基板処理装置
【課題】半導体製造装置に投入されたFOUP内のウェハ位置ずれを、高価な装置機構を装備せずに、搬送方式を改造するだけで補正することができる基板搬送機能を備えた基板処理装置
【解決手段】基板を処理する処理室と、前記基板を予備室から前記処理室まで搬送する第一の搬送手段を備えた真空搬送室と、基板をキャリアから前記予備室まで搬送する第二の搬送手段を備えた大気搬送室と、前記第一の搬送手段及び前記第二の搬送手段を制御する制御手段とを備えた基板処理装置であって、前記制御手段は、前記キャリア内の前記基板を取り出す際に、前記基板の位置決めを行った後、前記基板を取り出すように前記第二の搬送手段を制御する。
【解決手段】基板を処理する処理室と、前記基板を予備室から前記処理室まで搬送する第一の搬送手段を備えた真空搬送室と、基板をキャリアから前記予備室まで搬送する第二の搬送手段を備えた大気搬送室と、前記第一の搬送手段及び前記第二の搬送手段を制御する制御手段とを備えた基板処理装置であって、前記制御手段は、前記キャリア内の前記基板を取り出す際に、前記基板の位置決めを行った後、前記基板を取り出すように前記第二の搬送手段を制御する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、半導体製造装置でキャリアから基板を取り出す際に、位置ずれしている基板の位置を補正する機能に関するものである。
【背景技術】
【0002】
基板を収容するキャリアとしてのFOUP((Front Opening Unified Pod)は、各種の外部搬送装置であるOHT(Overhead Hoist Transfer)やAGV(Automatic Guided Vehicles)、或いは人が、ロードポートLP(Load Port)上にセットする。その際に、装置納入先で使用しているFOUPメーカの相違や搬送の振動などにより基板としてのウェハの位置が揃ってなかったり、或いはFOUPの蓋を開けた際の反動によりウェハが飛び出したりする場合がある。その状態のまま、装置内に搬送すると搬送ずれが発生し、ウェハをこすった差異のパーティクルや搬送ミスによる停止の原因となる。
【0003】
そこで、従来は、アライナなどによりウェハ位置ずれを検知し、アライナからウェハを取り出す際にずれた分をロボットで補正し取り出すか、或いはグリップアーム式のロボットにより強制的にウェハ位置を補正するなどの方法が取られてきた。しかしながら、上記のような方法は、アライナやグリップアームなどを必要とするため、装置原価高となってしまう。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
本発明では、装置に投入されたFOUP内のウェハ位置ずれを、高価な装置機構を装備せずに、搬送方式を改造するだけで補正することができる基板搬送機能を備えた基板処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0005】
本発明の第一の特徴は、基板を処理する処理室と、前記基板を予備室から前記処理室まで搬送する第一の搬送手段を備えた真空搬送室と、基板をキャリアから前記予備室まで搬送する第二の搬送手段を備えた大気搬送室と、前記第一の搬送手段及び前記第二の搬送手段を制御する制御手段とを備えた基板処理装置であって、前記制御手段は、前記キャリア内の前記基板を取り出す際に、前記基板の位置決めを行った後、前記基板を取り出すように前記第二の搬送手段を制御することにある。
【0006】
本発明の第二の特徴は、前記第二の搬送手段は、前記基板を保持する保持部と前記基板の位置決めに利用される位置決め部とを少なくとも設けた基板保持機構を有し、前記制御手段は、前記キャリア内の前記基板を取り出す際に、前記位置決め部を前記基板の側部に当接して前記基板の位置を補正して、前記基板を前記保持部に載置した後、前記基板を取り出すように前記第二の搬送手段を制御することにある。
【発明の効果】
【0007】
半導体製造装置で顧客設備からFOUPを受け取り、FOUP扉が開いた際に、ウェハが既に位置ずれを起していることが多く、これに対してアライナ、エッジグリップなど機構的な補正機能を保持して装置内でのウェハの搬送を保証している。しかしながら、これらの機構を装備するには費用がかかる。一方、本発明によれば、アライナやエッジグリップなどの特殊な機構を装備するのではなく、搬送シーケンスを工夫することでウェハ位置を保証するものである。これにより、装置内でのウェハずれによる停止や接触によるパーティクル問題を回避できる。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【図1】本発明の一実施形態である半導体製造装置を示す平面断面図である。
【図2】本発明の一実施形態である半導体製造装置を示す縦断面図である。
【図3】本発明の一実施形態である半導体製造装置における処理室を示す斜視図である。
【図4】本発明の一実施形態におけるウェハ移載装置の構造を示す図である。
【図5】処理室内のウェハ移載フローを示す各模式的平面図及び各縦断面図である。
【図6】処理室内のウェハ移載フローの続きを示す各模式的平面図及び各縦断面図である。
【図7】本発明の一実施形態である半導体製造装置におけるコントローラ構成を示す図である。
【図8】本発明の一実施形態における搬送シーケンスを例示する図である。
【図9】本発明の一実施形態における搬送工程を模式的に示した図である。
【図10】本発明の一実施形態における位置補正を説明するための図である。
【図11】本発明の一実施形態に用いるFOUPの例である。
【図12】本発明の他の実施形態における搬送工程を模式的に示した図である。
【図13】本発明の他の実施形態における搬送工程を模式的に示した図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【0009】
本実施形態において、本発明に係る基板処理装置は、半導体製造装置10として構成されている。図1に示されるように、半導体製造装置10は、トランスファチャンバTCとしての真空搬送室(以後、第一搬送室ともいう場合がある)12を中心として、2つのロードロックチャンバLC1,LC2としてのロードロック室(予備室)14a,14b及びプロセスチャンバPC1,PC2としての処理室16a,16bが2つ配置されている。各プロセスチャンバには2つの処理部が構成されている。2つのロードロック室14a,14bの上流側には第二搬送室であるEFEM(Equipment Front End Module)18が配置されている。また、EFEMは以後、大気搬送室という場合がある。
【0010】
EFEM18には、基板としてのウェハ1を格納したキャリアであるFOUPを搭載するためのロードポート20が設けられている。図1では、ロードポート20(LP1,LP2,LP3)にそれぞれFOUPが搭載されている。キャリアであるFOUPには25段の基板保持部としてのスロットが形成されており、格段のスロットはウェハを1枚ずつ保持するように構成されている。したがって、FOUPは最小1枚から最大25枚のウェハ1を収容可能である。EFEM18内には第二搬送装置としてのウェハ移載装置40が設置されており、ウェハ移載装置40は大気中にて同時に複数枚(通例、5枚)を移載することができる。ウェハ移載装置40は2つのロードロック室14a,14bとの間のウェハ移載を可能としている。ここで、ウェハ移載装置40を以後、大気ロボットという場合がある。図1には、明示されていないが、ウェハ移載装置40は2アームである。1つのアームには、5枚一括搬送するためのブレードが備えられ、他のアームには、1枚搬送用のブレードが備えられる。
【0011】
図4に2アームを備えたウェハ移載装置(大気ロボット)40に付いての構造の一例を示す。1つのアーム(アーム1)には、ブレードが5枚取り付けられているため、ウェハ1の5枚一括搬送が可能である。他のアーム(アーム2)には、ブレードが1枚取り付けられ、ウェハ1の枚葉搬送が可能である。尚、両アーム(アーム1、アーム2)には、整頓棒と称されるウェハ1をキャリアから取り出す際に、飛出しウェハ1をキャリアの奥側へ押し込むための棒状のものが装備されている。以後、この棒状のものを位置決め部と呼ぶことがある。この位置決め部の材質は、PEEK材(PolyEtherEtherKetone)などである。尚、この位置決め部を飛出しウェハ1に当接させるためパーティクルの懸念が生じるが、それは、押し込み時の速度調整と、EFEM内でのダウンフローにより解決可能である。ここで、本実施の形態では、2アームを設け、5枚一括と1枚を取り分けられる構造について示したが、この実施形態に限定される種々の構造が、本願発明の主旨に反しない限り可能なことはいうまでもない。また、位置決め部の材質は、Al(アルミニウム)でもよい。
【0012】
図2に示されているように、ロードロック室14a,14bには支持台20が設けられており、支持台20は25枚のウェハを縦方向に一定間隔を隔てて収容する。支持台20は、例えば、炭化珪素やアルミで構成しており、上部板22と下部板24とを接続する例えば3つの支柱26を有する。支柱26の長手方向内側には例えば25個の載置部28が平行に形成されている。また、支持台20は、ロードロック室14a,14b内において、鉛直方向(上下方向に移動)するように構成されているとともに、鉛直方向に延びる回転軸を軸として回転するように構成されている。また、第一搬送室、第二搬送室の双方のアームがアクセスできウェハを受け渡しできるのならば、回転軸がない構成でもよい。
【0013】
搬送室12には第一搬送装置としてのウェハ移載装置30が設置されている。以後、真空ロボットということもある。ウェハ移載装置30はロードロック室14a,14bと処理室16a,16bとの間でウェハ1を搬送する。ウェハ移載装置30はフィンガーアッシー32が設けられたアーム34を備えている。フィンガーアッシー32は上フィンガー32aと下フィンガー32bとを有する。上フィンガー32aと下フィンガー32bとは同一の形状をしており、上下方向に所定の間隔で離間され、アーム34からそれぞれ略水平に同じ方向に延びて、ウェハ1をそれぞれ支持する。アーム34は鉛直方向に延びる回転軸を中心として回転するように、かつ、水平方向に移動するように構成されている。搬送室12と処理室16a、搬送室12と処理室16bは、ゲートバルブ35(図3参照)を介してそれぞれ連通している。図2ではフィンガーアッシー32が1つだけ表示されているが、この形態に限定されないのはいうまでも無い。例えば、アーム34を2つ設けてもよい。そうすると、各処理室16には処理部が2つ設けられているが、一度で各処理部における処理済ウェハ1と未処理ウェハ1の入れ替えが可能となる。また、以後、フィンガーアッシー32をブレード32という場合がある。
【0014】
このように、搬送室12に設置されたウェハ移載装置30はロードロック室14a,14bにストックされた未処理ウェハを同時に2枚ずつゲートバルブ35を介して処理室16a,16bへ移載することができるとともに、処理済ウェハを一度に2枚ずつ処理室16a,16bからロードロック室14a,14bに移載することができる。
【0015】
図3に示されているように、処理ユニット16には2つの保持台37が設置されている。搬送室12側の保持台37を第一処理部36、他方の保持台37を第二処理部38とする。第一処理部36と第二処理部38は各々独立した構造となっており、装置全体からみると、ウェハ処理流れ方向と同方向一列になっている。すなわち、第二処理部38は、搬送室12から第一処理部36を挟んで遠方に配置されている。第一処理部36と第二処理部38とは連通し、処理室16内は300℃までの昇温が可能である。第一処理部36と第二処理部38は、例えばアルミニウムで形成され、内挿したヒータ(不図示)により加熱される。省スペース、低コストの目的を達成するため、ロードロック室14a,14b、搬送室12および処理室16a,16bを例えばアルミニウム1部品にて形成してもよい。
【0016】
処理室16内の第一処理部36と第二処理部38の間の内側寄りには、第三搬送装置としての処理室内のウェハ移載装置(以下、内側移載装置ともいう)50が設けられている。内側移載装置50はウェハ移載装置(以下、外側移載装置ともいう)30によって搬送された2枚の未処理ウェハのうちの1枚を第二処理部38へ移載し、さらに、第二処理部38の処理済ウェハを外側移載装置30のフィンガーアッシー32上へ移載する。内側移載装置50は、回転軸である軸部の回転動作、昇降動作に伴い、回転動作や昇降動作を行うので、外側移載装置30によって処理室16に搬送された2枚のウェハのうち、1枚のウェハを第一処理部36上方から搬送室12の遠方にある第二処理部38に搬送して載置することができる。尚、内側移載装置50は、第一処理部36および第二処理部38からの熱輻射により高温(200℃くらい)になるため、耐プラズマ性、耐高熱性である例えばアルミナセラミックス、石英、SiC(炭化珪素)、AlN(窒化アルミニウム)等から形成するのが好ましい。金属部品に比べ熱膨張係数の小さい例えばアルミナセラミックスで形成することで、熱変形によるたわみ等による搬送信頼性劣化を防止することができる。ただし、内側移載装置50の基部には位置やレベル(高さ)調整のため、金属部品を使用する。
【0017】
図5および図6に処理室16内におけるウェハ移載のフローの概要を示す。図5(a)〜(d)および図6(e)〜(h)において、上図は処理室16の上面図であり、下図は上図の断面をイメージした図で、説明用図面である。下図では、保持ピン39aの一つが第一処理部36内のゲートバルブ35に近い箇所に設けられている。これは説明の便宜上のものである。実際には上図のように、第一処理部36内のゲートバルブ35に近い箇所、すなわち、外側移載装置30が図5(c)上図のように待機する箇所には、保持ピン39aは設けられていない。
【0018】
尚、以下の説明において、半導体製造装置10を構成する各部の動作は、後述するコントローラシステム700により制御されている。まず、処理室16内は搬送室12と同圧に減圧化される。
【0019】
(ステップ1 図5(a))
ゲートバルブ35が開き、第一処理部36の第一保持ピン39aと第二処理部38の第二保持ピン39bが上昇する。内側移載装置40は第二処理部38側に待機し、第一保持ピン39a、第二保持ピン39bと共に上昇する。
【0020】
(ステップ2 図5(b))
内側移載装置40は、軸部43eが回転することで、略水平に第一処理部36側へ移動する。この際、内側移載装置40の切欠き部43bは、ゲートバルブ35と向かい合っている。
【0021】
(ステップ3 図5(c))
外側移載装置30が上フィンガー32aと下フィンガー32bに載置された2枚のウェハ1を同時に搬送しながら、搬送室12からゲートバルブ35を介して処理室16に移動し、第一処理部36の上方にて停止する。その際、内側移載装置40はフィンガーアッシー32の上フィンガー32aと下フィンガー32bの間に収まる高さ位置にて待機している。
【0022】
(ステップ4 図5(d))
外側移載装置30はそのまま動作しない状態にて、第一処理部36の第一保持ピン39aが上昇し、下フィンガー32bに載置されたウェハ1を第一保持ピン39a上に載置する。さらに、内側移載装置40が上昇することで、上フィンガー32aに載置されたウェハを内側移載装置40の爪部43c上に載置する。
【0023】
(ステップ5 図6(e))
外側移載装置30は、搬送室12内に戻る。
【0024】
(ステップ6 図6(f))
内側移載装置40は、ウェハ1を載置した状態で、軸部43eが回転することで略水平に第二処理部38側へ移動する。また、同時にゲートバルブ35が閉まる。
【0025】
(ステップ6 図6(g))
軸部43eが下降して、内側移載装置40は、第二処理部38の外周下方に移動する。内側移載装置40は、ウェハ処理中も処理室16内に待機することになるため、第二処理部38上方から供給される処理ガス(例えばO2ラジカル等)のガスの流れを阻害し、ウェハ面内の均一性を悪化させる危惧がある。そのため、第二処理部38の外周のガス流れを阻害しない高さへと移動する。
【0026】
(ステップ6 図6(h))
第一処理部36の第一保持ピン39aおよび第二処理部38の第二保持ピン39bがウェハ1を略水平に保持した状態で略同時に下降し、ウェハ1を保持台37に載置する。すなわち、それぞれのウェハ1と、それらのウェハ1に対応した保持台との距離が互いに等しくなるよう、ウェハ1を下降させる。第一処理部36および第二処理部38それぞれのウェハ1への熱影響を同じにするためである。
【0027】
その後、処理室16内にガスを供給し、プラズマ生成(アッシング処理)がなされ、基板処理後は、逆のシーケンスを実行し、処理済ウェハ1を搬出する。
【0028】
図7は、本発明に於けるコントローラ構成を示す図である。本発明に於ける装置コントローラとしてのコントローラシステム700は、操作部(OU)701と、メインコントローラとしての統括制御コントローラ702と、第二搬送装置としての大気ロボットコントローラ704と、第一搬送装置としての外側移載装置(真空ロボット)30を制御する真空ロボットコントローラ705とがLANを介して接続されている。尚、図示されていないが、内側移載装置50(処理室ロボット)を制御する処理室ロボット制御コントローラもLANを介して接続されている。
【0029】
操作部701は、モニタ表示、ロギングデータやアラームなどの解析、及びパラメータ編集などを行うための画面を表示する図示しない表示部と、該表示部を介して入力された指示データや各種レシピや各種パラメータをファイルとして格納する図示しない記憶部と、システム制御コマンドなどのコマンドや、各種レシピ作成時における設定値を入力する図示しない入力部などを設けた構成である。メインコントローラとしての統括制御コントローラ702は、コントローラシステム700全体の運用制御を行う。また、真空ロボットコントローラ705、大気ロボットコントローラ704等の搬送系制御、真空排気系制御。各プロセスチャンバPCとしてのプロセス制御(温度、カ゛ス、圧力、RF等)を行う。また、統括制御コントローラ702の直下の通信回線であるセンサバスを介してウェハ1を検知する各種センサからの信号を取り込むと共にウェハ情報を確認しながら各ロボット(真空ロボットや大気ロボット)と連動し、搬送制御を実施する。サブコントローラ703は、前記統括制御コントローラ702の命令(指示)に対して、MFCやAPC(オートプレッシャーコントローラ)やRF発信機や温調(温度調節器)などに数値データを出力したり、反対に、数値を受信し、前記統括制御コントローラ702に送信する。また、サブコントローラ703は、命令(指示)されたバルブパターンに対してバルブインターロックをかけたり、ハードインターロックを検出し適切な処理を実施したりと高制御性能を必要とする処理を実施する。尚、上記表示部、記憶部、入力部は、操作部701と別体であってもよいし、また、メインコントローラ701に対して別体であってもよい。
【0030】
また、図示しないGEMコントローラと、また、該GEMコントローラを介して図示しないユーザ(顧客)側のHostコンピュータとに接続され、工場内の自動化システムを実現する。
【0031】
次に、図8を用いて大気ロボット40のアーム34を動作させる制御方式について説明する。図8においては、大気ロボット40がFOUPからウェハ1を5枚一括して取り出す(Get処理)動作について説明する。
【0032】
まず、該当するFOUPに対してアーム34のブレード32を、ウェハ1を載置する各スロットの間へ進入させ、FP(Front Position)まで移動させる。FPまではブレード32は無負荷なので高速で移動される。次に、PP(Push Position)まで低速で移動させる。これは、ウェハ1の位置を補正するための位置決め部がウェハ1の側部と当接され、更にFOUPの奥側へ押しているためである。そして、高速でウェハ1を掬い上げる位置SP(Set Position)へブレード32を移動させる。ウェハ1を掬い上げるため、ブレード32の昇降軸の掬い上げ量が増加される。掬い上げ作業が終了したら、ブレード32の伸縮軸をHOME位置へ移動させる。尚、ブレード32の昇降軸や伸縮軸のスピードは、パラメータテーブルを参照して実行される。従って、パラメータ変更によってスピードを任意に変更可能である。
【0033】
本実施の形態において、従来のFOUPに対するウェハ1の取り出し動作と比較して、ブレード32を押し込み位置PPまで進入させて、ウェハ1の側部にアーム34に備えられた位置決め部を当接して押し込むことで、飛出しウェハ1の位置を補正して正常なウェハ1と同様に掬い上げを行うことができる。
【0034】
図9は、図8で例示した搬送シーケンスを実際に動作させたときの模式図である。図9(a)で高速でブレード32をFOUP内に進入させ、FPで停止させ、図9(b)で低速でブレード32を更にFOUP内の奥へ進入させ、飛出しウェハ1を押し込み、押し込み位置PPで停止させる。このときに、他の正常なウェハと位置決め部とは接触する程度が望ましい。正常なウェハ1を更にFOUP内の奥へ押し込む必要はないためである。図9(c)でブレード32を掬い上げる位置SPまで戻す(FOUPの外側へ後退させる)。図9(d)でウェハ1を掬い上げる。最後に、図9(e)でブレード32をFOUPから後退させて、ウェハ1の取り出し動作を完了する。
【0035】
次に、図10は、本実施の形態における飛出しウェハ1の位置を補正する仕組みについて説明する。
【0036】
図10に示すように、FOUPの構成は、ウェハ1を支持するウェハ支持台としての基板支持部801とウェハ1がFOUPの奥側にぶつからない様に止めるウェハストッパーとしての基板止め部802が設けられている。本願実施の形態における基板搬送方式は、このFOUPの構成を有効利用したものである。つまり、前記基板止め部802上に載置されているウェハ1を整頓棒(即ち、位置決め部)で押し、ウェハ1の位置を変える際に、前記基板止め部802上をウェハ1が滑ることになる。ここで、所定の位置でウェハ1が停止するよう作成されている。尚、図10は図9(a)の前のFOUPへブレード32を進入させる際の図面でもあるのはいうまでもない。また、このFOUPの各例を図11に示す。
【0037】
他の実施例について図12と図13に示す。つまり、FOUPの手前側(ウェハ飛出し)だけでなく、ウェハの奥側にも位置ずれが生じている場合における搬送工程を模式的に示したものである。尚、図12(f)と図13(g)は便宜上別々の図となっているが、搬送工程上では一続きになっているのはいうまでもない。
【0038】
本実施例における搬送動作の開始時には、図12(a)より、それぞれのHOME位置(初期位置)であることが確認される。まず、該当するFOUPに対してアーム34に付属するブレード32を、ウェハ1を載置する各スロットの間へ進入させ、位置決め部の表面がFP(Front Position)の位置まで移動させる(図12(b))。FPまではブレード32は無負荷なので高速で移動され、次に、位置決め部の表面が基板載置位置SP(Set Position)まで低速で移動させる(図12(c))。そして、基板載置位置SPの位置で、ウェハ1を掬い上げる(図12(d))。待機位置WP(Wait Position)へブレード32を移動させる(図12(e))。ウェハ1を降ろすことでFOUP奥にずれていたウェハ1をFOUPの手前(蓋側)へ移動させる(図12(f))。再び低速で、基板載置位置SPまで押し込むことで奥側へ飛び出していたウェハ1に合わせて他のウェハ位置を合わせることになる(図13(g))。その後、基板取り出し位置GP(Get
Posiotn)までブレード32を移動させ(図13(h))、ウェハ1を掬い上げる(図13(i))。これらの動作により、FOUP奥側、手前側に飛び出していたウェハ位置を補正し、ブレード32の中心にウェハの載せることができる。尚、ブレード32の昇降軸や伸縮軸のスピードは、パラメータテーブルを参照して実行される。従って、パラメータ変更によってスピードを任意に変更可能である。
【0039】
本実施の形態において、位置決め部によるウェハ1を当接することでパーティクルが懸念されるが、本搬送方式を用いずに搬送処理した結果、真空ロボット30でウェハ1ずれを起こして、ブレード32の縁に乗り上げたり、ロードロックチャンバLC内のボート柱にぶつけたりしてしまうよりも、当然ながらゴミ(パーティクル)は出ない。また、大気側ですので、EFEM内のダウンフローがきいているため、ゴミを飛ばすことも可能である。従って、本搬送方式を用いず搬送エラーを生じることのリスクに比べれば、低速で位置決め部を当接して多少FOUPの基板支持部801で擦れるのは何等問題にならない。特に、本願発明における半導体製造装置の一種であるアッシング装置は、スループットが数百枚/hとなる高スループットを要求されるため、搬送エラーが生じてしまうと著しく装置稼働率が低下してしまう。
【0040】
本願発明の実施において、複数の基板からなるロット毎に、これらウェハ位置補正機能を使用しない搬送方式、ウェハ飛出し補正機能を有する搬送方式、ウェハ飛出し補正機能にウェハ奥側への位置ずれの補正機能を有する搬送方式を選択できるようにしても良い。更に、FOUP毎に上記の搬送方式を設定できるようにしてもよい。
【0041】
<本発明の好ましい態様>
以下に本発明の好ましい態様について付記する。
【0042】
本発明の第1の態様は、基板を処理する処理室と、前記基板を予備室から前記処理室まで搬送する第一の搬送手段を備えた真空搬送室と、基板をキャリアから前記予備室まで搬送する第二の搬送手段を備えた大気搬送室と、前記第一の搬送手段及び前記第二の搬送手段を制御する制御手段とを備えた基板処理装置であって、前記制御手段は、前記キャリア内の前記基板を取り出す際に、前記基板の位置決めを行った後、前記基板を取り出すように前記第二の搬送手段を制御する基板処理装置及び基板処理装置の基板搬送方法である。
【0043】
本発明の第2の態様は、前記第二の搬送手段は、前記基板を保持する保持部と前記基板の位置決めに利用される位置決め部とを少なくとも設けた基板保持機構を有し、前記制御手段は、前記キャリア内の前記基板を取り出す際に、前記位置決め部を前記基板の側部に当接して前記基板の位置を補正して、前記基板を前記保持部に載置した後、前記基板を取り出すように前記第二の搬送手段を制御する第1の態様に記載の基板処理装置及び基板処理装置の基板搬送方法である。
【0044】
本発明の第3の態様は、基板が搬入された前記処理室内に処理ガスを供給すると共に、前記処理室内にプラズマを生成して前記基板の表面を処理する制御手段を有する第1又は第2の態様に記載の基板処理装置により実施される半導体装置の製造方法である。
【0045】
本発明の第4の態様は、基板を処理する処理室と、前記基板を予備室から前記処理室まで搬送する第一の搬送手段を備えた真空搬送室と、基板をキャリアから前記予備室まで搬送する第二の搬送手段を備えた大気搬送室と、前記第一の搬送手段及び前記第二の搬送手段を制御する制御手段とを備えた基板処理装置であって、
前記第二の搬送手段は、前記基板を保持する保持部と前記基板の位置決めに利用される位置決め部とを少なくとも設けた基板保持機構を有し、
前記制御手段は、前記基板を取り出す際に、前記保持部に保持した前記基板を前記所定の位置へ後退させ、前記所定の位置に戻した基板の側部に前記位置決め部を当接して前記基板の位置を補正して、前記基板を前記保持部に載置した後、前記基板を取り出すように前記第二の搬送手段を制御する基板処理装置。
【符号の説明】
【0046】
10
半導体製造装置(アッシング装置)
700 コントローラシステム(装置コントローラ)
【技術分野】
【0001】
本発明は、半導体製造装置でキャリアから基板を取り出す際に、位置ずれしている基板の位置を補正する機能に関するものである。
【背景技術】
【0002】
基板を収容するキャリアとしてのFOUP((Front Opening Unified Pod)は、各種の外部搬送装置であるOHT(Overhead Hoist Transfer)やAGV(Automatic Guided Vehicles)、或いは人が、ロードポートLP(Load Port)上にセットする。その際に、装置納入先で使用しているFOUPメーカの相違や搬送の振動などにより基板としてのウェハの位置が揃ってなかったり、或いはFOUPの蓋を開けた際の反動によりウェハが飛び出したりする場合がある。その状態のまま、装置内に搬送すると搬送ずれが発生し、ウェハをこすった差異のパーティクルや搬送ミスによる停止の原因となる。
【0003】
そこで、従来は、アライナなどによりウェハ位置ずれを検知し、アライナからウェハを取り出す際にずれた分をロボットで補正し取り出すか、或いはグリップアーム式のロボットにより強制的にウェハ位置を補正するなどの方法が取られてきた。しかしながら、上記のような方法は、アライナやグリップアームなどを必要とするため、装置原価高となってしまう。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
本発明では、装置に投入されたFOUP内のウェハ位置ずれを、高価な装置機構を装備せずに、搬送方式を改造するだけで補正することができる基板搬送機能を備えた基板処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0005】
本発明の第一の特徴は、基板を処理する処理室と、前記基板を予備室から前記処理室まで搬送する第一の搬送手段を備えた真空搬送室と、基板をキャリアから前記予備室まで搬送する第二の搬送手段を備えた大気搬送室と、前記第一の搬送手段及び前記第二の搬送手段を制御する制御手段とを備えた基板処理装置であって、前記制御手段は、前記キャリア内の前記基板を取り出す際に、前記基板の位置決めを行った後、前記基板を取り出すように前記第二の搬送手段を制御することにある。
【0006】
本発明の第二の特徴は、前記第二の搬送手段は、前記基板を保持する保持部と前記基板の位置決めに利用される位置決め部とを少なくとも設けた基板保持機構を有し、前記制御手段は、前記キャリア内の前記基板を取り出す際に、前記位置決め部を前記基板の側部に当接して前記基板の位置を補正して、前記基板を前記保持部に載置した後、前記基板を取り出すように前記第二の搬送手段を制御することにある。
【発明の効果】
【0007】
半導体製造装置で顧客設備からFOUPを受け取り、FOUP扉が開いた際に、ウェハが既に位置ずれを起していることが多く、これに対してアライナ、エッジグリップなど機構的な補正機能を保持して装置内でのウェハの搬送を保証している。しかしながら、これらの機構を装備するには費用がかかる。一方、本発明によれば、アライナやエッジグリップなどの特殊な機構を装備するのではなく、搬送シーケンスを工夫することでウェハ位置を保証するものである。これにより、装置内でのウェハずれによる停止や接触によるパーティクル問題を回避できる。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【図1】本発明の一実施形態である半導体製造装置を示す平面断面図である。
【図2】本発明の一実施形態である半導体製造装置を示す縦断面図である。
【図3】本発明の一実施形態である半導体製造装置における処理室を示す斜視図である。
【図4】本発明の一実施形態におけるウェハ移載装置の構造を示す図である。
【図5】処理室内のウェハ移載フローを示す各模式的平面図及び各縦断面図である。
【図6】処理室内のウェハ移載フローの続きを示す各模式的平面図及び各縦断面図である。
【図7】本発明の一実施形態である半導体製造装置におけるコントローラ構成を示す図である。
【図8】本発明の一実施形態における搬送シーケンスを例示する図である。
【図9】本発明の一実施形態における搬送工程を模式的に示した図である。
【図10】本発明の一実施形態における位置補正を説明するための図である。
【図11】本発明の一実施形態に用いるFOUPの例である。
【図12】本発明の他の実施形態における搬送工程を模式的に示した図である。
【図13】本発明の他の実施形態における搬送工程を模式的に示した図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【0009】
本実施形態において、本発明に係る基板処理装置は、半導体製造装置10として構成されている。図1に示されるように、半導体製造装置10は、トランスファチャンバTCとしての真空搬送室(以後、第一搬送室ともいう場合がある)12を中心として、2つのロードロックチャンバLC1,LC2としてのロードロック室(予備室)14a,14b及びプロセスチャンバPC1,PC2としての処理室16a,16bが2つ配置されている。各プロセスチャンバには2つの処理部が構成されている。2つのロードロック室14a,14bの上流側には第二搬送室であるEFEM(Equipment Front End Module)18が配置されている。また、EFEMは以後、大気搬送室という場合がある。
【0010】
EFEM18には、基板としてのウェハ1を格納したキャリアであるFOUPを搭載するためのロードポート20が設けられている。図1では、ロードポート20(LP1,LP2,LP3)にそれぞれFOUPが搭載されている。キャリアであるFOUPには25段の基板保持部としてのスロットが形成されており、格段のスロットはウェハを1枚ずつ保持するように構成されている。したがって、FOUPは最小1枚から最大25枚のウェハ1を収容可能である。EFEM18内には第二搬送装置としてのウェハ移載装置40が設置されており、ウェハ移載装置40は大気中にて同時に複数枚(通例、5枚)を移載することができる。ウェハ移載装置40は2つのロードロック室14a,14bとの間のウェハ移載を可能としている。ここで、ウェハ移載装置40を以後、大気ロボットという場合がある。図1には、明示されていないが、ウェハ移載装置40は2アームである。1つのアームには、5枚一括搬送するためのブレードが備えられ、他のアームには、1枚搬送用のブレードが備えられる。
【0011】
図4に2アームを備えたウェハ移載装置(大気ロボット)40に付いての構造の一例を示す。1つのアーム(アーム1)には、ブレードが5枚取り付けられているため、ウェハ1の5枚一括搬送が可能である。他のアーム(アーム2)には、ブレードが1枚取り付けられ、ウェハ1の枚葉搬送が可能である。尚、両アーム(アーム1、アーム2)には、整頓棒と称されるウェハ1をキャリアから取り出す際に、飛出しウェハ1をキャリアの奥側へ押し込むための棒状のものが装備されている。以後、この棒状のものを位置決め部と呼ぶことがある。この位置決め部の材質は、PEEK材(PolyEtherEtherKetone)などである。尚、この位置決め部を飛出しウェハ1に当接させるためパーティクルの懸念が生じるが、それは、押し込み時の速度調整と、EFEM内でのダウンフローにより解決可能である。ここで、本実施の形態では、2アームを設け、5枚一括と1枚を取り分けられる構造について示したが、この実施形態に限定される種々の構造が、本願発明の主旨に反しない限り可能なことはいうまでもない。また、位置決め部の材質は、Al(アルミニウム)でもよい。
【0012】
図2に示されているように、ロードロック室14a,14bには支持台20が設けられており、支持台20は25枚のウェハを縦方向に一定間隔を隔てて収容する。支持台20は、例えば、炭化珪素やアルミで構成しており、上部板22と下部板24とを接続する例えば3つの支柱26を有する。支柱26の長手方向内側には例えば25個の載置部28が平行に形成されている。また、支持台20は、ロードロック室14a,14b内において、鉛直方向(上下方向に移動)するように構成されているとともに、鉛直方向に延びる回転軸を軸として回転するように構成されている。また、第一搬送室、第二搬送室の双方のアームがアクセスできウェハを受け渡しできるのならば、回転軸がない構成でもよい。
【0013】
搬送室12には第一搬送装置としてのウェハ移載装置30が設置されている。以後、真空ロボットということもある。ウェハ移載装置30はロードロック室14a,14bと処理室16a,16bとの間でウェハ1を搬送する。ウェハ移載装置30はフィンガーアッシー32が設けられたアーム34を備えている。フィンガーアッシー32は上フィンガー32aと下フィンガー32bとを有する。上フィンガー32aと下フィンガー32bとは同一の形状をしており、上下方向に所定の間隔で離間され、アーム34からそれぞれ略水平に同じ方向に延びて、ウェハ1をそれぞれ支持する。アーム34は鉛直方向に延びる回転軸を中心として回転するように、かつ、水平方向に移動するように構成されている。搬送室12と処理室16a、搬送室12と処理室16bは、ゲートバルブ35(図3参照)を介してそれぞれ連通している。図2ではフィンガーアッシー32が1つだけ表示されているが、この形態に限定されないのはいうまでも無い。例えば、アーム34を2つ設けてもよい。そうすると、各処理室16には処理部が2つ設けられているが、一度で各処理部における処理済ウェハ1と未処理ウェハ1の入れ替えが可能となる。また、以後、フィンガーアッシー32をブレード32という場合がある。
【0014】
このように、搬送室12に設置されたウェハ移載装置30はロードロック室14a,14bにストックされた未処理ウェハを同時に2枚ずつゲートバルブ35を介して処理室16a,16bへ移載することができるとともに、処理済ウェハを一度に2枚ずつ処理室16a,16bからロードロック室14a,14bに移載することができる。
【0015】
図3に示されているように、処理ユニット16には2つの保持台37が設置されている。搬送室12側の保持台37を第一処理部36、他方の保持台37を第二処理部38とする。第一処理部36と第二処理部38は各々独立した構造となっており、装置全体からみると、ウェハ処理流れ方向と同方向一列になっている。すなわち、第二処理部38は、搬送室12から第一処理部36を挟んで遠方に配置されている。第一処理部36と第二処理部38とは連通し、処理室16内は300℃までの昇温が可能である。第一処理部36と第二処理部38は、例えばアルミニウムで形成され、内挿したヒータ(不図示)により加熱される。省スペース、低コストの目的を達成するため、ロードロック室14a,14b、搬送室12および処理室16a,16bを例えばアルミニウム1部品にて形成してもよい。
【0016】
処理室16内の第一処理部36と第二処理部38の間の内側寄りには、第三搬送装置としての処理室内のウェハ移載装置(以下、内側移載装置ともいう)50が設けられている。内側移載装置50はウェハ移載装置(以下、外側移載装置ともいう)30によって搬送された2枚の未処理ウェハのうちの1枚を第二処理部38へ移載し、さらに、第二処理部38の処理済ウェハを外側移載装置30のフィンガーアッシー32上へ移載する。内側移載装置50は、回転軸である軸部の回転動作、昇降動作に伴い、回転動作や昇降動作を行うので、外側移載装置30によって処理室16に搬送された2枚のウェハのうち、1枚のウェハを第一処理部36上方から搬送室12の遠方にある第二処理部38に搬送して載置することができる。尚、内側移載装置50は、第一処理部36および第二処理部38からの熱輻射により高温(200℃くらい)になるため、耐プラズマ性、耐高熱性である例えばアルミナセラミックス、石英、SiC(炭化珪素)、AlN(窒化アルミニウム)等から形成するのが好ましい。金属部品に比べ熱膨張係数の小さい例えばアルミナセラミックスで形成することで、熱変形によるたわみ等による搬送信頼性劣化を防止することができる。ただし、内側移載装置50の基部には位置やレベル(高さ)調整のため、金属部品を使用する。
【0017】
図5および図6に処理室16内におけるウェハ移載のフローの概要を示す。図5(a)〜(d)および図6(e)〜(h)において、上図は処理室16の上面図であり、下図は上図の断面をイメージした図で、説明用図面である。下図では、保持ピン39aの一つが第一処理部36内のゲートバルブ35に近い箇所に設けられている。これは説明の便宜上のものである。実際には上図のように、第一処理部36内のゲートバルブ35に近い箇所、すなわち、外側移載装置30が図5(c)上図のように待機する箇所には、保持ピン39aは設けられていない。
【0018】
尚、以下の説明において、半導体製造装置10を構成する各部の動作は、後述するコントローラシステム700により制御されている。まず、処理室16内は搬送室12と同圧に減圧化される。
【0019】
(ステップ1 図5(a))
ゲートバルブ35が開き、第一処理部36の第一保持ピン39aと第二処理部38の第二保持ピン39bが上昇する。内側移載装置40は第二処理部38側に待機し、第一保持ピン39a、第二保持ピン39bと共に上昇する。
【0020】
(ステップ2 図5(b))
内側移載装置40は、軸部43eが回転することで、略水平に第一処理部36側へ移動する。この際、内側移載装置40の切欠き部43bは、ゲートバルブ35と向かい合っている。
【0021】
(ステップ3 図5(c))
外側移載装置30が上フィンガー32aと下フィンガー32bに載置された2枚のウェハ1を同時に搬送しながら、搬送室12からゲートバルブ35を介して処理室16に移動し、第一処理部36の上方にて停止する。その際、内側移載装置40はフィンガーアッシー32の上フィンガー32aと下フィンガー32bの間に収まる高さ位置にて待機している。
【0022】
(ステップ4 図5(d))
外側移載装置30はそのまま動作しない状態にて、第一処理部36の第一保持ピン39aが上昇し、下フィンガー32bに載置されたウェハ1を第一保持ピン39a上に載置する。さらに、内側移載装置40が上昇することで、上フィンガー32aに載置されたウェハを内側移載装置40の爪部43c上に載置する。
【0023】
(ステップ5 図6(e))
外側移載装置30は、搬送室12内に戻る。
【0024】
(ステップ6 図6(f))
内側移載装置40は、ウェハ1を載置した状態で、軸部43eが回転することで略水平に第二処理部38側へ移動する。また、同時にゲートバルブ35が閉まる。
【0025】
(ステップ6 図6(g))
軸部43eが下降して、内側移載装置40は、第二処理部38の外周下方に移動する。内側移載装置40は、ウェハ処理中も処理室16内に待機することになるため、第二処理部38上方から供給される処理ガス(例えばO2ラジカル等)のガスの流れを阻害し、ウェハ面内の均一性を悪化させる危惧がある。そのため、第二処理部38の外周のガス流れを阻害しない高さへと移動する。
【0026】
(ステップ6 図6(h))
第一処理部36の第一保持ピン39aおよび第二処理部38の第二保持ピン39bがウェハ1を略水平に保持した状態で略同時に下降し、ウェハ1を保持台37に載置する。すなわち、それぞれのウェハ1と、それらのウェハ1に対応した保持台との距離が互いに等しくなるよう、ウェハ1を下降させる。第一処理部36および第二処理部38それぞれのウェハ1への熱影響を同じにするためである。
【0027】
その後、処理室16内にガスを供給し、プラズマ生成(アッシング処理)がなされ、基板処理後は、逆のシーケンスを実行し、処理済ウェハ1を搬出する。
【0028】
図7は、本発明に於けるコントローラ構成を示す図である。本発明に於ける装置コントローラとしてのコントローラシステム700は、操作部(OU)701と、メインコントローラとしての統括制御コントローラ702と、第二搬送装置としての大気ロボットコントローラ704と、第一搬送装置としての外側移載装置(真空ロボット)30を制御する真空ロボットコントローラ705とがLANを介して接続されている。尚、図示されていないが、内側移載装置50(処理室ロボット)を制御する処理室ロボット制御コントローラもLANを介して接続されている。
【0029】
操作部701は、モニタ表示、ロギングデータやアラームなどの解析、及びパラメータ編集などを行うための画面を表示する図示しない表示部と、該表示部を介して入力された指示データや各種レシピや各種パラメータをファイルとして格納する図示しない記憶部と、システム制御コマンドなどのコマンドや、各種レシピ作成時における設定値を入力する図示しない入力部などを設けた構成である。メインコントローラとしての統括制御コントローラ702は、コントローラシステム700全体の運用制御を行う。また、真空ロボットコントローラ705、大気ロボットコントローラ704等の搬送系制御、真空排気系制御。各プロセスチャンバPCとしてのプロセス制御(温度、カ゛ス、圧力、RF等)を行う。また、統括制御コントローラ702の直下の通信回線であるセンサバスを介してウェハ1を検知する各種センサからの信号を取り込むと共にウェハ情報を確認しながら各ロボット(真空ロボットや大気ロボット)と連動し、搬送制御を実施する。サブコントローラ703は、前記統括制御コントローラ702の命令(指示)に対して、MFCやAPC(オートプレッシャーコントローラ)やRF発信機や温調(温度調節器)などに数値データを出力したり、反対に、数値を受信し、前記統括制御コントローラ702に送信する。また、サブコントローラ703は、命令(指示)されたバルブパターンに対してバルブインターロックをかけたり、ハードインターロックを検出し適切な処理を実施したりと高制御性能を必要とする処理を実施する。尚、上記表示部、記憶部、入力部は、操作部701と別体であってもよいし、また、メインコントローラ701に対して別体であってもよい。
【0030】
また、図示しないGEMコントローラと、また、該GEMコントローラを介して図示しないユーザ(顧客)側のHostコンピュータとに接続され、工場内の自動化システムを実現する。
【0031】
次に、図8を用いて大気ロボット40のアーム34を動作させる制御方式について説明する。図8においては、大気ロボット40がFOUPからウェハ1を5枚一括して取り出す(Get処理)動作について説明する。
【0032】
まず、該当するFOUPに対してアーム34のブレード32を、ウェハ1を載置する各スロットの間へ進入させ、FP(Front Position)まで移動させる。FPまではブレード32は無負荷なので高速で移動される。次に、PP(Push Position)まで低速で移動させる。これは、ウェハ1の位置を補正するための位置決め部がウェハ1の側部と当接され、更にFOUPの奥側へ押しているためである。そして、高速でウェハ1を掬い上げる位置SP(Set Position)へブレード32を移動させる。ウェハ1を掬い上げるため、ブレード32の昇降軸の掬い上げ量が増加される。掬い上げ作業が終了したら、ブレード32の伸縮軸をHOME位置へ移動させる。尚、ブレード32の昇降軸や伸縮軸のスピードは、パラメータテーブルを参照して実行される。従って、パラメータ変更によってスピードを任意に変更可能である。
【0033】
本実施の形態において、従来のFOUPに対するウェハ1の取り出し動作と比較して、ブレード32を押し込み位置PPまで進入させて、ウェハ1の側部にアーム34に備えられた位置決め部を当接して押し込むことで、飛出しウェハ1の位置を補正して正常なウェハ1と同様に掬い上げを行うことができる。
【0034】
図9は、図8で例示した搬送シーケンスを実際に動作させたときの模式図である。図9(a)で高速でブレード32をFOUP内に進入させ、FPで停止させ、図9(b)で低速でブレード32を更にFOUP内の奥へ進入させ、飛出しウェハ1を押し込み、押し込み位置PPで停止させる。このときに、他の正常なウェハと位置決め部とは接触する程度が望ましい。正常なウェハ1を更にFOUP内の奥へ押し込む必要はないためである。図9(c)でブレード32を掬い上げる位置SPまで戻す(FOUPの外側へ後退させる)。図9(d)でウェハ1を掬い上げる。最後に、図9(e)でブレード32をFOUPから後退させて、ウェハ1の取り出し動作を完了する。
【0035】
次に、図10は、本実施の形態における飛出しウェハ1の位置を補正する仕組みについて説明する。
【0036】
図10に示すように、FOUPの構成は、ウェハ1を支持するウェハ支持台としての基板支持部801とウェハ1がFOUPの奥側にぶつからない様に止めるウェハストッパーとしての基板止め部802が設けられている。本願実施の形態における基板搬送方式は、このFOUPの構成を有効利用したものである。つまり、前記基板止め部802上に載置されているウェハ1を整頓棒(即ち、位置決め部)で押し、ウェハ1の位置を変える際に、前記基板止め部802上をウェハ1が滑ることになる。ここで、所定の位置でウェハ1が停止するよう作成されている。尚、図10は図9(a)の前のFOUPへブレード32を進入させる際の図面でもあるのはいうまでもない。また、このFOUPの各例を図11に示す。
【0037】
他の実施例について図12と図13に示す。つまり、FOUPの手前側(ウェハ飛出し)だけでなく、ウェハの奥側にも位置ずれが生じている場合における搬送工程を模式的に示したものである。尚、図12(f)と図13(g)は便宜上別々の図となっているが、搬送工程上では一続きになっているのはいうまでもない。
【0038】
本実施例における搬送動作の開始時には、図12(a)より、それぞれのHOME位置(初期位置)であることが確認される。まず、該当するFOUPに対してアーム34に付属するブレード32を、ウェハ1を載置する各スロットの間へ進入させ、位置決め部の表面がFP(Front Position)の位置まで移動させる(図12(b))。FPまではブレード32は無負荷なので高速で移動され、次に、位置決め部の表面が基板載置位置SP(Set Position)まで低速で移動させる(図12(c))。そして、基板載置位置SPの位置で、ウェハ1を掬い上げる(図12(d))。待機位置WP(Wait Position)へブレード32を移動させる(図12(e))。ウェハ1を降ろすことでFOUP奥にずれていたウェハ1をFOUPの手前(蓋側)へ移動させる(図12(f))。再び低速で、基板載置位置SPまで押し込むことで奥側へ飛び出していたウェハ1に合わせて他のウェハ位置を合わせることになる(図13(g))。その後、基板取り出し位置GP(Get
Posiotn)までブレード32を移動させ(図13(h))、ウェハ1を掬い上げる(図13(i))。これらの動作により、FOUP奥側、手前側に飛び出していたウェハ位置を補正し、ブレード32の中心にウェハの載せることができる。尚、ブレード32の昇降軸や伸縮軸のスピードは、パラメータテーブルを参照して実行される。従って、パラメータ変更によってスピードを任意に変更可能である。
【0039】
本実施の形態において、位置決め部によるウェハ1を当接することでパーティクルが懸念されるが、本搬送方式を用いずに搬送処理した結果、真空ロボット30でウェハ1ずれを起こして、ブレード32の縁に乗り上げたり、ロードロックチャンバLC内のボート柱にぶつけたりしてしまうよりも、当然ながらゴミ(パーティクル)は出ない。また、大気側ですので、EFEM内のダウンフローがきいているため、ゴミを飛ばすことも可能である。従って、本搬送方式を用いず搬送エラーを生じることのリスクに比べれば、低速で位置決め部を当接して多少FOUPの基板支持部801で擦れるのは何等問題にならない。特に、本願発明における半導体製造装置の一種であるアッシング装置は、スループットが数百枚/hとなる高スループットを要求されるため、搬送エラーが生じてしまうと著しく装置稼働率が低下してしまう。
【0040】
本願発明の実施において、複数の基板からなるロット毎に、これらウェハ位置補正機能を使用しない搬送方式、ウェハ飛出し補正機能を有する搬送方式、ウェハ飛出し補正機能にウェハ奥側への位置ずれの補正機能を有する搬送方式を選択できるようにしても良い。更に、FOUP毎に上記の搬送方式を設定できるようにしてもよい。
【0041】
<本発明の好ましい態様>
以下に本発明の好ましい態様について付記する。
【0042】
本発明の第1の態様は、基板を処理する処理室と、前記基板を予備室から前記処理室まで搬送する第一の搬送手段を備えた真空搬送室と、基板をキャリアから前記予備室まで搬送する第二の搬送手段を備えた大気搬送室と、前記第一の搬送手段及び前記第二の搬送手段を制御する制御手段とを備えた基板処理装置であって、前記制御手段は、前記キャリア内の前記基板を取り出す際に、前記基板の位置決めを行った後、前記基板を取り出すように前記第二の搬送手段を制御する基板処理装置及び基板処理装置の基板搬送方法である。
【0043】
本発明の第2の態様は、前記第二の搬送手段は、前記基板を保持する保持部と前記基板の位置決めに利用される位置決め部とを少なくとも設けた基板保持機構を有し、前記制御手段は、前記キャリア内の前記基板を取り出す際に、前記位置決め部を前記基板の側部に当接して前記基板の位置を補正して、前記基板を前記保持部に載置した後、前記基板を取り出すように前記第二の搬送手段を制御する第1の態様に記載の基板処理装置及び基板処理装置の基板搬送方法である。
【0044】
本発明の第3の態様は、基板が搬入された前記処理室内に処理ガスを供給すると共に、前記処理室内にプラズマを生成して前記基板の表面を処理する制御手段を有する第1又は第2の態様に記載の基板処理装置により実施される半導体装置の製造方法である。
【0045】
本発明の第4の態様は、基板を処理する処理室と、前記基板を予備室から前記処理室まで搬送する第一の搬送手段を備えた真空搬送室と、基板をキャリアから前記予備室まで搬送する第二の搬送手段を備えた大気搬送室と、前記第一の搬送手段及び前記第二の搬送手段を制御する制御手段とを備えた基板処理装置であって、
前記第二の搬送手段は、前記基板を保持する保持部と前記基板の位置決めに利用される位置決め部とを少なくとも設けた基板保持機構を有し、
前記制御手段は、前記基板を取り出す際に、前記保持部に保持した前記基板を前記所定の位置へ後退させ、前記所定の位置に戻した基板の側部に前記位置決め部を当接して前記基板の位置を補正して、前記基板を前記保持部に載置した後、前記基板を取り出すように前記第二の搬送手段を制御する基板処理装置。
【符号の説明】
【0046】
10
半導体製造装置(アッシング装置)
700 コントローラシステム(装置コントローラ)
【特許請求の範囲】
【請求項1】
基板を処理する処理室と、前記基板を予備室から前記処理室まで搬送する第一の搬送手段を備えた真空搬送室と、基板をキャリアから前記予備室まで搬送する第二の搬送手段を備えた大気搬送室と、前記第一の搬送手段及び前記第二の搬送手段を制御する制御手段とを備えた基板処理装置であって、
前記制御手段は、前記キャリア内の前記基板を取り出す際に、前記基板の位置決めを行った後、前記基板を取り出すように前記第二の搬送手段を制御することを特徴とする基板処理装置。
【請求項2】
前記第二の搬送手段は、前記基板を保持する保持部と前記基板の位置決めに利用される位置決め部とを少なくとも設けた基板保持機構を有し、
前記制御手段は、前記キャリア内の前記基板を取り出す際に、前記位置決め部を前記基板の側部に当接して前記基板の位置を補正して、前記基板を前記保持部に載置した後、前記基板を取り出すように前記第二の搬送手段を制御することを特徴とする基板処理装置。
【請求項1】
基板を処理する処理室と、前記基板を予備室から前記処理室まで搬送する第一の搬送手段を備えた真空搬送室と、基板をキャリアから前記予備室まで搬送する第二の搬送手段を備えた大気搬送室と、前記第一の搬送手段及び前記第二の搬送手段を制御する制御手段とを備えた基板処理装置であって、
前記制御手段は、前記キャリア内の前記基板を取り出す際に、前記基板の位置決めを行った後、前記基板を取り出すように前記第二の搬送手段を制御することを特徴とする基板処理装置。
【請求項2】
前記第二の搬送手段は、前記基板を保持する保持部と前記基板の位置決めに利用される位置決め部とを少なくとも設けた基板保持機構を有し、
前記制御手段は、前記キャリア内の前記基板を取り出す際に、前記位置決め部を前記基板の側部に当接して前記基板の位置を補正して、前記基板を前記保持部に載置した後、前記基板を取り出すように前記第二の搬送手段を制御することを特徴とする基板処理装置。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【公開番号】特開2011−61135(P2011−61135A)
【公開日】平成23年3月24日(2011.3.24)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2009−211654(P2009−211654)
【出願日】平成21年9月14日(2009.9.14)
【出願人】(000001122)株式会社日立国際電気 (5,007)
【Fターム(参考)】
【公開日】平成23年3月24日(2011.3.24)
【国際特許分類】
【出願日】平成21年9月14日(2009.9.14)
【出願人】(000001122)株式会社日立国際電気 (5,007)
【Fターム(参考)】
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