基板搬送システム
【課題】搬送アームのベース上方に設けた撮像装置だけで，搬送アームのピック上の基板を検出する。
【解決手段】搬送アーム２１０と共に旋回自在に支持され，ピック側に配置されるピック側ミラー３１０を備えたピック側ユニット３０４とベース側に配置されるベース側ミラー３１２を備えたベース側ユニット３０６とを少なくとも有し，ピック側ミラーはピックに保持されたウエハＷの周縁を含む画像をベース側に向けて反射するように配置し，ベース側ミラーはピック側ミラーからの画像をベースの上側に向けて反射するように配置したミラーユニットと，ベース側ミラーからの画像が撮像領域に含まれるようにベースの上方に設けられた撮像装置１３０とを設け，撮像装置で取り込んだ当該画像に基づいて基板状態を検出する。
【解決手段】搬送アーム２１０と共に旋回自在に支持され，ピック側に配置されるピック側ミラー３１０を備えたピック側ユニット３０４とベース側に配置されるベース側ミラー３１２を備えたベース側ユニット３０６とを少なくとも有し，ピック側ミラーはピックに保持されたウエハＷの周縁を含む画像をベース側に向けて反射するように配置し，ベース側ミラーはピック側ミラーからの画像をベースの上側に向けて反射するように配置したミラーユニットと，ベース側ミラーからの画像が撮像領域に含まれるようにベースの上方に設けられた撮像装置１３０とを設け，撮像装置で取り込んだ当該画像に基づいて基板状態を検出する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は，搬送アームを用いて半導体ウエハ，液晶基板，太陽電池用基板などの基板を搬送する基板搬送システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスを製造する際の装置として，半導体ウエハなどの基板に対して所定の処理を繰り返し施すために，多種多様なプロセスチャンバが組み合わされており，これらのチャンバ同士間及び基板を多数枚収容するカセットと上記チャンバとの間などに基板を自動的に受け渡しを行うための搬送アーム機構が設けられている。この搬送アーム機構は，例えば屈伸及び旋回自在になされた搬送アームを有しており，この搬送アームの先端に設けたピックで基板を保持して搬送するようになっている。
【０００３】
このような搬送アーム機構では，基板の位置ずれや落下，損傷などが発生する虞があるので，従来より搬送アームのピックに光センサや発光器などの検出器を直接取り付けて，ピック上の基板の有無や位置ずれなどを検出するものがある（例えば下記特許文献１，２参照）。また，ピック以外に検出器を設けるものとして，プロセスチャンバの搬出入口付近に設けたＣＣＤによって，基板を直接撮像することによって位置ずれを検出するものもある（例えば下記特許文献３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−６０１３５号公報
【特許文献２】特開平０７−６９４０６号公報
【特許文献３】特開２００８−３０６１６２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら，上記特許文献１，２のようにピックに検出器を直接取り付けるものでは，ピックの数が多くなるほど検出器の数も増えてしまう。それだけでなく，その検出器を駆動する電力を供給のためのバッテリや配線もピックに取り付けなければならない。これらは熱に弱いため，例えば基板の搬送先が高温チャンバの場合には，ピックで基板を搬出入する際にその熱によって検出器自体だけでなく，バッテリや配線まで損傷する虞があるという問題がある。
【０００６】
また，ピック以外に検出器を設ける場合には上記の問題は生じないものの，例えば上記特許文献３のようにＣＣＤで基板を直接撮像して位置ずれを検出するものなどにおいては，そのＣＣＤの撮像範囲に基板が入っていなければ検出できないため，ピックの数だけではなく，その動きなどに応じてＣＣＤの数を増やしたり，ＣＣＤの配置位置を見直したりしなければならないという問題がある。
【０００７】
そこで，本発明は，このような問題に鑑みてなされたもので，その目的とするところは，搬送先のチャンバや搬送アームの構成に拘わらず適用でき，検出器の数を減少できる基板搬送システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために，本発明のある観点によれば，基板に所定の処理を施すプロセスチャンバに接続され，搬出入口を介して基板のやり取りを行うトランスファチャンバを備えた基板搬送システムであって，前記トランスファチャンバ内に設けられたベースに旋回自在に支持され，屈伸自在に構成された搬送アームと，前記搬送アームの先端に設けられ，前記基板を保持するピックと，前記ベースに前記搬送アームと共に旋回自在に支持され，前記ピック側に配置されるピック側ミラーを備えたピック側ユニットと前記ベース側に配置されるベース側ミラーを備えたベース側ユニットとを少なくとも有し，前記ピック側ミラーは前記ピックに保持された前記基板の周縁を含む画像を前記ベース側に向けて反射するように配置し，前記ベース側ミラーは前記ピック側ミラーからの画像を前記ベースの上側に向けて反射するように配置したミラーユニットと，前記ベース側ミラーからの画像が撮像領域に含まれるように前記ベースの上方に設けられた撮像装置と，前記撮像装置で取り込んだ前記ベース側ミラーからの画像に基づいて，前記基板の状態を検出する制御部と，を備えたことを特徴とする基板搬送システムが提供される。
【０００９】
また，上記ミラーユニットは，例えば前記ピック側ユニットと前記ベース側ユニットとを連結ユニットで水平に連結して構成し，前記連結ユニットは，筒状に形成し，その両端で前記ピック側ミラーと前記ベース側ミラーが対向するように配置する。この場合，上記ベース側ユニットは前記ベースに支持したまま，前記ピック側ユニットは前記ピックに取り付け，前記連結ユニットは伸縮自在に構成してもよい。
【００１０】
また，上記ミラーユニットは，前記ピック側ユニットと前記ベース側ユニットを水平に離間させて構成し，前記ベース側ユニットは前記ベースに支持したまま，前記ピック側ユニットは前記ピックに取り付け，前記ピック側ユニットと前記ベース側ユニットは，前記ピック側ミラーと前記ベース側ミラーが対向するように配置するようにしてもよい。
【００１１】
また，上記ベースに前記搬送アームを複数設け，前記搬送アームごとに前記ミラーユニットを設け，前記各ピック側ミラーは前記各ピックに保持された前記基板の周縁を含む画像をそれぞれ前記ベース側に向けて反射するように配置し，前記各ベース側ミラーは前記各ピック側ミラーからの画像を前記ベースの上側に向けて反射するように配置し，前記撮像装置は，前記各ベース側ミラーからの画像がすべて撮像領域に含まれるように配置し，前記制御部は，前記撮像装置で取り込んだ前記各ベース側ミラーからの画像に基づいて，前記各基板の状態を一度に検出するようにしてもよい。この場合，上記複数の搬送アームのピックをそれぞれ鉛直方向にずらして設けた場合には，前記各ベース側ミラーが重ならないように，前記各ベース側ユニットを水平方向にずらして設けるようにしてもよい。
【００１２】
また，上記ベースに前記搬送アームを水平に２つ並べて設け，これらのピックの中間に１つの前記ミラーユニットを設け，前記ピック側ミラーは前記各ピックに保持された前記基板の周縁を両方含む画像を前記ベース側に向けて反射するように配置し，前記ベース側ミラーは前記ピック側ミラーからの画像を前記ベースの上側に向けて反射するように配置し，前記撮像装置は，前記ベース側ミラーからの画像が撮像領域に含まれるように配置し，前記制御部は，前記撮像装置で取り込んだ前記ベース側ミラーからの画像に基づいて，前記各基板の状態を一度に検出するようにしてもよい。
【００１３】
上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，基板に所定の処理を施すプロセスチャンバに接続され，搬出入口を介して基板のやり取りを行うトランスファチャンバを備えた基板搬送システムであって，前記トランスファチャンバ内に設けられたベースに旋回自在に支持され，屈伸自在に構成された複数の搬送アームと，前記搬送アームの先端に設けられ，前記基板を保持するピックと，前記ベースに前記搬送アームと共に旋回自在に支持され，前記各ピック側に配置されるピック側ミラーを備えた複数のピック側ユニットと前記ベース側に配置される複数のベース側ミラーを備えた１つのベース側ユニットとを有し，前記各ピック側ミラーは前記各ピックに保持された前記基板の周縁を含む画像をそれぞれ前記ベース側に向けて反射するように配置し，前記各ベース側ミラーは前記各ピック側ミラーからの画像をそれぞれ前記ベースの上側に向けて反射するように配置したミラーユニットと，前記各ベース側ミラーからの画像がすべて撮像領域に含まれるように前記ベースの上方に設けられた撮像装置と，前記撮像装置で取り込んだ前記各ベース側ミラーからの画像に基づいて，前記各基板の状態を検出する制御部と，を備えたことを特徴とする基板搬送システムが提供される。
【００１４】
上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，基板に所定の処理を施すプロセスチャンバに接続され，搬出入口を介して基板のやり取りを行うトランスファチャンバを備えた基板搬送システムであって，前記トランスファチャンバ内に設けられたベースに旋回自在に支持され，屈伸自在に構成された搬送アームと，前記搬送アームの先端に筒状連結部を介して設けられ，前記基板をそれぞれ保持する複数のピックと，前記ベースに前記搬送アームと共に旋回自在に支持され，前記各ピック側に配置されるピック側ミラーを備えた複数のピック側ユニットと前記ベース側に配置されるベース側ミラーを備えた１つのベース側ユニットとを有し，前記各ピック側ミラーは前記各ピックに保持された前記基板の周縁を含む画像をそれぞれ前記ベース側に向けて反射するように配置し，前記各ベース側ミラーは前記各ピック側ミラーからそれぞれ前記筒状連結部に設けられた中継ミラーを介して反射された画像を前記ベースの上側に向けて反射するように配置したミラーユニットと，前記各ベース側ミラーからの画像がすべて撮像領域に含まれるように前記ベースの上方に設けられた撮像装置と，前記撮像装置で取り込んだ前記各ベース側ミラーからの画像に基づいて，前記各基板の状態を検出する制御部と，を備えたことを特徴とする基板搬送システムが提供される。
【００１５】
また，上記搬送アームの前記ベースをスライド自在に設けて，前記ベースのスライド方向の複数の位置に停止して前記搬送アームを旋回させる場合には，その停止位置にそれぞれ前記撮像装置を設けるようにしてもよく，また上記搬送アームの前記ベースをスライド自在に設けて，前記撮像装置は前記ベースとともにスライド自在に設けるようにしてもよい。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば，搬送先のチャンバや搬送アームの構成に拘わらず，ミラーユニットによって搬送アームのピックに保持された基板の画像をベース側で見ることができる。このため，搬送アームのベース上方に設けた撮像装置だけで，搬送アームのピック上の基板を検出できるので，検出器の数を減少できる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の実施形態にかかる基板搬送システムを適用したトランスファチャンバの構成例を示す断面図である。
【図２】同実施形態にかかるミラーユニットの第１構成例を説明するための図である。
【図３】図２に示すミラーユニットと搬送アーム装置を上方から見た平面図である。
【図４】同実施形態における搬送アームが旋回したときのミラーユニットの位置を説明するための図である。
【図５】図４に示すように搬送アームが旋回したときのベース側ミラーに映る画像を上方から見たものと，撮像装置の画像との関係を示す図である。
【図６】同実施形態にかかるミラーユニットの第２構成例を説明するための図である。
【図７】図６に示すミラーユニットと搬送アーム装置を上方から見た平面図である。
【図８Ａ】ピックを前進させたときの第２構成例にかかるミラーユニットの動作説明図である。
【図８Ｂ】図８Ａに続く第２構成例にかかるミラーユニットの動作説明図である。
【図８Ｃ】図８Ｂに続く第２構成例にかかるミラーユニットの動作説明図である。
【図９】同実施形態にかかるミラーユニットの第３構成例を説明するための図である。
【図１０】図９に示すミラーユニットと搬送アーム装置を上方から見た平面図である。
【図１１Ａ】ピックを前進させたときの第３構成例にかかるミラーユニットの動作説明図である。
【図１１Ｂ】図１１Ａに続く第３構成例にかかるミラーユニットの動作説明図である。
【図１１Ｃ】図１１Ｂに続く第３構成例にかかるミラーユニットの動作説明図である。
【図１２】同実施形態にかかる搬送アームの他の構成例を説明するための図である。
【図１３】図１２に示す搬送アームに適用される他のミラーユニットの構成例を説明するための図である。
【図１４】同実施形態にかかる搬送アームの他の構成例を説明するための図である。
【図１５】図１４に示す搬送アームに適用される他のミラーユニットの構成例を説明するための図である。
【図１６】同実施形態にかかる搬送アームの他の構成例を説明するための図である。
【図１７】同実施形態にかかる搬送アームの他の構成例を説明するための図である。
【図１８】同実施形態にかかるトランスファチャンバの他の構成例を説明するための図である。
【図１９】同実施形態にかかるトランスファチャンバの他の構成例を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下に添付図面を参照しながら，本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお，本明細書及び図面において，実質的に同一の機能構成を有する構成要素については，同一の符号を付することにより重複説明を省略する。
【００１９】
（基板搬送システム）
先ず，本発明の実施形態にかかる基板搬送システムについて図面を参照しながら説明する。ここでは，基板搬送システムをプロセスチャンバなどとの間で基板をやり取りするトランスファチャンバに適用した場合の例を挙げて説明する。図１は，本実施形態にかかる基板搬送システム１００の概略構成を示す断面図である。
【００２０】
図１に示すトランスファチャンバ１１０は，ウエハＷのプロセス処理を行うプロセスチャンバ１２０にゲートバルブ１０２を介して接続される。トランスファチャンバ１１０とプロセスチャンバ１２０はそれぞれ，例えばアルミニウム製の気密な容器１１２，１２２を備える。
【００２１】
これら容器１１２，１２２の側壁にはそれぞれ，基板を搬出入する基板搬出入口１１３，１２３が対向して設けられている。これら基板搬出入口１１３，１２３はゲートバルブ１０２を開閉することで連通，遮断されるようになっている。
【００２２】
プロセスチャンバ１２０内には，ウエハＷを載置する載置台１２４が設けられている。なお，図１では載置台１２４以外の構成を省略しているが，プロセスチャンバ１２０は，ウエハＷに対する処理に応じて様々な構成を適用可能である。例えばウエハＷにエッチングや成膜などのプロセス処理を行う場合には，チャンバ内圧力を真空圧力に調整する真空ポンプなどの排気部，エッチングガスや成膜ガスなどをウエハＷ上に供給する処理ガス導入部などが設けられる。また高温でウエハＷの処理を行う場合には載置台１２４にヒータや温調装置などを設けるようにしてもよい。
【００２３】
また，このような真空雰囲気で処理を行うプロセスチャンバ１２０を接続する際など，トランスファチャンバ１１０内の圧力も調整する必要がある場合には，トランスファチャンバ１１０側にも図示しない不活性ガス導入部や真空ポンプなどの排気部が設けられる。
【００２４】
トランスファチャンバ１１０の容器１１２内には，搬送アーム装置２００が設けられている。搬送アーム装置２００は，プロセスチャンバ１２０に対してウエハＷを搬出入できるようになっている。具体的には搬送アーム装置２００は，ベース２２０にモータ２０２によって旋回自在に支持された屈伸自在な搬送アーム２１０を備える。ここでの搬送アーム２１０は，複数（例えば２つ）のリンク２３０を接続したリンク機構により構成される。リンク２３０の先端には，ウエハＷを保持するピック（エンドエフェクタ）２４０が設けられる。ピック２４０は搬送アーム２１０の屈伸によって，進退動作するようになっている。
【００２５】
このような搬送アーム装置２００でウエハＷをプロセスチャンバ１２０に搬入する際には，ゲートバルブ１０２を開き，ウエハＷを載置したピック２４０を搬出入口１１３，１２３を介してプロセスチャンバ１２０内に挿入し，載置台１２４に載置する。こうしてウエハＷの搬入が完了すると，ピック２４０をプロセスチャンバ１２０から抜き出して，ゲートバルブ１０２を閉塞する。これにより，プロセスチャンバ１２０内ではウエハＷの処理が行われる。この際，もしプロセスチャンバ１２０内に処理済みのウエハＷが存在するときには，先にそれを搬出して図示しないロードロックチャンバなどに戻してから，新しいウエハＷを搬入する。
【００２６】
基板搬送システム１００には，制御部（全体制御装置）１４０が接続されており，この制御部１４０によってトランスファチャンバ１１０，プロセスチャンバ１２０の各部などが制御されるようになっている。また，制御部１４０には，オペレータが管理するためにコマンドの入力操作等を行うキーボードや，稼働状況を可視化して表示するディスプレイ等からなる操作部１４２が接続されている。
【００２７】
さらに，制御部１４０には，ウエハＷの搬送処理やウエハＷに対するプラズマ処理の他，後述する撮像装置１３０の画像を取り込んでピック２４０上のウエハＷの状態を検出したり，ウエハＷの位置を補正したりする処理などの各種処理を制御部１４０の制御にて実現するためのプログラムやプログラムを実行するために必要な処理条件（レシピ）などが記憶された記憶部１４４が接続されている。
【００２８】
記憶部１４４には，例えば複数の処理条件（レシピ）やウエハＷの状態検出処理などで用いるデータが記憶されている。このうち処理条件については，各部を制御する制御パラメータ，設定パラメータなどの複数のパラメータ値をまとめたものである。各処理条件は例えば処理ガスの流量比，チャンバ内圧力，高周波電力などのパラメータ値を有する。
【００２９】
なお，これらのプログラムや処理条件はハードディスクや半導体メモリに記憶されていてもよく，またＣＤ−ＲＯＭ，ＤＶＤ等の可搬性のコンピュータにより読み取り可能な記憶媒体に収容された状態で記憶部１４４の所定位置にセットするようになっていてもよい。
【００３０】
ところで，上述した搬送アーム装置２００でウエハＷを搬出入する場合，その搬送精度の誤差や温度の急激な変化などによって，ウエハＷに位置ずれが生じる場合がある。特に位置ずれが大きい場合にはチャンバの搬出入口に当たってウエハＷが損傷したり，ウエハを落下したりする虞もある。
【００３１】
このため，ウエハＷの状態を検出して，位置ずれが発生したらそれを修正するようにすることが好ましい。この場合，もしピック２４０やチャンバの搬出入口付近などに多数のセンサを設けてウエハＷの有無やずれを直接検出するようにしたのでは，検出位置を増やすほどセンサの数も多くなり，プロセスチャンバ１２０やウエハＷが高温（例えば２００℃以上）になる場合には，ピック２４０を搬入したときに熱によってセンサやセンサを駆動するための駆動系などが損傷する虞が高くなる。
【００３２】
そこで，本発明においては，搬送アーム装置２００に複数のミラーを内蔵したミラーユニット３００を取り付けて，ピック側のミラーに映るウエハＷの端部画像をベース側のミラーに反射させて，その上方に配置した撮像装置１３０で取り込むようにした。これによれば，撮像装置１３０だけでウエハＷの状態を検出できる。
【００３３】
この場合，例えば図１に示すようにミラーユニット３００は，搬送アーム装置２００の旋回中心付近にベース側を配置して，搬送アーム装置２００とともに旋回するように取り付ける。一方，撮像装置１３０はミラーユニット３００のベース側ミラーの画像が撮像視野に入るように，ベース２２０の上方に配置する。撮像装置１３０はその光軸が搬送アーム２１０の旋回中心軸に一致するように配置することがより好ましい。
【００３４】
図１は，この撮像装置１３０をトランスファチャンバ１１０の天井壁１１４上に支持部材１３２で支持した場合を例に挙げたものである。具体的には天井壁１１４に観察窓（ビューポート）１１６を設け，そこからトランスファチャンバ１１０内を覗くことができるように撮像装置１３０を配置している。なお，撮像装置１３０の支持方法は，搬送アーム装置２００とともに旋回するように支持してもよく，また旋回しないように支持してもよい。
【００３５】
撮像装置１３０としては，ミラーユニット３００に映された画像を取り込むことができるものであればよい。例えばＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｄｅｖｉｃｅ）カメラが挙げられる。
【００３６】
このような構成によれば，搬送アーム２１０が旋回してその先端のピック２４０が旋回しても，ミラーユニット３００も旋回するので，その旋回中においても常にウエハＷの端部の画像は撮像装置１３０で取り込むことができる。なお，ミラーユニット３００の具体的構成例は後述する。
【００３７】
（ミラーユニットの第１構成例）
ここで，ミラーユニット３００の第１構成例について説明する。図２，図３は，ミラーユニット３００の第１構成例を説明するための図である。図２は，ミラーユニット３００をその内部構成とともに説明するため，ミラーユニット３００のみを断面図にしたものである。また，図３は，図２に示すミラーユニット３００を含む搬送アーム装置２００を上方から見た図を示す。
【００３８】
図２に示すミラーユニット３００は，搬送アーム２１０のピック側にウエハＷの端部を覗くように鉛直に配置される筒状のピック側ユニット３０４と，ベース側に撮像手段の撮像領域に入るように鉛直に配置されるベース側ユニット３０６とを備える。これらユニット３０４，３０６は水平に配置される筒状の連結ユニット３０２によって接続される。
【００３９】
具体的には，これらユニット３０４，３０６の側面にはそれぞれ互いに対向する位置に側部開口部３０５ｂ，３０７ｂが形成され，これら側部開口部３０５ｂ，３０７ｂが連結ユニット３０２によって連通するように接続される。なお，図２はこれらユニット３０２，３０４，３０６を一体で構成した場合を示しているが，これに限られるものではなく，それぞれを別体で構成してもよい。
【００４０】
ピック側ユニット３０４には，その下方に設けられたピック側開口部３０５ａと，この開口部３０５ａを通してウエハＷの端部を映すピック側ミラー３１０を備える。ベース側ユニット３０６には，その上方に設けられたベース側開口部３０７ａと，この開口部３０７ａを通してピック側ミラー３１０の画像を撮像装置１３０の撮像範囲に反射させるベース側ミラー３１２が設けられている。
【００４１】
ピック側ミラー３１０とベース側ミラー３１２の位置や傾斜角度は，ピック側開口部３０５ａを通してピック側ミラー３１０に映されたウエハＷの端部の画像が，側部開口部３０５ｂ，３０７ｂを通して，ベース側ミラー３１２を反射し，ベース側開口部３０７ａを通して撮像装置１３０の撮像範囲に入るように調整される。図２では，ピック側ミラー３１０とベース側ミラー３１２を側部開口部３０５ｂ，３０７ｂを介して対向するように配置し，それぞれ入射角と反射角が４５度になるように傾斜させた場合を例に挙げているが，これに限定されるものではない。また，ピック側開口部３０５ａとベース側開口部３０７ａは，ミラーユニット３００内にパーティクルなどが侵入しないように透明窓で塞ぐようにしてもよい。
【００４２】
このような図２に示すミラーユニット３００によれば，ピック２４０に載置されたウエハＷの端部を含む画像は，ミラーユニット３００内のピック側ミラー３１０，ベース側ミラー３１２を介して，例えば後述する図５の左欄のようにベース側開口部３０７ａに映される。この画像は例えば図５の右欄のように撮像装置１３０で取り込まれ，この画像を解析することによってウエハＷの状態を検出できる。
【００４３】
これにより，搬送アーム２１０のピック２４０に保持されたウエハＷの画像をベース２２０側で見ることができる。このため，搬送アーム２１０のベース２２０上方に設けた撮像装置１３０だけで，搬送アーム２１０のピック２４０上のウエハＷを検出できるので，検出器の数を減少できる。
【００４４】
図２に示すミラーユニット３００は，搬送アーム２１０を旋回させるモータ２０２の駆動軸２２２に取り付けられる。この場合，搬送アーム２１０に直接取り付けても良いが，搬送アーム２１０の動作に干渉しないように取り付けることが好ましい。図２ではピック２４０の進退動作を行う方向の反対方向に支持部材３２０を介して取り付けている。
【００４５】
これによれば，搬送アーム２１０が旋回しても，ミラーユニット３００は支持部材３２０とともに同じ回転角度で旋回するので，常に搬送アーム２１０の反対側に位置することになる。このため，ミラーユニット３００は搬送アーム２１０の旋回動作に邪魔になることはない。また，旋回したどの位置でピック２４０の進退動作を行っても，その進退動作の邪魔になることもない。
【００４６】
ここで，搬送アーム２１０が旋回したときのミラーユニット３００の位置と画像について説明する。図４は，搬送アーム２１０が旋回したときのミラーユニット３００の位置を説明するための図である。図５は，搬送アーム２１０が旋回したときのミラーユニット３００のベース側ユニット３０６のベース側ミラーに映る画像を上方から見たものと，撮像装置の画像との関係を示す図である。図４，図５では，（ａ）の搬送アーム２１０の旋回角度を０度としたときに，右に４５度旋回したときの状態を（ｂ）に示し，右に９０度旋回したときの状態を（ｃ）に示す。
【００４７】
搬送アーム２１０が図３の矢印に示すように旋回すると，ミラーユニット３００も搬送アーム２１０と一緒に同じ方向に同じ角度で旋回するようになっている。具体的には図４（ａ）に示す位置を旋回角度０度として，さらに右に旋回したときに，搬送アーム２１０の旋回角度が４５度の場合は図４（ｂ）に示すようにミラーユニット３００の旋回角度も４５度となり，搬送アーム２１０の旋回角度が９０度の場合は図４（ｃ）に示すようにミラーユニット３００の旋回角度も９０度となる。これによれば，搬送アーム２１０が旋回しても，ミラーユニット３００のベース側ユニット３０６から見れば常に同じ方向の画像が映されることになる。
【００４８】
従って，上記の例によれば，図４（ａ）〜（ｃ）の各旋回角度の場合に，ベース側ユニット３０６のベース側ミラー３１２を上方から見た画像はそれぞれ図５（ａ）〜（ｃ）の左欄のようになる。
【００４９】
このため，もし撮像装置１３０が旋回する場合は，撮像装置１３０を搬送アーム２１０と同じ角度で旋回させることで，搬送アーム２１０が旋回しても常に同じ方向の画像を取り込むことができる。具体的には撮像装置１３０を例えばモータによって搬送アーム２１０と同じ方向に同じ角度で旋回させるようにする。このとき，搬送アーム２１０が旋回しても撮像装置１３０で取り込んだ画像の中心位置がずれないように，搬送アーム２１０の旋回中心軸上に撮像装置１３０の撮像範囲の中心を合わせるようにすることが好ましい。
【００５０】
この場合には，撮像装置１３０の画像を補正しなくても図５（ａ）〜（ｃ）の右欄に示すように撮像装置１３０ではウエハＷの端部が常に同じ方向に向くような画像が得られる。これにより，搬送アーム２１０が旋回しても，ウエハＷの端部を正確に検出することができる。
【００５１】
これに対して，撮像装置１３０が旋回しない場合は，搬送アーム２１０が旋回すると，撮像装置１３０ではその旋回角度に応じて方向も変わった画像，すなわち図５（ａ）〜（ｃ）の左欄の画像の向きのまま取り込まれる。そこで，この場合は，撮像装置１３０で取り込んだ画像の方を搬送アーム２１０が旋回角度に応じて回転させる補正を行うことによって，図５（ａ）〜（ｃ）の右欄の画像にすることができる。これにより，撮像装置１３０を旋回させなくても，旋回させた場合と同様の補正画像からウエハＷの端部を正確に検出することができる。
【００５２】
このような撮像装置１３０によるウエハＷの端部の画像からウエハＷの状態を検出する制御について説明する。撮像装置１３０は上述したように制御部１４０に接続され，ミラーユニット３００の上記のような画像を取り込むことができるようになっている。この場合の画像は上述したように図５（ａ）〜（ｃ）の右欄のようになる。制御部１４０は，このような撮像装置１３０の画像，すなわちウエハＷの端部（ここでは周縁曲線（エッジライン））の画像からウエハＷの有無，位置ずれなどを検出する。
【００５３】
先ず，ウエハＷの有無については，ウエハＷの周縁曲線を境界にして，ウエハＷのある部分とない部分の明暗が異なるので，これによってウエハＷの周縁曲線が存在するか否か，すなわちウエハＷが存在するか否かを検出できる。具体的には，制御部１４０は撮像装置１３０から取り込んだ画像の中にウエハＷの周縁曲線が存在すればピック２４０上にウエハＷ有りと判断し，ウエハＷの周縁曲線が存在しなければピック２４０上にウエハＷ無しと判断する。
【００５４】
次に，ウエハＷの位置ずれについては，記憶部１４４に予め記憶されたウエハＷの周縁曲線と，撮像装置１３０の画像中のウエハＷの周縁曲線を比較することによって，ウエハＷの中心位置を求める。これにより，本来のウエハＷの中心位置と比較してウエハＷの位置ずれを検出する。そして，ウエハＷの位置ずれが検出された場合は，搬送アーム２１０でその位置ずれを解消する方向に補正しながら，ウエハＷを載置台１２４に載置させる。
【００５５】
このように，図２に示すミラーユニット３００によれば，ピック側ミラー３１０に映るウエハＷの端部画像をベース側ミラー３１２に反射させて，その上方に配置した撮像装置１３０で取り込むことができる。これにより，ピック２４０にセンサを設けなくても，撮像装置１３０だけでウエハＷの状態（ウエハＷの有無や位置ずれなど）を検出できる。なお，ミラーユニット３００の構成は，図２に示すものに限られるものではない。ミラーユニット３００の他の構成例について以下に説明する。
【００５６】
（ミラーユニットの第２構成例）
次に，ミラーユニット３００の第２構成例について説明する。図６，図７は，ミラーユニット３００の第２構成例を説明するための図である。図６は，ミラーユニット３００をその内部構成とともに説明するため，ミラーユニット３００のみを断面図にしたものである。また，図７は，図６に示すミラーユニット３００を含む搬送アーム装置２００を上方から見た図を示す。図８Ａ〜図８Ｃは，図７に示すピック２４０を前進させたときのミラーユニット３００の動作説明図である。
【００５７】
図６に示すミラーユニット３００は，連結ユニット３０２を伸縮自在に構成したものである。具体的には，図６に示す連結ユニット３０２は，内径が徐々に小さくなるような連結部３０２ａ，３０２ｂ，３０２ｃを備え，この順に出し入れ自在に挿入されることで，一方向に伸縮できるように構成されている。その他の構成は図２と同様であるため，詳細な説明を省略する。
【００５８】
図６に示すミラーユニット３００によれば，図８Ａ〜図８Ｃに示すようにピック２４０の進退動作に応じて連結ユニット３０２を伸縮させることができる。これにより，搬送アーム２１０を旋回させた場合のみならず，ピック２４０を進退させた場合においても，ウエハＷの端部の画像を検出することができる。これにより，ピック２４０が前進位置と後退位置で静止しているときだけでなく，進退動作している最中においてもピック２４０上のウエハＷの状態を検出することができる。
【００５９】
なお，図６に示す連結ユニット３０２は，３段構成で伸縮自在にしたものであるが，２段構成でもよく，また４段以上の構成にしてもよい。また，ピック２４０の進退動作に応じて伸縮するような構成であれば，図６に示す構成に限られるものではなく，例えば連結ユニット３０２を蛇腹状に構成してもよい。
【００６０】
また，図６に示すピック側ユニット３０４は，ピック２４０に固定せずに配置してもよく，またピック２４０に固定して配置してもよい。ピック２４０に固定して配置する場合には，ピック２４０の進退動作とともにピック側ユニット３０４も動くので，連結ユニット３０２を自動的に伸縮させることができる。
【００６１】
（ミラーユニットの第３構成例）
次に，ミラーユニット３００の第３構成例について説明する。図９，図１０は，ミラーユニット３００の第３構成例を説明するための図である。図９は，ミラーユニット３００をその内部構成とともに説明するため，ミラーユニット３００のみを断面図にしたものである。また，図１０は，図９に示すミラーユニット３００を含む搬送アーム装置２００を上方から見た図を示す。
【００６２】
図９に示すミラーユニット３００は，ピック側ユニット３０４とベース側ユニット３０６を連結ユニット３０２で接続しないで構成したものである。具体的には，ピック側ユニット３０４とベース側ユニット３０６とを別体にしてこれらの側部開口部３０５ｂ，３０７ｂがそれぞれ対向するように，ピック側ユニット３０４をピック２４０側に設け，ベース側ユニット３０６をベース２２０側に設けたものである。
【００６３】
図９では，ピック２４０の基端にウエハＷの端部が張り出すように段部２４２を形成し，その段部２４２にピック側ユニット３０４をそのピック側開口部３０５ａを上側に向けて配置した場合を例に挙げている。この場合，ピック側ミラー３１０はピック側開口部３０５ａからウエハＷの端部が映るように，図２とは上下逆向きに鏡面が上を向くように傾斜させる。その他の構成は図２と同様であるため，詳細な説明を省略する。
【００６４】
図９に示すミラーユニット３００によれば，連結ユニット３０２がないので，図１１Ａ〜図１１Ｃに示すようにピック２４０を進退させた場合においても，ウエハＷの端部の画像を検出することができる。これにより，ピック２４０が前進位置と後退位置で静止しているときだけでなく，進退動作している最中においてもピック２４０上のウエハＷの状態を検出することができる。
【００６５】
なお，トランスファチャンバ１１０に設けられる搬送アーム装置として，単一の搬送アーム２１０を備えたものにミラーユニットを設けた場合を例に挙げて説明したが，これに限られるものではなく，後述するように複数の搬送アームを備えた搬送アーム装置に上述したミラーユニット３００を設けることも可能である。
【００６６】
また，図９に示すミラーユニット３００は，ピック側開口部３０５ａとベース側開口部３０７ａのみならず側部開口部３０５ｂ，３０７ｂについても透明窓で塞ぐようにしてもよい。これにより，各ユニット３０４，３０６へのパーティクルなどの侵入を防止できる。
【００６７】
（搬送アーム装置の他の構成例）
ここで，搬送アーム装置の他の構成例について説明する。ここでは，複数の搬送アームを設けた搬送アーム装置にミラーユニットを適用する場合を例に挙げる。
【００６８】
先ず，図１２に示すように，各ピック２４０Ａ，２４０Ｂが隣に並ぶように２つの搬送アーム２１０Ａ，２１０Ｂを水平に配置した搬送アーム装置２００に，上記第１構成例にかかるミラーユニット３００を適用した場合について説明する。
【００６９】
図１２に示す搬送アーム装置２００は，２つの搬送アーム２１０Ａ，２１０Ｂを隣に並ぶように水平に並べて設けたものである。具体的には搬送アーム２１０Ａは，２つのリンク２３０Ａにより屈伸自在にベース２２０に取り付けられ，この隣に搬送アーム２１０Ｂは，２つのリンク２３０Ｂにより屈伸自在にベース２２０に取り付けられている。下側のリンク２３０Ａ，２３０Ｂにはそれぞれ駆動リンク２３４Ａ，２３４Ｂが取り付けられ，駆動リンク２３４Ａ，２３４Ｂはベース２２０に回転自在に取り付けられた回転台２３６に取り付けられている。
【００７０】
これによれば，回転台２３６を回転させることにより，駆動リンク２３４Ａ又は２３４Ｂによってリンク２３０Ａ又はリンク２３０Ｂを屈伸させてピック２４０Ａ又は２４０Ｂを進退させることができる。
【００７１】
このような図１２に示す搬送アーム装置２００には，搬送アーム２１０Ａ，２１０Ｂにそれぞれ図３と同様のミラーユニット３００Ａ，３００Ｂを取り付けることができる。これによれば，２つのミラーユニット３００Ａ，３００Ｂのベース側ユニット３０６Ａ，３０６Ｂにはそれぞれ，ピック側ユニット３０４Ａ，３０４Ｂからの各ウエハＷの端部が反射してその画像が現れる。
【００７２】
これらベース側ユニット３０６Ａ，３０６Ｂの画像が同時に撮像装置１３０の撮像視野に入るようにすることで，撮像装置１３０で両方のピック２４０Ａ，２４０Ｂに載置されたウエハＷの端部の画像を同時に取り込むことができるので，ピック２４０Ａ，２４０Ｂの各ウエハＷの状態を同時に検出できる。
【００７３】
なお，図１２に示す搬送アーム装置２００に適用されるミラーユニット３００は，上記第１構成例にかかるものに限られるものではなく，上記第２，第３構成例にかかるものを適用してもよい。この場合，上記第２，第３構成例にかかるミラーユニット３００についても，図１２の場合と同様に各搬送アームにそれぞれ１つずつ設けることで，ピック２４０Ａ，２４０Ｂの各ウエハＷの状態を同時に検出できる。
【００７４】
また，図１２に示すように２つのピック２４０Ａ，２４０Ｂを並べて設けた搬送アーム装置２００では，各搬送アーム２１０に１つずつミラーユニット３００を設けなくても，各搬送アーム２１０に共通のミラーユニット３００を１つだけ設けるようにしてもよい。具体的には例えば図１３に示すように，２つのピック２４０Ａ，２４０Ｂの間に図３と同様の構成のミラーユニット３００を１つだけ設け，ピック側ユニット３０４のピック側開口部３０５ａにこれらに載置された各ウエハＷの端部が両方入る位置（例えば図１３の位置）に配置する。これによれば，ベース側ユニット３０６には各ウエハＷの端部が両方映されるので，この画像を撮像装置１３０で取り込むことで，ピック２４０Ａ，２４０Ｂの各ウエハＷの状態を同時に検出できる。
【００７５】
次に，図１４に示すように，各ピック２４０Ａ，２４０Ｂの進退方向が反対になるように２つの搬送アーム２１０Ａ，２１０Ｂを水平に配置した搬送アーム装置２００に，上記第１構成例にかかるミラーユニット３００を適用した場合について説明する。
【００７６】
図１４に示す搬送アーム装置２００は，２つの搬送アーム２１０Ａ，２１０Ｂを進退方向が反対になるように水平に並べて設けたものである。具体的には搬送アーム２１０Ａは，左右２つのリンク２３０Ａの先端にピック２４０Ａが設けられるとともに，搬送アーム２１０Ｂは，左右２つのリンク２３０Ｂの先端にピック２４０Ｂが設けられている。リンク２３０Ａ，２３０Ｂはそれぞれ駆動リンク２３４Ａ，２３４Ｂの一端に連結されている。この駆動リンク２３４Ａ，２３４Ｂの他端はそれぞれベース２２０に回転自在に取り付けられている。
【００７７】
これによれば，駆動リンク２３４Ａ，２３４Ｂをピック２４０Ａの進退方向に動かすことによってピック２４０Ａを進退させることができ，駆動リンク２３４Ａ，２３４Ｂをピック２４０Ｂの進退方向に動かすことによってピック２４０Ｂを進退させることができる。
【００７８】
このような図１４に示す搬送アーム装置２００には，搬送アーム２１０Ａ，２１０Ｂにそれぞれ図３と同様のミラーユニット３００Ａ，３００Ｂを取り付けることができる。これによれば，２つのミラーユニット３００Ａ，３００Ｂのベース側ユニット３０６Ａ，３０６Ｂにはそれぞれ，ピック側ユニット３０４Ａ，３０４Ｂからの各ウエハＷの端部が反射してその画像が現れる。
【００７９】
これらベース側ユニット３０６Ａ，３０６Ｂの画像が同時に撮像装置１３０の撮像視野に入るようにすることで，撮像装置１３０で両方のピック２４０Ａ，２４０Ｂに載置されたウエハＷの端部の画像を同時に取り込むことができるので，ピック２４０Ａ，２４０Ｂの各ウエハＷの状態を同時に検出できる。
【００８０】
なお，図１４に示す搬送アーム装置２００に適用されるミラーユニット３００は，上記第１構成例にかかるものに限られるものではなく，上記第２，第３構成例にかかるものを適用してもよい。この場合，上記第２，第３構成例にかかるミラーユニット３００についても，図１２の場合と同様に各搬送アームにそれぞれ１つずつ設けることで，ピック２４０Ａ，２４０Ｂの各ウエハＷの状態を同時に検出できる。
【００８１】
また，図１４に示すように２つのピック２４０Ａ，２４０Ｂを進退方向が反対になるように並べて設けた搬送アーム装置２００では，ミラーユニット３００Ａ，３００Ｂは一直線に並ぶため，図１５に示すようにベース側ユニット３０６Ａと３０６Ｂで連結してミラーユニット３００Ａ，３００Ｂを一体化するようにしてもよい。この場合，図１５に示すように，１つの共通するベース側ユニット３０６を連結ユニットの結合部（中央部）に配置して，その内部に各ベース側ミラー３１２Ａ，３１２Ｂを図１４と同様の角度で配置し，この共通のベース側ユニット３０６のベース側開口部３０７ａから各ベース側ミラー３１２Ａ，３１２Ｂの画像が見えるようにしてもよい。これによれば，ベース側ユニット３０６には各ウエハＷの端部が両方映されるので，この画像を撮像装置１３０で取り込むことで，ピック２４０Ａ，２４０Ｂの各ウエハＷの状態を同時に検出できる。
【００８２】
次に，図１６に示すように，各ピック２４０Ａ，２４０Ｂを連結して搬送アーム２１０Ａ，２１０Ｂに接続し，ピック２４０Ａ，２４０Ｂが同方向に同時に進退するように構成した搬送アーム装置２００に，ミラーユニット３００を適用する場合について説明する。
【００８３】
図１６に示す搬送アーム装置２００は，２つのピック２４０Ａ，２４０Ｂを同方向に向けて離間した状態で，略コ字型の筒状連結部３０８の両端にそれぞれ接続し，この筒状連結部３０８に搬送アーム２１０Ａ，２１０Ｂのリンク２３０Ａ，２３０Ｂを接続して構成される。
【００８４】
これによれば，リンク２３０Ａ，２３０Ｂをピック２４０Ａ，２４０Ｂの進退方向に屈伸させることによって，ピック２４０Ａ，２４０Ｂを同方向に同時に進退させることができる。
【００８５】
このような図１６に示す搬送アーム装置２００には，図１０に示すミラーユニット３００を変形して適用することができる。具体的には例えば図１０と同様のピック側ユニット３０４Ａ，３０４Ｂをそれぞれ各ピック２４０Ａ，２４０Ｂに配置し，図１０と同様のベース側ユニット３０６をベース側に配置する。
【００８６】
そして，筒状連結部３０８に複数の中継ミラーを設けることによって，ピック側ユニット３０４Ａ，３０４Ｂに映されるウエハＷの端部の画像をベース側ユニット３０６に向けて反射させる。具体的には，筒状連結部３０８のピック２４０Ａを接続する方に中継ミラー３１４Ａ，３１６Ａを設け，ピック２４０Ｂを接続する方に中継ミラー３１４Ｂ，３１６Ｂを設ける。
【００８７】
中継ミラー３１４Ａ，３１４Ｂは，それぞれピック側ミラー３１０Ａ，３１０Ｂに映る画像が，筒状連結部３０８の中央付近に設けた中継ミラー３１６Ａ，３１６Ｂに反射するように配置される。また，筒状連結部３０８の中央付近には，ベース側ユニット３０６に対向するように側部開口部３０９が設けられ，中継ミラー３１６Ａ，３１６Ｂに映るピック側ミラー３１０Ａ，３１０Ｂの画像は側部開口部３０９を通してベース側ユニット３０６のベース側ミラー３１２に映るようになっている。
【００８８】
このベース側ユニット３０６の画像が撮像装置１３０の撮像視野に入るようにすることで，撮像装置１３０で両方のピック２４０Ａ，２４０Ｂに載置されたウエハＷの端部の画像を同時に取り込むことができるので，ピック２４０Ａ，２４０Ｂの各ウエハＷの状態を同時に検出できる。
【００８９】
次に，図１７に示すように，各ピック２４０Ａ，２４０Ｂを上下に配置されるように２つの搬送アーム２１０Ａ，２１０Ｂを設けた搬送アーム装置２００に，上記第３構成例にかかるミラーユニット３００を適用した場合について説明する。
【００９０】
このような図１７に示す搬送アーム装置２００には，図９に示す場合と同様に，ピック２４０Ａ，２４０Ｂの基端にそれぞれウエハＷの端部が張り出すように段部２４２Ａ，２４２Ｂを形成し，その段部２４２Ａ，２４２Ｂにピック側ユニット３０４Ａ，３０４Ｂを配置する。この場合，ベース側ユニット３０６Ａ，３０６Ｂはそれぞれ水平方向にずらして配置する。
【００９１】
このように，ベース側ユニット３０６Ａ，３０６Ｂをずらすことによってこれらの画像を同時に撮像装置１３０の撮像視野に入るようにすることができる。これにより，撮像装置１３０で両方のピック２４０Ａ，２４０Ｂに載置されたウエハＷの端部の画像を同時に取り込むことができるので，ピック２４０Ａ，２４０Ｂの各ウエハＷの状態を同時に検出できる。
【００９２】
なお，ベース側ユニット３０６Ａ，３０６Ｂは，図１７に示すように連結してもよく，別体としてもよい。また，１つのベース側ユニット３０６の内部にベース側ミラー３１２Ａ，３１２Ｂをずらして設けるようにしてもよい。これによっても，撮像装置１３０で両方のピック２４０Ａ，２４０Ｂに載置されたウエハＷの端部の画像を同時に取り込むことができる。
【００９３】
以上，本発明にかかる基板搬送システムを適用可能なトランスファチャンバの具体例として，図１に示すような１つのプロセスチャンバが接続したものを例に挙げて説明したが，これに限られるものではなく，複数のプロセスチャンバやロードロックチャンバが接続されてこれらとの間でウエハＷのやり取りを行うトランスファチャンバに適用してもよい。
【００９４】
（基板搬送システムを適用可能なトランスファチャンバの他の構成例）
ここで，本発明にかかる基板搬送システムを適用可能なトランスファチャンバの他の構成例について図面を参照しながら説明する。図１８は，４つのプロセスチャンバを接続した６角形のトランスファチャンバの構成例を示す。
【００９５】
図１８のトランスファチャンバ１１０は６角形に構成され，その周囲に４つのプロセスチャンバ１２０Ａ〜１２０Ｄと２つのロードロックチャンバＬＬＡ，ＬＬＢがそれぞれゲートバルブ１０２を介して接続されている。このトランスファチャンバ１１０内には，例えば図１３に示す搬送アーム装置２００が略中央に設けられている。
【００９６】
ロードロックチャンバＬＬＡ，ＬＬＢには大気側の図示しないローダーチャンバが接続され，ローダーチャンバには複数のウエハＷが収容された収納容器がセットできるようになっている。ローダーチャンバから必要に応じて新しいウエハＷがローディングされると，それを搬送アーム装置２００で取り出して，処理を実行するプロセスチャンバに搬送する。
【００９７】
このとき，搬送アーム装置２００は，搬送アーム２１０Ａ，２１０Ｂを旋回させることによって，アクセスしたいチャンバの方向に向けて，搬送アーム２１０Ａ又は２１０Ｂを進退させることによってウエハＷの搬出入を行うようになっている。
【００９８】
この図１８に示すトランスファチャンバ１１０に基板搬送システム１００を適用する場合は，搬送アーム装置２００に上述したミラーユニット３００を設けるとともに，トランスファチャンバ１１０の天井壁１１４における略中央の位置Ｐ１に撮像装置１３０を取り付ける。
【００９９】
なお，本発明にかかる基板搬送システムは，搬送アーム装置２００自体が例えば水平方向に移動可能に構成されたトランスファチャンバに適用することも可能である。このようなトランスファチャンバの構成例を図１９に示す。
【０１００】
図１９に示すトランスファチャンバ１１０は一方向に長い６角形に構成され，その周囲に６つのプロセスチャンバ１２０Ａ〜１２０Ｆと２つのロードロックチャンバＬＬＡ，ＬＬＢがそれぞれゲートバルブ１０２を介して接続されている。このトランスファチャンバ１１０内には，例えば図１３に示す搬送アーム装置２００がトランスファチャンバ１１０のその長手方向に沿って設けられた案内レール１１８に沿ってスライド自在に設けられている。
【０１０１】
このような搬送アーム装置２００では，そのスライド方向の位置はアクセスするチャンバに応じて予め設定されている。ここではトランスファチャンバ１１０内の先端側寄り位置Ｐ１と基端側寄り位置Ｐ２が予め設定されている場合を例に挙げる。
【０１０２】
例えば４つのプロセスチャンバ１２０Ａ〜１２０Ｄのいずれかにアクセスする際には，搬送アーム装置２００を先端側寄り位置Ｐ１に配置させる。この位置Ｐ１で搬送アーム２１０Ａ，２１０Ｂを旋回させることによって，アクセスしたいチャンバの方向に向けて，搬送アーム２１０Ａ又は２１０Ｂを進退させることによってウエハＷの搬出入を行うことができる。
【０１０３】
また２つのプロセスチャンバ１２０Ｅ，１２０Ｆと２つのロードロックチャンバＬＬＡ，ＬＬＢのいずれかにアクセスする際には，搬送アーム装置２００を基端側寄り位置Ｐ２に配置させる。この位置Ｐ２で搬送アーム２１０Ａ，２１０Ｂを旋回させることによって，アクセスしたいチャンバの直前に対向させて，搬送アーム２１０Ａ又は２１０Ｂを進退させることによってウエハＷの搬出入を行うことができる。
【０１０４】
この図１９に示すトランスファチャンバ１１０に基板搬送システム１００を適用する場合は，搬送アーム装置２００に上述したミラーユニット３００を設けるとともに，トランスファチャンバ１１０の天井壁１１４の位置Ｐ１，Ｐ２にそれぞれ，撮像装置１３０Ａ，１３０Ｂを取り付ける。
【０１０５】
これによれば，搬送アーム装置２００がトランスファチャンバ１１０の位置Ｐ１の位置にある場合は，撮像装置１３０ＡによってウエハＷの状態を検出し，搬送アーム装置２００がトランスファチャンバ１１０の位置Ｐ２の位置にある場合は，撮像装置１３０ＢによってウエハＷの状態を検出する。これによれば，搬送アーム装置２００がＰ１，Ｐ２のいずれの位置にあっても，ウエハＷの状態を検出できる。
【０１０６】
なお，上記図１９では，複数の撮像装置を設ける場合を例に挙げて説明したが，これに限られるものではない。例えば図１９に示すトランスファチャンバ１１０の天井壁１１４に１つの撮像装置をスライド自在に設け，搬送アーム装置２００のスライド動作に応じて撮像装置をスライドさせるようにしてもよい。これによれば，搬送アーム装置２００の旋回位置だけでなく，スライド動作中においてもウエハＷの状態を検出することができる。
【０１０７】
また，上述した図１８，図１９の例はともに，図１３に示すミラーユニット３００を設けた例を図示したものであるが，搬送アーム装置２００もミラーユニット３００もこれに限られるものではない。例えば上述した搬送アーム装置２００のいずれを適用してもよく，さらにその搬送アーム装置に応じて上述した各構成例のミラーユニット３００を適用することができる。
【０１０８】
以上，添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが，本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば，特許請求の範囲に記載された範疇内において，各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり，それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【産業上の利用可能性】
【０１０９】
本発明は，搬送アームを用いて基板を搬送する基板搬送システムに適用可能である。
【符号の説明】
【０１１０】
１００ 基板搬送システム
１０２ ゲートバルブ
１１０ トランスファチャンバ
１１２ 容器
１１３ 基板搬出入口
１１４ 天井壁
１１６ 観察窓
１１８ 案内レール
１２０，１２０Ａ〜１２０Ｆ プロセスチャンバ
１２２ 容器
１２３ 基板搬出入口
１２４ 載置台
１３０，１３０Ａ，１３０Ｂ 撮像装置
１３２ 支持部材
１４０ 制御部
１４２ 操作部
１４４ 記憶部
２００ 搬送アーム装置
２０２ モータ
２１０，２１０Ａ，２１０Ｂ 搬送アーム
２２０ ベース
２２２ 駆動軸
２３０ ２３０Ａ，２３０Ｂ リンク
２３４Ａ，２３４Ｂ 駆動リンク
２３６ 回転台
２４０，２４０Ａ，２４０Ｂ ピック
２４２ ２４２Ａ，２４２Ｂ 段部
３００，３００Ａ，３００Ｂ ミラーユニット
３０２ 連結ユニット
３０２ａ，３０２ｂ，３０２ｃ 連結部
３０４Ａ，３０４Ｂ ピック側ユニット
３０５ａ ピック側開口部
３０５ｂ 側部開口部
３０６，３０６Ａ，３０６Ｂ ベース側ユニット
３０７ａ ベース側開口部
３０７ｂ 側部開口部
３０８ 筒状連結部
３０９ 側部開口部
３１０，３１０Ａ，３１０Ｂ ピック側ミラー
３１２，３１２Ａ，３１２Ｂ ベース側ミラー
３１４Ａ，３１４Ｂ，３１６Ａ，３１６Ｂ 中継ミラー
３２０ 支持部材
ＬＬＡ，ＬＬＢ ロードロックチャンバ
Ｗ ウエハ
【技術分野】
【０００１】
本発明は，搬送アームを用いて半導体ウエハ，液晶基板，太陽電池用基板などの基板を搬送する基板搬送システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスを製造する際の装置として，半導体ウエハなどの基板に対して所定の処理を繰り返し施すために，多種多様なプロセスチャンバが組み合わされており，これらのチャンバ同士間及び基板を多数枚収容するカセットと上記チャンバとの間などに基板を自動的に受け渡しを行うための搬送アーム機構が設けられている。この搬送アーム機構は，例えば屈伸及び旋回自在になされた搬送アームを有しており，この搬送アームの先端に設けたピックで基板を保持して搬送するようになっている。
【０００３】
このような搬送アーム機構では，基板の位置ずれや落下，損傷などが発生する虞があるので，従来より搬送アームのピックに光センサや発光器などの検出器を直接取り付けて，ピック上の基板の有無や位置ずれなどを検出するものがある（例えば下記特許文献１，２参照）。また，ピック以外に検出器を設けるものとして，プロセスチャンバの搬出入口付近に設けたＣＣＤによって，基板を直接撮像することによって位置ずれを検出するものもある（例えば下記特許文献３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００６−６０１３５号公報
【特許文献２】特開平０７−６９４０６号公報
【特許文献３】特開２００８−３０６１６２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら，上記特許文献１，２のようにピックに検出器を直接取り付けるものでは，ピックの数が多くなるほど検出器の数も増えてしまう。それだけでなく，その検出器を駆動する電力を供給のためのバッテリや配線もピックに取り付けなければならない。これらは熱に弱いため，例えば基板の搬送先が高温チャンバの場合には，ピックで基板を搬出入する際にその熱によって検出器自体だけでなく，バッテリや配線まで損傷する虞があるという問題がある。
【０００６】
また，ピック以外に検出器を設ける場合には上記の問題は生じないものの，例えば上記特許文献３のようにＣＣＤで基板を直接撮像して位置ずれを検出するものなどにおいては，そのＣＣＤの撮像範囲に基板が入っていなければ検出できないため，ピックの数だけではなく，その動きなどに応じてＣＣＤの数を増やしたり，ＣＣＤの配置位置を見直したりしなければならないという問題がある。
【０００７】
そこで，本発明は，このような問題に鑑みてなされたもので，その目的とするところは，搬送先のチャンバや搬送アームの構成に拘わらず適用でき，検出器の数を減少できる基板搬送システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために，本発明のある観点によれば，基板に所定の処理を施すプロセスチャンバに接続され，搬出入口を介して基板のやり取りを行うトランスファチャンバを備えた基板搬送システムであって，前記トランスファチャンバ内に設けられたベースに旋回自在に支持され，屈伸自在に構成された搬送アームと，前記搬送アームの先端に設けられ，前記基板を保持するピックと，前記ベースに前記搬送アームと共に旋回自在に支持され，前記ピック側に配置されるピック側ミラーを備えたピック側ユニットと前記ベース側に配置されるベース側ミラーを備えたベース側ユニットとを少なくとも有し，前記ピック側ミラーは前記ピックに保持された前記基板の周縁を含む画像を前記ベース側に向けて反射するように配置し，前記ベース側ミラーは前記ピック側ミラーからの画像を前記ベースの上側に向けて反射するように配置したミラーユニットと，前記ベース側ミラーからの画像が撮像領域に含まれるように前記ベースの上方に設けられた撮像装置と，前記撮像装置で取り込んだ前記ベース側ミラーからの画像に基づいて，前記基板の状態を検出する制御部と，を備えたことを特徴とする基板搬送システムが提供される。
【０００９】
また，上記ミラーユニットは，例えば前記ピック側ユニットと前記ベース側ユニットとを連結ユニットで水平に連結して構成し，前記連結ユニットは，筒状に形成し，その両端で前記ピック側ミラーと前記ベース側ミラーが対向するように配置する。この場合，上記ベース側ユニットは前記ベースに支持したまま，前記ピック側ユニットは前記ピックに取り付け，前記連結ユニットは伸縮自在に構成してもよい。
【００１０】
また，上記ミラーユニットは，前記ピック側ユニットと前記ベース側ユニットを水平に離間させて構成し，前記ベース側ユニットは前記ベースに支持したまま，前記ピック側ユニットは前記ピックに取り付け，前記ピック側ユニットと前記ベース側ユニットは，前記ピック側ミラーと前記ベース側ミラーが対向するように配置するようにしてもよい。
【００１１】
また，上記ベースに前記搬送アームを複数設け，前記搬送アームごとに前記ミラーユニットを設け，前記各ピック側ミラーは前記各ピックに保持された前記基板の周縁を含む画像をそれぞれ前記ベース側に向けて反射するように配置し，前記各ベース側ミラーは前記各ピック側ミラーからの画像を前記ベースの上側に向けて反射するように配置し，前記撮像装置は，前記各ベース側ミラーからの画像がすべて撮像領域に含まれるように配置し，前記制御部は，前記撮像装置で取り込んだ前記各ベース側ミラーからの画像に基づいて，前記各基板の状態を一度に検出するようにしてもよい。この場合，上記複数の搬送アームのピックをそれぞれ鉛直方向にずらして設けた場合には，前記各ベース側ミラーが重ならないように，前記各ベース側ユニットを水平方向にずらして設けるようにしてもよい。
【００１２】
また，上記ベースに前記搬送アームを水平に２つ並べて設け，これらのピックの中間に１つの前記ミラーユニットを設け，前記ピック側ミラーは前記各ピックに保持された前記基板の周縁を両方含む画像を前記ベース側に向けて反射するように配置し，前記ベース側ミラーは前記ピック側ミラーからの画像を前記ベースの上側に向けて反射するように配置し，前記撮像装置は，前記ベース側ミラーからの画像が撮像領域に含まれるように配置し，前記制御部は，前記撮像装置で取り込んだ前記ベース側ミラーからの画像に基づいて，前記各基板の状態を一度に検出するようにしてもよい。
【００１３】
上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，基板に所定の処理を施すプロセスチャンバに接続され，搬出入口を介して基板のやり取りを行うトランスファチャンバを備えた基板搬送システムであって，前記トランスファチャンバ内に設けられたベースに旋回自在に支持され，屈伸自在に構成された複数の搬送アームと，前記搬送アームの先端に設けられ，前記基板を保持するピックと，前記ベースに前記搬送アームと共に旋回自在に支持され，前記各ピック側に配置されるピック側ミラーを備えた複数のピック側ユニットと前記ベース側に配置される複数のベース側ミラーを備えた１つのベース側ユニットとを有し，前記各ピック側ミラーは前記各ピックに保持された前記基板の周縁を含む画像をそれぞれ前記ベース側に向けて反射するように配置し，前記各ベース側ミラーは前記各ピック側ミラーからの画像をそれぞれ前記ベースの上側に向けて反射するように配置したミラーユニットと，前記各ベース側ミラーからの画像がすべて撮像領域に含まれるように前記ベースの上方に設けられた撮像装置と，前記撮像装置で取り込んだ前記各ベース側ミラーからの画像に基づいて，前記各基板の状態を検出する制御部と，を備えたことを特徴とする基板搬送システムが提供される。
【００１４】
上記課題を解決するために，本発明の別の観点によれば，基板に所定の処理を施すプロセスチャンバに接続され，搬出入口を介して基板のやり取りを行うトランスファチャンバを備えた基板搬送システムであって，前記トランスファチャンバ内に設けられたベースに旋回自在に支持され，屈伸自在に構成された搬送アームと，前記搬送アームの先端に筒状連結部を介して設けられ，前記基板をそれぞれ保持する複数のピックと，前記ベースに前記搬送アームと共に旋回自在に支持され，前記各ピック側に配置されるピック側ミラーを備えた複数のピック側ユニットと前記ベース側に配置されるベース側ミラーを備えた１つのベース側ユニットとを有し，前記各ピック側ミラーは前記各ピックに保持された前記基板の周縁を含む画像をそれぞれ前記ベース側に向けて反射するように配置し，前記各ベース側ミラーは前記各ピック側ミラーからそれぞれ前記筒状連結部に設けられた中継ミラーを介して反射された画像を前記ベースの上側に向けて反射するように配置したミラーユニットと，前記各ベース側ミラーからの画像がすべて撮像領域に含まれるように前記ベースの上方に設けられた撮像装置と，前記撮像装置で取り込んだ前記各ベース側ミラーからの画像に基づいて，前記各基板の状態を検出する制御部と，を備えたことを特徴とする基板搬送システムが提供される。
【００１５】
また，上記搬送アームの前記ベースをスライド自在に設けて，前記ベースのスライド方向の複数の位置に停止して前記搬送アームを旋回させる場合には，その停止位置にそれぞれ前記撮像装置を設けるようにしてもよく，また上記搬送アームの前記ベースをスライド自在に設けて，前記撮像装置は前記ベースとともにスライド自在に設けるようにしてもよい。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば，搬送先のチャンバや搬送アームの構成に拘わらず，ミラーユニットによって搬送アームのピックに保持された基板の画像をベース側で見ることができる。このため，搬送アームのベース上方に設けた撮像装置だけで，搬送アームのピック上の基板を検出できるので，検出器の数を減少できる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】本発明の実施形態にかかる基板搬送システムを適用したトランスファチャンバの構成例を示す断面図である。
【図２】同実施形態にかかるミラーユニットの第１構成例を説明するための図である。
【図３】図２に示すミラーユニットと搬送アーム装置を上方から見た平面図である。
【図４】同実施形態における搬送アームが旋回したときのミラーユニットの位置を説明するための図である。
【図５】図４に示すように搬送アームが旋回したときのベース側ミラーに映る画像を上方から見たものと，撮像装置の画像との関係を示す図である。
【図６】同実施形態にかかるミラーユニットの第２構成例を説明するための図である。
【図７】図６に示すミラーユニットと搬送アーム装置を上方から見た平面図である。
【図８Ａ】ピックを前進させたときの第２構成例にかかるミラーユニットの動作説明図である。
【図８Ｂ】図８Ａに続く第２構成例にかかるミラーユニットの動作説明図である。
【図８Ｃ】図８Ｂに続く第２構成例にかかるミラーユニットの動作説明図である。
【図９】同実施形態にかかるミラーユニットの第３構成例を説明するための図である。
【図１０】図９に示すミラーユニットと搬送アーム装置を上方から見た平面図である。
【図１１Ａ】ピックを前進させたときの第３構成例にかかるミラーユニットの動作説明図である。
【図１１Ｂ】図１１Ａに続く第３構成例にかかるミラーユニットの動作説明図である。
【図１１Ｃ】図１１Ｂに続く第３構成例にかかるミラーユニットの動作説明図である。
【図１２】同実施形態にかかる搬送アームの他の構成例を説明するための図である。
【図１３】図１２に示す搬送アームに適用される他のミラーユニットの構成例を説明するための図である。
【図１４】同実施形態にかかる搬送アームの他の構成例を説明するための図である。
【図１５】図１４に示す搬送アームに適用される他のミラーユニットの構成例を説明するための図である。
【図１６】同実施形態にかかる搬送アームの他の構成例を説明するための図である。
【図１７】同実施形態にかかる搬送アームの他の構成例を説明するための図である。
【図１８】同実施形態にかかるトランスファチャンバの他の構成例を説明するための図である。
【図１９】同実施形態にかかるトランスファチャンバの他の構成例を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下に添付図面を参照しながら，本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお，本明細書及び図面において，実質的に同一の機能構成を有する構成要素については，同一の符号を付することにより重複説明を省略する。
【００１９】
（基板搬送システム）
先ず，本発明の実施形態にかかる基板搬送システムについて図面を参照しながら説明する。ここでは，基板搬送システムをプロセスチャンバなどとの間で基板をやり取りするトランスファチャンバに適用した場合の例を挙げて説明する。図１は，本実施形態にかかる基板搬送システム１００の概略構成を示す断面図である。
【００２０】
図１に示すトランスファチャンバ１１０は，ウエハＷのプロセス処理を行うプロセスチャンバ１２０にゲートバルブ１０２を介して接続される。トランスファチャンバ１１０とプロセスチャンバ１２０はそれぞれ，例えばアルミニウム製の気密な容器１１２，１２２を備える。
【００２１】
これら容器１１２，１２２の側壁にはそれぞれ，基板を搬出入する基板搬出入口１１３，１２３が対向して設けられている。これら基板搬出入口１１３，１２３はゲートバルブ１０２を開閉することで連通，遮断されるようになっている。
【００２２】
プロセスチャンバ１２０内には，ウエハＷを載置する載置台１２４が設けられている。なお，図１では載置台１２４以外の構成を省略しているが，プロセスチャンバ１２０は，ウエハＷに対する処理に応じて様々な構成を適用可能である。例えばウエハＷにエッチングや成膜などのプロセス処理を行う場合には，チャンバ内圧力を真空圧力に調整する真空ポンプなどの排気部，エッチングガスや成膜ガスなどをウエハＷ上に供給する処理ガス導入部などが設けられる。また高温でウエハＷの処理を行う場合には載置台１２４にヒータや温調装置などを設けるようにしてもよい。
【００２３】
また，このような真空雰囲気で処理を行うプロセスチャンバ１２０を接続する際など，トランスファチャンバ１１０内の圧力も調整する必要がある場合には，トランスファチャンバ１１０側にも図示しない不活性ガス導入部や真空ポンプなどの排気部が設けられる。
【００２４】
トランスファチャンバ１１０の容器１１２内には，搬送アーム装置２００が設けられている。搬送アーム装置２００は，プロセスチャンバ１２０に対してウエハＷを搬出入できるようになっている。具体的には搬送アーム装置２００は，ベース２２０にモータ２０２によって旋回自在に支持された屈伸自在な搬送アーム２１０を備える。ここでの搬送アーム２１０は，複数（例えば２つ）のリンク２３０を接続したリンク機構により構成される。リンク２３０の先端には，ウエハＷを保持するピック（エンドエフェクタ）２４０が設けられる。ピック２４０は搬送アーム２１０の屈伸によって，進退動作するようになっている。
【００２５】
このような搬送アーム装置２００でウエハＷをプロセスチャンバ１２０に搬入する際には，ゲートバルブ１０２を開き，ウエハＷを載置したピック２４０を搬出入口１１３，１２３を介してプロセスチャンバ１２０内に挿入し，載置台１２４に載置する。こうしてウエハＷの搬入が完了すると，ピック２４０をプロセスチャンバ１２０から抜き出して，ゲートバルブ１０２を閉塞する。これにより，プロセスチャンバ１２０内ではウエハＷの処理が行われる。この際，もしプロセスチャンバ１２０内に処理済みのウエハＷが存在するときには，先にそれを搬出して図示しないロードロックチャンバなどに戻してから，新しいウエハＷを搬入する。
【００２６】
基板搬送システム１００には，制御部（全体制御装置）１４０が接続されており，この制御部１４０によってトランスファチャンバ１１０，プロセスチャンバ１２０の各部などが制御されるようになっている。また，制御部１４０には，オペレータが管理するためにコマンドの入力操作等を行うキーボードや，稼働状況を可視化して表示するディスプレイ等からなる操作部１４２が接続されている。
【００２７】
さらに，制御部１４０には，ウエハＷの搬送処理やウエハＷに対するプラズマ処理の他，後述する撮像装置１３０の画像を取り込んでピック２４０上のウエハＷの状態を検出したり，ウエハＷの位置を補正したりする処理などの各種処理を制御部１４０の制御にて実現するためのプログラムやプログラムを実行するために必要な処理条件（レシピ）などが記憶された記憶部１４４が接続されている。
【００２８】
記憶部１４４には，例えば複数の処理条件（レシピ）やウエハＷの状態検出処理などで用いるデータが記憶されている。このうち処理条件については，各部を制御する制御パラメータ，設定パラメータなどの複数のパラメータ値をまとめたものである。各処理条件は例えば処理ガスの流量比，チャンバ内圧力，高周波電力などのパラメータ値を有する。
【００２９】
なお，これらのプログラムや処理条件はハードディスクや半導体メモリに記憶されていてもよく，またＣＤ−ＲＯＭ，ＤＶＤ等の可搬性のコンピュータにより読み取り可能な記憶媒体に収容された状態で記憶部１４４の所定位置にセットするようになっていてもよい。
【００３０】
ところで，上述した搬送アーム装置２００でウエハＷを搬出入する場合，その搬送精度の誤差や温度の急激な変化などによって，ウエハＷに位置ずれが生じる場合がある。特に位置ずれが大きい場合にはチャンバの搬出入口に当たってウエハＷが損傷したり，ウエハを落下したりする虞もある。
【００３１】
このため，ウエハＷの状態を検出して，位置ずれが発生したらそれを修正するようにすることが好ましい。この場合，もしピック２４０やチャンバの搬出入口付近などに多数のセンサを設けてウエハＷの有無やずれを直接検出するようにしたのでは，検出位置を増やすほどセンサの数も多くなり，プロセスチャンバ１２０やウエハＷが高温（例えば２００℃以上）になる場合には，ピック２４０を搬入したときに熱によってセンサやセンサを駆動するための駆動系などが損傷する虞が高くなる。
【００３２】
そこで，本発明においては，搬送アーム装置２００に複数のミラーを内蔵したミラーユニット３００を取り付けて，ピック側のミラーに映るウエハＷの端部画像をベース側のミラーに反射させて，その上方に配置した撮像装置１３０で取り込むようにした。これによれば，撮像装置１３０だけでウエハＷの状態を検出できる。
【００３３】
この場合，例えば図１に示すようにミラーユニット３００は，搬送アーム装置２００の旋回中心付近にベース側を配置して，搬送アーム装置２００とともに旋回するように取り付ける。一方，撮像装置１３０はミラーユニット３００のベース側ミラーの画像が撮像視野に入るように，ベース２２０の上方に配置する。撮像装置１３０はその光軸が搬送アーム２１０の旋回中心軸に一致するように配置することがより好ましい。
【００３４】
図１は，この撮像装置１３０をトランスファチャンバ１１０の天井壁１１４上に支持部材１３２で支持した場合を例に挙げたものである。具体的には天井壁１１４に観察窓（ビューポート）１１６を設け，そこからトランスファチャンバ１１０内を覗くことができるように撮像装置１３０を配置している。なお，撮像装置１３０の支持方法は，搬送アーム装置２００とともに旋回するように支持してもよく，また旋回しないように支持してもよい。
【００３５】
撮像装置１３０としては，ミラーユニット３００に映された画像を取り込むことができるものであればよい。例えばＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｄｅｖｉｃｅ）カメラが挙げられる。
【００３６】
このような構成によれば，搬送アーム２１０が旋回してその先端のピック２４０が旋回しても，ミラーユニット３００も旋回するので，その旋回中においても常にウエハＷの端部の画像は撮像装置１３０で取り込むことができる。なお，ミラーユニット３００の具体的構成例は後述する。
【００３７】
（ミラーユニットの第１構成例）
ここで，ミラーユニット３００の第１構成例について説明する。図２，図３は，ミラーユニット３００の第１構成例を説明するための図である。図２は，ミラーユニット３００をその内部構成とともに説明するため，ミラーユニット３００のみを断面図にしたものである。また，図３は，図２に示すミラーユニット３００を含む搬送アーム装置２００を上方から見た図を示す。
【００３８】
図２に示すミラーユニット３００は，搬送アーム２１０のピック側にウエハＷの端部を覗くように鉛直に配置される筒状のピック側ユニット３０４と，ベース側に撮像手段の撮像領域に入るように鉛直に配置されるベース側ユニット３０６とを備える。これらユニット３０４，３０６は水平に配置される筒状の連結ユニット３０２によって接続される。
【００３９】
具体的には，これらユニット３０４，３０６の側面にはそれぞれ互いに対向する位置に側部開口部３０５ｂ，３０７ｂが形成され，これら側部開口部３０５ｂ，３０７ｂが連結ユニット３０２によって連通するように接続される。なお，図２はこれらユニット３０２，３０４，３０６を一体で構成した場合を示しているが，これに限られるものではなく，それぞれを別体で構成してもよい。
【００４０】
ピック側ユニット３０４には，その下方に設けられたピック側開口部３０５ａと，この開口部３０５ａを通してウエハＷの端部を映すピック側ミラー３１０を備える。ベース側ユニット３０６には，その上方に設けられたベース側開口部３０７ａと，この開口部３０７ａを通してピック側ミラー３１０の画像を撮像装置１３０の撮像範囲に反射させるベース側ミラー３１２が設けられている。
【００４１】
ピック側ミラー３１０とベース側ミラー３１２の位置や傾斜角度は，ピック側開口部３０５ａを通してピック側ミラー３１０に映されたウエハＷの端部の画像が，側部開口部３０５ｂ，３０７ｂを通して，ベース側ミラー３１２を反射し，ベース側開口部３０７ａを通して撮像装置１３０の撮像範囲に入るように調整される。図２では，ピック側ミラー３１０とベース側ミラー３１２を側部開口部３０５ｂ，３０７ｂを介して対向するように配置し，それぞれ入射角と反射角が４５度になるように傾斜させた場合を例に挙げているが，これに限定されるものではない。また，ピック側開口部３０５ａとベース側開口部３０７ａは，ミラーユニット３００内にパーティクルなどが侵入しないように透明窓で塞ぐようにしてもよい。
【００４２】
このような図２に示すミラーユニット３００によれば，ピック２４０に載置されたウエハＷの端部を含む画像は，ミラーユニット３００内のピック側ミラー３１０，ベース側ミラー３１２を介して，例えば後述する図５の左欄のようにベース側開口部３０７ａに映される。この画像は例えば図５の右欄のように撮像装置１３０で取り込まれ，この画像を解析することによってウエハＷの状態を検出できる。
【００４３】
これにより，搬送アーム２１０のピック２４０に保持されたウエハＷの画像をベース２２０側で見ることができる。このため，搬送アーム２１０のベース２２０上方に設けた撮像装置１３０だけで，搬送アーム２１０のピック２４０上のウエハＷを検出できるので，検出器の数を減少できる。
【００４４】
図２に示すミラーユニット３００は，搬送アーム２１０を旋回させるモータ２０２の駆動軸２２２に取り付けられる。この場合，搬送アーム２１０に直接取り付けても良いが，搬送アーム２１０の動作に干渉しないように取り付けることが好ましい。図２ではピック２４０の進退動作を行う方向の反対方向に支持部材３２０を介して取り付けている。
【００４５】
これによれば，搬送アーム２１０が旋回しても，ミラーユニット３００は支持部材３２０とともに同じ回転角度で旋回するので，常に搬送アーム２１０の反対側に位置することになる。このため，ミラーユニット３００は搬送アーム２１０の旋回動作に邪魔になることはない。また，旋回したどの位置でピック２４０の進退動作を行っても，その進退動作の邪魔になることもない。
【００４６】
ここで，搬送アーム２１０が旋回したときのミラーユニット３００の位置と画像について説明する。図４は，搬送アーム２１０が旋回したときのミラーユニット３００の位置を説明するための図である。図５は，搬送アーム２１０が旋回したときのミラーユニット３００のベース側ユニット３０６のベース側ミラーに映る画像を上方から見たものと，撮像装置の画像との関係を示す図である。図４，図５では，（ａ）の搬送アーム２１０の旋回角度を０度としたときに，右に４５度旋回したときの状態を（ｂ）に示し，右に９０度旋回したときの状態を（ｃ）に示す。
【００４７】
搬送アーム２１０が図３の矢印に示すように旋回すると，ミラーユニット３００も搬送アーム２１０と一緒に同じ方向に同じ角度で旋回するようになっている。具体的には図４（ａ）に示す位置を旋回角度０度として，さらに右に旋回したときに，搬送アーム２１０の旋回角度が４５度の場合は図４（ｂ）に示すようにミラーユニット３００の旋回角度も４５度となり，搬送アーム２１０の旋回角度が９０度の場合は図４（ｃ）に示すようにミラーユニット３００の旋回角度も９０度となる。これによれば，搬送アーム２１０が旋回しても，ミラーユニット３００のベース側ユニット３０６から見れば常に同じ方向の画像が映されることになる。
【００４８】
従って，上記の例によれば，図４（ａ）〜（ｃ）の各旋回角度の場合に，ベース側ユニット３０６のベース側ミラー３１２を上方から見た画像はそれぞれ図５（ａ）〜（ｃ）の左欄のようになる。
【００４９】
このため，もし撮像装置１３０が旋回する場合は，撮像装置１３０を搬送アーム２１０と同じ角度で旋回させることで，搬送アーム２１０が旋回しても常に同じ方向の画像を取り込むことができる。具体的には撮像装置１３０を例えばモータによって搬送アーム２１０と同じ方向に同じ角度で旋回させるようにする。このとき，搬送アーム２１０が旋回しても撮像装置１３０で取り込んだ画像の中心位置がずれないように，搬送アーム２１０の旋回中心軸上に撮像装置１３０の撮像範囲の中心を合わせるようにすることが好ましい。
【００５０】
この場合には，撮像装置１３０の画像を補正しなくても図５（ａ）〜（ｃ）の右欄に示すように撮像装置１３０ではウエハＷの端部が常に同じ方向に向くような画像が得られる。これにより，搬送アーム２１０が旋回しても，ウエハＷの端部を正確に検出することができる。
【００５１】
これに対して，撮像装置１３０が旋回しない場合は，搬送アーム２１０が旋回すると，撮像装置１３０ではその旋回角度に応じて方向も変わった画像，すなわち図５（ａ）〜（ｃ）の左欄の画像の向きのまま取り込まれる。そこで，この場合は，撮像装置１３０で取り込んだ画像の方を搬送アーム２１０が旋回角度に応じて回転させる補正を行うことによって，図５（ａ）〜（ｃ）の右欄の画像にすることができる。これにより，撮像装置１３０を旋回させなくても，旋回させた場合と同様の補正画像からウエハＷの端部を正確に検出することができる。
【００５２】
このような撮像装置１３０によるウエハＷの端部の画像からウエハＷの状態を検出する制御について説明する。撮像装置１３０は上述したように制御部１４０に接続され，ミラーユニット３００の上記のような画像を取り込むことができるようになっている。この場合の画像は上述したように図５（ａ）〜（ｃ）の右欄のようになる。制御部１４０は，このような撮像装置１３０の画像，すなわちウエハＷの端部（ここでは周縁曲線（エッジライン））の画像からウエハＷの有無，位置ずれなどを検出する。
【００５３】
先ず，ウエハＷの有無については，ウエハＷの周縁曲線を境界にして，ウエハＷのある部分とない部分の明暗が異なるので，これによってウエハＷの周縁曲線が存在するか否か，すなわちウエハＷが存在するか否かを検出できる。具体的には，制御部１４０は撮像装置１３０から取り込んだ画像の中にウエハＷの周縁曲線が存在すればピック２４０上にウエハＷ有りと判断し，ウエハＷの周縁曲線が存在しなければピック２４０上にウエハＷ無しと判断する。
【００５４】
次に，ウエハＷの位置ずれについては，記憶部１４４に予め記憶されたウエハＷの周縁曲線と，撮像装置１３０の画像中のウエハＷの周縁曲線を比較することによって，ウエハＷの中心位置を求める。これにより，本来のウエハＷの中心位置と比較してウエハＷの位置ずれを検出する。そして，ウエハＷの位置ずれが検出された場合は，搬送アーム２１０でその位置ずれを解消する方向に補正しながら，ウエハＷを載置台１２４に載置させる。
【００５５】
このように，図２に示すミラーユニット３００によれば，ピック側ミラー３１０に映るウエハＷの端部画像をベース側ミラー３１２に反射させて，その上方に配置した撮像装置１３０で取り込むことができる。これにより，ピック２４０にセンサを設けなくても，撮像装置１３０だけでウエハＷの状態（ウエハＷの有無や位置ずれなど）を検出できる。なお，ミラーユニット３００の構成は，図２に示すものに限られるものではない。ミラーユニット３００の他の構成例について以下に説明する。
【００５６】
（ミラーユニットの第２構成例）
次に，ミラーユニット３００の第２構成例について説明する。図６，図７は，ミラーユニット３００の第２構成例を説明するための図である。図６は，ミラーユニット３００をその内部構成とともに説明するため，ミラーユニット３００のみを断面図にしたものである。また，図７は，図６に示すミラーユニット３００を含む搬送アーム装置２００を上方から見た図を示す。図８Ａ〜図８Ｃは，図７に示すピック２４０を前進させたときのミラーユニット３００の動作説明図である。
【００５７】
図６に示すミラーユニット３００は，連結ユニット３０２を伸縮自在に構成したものである。具体的には，図６に示す連結ユニット３０２は，内径が徐々に小さくなるような連結部３０２ａ，３０２ｂ，３０２ｃを備え，この順に出し入れ自在に挿入されることで，一方向に伸縮できるように構成されている。その他の構成は図２と同様であるため，詳細な説明を省略する。
【００５８】
図６に示すミラーユニット３００によれば，図８Ａ〜図８Ｃに示すようにピック２４０の進退動作に応じて連結ユニット３０２を伸縮させることができる。これにより，搬送アーム２１０を旋回させた場合のみならず，ピック２４０を進退させた場合においても，ウエハＷの端部の画像を検出することができる。これにより，ピック２４０が前進位置と後退位置で静止しているときだけでなく，進退動作している最中においてもピック２４０上のウエハＷの状態を検出することができる。
【００５９】
なお，図６に示す連結ユニット３０２は，３段構成で伸縮自在にしたものであるが，２段構成でもよく，また４段以上の構成にしてもよい。また，ピック２４０の進退動作に応じて伸縮するような構成であれば，図６に示す構成に限られるものではなく，例えば連結ユニット３０２を蛇腹状に構成してもよい。
【００６０】
また，図６に示すピック側ユニット３０４は，ピック２４０に固定せずに配置してもよく，またピック２４０に固定して配置してもよい。ピック２４０に固定して配置する場合には，ピック２４０の進退動作とともにピック側ユニット３０４も動くので，連結ユニット３０２を自動的に伸縮させることができる。
【００６１】
（ミラーユニットの第３構成例）
次に，ミラーユニット３００の第３構成例について説明する。図９，図１０は，ミラーユニット３００の第３構成例を説明するための図である。図９は，ミラーユニット３００をその内部構成とともに説明するため，ミラーユニット３００のみを断面図にしたものである。また，図１０は，図９に示すミラーユニット３００を含む搬送アーム装置２００を上方から見た図を示す。
【００６２】
図９に示すミラーユニット３００は，ピック側ユニット３０４とベース側ユニット３０６を連結ユニット３０２で接続しないで構成したものである。具体的には，ピック側ユニット３０４とベース側ユニット３０６とを別体にしてこれらの側部開口部３０５ｂ，３０７ｂがそれぞれ対向するように，ピック側ユニット３０４をピック２４０側に設け，ベース側ユニット３０６をベース２２０側に設けたものである。
【００６３】
図９では，ピック２４０の基端にウエハＷの端部が張り出すように段部２４２を形成し，その段部２４２にピック側ユニット３０４をそのピック側開口部３０５ａを上側に向けて配置した場合を例に挙げている。この場合，ピック側ミラー３１０はピック側開口部３０５ａからウエハＷの端部が映るように，図２とは上下逆向きに鏡面が上を向くように傾斜させる。その他の構成は図２と同様であるため，詳細な説明を省略する。
【００６４】
図９に示すミラーユニット３００によれば，連結ユニット３０２がないので，図１１Ａ〜図１１Ｃに示すようにピック２４０を進退させた場合においても，ウエハＷの端部の画像を検出することができる。これにより，ピック２４０が前進位置と後退位置で静止しているときだけでなく，進退動作している最中においてもピック２４０上のウエハＷの状態を検出することができる。
【００６５】
なお，トランスファチャンバ１１０に設けられる搬送アーム装置として，単一の搬送アーム２１０を備えたものにミラーユニットを設けた場合を例に挙げて説明したが，これに限られるものではなく，後述するように複数の搬送アームを備えた搬送アーム装置に上述したミラーユニット３００を設けることも可能である。
【００６６】
また，図９に示すミラーユニット３００は，ピック側開口部３０５ａとベース側開口部３０７ａのみならず側部開口部３０５ｂ，３０７ｂについても透明窓で塞ぐようにしてもよい。これにより，各ユニット３０４，３０６へのパーティクルなどの侵入を防止できる。
【００６７】
（搬送アーム装置の他の構成例）
ここで，搬送アーム装置の他の構成例について説明する。ここでは，複数の搬送アームを設けた搬送アーム装置にミラーユニットを適用する場合を例に挙げる。
【００６８】
先ず，図１２に示すように，各ピック２４０Ａ，２４０Ｂが隣に並ぶように２つの搬送アーム２１０Ａ，２１０Ｂを水平に配置した搬送アーム装置２００に，上記第１構成例にかかるミラーユニット３００を適用した場合について説明する。
【００６９】
図１２に示す搬送アーム装置２００は，２つの搬送アーム２１０Ａ，２１０Ｂを隣に並ぶように水平に並べて設けたものである。具体的には搬送アーム２１０Ａは，２つのリンク２３０Ａにより屈伸自在にベース２２０に取り付けられ，この隣に搬送アーム２１０Ｂは，２つのリンク２３０Ｂにより屈伸自在にベース２２０に取り付けられている。下側のリンク２３０Ａ，２３０Ｂにはそれぞれ駆動リンク２３４Ａ，２３４Ｂが取り付けられ，駆動リンク２３４Ａ，２３４Ｂはベース２２０に回転自在に取り付けられた回転台２３６に取り付けられている。
【００７０】
これによれば，回転台２３６を回転させることにより，駆動リンク２３４Ａ又は２３４Ｂによってリンク２３０Ａ又はリンク２３０Ｂを屈伸させてピック２４０Ａ又は２４０Ｂを進退させることができる。
【００７１】
このような図１２に示す搬送アーム装置２００には，搬送アーム２１０Ａ，２１０Ｂにそれぞれ図３と同様のミラーユニット３００Ａ，３００Ｂを取り付けることができる。これによれば，２つのミラーユニット３００Ａ，３００Ｂのベース側ユニット３０６Ａ，３０６Ｂにはそれぞれ，ピック側ユニット３０４Ａ，３０４Ｂからの各ウエハＷの端部が反射してその画像が現れる。
【００７２】
これらベース側ユニット３０６Ａ，３０６Ｂの画像が同時に撮像装置１３０の撮像視野に入るようにすることで，撮像装置１３０で両方のピック２４０Ａ，２４０Ｂに載置されたウエハＷの端部の画像を同時に取り込むことができるので，ピック２４０Ａ，２４０Ｂの各ウエハＷの状態を同時に検出できる。
【００７３】
なお，図１２に示す搬送アーム装置２００に適用されるミラーユニット３００は，上記第１構成例にかかるものに限られるものではなく，上記第２，第３構成例にかかるものを適用してもよい。この場合，上記第２，第３構成例にかかるミラーユニット３００についても，図１２の場合と同様に各搬送アームにそれぞれ１つずつ設けることで，ピック２４０Ａ，２４０Ｂの各ウエハＷの状態を同時に検出できる。
【００７４】
また，図１２に示すように２つのピック２４０Ａ，２４０Ｂを並べて設けた搬送アーム装置２００では，各搬送アーム２１０に１つずつミラーユニット３００を設けなくても，各搬送アーム２１０に共通のミラーユニット３００を１つだけ設けるようにしてもよい。具体的には例えば図１３に示すように，２つのピック２４０Ａ，２４０Ｂの間に図３と同様の構成のミラーユニット３００を１つだけ設け，ピック側ユニット３０４のピック側開口部３０５ａにこれらに載置された各ウエハＷの端部が両方入る位置（例えば図１３の位置）に配置する。これによれば，ベース側ユニット３０６には各ウエハＷの端部が両方映されるので，この画像を撮像装置１３０で取り込むことで，ピック２４０Ａ，２４０Ｂの各ウエハＷの状態を同時に検出できる。
【００７５】
次に，図１４に示すように，各ピック２４０Ａ，２４０Ｂの進退方向が反対になるように２つの搬送アーム２１０Ａ，２１０Ｂを水平に配置した搬送アーム装置２００に，上記第１構成例にかかるミラーユニット３００を適用した場合について説明する。
【００７６】
図１４に示す搬送アーム装置２００は，２つの搬送アーム２１０Ａ，２１０Ｂを進退方向が反対になるように水平に並べて設けたものである。具体的には搬送アーム２１０Ａは，左右２つのリンク２３０Ａの先端にピック２４０Ａが設けられるとともに，搬送アーム２１０Ｂは，左右２つのリンク２３０Ｂの先端にピック２４０Ｂが設けられている。リンク２３０Ａ，２３０Ｂはそれぞれ駆動リンク２３４Ａ，２３４Ｂの一端に連結されている。この駆動リンク２３４Ａ，２３４Ｂの他端はそれぞれベース２２０に回転自在に取り付けられている。
【００７７】
これによれば，駆動リンク２３４Ａ，２３４Ｂをピック２４０Ａの進退方向に動かすことによってピック２４０Ａを進退させることができ，駆動リンク２３４Ａ，２３４Ｂをピック２４０Ｂの進退方向に動かすことによってピック２４０Ｂを進退させることができる。
【００７８】
このような図１４に示す搬送アーム装置２００には，搬送アーム２１０Ａ，２１０Ｂにそれぞれ図３と同様のミラーユニット３００Ａ，３００Ｂを取り付けることができる。これによれば，２つのミラーユニット３００Ａ，３００Ｂのベース側ユニット３０６Ａ，３０６Ｂにはそれぞれ，ピック側ユニット３０４Ａ，３０４Ｂからの各ウエハＷの端部が反射してその画像が現れる。
【００７９】
これらベース側ユニット３０６Ａ，３０６Ｂの画像が同時に撮像装置１３０の撮像視野に入るようにすることで，撮像装置１３０で両方のピック２４０Ａ，２４０Ｂに載置されたウエハＷの端部の画像を同時に取り込むことができるので，ピック２４０Ａ，２４０Ｂの各ウエハＷの状態を同時に検出できる。
【００８０】
なお，図１４に示す搬送アーム装置２００に適用されるミラーユニット３００は，上記第１構成例にかかるものに限られるものではなく，上記第２，第３構成例にかかるものを適用してもよい。この場合，上記第２，第３構成例にかかるミラーユニット３００についても，図１２の場合と同様に各搬送アームにそれぞれ１つずつ設けることで，ピック２４０Ａ，２４０Ｂの各ウエハＷの状態を同時に検出できる。
【００８１】
また，図１４に示すように２つのピック２４０Ａ，２４０Ｂを進退方向が反対になるように並べて設けた搬送アーム装置２００では，ミラーユニット３００Ａ，３００Ｂは一直線に並ぶため，図１５に示すようにベース側ユニット３０６Ａと３０６Ｂで連結してミラーユニット３００Ａ，３００Ｂを一体化するようにしてもよい。この場合，図１５に示すように，１つの共通するベース側ユニット３０６を連結ユニットの結合部（中央部）に配置して，その内部に各ベース側ミラー３１２Ａ，３１２Ｂを図１４と同様の角度で配置し，この共通のベース側ユニット３０６のベース側開口部３０７ａから各ベース側ミラー３１２Ａ，３１２Ｂの画像が見えるようにしてもよい。これによれば，ベース側ユニット３０６には各ウエハＷの端部が両方映されるので，この画像を撮像装置１３０で取り込むことで，ピック２４０Ａ，２４０Ｂの各ウエハＷの状態を同時に検出できる。
【００８２】
次に，図１６に示すように，各ピック２４０Ａ，２４０Ｂを連結して搬送アーム２１０Ａ，２１０Ｂに接続し，ピック２４０Ａ，２４０Ｂが同方向に同時に進退するように構成した搬送アーム装置２００に，ミラーユニット３００を適用する場合について説明する。
【００８３】
図１６に示す搬送アーム装置２００は，２つのピック２４０Ａ，２４０Ｂを同方向に向けて離間した状態で，略コ字型の筒状連結部３０８の両端にそれぞれ接続し，この筒状連結部３０８に搬送アーム２１０Ａ，２１０Ｂのリンク２３０Ａ，２３０Ｂを接続して構成される。
【００８４】
これによれば，リンク２３０Ａ，２３０Ｂをピック２４０Ａ，２４０Ｂの進退方向に屈伸させることによって，ピック２４０Ａ，２４０Ｂを同方向に同時に進退させることができる。
【００８５】
このような図１６に示す搬送アーム装置２００には，図１０に示すミラーユニット３００を変形して適用することができる。具体的には例えば図１０と同様のピック側ユニット３０４Ａ，３０４Ｂをそれぞれ各ピック２４０Ａ，２４０Ｂに配置し，図１０と同様のベース側ユニット３０６をベース側に配置する。
【００８６】
そして，筒状連結部３０８に複数の中継ミラーを設けることによって，ピック側ユニット３０４Ａ，３０４Ｂに映されるウエハＷの端部の画像をベース側ユニット３０６に向けて反射させる。具体的には，筒状連結部３０８のピック２４０Ａを接続する方に中継ミラー３１４Ａ，３１６Ａを設け，ピック２４０Ｂを接続する方に中継ミラー３１４Ｂ，３１６Ｂを設ける。
【００８７】
中継ミラー３１４Ａ，３１４Ｂは，それぞれピック側ミラー３１０Ａ，３１０Ｂに映る画像が，筒状連結部３０８の中央付近に設けた中継ミラー３１６Ａ，３１６Ｂに反射するように配置される。また，筒状連結部３０８の中央付近には，ベース側ユニット３０６に対向するように側部開口部３０９が設けられ，中継ミラー３１６Ａ，３１６Ｂに映るピック側ミラー３１０Ａ，３１０Ｂの画像は側部開口部３０９を通してベース側ユニット３０６のベース側ミラー３１２に映るようになっている。
【００８８】
このベース側ユニット３０６の画像が撮像装置１３０の撮像視野に入るようにすることで，撮像装置１３０で両方のピック２４０Ａ，２４０Ｂに載置されたウエハＷの端部の画像を同時に取り込むことができるので，ピック２４０Ａ，２４０Ｂの各ウエハＷの状態を同時に検出できる。
【００８９】
次に，図１７に示すように，各ピック２４０Ａ，２４０Ｂを上下に配置されるように２つの搬送アーム２１０Ａ，２１０Ｂを設けた搬送アーム装置２００に，上記第３構成例にかかるミラーユニット３００を適用した場合について説明する。
【００９０】
このような図１７に示す搬送アーム装置２００には，図９に示す場合と同様に，ピック２４０Ａ，２４０Ｂの基端にそれぞれウエハＷの端部が張り出すように段部２４２Ａ，２４２Ｂを形成し，その段部２４２Ａ，２４２Ｂにピック側ユニット３０４Ａ，３０４Ｂを配置する。この場合，ベース側ユニット３０６Ａ，３０６Ｂはそれぞれ水平方向にずらして配置する。
【００９１】
このように，ベース側ユニット３０６Ａ，３０６Ｂをずらすことによってこれらの画像を同時に撮像装置１３０の撮像視野に入るようにすることができる。これにより，撮像装置１３０で両方のピック２４０Ａ，２４０Ｂに載置されたウエハＷの端部の画像を同時に取り込むことができるので，ピック２４０Ａ，２４０Ｂの各ウエハＷの状態を同時に検出できる。
【００９２】
なお，ベース側ユニット３０６Ａ，３０６Ｂは，図１７に示すように連結してもよく，別体としてもよい。また，１つのベース側ユニット３０６の内部にベース側ミラー３１２Ａ，３１２Ｂをずらして設けるようにしてもよい。これによっても，撮像装置１３０で両方のピック２４０Ａ，２４０Ｂに載置されたウエハＷの端部の画像を同時に取り込むことができる。
【００９３】
以上，本発明にかかる基板搬送システムを適用可能なトランスファチャンバの具体例として，図１に示すような１つのプロセスチャンバが接続したものを例に挙げて説明したが，これに限られるものではなく，複数のプロセスチャンバやロードロックチャンバが接続されてこれらとの間でウエハＷのやり取りを行うトランスファチャンバに適用してもよい。
【００９４】
（基板搬送システムを適用可能なトランスファチャンバの他の構成例）
ここで，本発明にかかる基板搬送システムを適用可能なトランスファチャンバの他の構成例について図面を参照しながら説明する。図１８は，４つのプロセスチャンバを接続した６角形のトランスファチャンバの構成例を示す。
【００９５】
図１８のトランスファチャンバ１１０は６角形に構成され，その周囲に４つのプロセスチャンバ１２０Ａ〜１２０Ｄと２つのロードロックチャンバＬＬＡ，ＬＬＢがそれぞれゲートバルブ１０２を介して接続されている。このトランスファチャンバ１１０内には，例えば図１３に示す搬送アーム装置２００が略中央に設けられている。
【００９６】
ロードロックチャンバＬＬＡ，ＬＬＢには大気側の図示しないローダーチャンバが接続され，ローダーチャンバには複数のウエハＷが収容された収納容器がセットできるようになっている。ローダーチャンバから必要に応じて新しいウエハＷがローディングされると，それを搬送アーム装置２００で取り出して，処理を実行するプロセスチャンバに搬送する。
【００９７】
このとき，搬送アーム装置２００は，搬送アーム２１０Ａ，２１０Ｂを旋回させることによって，アクセスしたいチャンバの方向に向けて，搬送アーム２１０Ａ又は２１０Ｂを進退させることによってウエハＷの搬出入を行うようになっている。
【００９８】
この図１８に示すトランスファチャンバ１１０に基板搬送システム１００を適用する場合は，搬送アーム装置２００に上述したミラーユニット３００を設けるとともに，トランスファチャンバ１１０の天井壁１１４における略中央の位置Ｐ１に撮像装置１３０を取り付ける。
【００９９】
なお，本発明にかかる基板搬送システムは，搬送アーム装置２００自体が例えば水平方向に移動可能に構成されたトランスファチャンバに適用することも可能である。このようなトランスファチャンバの構成例を図１９に示す。
【０１００】
図１９に示すトランスファチャンバ１１０は一方向に長い６角形に構成され，その周囲に６つのプロセスチャンバ１２０Ａ〜１２０Ｆと２つのロードロックチャンバＬＬＡ，ＬＬＢがそれぞれゲートバルブ１０２を介して接続されている。このトランスファチャンバ１１０内には，例えば図１３に示す搬送アーム装置２００がトランスファチャンバ１１０のその長手方向に沿って設けられた案内レール１１８に沿ってスライド自在に設けられている。
【０１０１】
このような搬送アーム装置２００では，そのスライド方向の位置はアクセスするチャンバに応じて予め設定されている。ここではトランスファチャンバ１１０内の先端側寄り位置Ｐ１と基端側寄り位置Ｐ２が予め設定されている場合を例に挙げる。
【０１０２】
例えば４つのプロセスチャンバ１２０Ａ〜１２０Ｄのいずれかにアクセスする際には，搬送アーム装置２００を先端側寄り位置Ｐ１に配置させる。この位置Ｐ１で搬送アーム２１０Ａ，２１０Ｂを旋回させることによって，アクセスしたいチャンバの方向に向けて，搬送アーム２１０Ａ又は２１０Ｂを進退させることによってウエハＷの搬出入を行うことができる。
【０１０３】
また２つのプロセスチャンバ１２０Ｅ，１２０Ｆと２つのロードロックチャンバＬＬＡ，ＬＬＢのいずれかにアクセスする際には，搬送アーム装置２００を基端側寄り位置Ｐ２に配置させる。この位置Ｐ２で搬送アーム２１０Ａ，２１０Ｂを旋回させることによって，アクセスしたいチャンバの直前に対向させて，搬送アーム２１０Ａ又は２１０Ｂを進退させることによってウエハＷの搬出入を行うことができる。
【０１０４】
この図１９に示すトランスファチャンバ１１０に基板搬送システム１００を適用する場合は，搬送アーム装置２００に上述したミラーユニット３００を設けるとともに，トランスファチャンバ１１０の天井壁１１４の位置Ｐ１，Ｐ２にそれぞれ，撮像装置１３０Ａ，１３０Ｂを取り付ける。
【０１０５】
これによれば，搬送アーム装置２００がトランスファチャンバ１１０の位置Ｐ１の位置にある場合は，撮像装置１３０ＡによってウエハＷの状態を検出し，搬送アーム装置２００がトランスファチャンバ１１０の位置Ｐ２の位置にある場合は，撮像装置１３０ＢによってウエハＷの状態を検出する。これによれば，搬送アーム装置２００がＰ１，Ｐ２のいずれの位置にあっても，ウエハＷの状態を検出できる。
【０１０６】
なお，上記図１９では，複数の撮像装置を設ける場合を例に挙げて説明したが，これに限られるものではない。例えば図１９に示すトランスファチャンバ１１０の天井壁１１４に１つの撮像装置をスライド自在に設け，搬送アーム装置２００のスライド動作に応じて撮像装置をスライドさせるようにしてもよい。これによれば，搬送アーム装置２００の旋回位置だけでなく，スライド動作中においてもウエハＷの状態を検出することができる。
【０１０７】
また，上述した図１８，図１９の例はともに，図１３に示すミラーユニット３００を設けた例を図示したものであるが，搬送アーム装置２００もミラーユニット３００もこれに限られるものではない。例えば上述した搬送アーム装置２００のいずれを適用してもよく，さらにその搬送アーム装置に応じて上述した各構成例のミラーユニット３００を適用することができる。
【０１０８】
以上，添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが，本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば，特許請求の範囲に記載された範疇内において，各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり，それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【産業上の利用可能性】
【０１０９】
本発明は，搬送アームを用いて基板を搬送する基板搬送システムに適用可能である。
【符号の説明】
【０１１０】
１００ 基板搬送システム
１０２ ゲートバルブ
１１０ トランスファチャンバ
１１２ 容器
１１３ 基板搬出入口
１１４ 天井壁
１１６ 観察窓
１１８ 案内レール
１２０，１２０Ａ〜１２０Ｆ プロセスチャンバ
１２２ 容器
１２３ 基板搬出入口
１２４ 載置台
１３０，１３０Ａ，１３０Ｂ 撮像装置
１３２ 支持部材
１４０ 制御部
１４２ 操作部
１４４ 記憶部
２００ 搬送アーム装置
２０２ モータ
２１０，２１０Ａ，２１０Ｂ 搬送アーム
２２０ ベース
２２２ 駆動軸
２３０ ２３０Ａ，２３０Ｂ リンク
２３４Ａ，２３４Ｂ 駆動リンク
２３６ 回転台
２４０，２４０Ａ，２４０Ｂ ピック
２４２ ２４２Ａ，２４２Ｂ 段部
３００，３００Ａ，３００Ｂ ミラーユニット
３０２ 連結ユニット
３０２ａ，３０２ｂ，３０２ｃ 連結部
３０４Ａ，３０４Ｂ ピック側ユニット
３０５ａ ピック側開口部
３０５ｂ 側部開口部
３０６，３０６Ａ，３０６Ｂ ベース側ユニット
３０７ａ ベース側開口部
３０７ｂ 側部開口部
３０８ 筒状連結部
３０９ 側部開口部
３１０，３１０Ａ，３１０Ｂ ピック側ミラー
３１２，３１２Ａ，３１２Ｂ ベース側ミラー
３１４Ａ，３１４Ｂ，３１６Ａ，３１６Ｂ 中継ミラー
３２０ 支持部材
ＬＬＡ，ＬＬＢ ロードロックチャンバ
Ｗ ウエハ
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に所定の処理を施すプロセスチャンバに接続され，搬出入口を介して基板のやり取りを行うトランスファチャンバを備えた基板搬送システムであって，
前記トランスファチャンバ内に設けられたベースに旋回自在に支持され，屈伸自在に構成された搬送アームと，
前記搬送アームの先端に設けられ，前記基板を保持するピックと，
前記ベースに前記搬送アームと共に旋回自在に支持され，前記ピック側に配置されるピック側ミラーを備えたピック側ユニットと前記ベース側に配置されるベース側ミラーを備えたベース側ユニットとを少なくとも有し，前記ピック側ミラーは前記ピックに保持された前記基板の周縁を含む画像を前記ベース側に向けて反射するように配置し，前記ベース側ミラーは前記ピック側ミラーからの画像を前記ベースの上側に向けて反射するように配置したミラーユニットと，
前記ベース側ミラーからの画像が撮像領域に含まれるように前記ベースの上方に設けられた撮像装置と，
前記撮像装置で取り込んだ前記ベース側ミラーからの画像に基づいて，前記基板の状態を検出する制御部と，
を備えたことを特徴とする基板搬送システム。
【請求項２】
前記ミラーユニットは，前記ピック側ユニットと前記ベース側ユニットとを連結ユニットで水平に連結して構成し，
前記連結ユニットは，筒状に形成し，その両端で前記ピック側ミラーと前記ベース側ミラーが対向するように配置したことを特徴とする請求項１に記載の基板搬送システム。
【請求項３】
前記ベース側ユニットは前記ベースに支持したまま，前記ピック側ユニットは前記ピックに取り付け，
前記連結ユニットは伸縮自在に構成したことを特徴とする請求項２に記載の基板搬送システム。
【請求項４】
前記ミラーユニットは，前記ピック側ユニットと前記ベース側ユニットを水平に離間させて構成し，
前記ベース側ユニットは前記ベースに支持したまま，前記ピック側ユニットは前記ピックに取り付け，
前記ピック側ユニットと前記ベース側ユニットは，前記ピック側ミラーと前記ベース側ミラーが対向するように配置したことを特徴とする請求項１に記載の基板搬送システム。
【請求項５】
前記ベースに前記搬送アームを複数設け，前記搬送アームごとに前記ミラーユニットを設け，
前記各ピック側ミラーは前記各ピックに保持された前記基板の周縁を含む画像をそれぞれ前記ベース側に向けて反射するように配置し，前記各ベース側ミラーは前記各ピック側ミラーからの画像を前記ベースの上側に向けて反射するように配置し，
前記撮像装置は，前記各ベース側ミラーからの画像がすべて撮像領域に含まれるように配置し，
前記制御部は，前記撮像装置で取り込んだ前記各ベース側ミラーからの画像に基づいて，前記各基板の状態を一度に検出することを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の基板搬送システム。
【請求項６】
前記複数の搬送アームのピックをそれぞれ鉛直方向にずらして設けた場合には，前記各ベース側ミラーが重ならないように，前記各ベース側ユニットを水平方向にずらして設けたことを特徴とする請求項５に記載の基板搬送システム。
【請求項７】
前記ベースに前記搬送アームを水平に２つ並べて設け，これらのピックの中間に１つの前記ミラーユニットを設け，
前記ピック側ミラーは前記各ピックに保持された前記基板の周縁を両方含む画像を前記ベース側に向けて反射するように配置し，前記ベース側ミラーは前記ピック側ミラーからの画像を前記ベースの上側に向けて反射するように配置し，
前記撮像装置は，前記ベース側ミラーからの画像が撮像領域に含まれるように配置し，
前記制御部は，前記撮像装置で取り込んだ前記ベース側ミラーからの画像に基づいて，前記各基板の状態を一度に検出することを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の基板搬送システム。
【請求項８】
基板に所定の処理を施すプロセスチャンバに接続され，搬出入口を介して基板のやり取りを行うトランスファチャンバを備えた基板搬送システムであって，
前記トランスファチャンバ内に設けられたベースに旋回自在に支持され，屈伸自在に構成された複数の搬送アームと，
前記搬送アームの先端に設けられ，前記基板を保持するピックと，
前記ベースに前記搬送アームと共に旋回自在に支持され，前記各ピック側に配置されるピック側ミラーを備えた複数のピック側ユニットと前記ベース側に配置される複数のベース側ミラーを備えた１つのベース側ユニットとを有し，前記各ピック側ミラーは前記各ピックに保持された前記基板の周縁を含む画像をそれぞれ前記ベース側に向けて反射するように配置し，前記各ベース側ミラーは前記各ピック側ミラーからの画像をそれぞれ前記ベースの上側に向けて反射するように配置したミラーユニットと，
前記各ベース側ミラーからの画像がすべて撮像領域に含まれるように前記ベースの上方に設けられた撮像装置と，
前記撮像装置で取り込んだ前記各ベース側ミラーからの画像に基づいて，前記各基板の状態を検出する制御部と，
を備えたことを特徴とする基板搬送システム。
【請求項９】
基板に所定の処理を施すプロセスチャンバに接続され，搬出入口を介して基板のやり取りを行うトランスファチャンバを備えた基板搬送システムであって，
前記トランスファチャンバ内に設けられたベースに旋回自在に支持され，屈伸自在に構成された搬送アームと，
前記搬送アームの先端に筒状連結部を介して設けられ，前記基板をそれぞれ保持する複数のピックと，
前記ベースに前記搬送アームと共に旋回自在に支持され，前記各ピック側に配置されるピック側ミラーを備えた複数のピック側ユニットと前記ベース側に配置されるベース側ミラーを備えた１つのベース側ユニットとを有し，前記各ピック側ミラーは前記各ピックに保持された前記基板の周縁を含む画像をそれぞれ前記ベース側に向けて反射するように配置し，前記各ベース側ミラーは前記各ピック側ミラーからそれぞれ前記筒状連結部に設けられた中継ミラーを介して反射された画像を前記ベースの上側に向けて反射するように配置したミラーユニットと，
前記各ベース側ミラーからの画像がすべて撮像領域に含まれるように前記ベースの上方に設けられた撮像装置と，
前記撮像装置で取り込んだ前記各ベース側ミラーからの画像に基づいて，前記各基板の状態を検出する制御部と，
を備えたことを特徴とする基板搬送システム。
【請求項１０】
前記搬送アームの前記ベースはスライド自在に設けられ，前記ベースのスライド方向の複数の位置に停止して前記搬送アームを旋回させる場合には，その停止位置にそれぞれ前記撮像装置を設けたことを特徴とする請求項１〜９のいずれかに記載の基板搬送システム。
【請求項１１】
前記搬送アームの前記ベースはスライド自在に設けられ，前記撮像装置は前記ベースとともにスライド自在に設けたことを特徴とする請求項１〜９のいずれかに記載の基板搬送システム。
【請求項１】
基板に所定の処理を施すプロセスチャンバに接続され，搬出入口を介して基板のやり取りを行うトランスファチャンバを備えた基板搬送システムであって，
前記トランスファチャンバ内に設けられたベースに旋回自在に支持され，屈伸自在に構成された搬送アームと，
前記搬送アームの先端に設けられ，前記基板を保持するピックと，
前記ベースに前記搬送アームと共に旋回自在に支持され，前記ピック側に配置されるピック側ミラーを備えたピック側ユニットと前記ベース側に配置されるベース側ミラーを備えたベース側ユニットとを少なくとも有し，前記ピック側ミラーは前記ピックに保持された前記基板の周縁を含む画像を前記ベース側に向けて反射するように配置し，前記ベース側ミラーは前記ピック側ミラーからの画像を前記ベースの上側に向けて反射するように配置したミラーユニットと，
前記ベース側ミラーからの画像が撮像領域に含まれるように前記ベースの上方に設けられた撮像装置と，
前記撮像装置で取り込んだ前記ベース側ミラーからの画像に基づいて，前記基板の状態を検出する制御部と，
を備えたことを特徴とする基板搬送システム。
【請求項２】
前記ミラーユニットは，前記ピック側ユニットと前記ベース側ユニットとを連結ユニットで水平に連結して構成し，
前記連結ユニットは，筒状に形成し，その両端で前記ピック側ミラーと前記ベース側ミラーが対向するように配置したことを特徴とする請求項１に記載の基板搬送システム。
【請求項３】
前記ベース側ユニットは前記ベースに支持したまま，前記ピック側ユニットは前記ピックに取り付け，
前記連結ユニットは伸縮自在に構成したことを特徴とする請求項２に記載の基板搬送システム。
【請求項４】
前記ミラーユニットは，前記ピック側ユニットと前記ベース側ユニットを水平に離間させて構成し，
前記ベース側ユニットは前記ベースに支持したまま，前記ピック側ユニットは前記ピックに取り付け，
前記ピック側ユニットと前記ベース側ユニットは，前記ピック側ミラーと前記ベース側ミラーが対向するように配置したことを特徴とする請求項１に記載の基板搬送システム。
【請求項５】
前記ベースに前記搬送アームを複数設け，前記搬送アームごとに前記ミラーユニットを設け，
前記各ピック側ミラーは前記各ピックに保持された前記基板の周縁を含む画像をそれぞれ前記ベース側に向けて反射するように配置し，前記各ベース側ミラーは前記各ピック側ミラーからの画像を前記ベースの上側に向けて反射するように配置し，
前記撮像装置は，前記各ベース側ミラーからの画像がすべて撮像領域に含まれるように配置し，
前記制御部は，前記撮像装置で取り込んだ前記各ベース側ミラーからの画像に基づいて，前記各基板の状態を一度に検出することを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の基板搬送システム。
【請求項６】
前記複数の搬送アームのピックをそれぞれ鉛直方向にずらして設けた場合には，前記各ベース側ミラーが重ならないように，前記各ベース側ユニットを水平方向にずらして設けたことを特徴とする請求項５に記載の基板搬送システム。
【請求項７】
前記ベースに前記搬送アームを水平に２つ並べて設け，これらのピックの中間に１つの前記ミラーユニットを設け，
前記ピック側ミラーは前記各ピックに保持された前記基板の周縁を両方含む画像を前記ベース側に向けて反射するように配置し，前記ベース側ミラーは前記ピック側ミラーからの画像を前記ベースの上側に向けて反射するように配置し，
前記撮像装置は，前記ベース側ミラーからの画像が撮像領域に含まれるように配置し，
前記制御部は，前記撮像装置で取り込んだ前記ベース側ミラーからの画像に基づいて，前記各基板の状態を一度に検出することを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の基板搬送システム。
【請求項８】
基板に所定の処理を施すプロセスチャンバに接続され，搬出入口を介して基板のやり取りを行うトランスファチャンバを備えた基板搬送システムであって，
前記トランスファチャンバ内に設けられたベースに旋回自在に支持され，屈伸自在に構成された複数の搬送アームと，
前記搬送アームの先端に設けられ，前記基板を保持するピックと，
前記ベースに前記搬送アームと共に旋回自在に支持され，前記各ピック側に配置されるピック側ミラーを備えた複数のピック側ユニットと前記ベース側に配置される複数のベース側ミラーを備えた１つのベース側ユニットとを有し，前記各ピック側ミラーは前記各ピックに保持された前記基板の周縁を含む画像をそれぞれ前記ベース側に向けて反射するように配置し，前記各ベース側ミラーは前記各ピック側ミラーからの画像をそれぞれ前記ベースの上側に向けて反射するように配置したミラーユニットと，
前記各ベース側ミラーからの画像がすべて撮像領域に含まれるように前記ベースの上方に設けられた撮像装置と，
前記撮像装置で取り込んだ前記各ベース側ミラーからの画像に基づいて，前記各基板の状態を検出する制御部と，
を備えたことを特徴とする基板搬送システム。
【請求項９】
基板に所定の処理を施すプロセスチャンバに接続され，搬出入口を介して基板のやり取りを行うトランスファチャンバを備えた基板搬送システムであって，
前記トランスファチャンバ内に設けられたベースに旋回自在に支持され，屈伸自在に構成された搬送アームと，
前記搬送アームの先端に筒状連結部を介して設けられ，前記基板をそれぞれ保持する複数のピックと，
前記ベースに前記搬送アームと共に旋回自在に支持され，前記各ピック側に配置されるピック側ミラーを備えた複数のピック側ユニットと前記ベース側に配置されるベース側ミラーを備えた１つのベース側ユニットとを有し，前記各ピック側ミラーは前記各ピックに保持された前記基板の周縁を含む画像をそれぞれ前記ベース側に向けて反射するように配置し，前記各ベース側ミラーは前記各ピック側ミラーからそれぞれ前記筒状連結部に設けられた中継ミラーを介して反射された画像を前記ベースの上側に向けて反射するように配置したミラーユニットと，
前記各ベース側ミラーからの画像がすべて撮像領域に含まれるように前記ベースの上方に設けられた撮像装置と，
前記撮像装置で取り込んだ前記各ベース側ミラーからの画像に基づいて，前記各基板の状態を検出する制御部と，
を備えたことを特徴とする基板搬送システム。
【請求項１０】
前記搬送アームの前記ベースはスライド自在に設けられ，前記ベースのスライド方向の複数の位置に停止して前記搬送アームを旋回させる場合には，その停止位置にそれぞれ前記撮像装置を設けたことを特徴とする請求項１〜９のいずれかに記載の基板搬送システム。
【請求項１１】
前記搬送アームの前記ベースはスライド自在に設けられ，前記撮像装置は前記ベースとともにスライド自在に設けたことを特徴とする請求項１〜９のいずれかに記載の基板搬送システム。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８Ａ】
【図８Ｂ】
【図８Ｃ】
【図９】
【図１０】
【図１１Ａ】
【図１１Ｂ】
【図１１Ｃ】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８Ａ】
【図８Ｂ】
【図８Ｃ】
【図９】
【図１０】
【図１１Ａ】
【図１１Ｂ】
【図１１Ｃ】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【公開番号】特開２０１３−１１０２００（Ｐ２０１３−１１０２００Ａ）
【公開日】平成２５年６月６日（２０１３．６．６）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−２５２５８１（Ｐ２０１１−２５２５８１）
【出願日】平成２３年１１月１８日（２０１１．１１．１８）
【出願人】（０００２１９９６７）東京エレクトロン株式会社 (5,184)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年６月６日（２０１３．６．６）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年１１月１８日（２０１１．１１．１８）
【出願人】（０００２１９９６７）東京エレクトロン株式会社 (5,184)
【Ｆターム（参考）】
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