行う領域の最外周部の一周に亘るラジアルチルトの平均値が−０．３５°〜−０．１５°の範囲である光情報記録媒体、並びに該光情報記録媒体の製造方法である。 （もっと読む）