【課題】デュアル圧力センサの校正の要否を適時に判断できるようにする。
【解決手段】第１の温度・圧力特性を有し、流体の圧力を検出する第１の圧力検出素子１６Ａと、第２の温度・圧力特性を有し、前記流体の圧力を検出する第２の圧力検出素子１６Ｂと、第１の圧力検出素子１６Ａの検出値と第２の圧力検出素子１６Ｂの検出値との差分を求める差分演算部１７６と、差分演算部１７６で求められた差分が許容値を超えている場合に校正指示信号を出力する判定部１７８と、を備える。 （もっと読む）

【課題】デュアル圧力センサを成す圧力検出素子の温度を実測しなくても、温度補正された流体圧力を検出できるようにする。
【解決手段】相互に接触した状態で一体化された２つの圧力検出素子１６Ａ及び１６Ｂの温度・圧力特性をそれぞれ表わす２つの関数ｆ１及びｆ２の温度変数Ｔ及び圧力変数Ｐを互いに共通とし、各圧力検出素子１６Ａ及び１６Ｂによる検出値Ｓ１及びＳ２がそれぞれ関数ｆ１及びｆ２の解であるとして、各関数ｆ１及びｆ２を連立して解くことで、流体の圧力を求める。 （もっと読む）

統合された流体圧検出システムは、プリント回路基板(20)、圧力源(22)を有する圧力マニホールド(18)、及びセンサ(4)を含む。プリント回路基板は、圧力マニホールドに接続される。プリント回路基板と圧力マニホールドとは、圧力キャビティ(16)を定める。圧力源は、圧力キャビティの中へ流体を逃がすように構成される。センサは、圧力キャビティの中でプリント回路基板に取り付けられる。シールメンバ(28, 29, 31, 33)は、プリント回路基板と圧力マニホールドとの間に配置される。ガスケットは、圧力キャビティをシールするように構成される。
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【課題】測定レンジが広く、応用性にも富む面圧力計測装置を提供する。
【解決手段】本発明の面圧力計測装置は、圧力による面外変位が独立して発生する粘弾性ゲルの領域１２を平面状に多数備えた圧力センサ・マトリックス１０と、前記領域の面外変位を光学的に計測する光計測手段２０とを備えている。圧力センサ・マトリックス１０の各領域１２での面外変位は、その領域の圧力により生じるから、各領域１２の面外変位を計測することで２次元的な圧力分布を求めることができる。この装置では、ｋＰａ以下の低い面圧力を高精度に測定することが可能であり、また、面圧力の時間変化に迅速に応答することができる。 （もっと読む）

【課題】半導体基板を処理するチャンバの内外部気圧を測定するモジュール、装置及び方法を提供する。
【解決手段】本発明によると、側面に第１流入部と第２流入部が具備された連結部材と、前記連結部材の一端に連結された第１気圧測定センサと、前記連結部材の他端に連結された第２気圧測定センサとを含むが、前記連結部材には、前記第１流入部と前記第１気圧測定センサを連結する第１通路と、前記第２流入部と前記第２気圧測定センサを連結する第２通路が形成され、前記第１通路と前記第２通路は、分離されるように提供された気圧測定モジュール、気圧測定装置及び方法が提供される。このような本発明によると、大気圧センサの誤作動の問題を解決して、誤作動の防止のために使われた不必要な装備と誤作動に対応することにかかる時間及び人力の浪費を減らすことができる。 （もっと読む）

【課題】極度の環境条件下で使用可能な絶対圧変換器を提供する。
【解決手段】被測定プロセスの絶対圧を示す信号を出力する絶対圧変換器が提供される。圧力変換器は、プロセスに接続可能な圧密な圧力ポート３１２と、圧力センサ１，２及び共通の回路基板４を収容するハウジング３と、プロセス圧及びハウジング内の雰囲気圧の間の差をアナログ的に検出する第１圧力センサ１と、ハウジング内の雰囲気圧を絶対圧として検出する第２圧力センサ２とからなり、共通の回路基板４は、第１圧力センサ及び第２圧力センサの両方に接続され、さらにデータ処理ユニットを有する。ここで、第２圧力センサは、雰囲気圧を示す電気的信号を出力すべく適用される。回路基板は、アナログ的に検出された圧力差をデジタル信号に変換し、第１及び第２圧力センサからの信号に基づいてプロセスの絶対圧を算出し、プロセスの絶対圧を示す信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】部品点数を削減して簡素化するとともに組立作業性、気密性を向上させるようにしたデュアル圧力センサを提供する。
【解決手段】
各感圧ダイヤフラムチップ１６Ａ、１６Ｂをそれぞれ台座１５Ａ、１５Ｂに固着することにより２つの圧力センサユニット３Ａ、３Ｂを形成する。台座１５Ａ、１５Ｂを、内部が連通路２１ａ、２１ｂを形成する台座本体１５Ａ−１、１５Ｂ−１と、台座本体１５Ａ−１、１５Ｂ−１に一体に突設された圧力導入部１５Ａ−２、１５Ｂ−２とでそれぞれ構成し、各圧力導入部１５Ａ−２、１５Ｂ−２を気密容器２に形成した挿通孔１１ａ、１１ｂより外部に突出させた。 （もっと読む）

【課題】絶対圧力センサあるいは差圧センサのダイアフラムの変形による、差圧センサへの影響を抑制し、高精度の測定が可能な静電容量式圧力検出装置を提供することにある。
【解決手段】静電容量式圧力検出装置において、差圧センサ手段と絶対圧センサ手段とを基台上に分離して設置するように構成した。また、差圧センサ手段を構成する二つ以上の差圧センサを基台上に分離して設置するように構成した。 （もっと読む）

【課題】より正確な歪計測が可能であり、しかも水圧測定用と温度補償用とを１本の光ファイバで兼用させることで、低コスト化が可能な分布型水圧センサの提供。
【解決手段】長手方向に沿って連続的に又は断続的に光ファイバを収納可能な溝が設けられた管状体と、該管状体の外周に撚り合わされた光ファイバとを備え、前記管状体の外周に光ファイバが撚り合わされた撚り部と、前記管状体内に光ファイバが収納された直線部とが、前記管状体の長手方向に沿って交互に設けられ、前記管状体の先端部に設けられた撚り部又は直線部の先端側の光ファイバを折り返して管状体内に導入する折り返し部が設けられるとともに、該折り返し部から基端側に向かう光ファイバが管状体内に直線的に収納されて温度補償部が形成されてなる分布型水圧センサ。 （もっと読む）

【課題】ハウジングに圧力検出部を有するステムを２つ備えた圧力センサにおいて、圧力媒体の低圧から高圧までの幅広い圧力レンジで圧力を検出するに際し、低圧の圧力を精度良く検出する。
【解決手段】ハウジング１０に２つのステムを設け、一方のステムのダイヤフラムを薄くして感度を向上させて低圧用とし、他方を高圧用とする。また、低圧用のステムに対応した圧力導入孔１３の開口部１２に、一定値の圧力が導入されると開口部１２を閉塞する弁部材１６を設ける。 （もっと読む）