【課題】 貼り合わせ基板反転時における貼り合わせ基板間の位置ずれを防ぐ。
【解決手段】 シール剤１ａを介して貼り合わされた２枚の基板１Ａ，１Ｂを反転させる基板反転装置において、平板状の保持部２１は、貼り合わされた２枚の基板１Ａ，１Ｂの一方の面を吸着しつつ昇降移動可能に構成され、押さえ部２２が、保持部２１に吸着保持された２枚の基板１Ａ，１Ｂの上基板１Ａを押圧して挟持するので、反転時の２枚の基板１Ａ，１Ｂの撓み変形は抑制され高品質な貼り合わせ基板を製造できる。 （もっと読む）

【課題】この発明は小型化や生産性の向上を図ることができるようにした光硬化性樹脂の塗布装置を提供することにある。
【解決手段】液晶パネルとこの液晶パネルの側辺部に接続された電子部品との接続部分に光硬化性樹脂を塗布する光硬化性樹脂の塗布装置であって、
液晶パネルが載置される基板ステージ２１と、基板ステージと対向して配置され液晶パネルと電子部品との接続部分に光硬化性樹脂を塗布する塗布ノズル１３を有するヘッドステージ１１と、ヘッドステージを駆動して上記塗布ノズルを上記基板の側辺部に沿う方向に移動させるＸ駆動源７と、ヘッドステージに設けられ塗布ノズルによって液晶パネルとタブとの接続部分に塗布された光硬化性樹脂に照射光を照射して硬化させる光照射部１４とを具備する。 （もっと読む）

【課題】この発明は基板に付着する有機物を良好に洗浄除去することができるようにした処理装置を提供することにある。
【解決手段】基板を洗浄処理する処理装置であって、
基板を過熱水蒸気で処理して基板上の有機物を剥離除去する蒸気処理部１と、蒸気処理部で処理された基板を処理液によって処理して基板上の有機物を溶解除去する薬液処理部２１と、薬液処理部で処理された基板をリンス処理するリンス処理部３１とを具備する。 （もっと読む）

【課題】 半導体製造装置の真空処理室内の洗浄時に処理室内壁等に付着する水分を早期に除去し、装置のダウンタイムを短縮させることにより、生産性の向上を図ることのできる半導体製造装置のクリーニング方法を提供する。
【解決手段】 真空の処理室１と、ガス導入口２と、排気口３とを備える。処理室１内部には、ウェハを載置し処理するステージ１ａが設けられ、このステージ１ａは処理室外部の高周波電源と接続されている。排気口３の下流側には、処理室１の排気量を制御する圧力制御装置４および圧力計６と、処理室１内の空気を排気するポンプ５とが設けられている。洗浄後の処理室１内を真空排気する場合に、ガス導入口２から水分を含んでいないパージガスを流し、同時にポンプ５を稼動させ真空排気を行い、かつ使用しているポンプ５を排気速度が大きい範囲で使用する。 （もっと読む）

【課題】 この発明は基板を搬送する搬送軸が撓むのを防止するようにした搬送装置を提供することにある。
【解決手段】 基板を搬送する搬送装置であって、
基板の搬送方向に沿って所定間隔で設けられた複数の搬送軸１１と、搬送軸を回転駆動して上記基板を搬送する駆動源と、搬送軸の軸方向中央部をこの搬送軸が自重によって撓むのを阻止するよう回転可能に支持する回転体３５とを具備する。 （もっと読む）

【課題】この発明は長尺化しても撓み量の少ない、基板を搬送するための搬送用シャフトを提供することにある。
【解決手段】処理液によって処理される基板を搬送するための搬送用シャフトであって、
この搬送用シャフトは、炭素繊維によって形成された芯材１３及び上記処理液に対する耐性を備えた合成樹脂によって形成され芯材の外周面を被覆した外皮材１４を有するシャフト部１２と、このシャフト部の軸方向に所定間隔で設けられた上記基板を支持する支持ローラ６とによって構成されている。 （もっと読む）

【課題】実装ユニットで液晶パネルの位置合わせが不能になったときの復旧を容易に行えるようにした実装装置を提供する。
【解決手段】液晶パネルの各辺に回路基板を実装する複数の実装ユニット１Ａ〜１Ｄと、最上流の実装ユニットに液晶パネルを供給するパネル供給部１２と、最下流の実装ユニットで回路基板が実装された液晶パネルが排出される排出部３８と、液晶パネルを上流側の実装ユニットから下流側の実装ユニットに順次搬送して液晶パネルの複数の辺に回路基板が実装された後で、その液晶パネルを排出部に搬送する搬送機構と、複数の実装ユニットのいずれかで液晶パネルへの回路基板の実装が不可能となったときにその液晶パネルを搬送機構によって排出部へ搬送させるとともに、液晶パネルへの回路基板の実装が可能となったならば、その液晶パネルを回路基板の実装が不可能となった実装ユニットへ搬送機構によって戻させる制御装置とを具備する。 （もっと読む）

【課題】 プラズマ密度に依存しないインピーダンスを有するマイクロ波導入器、これを備えたプラズマ発生装置及びこれを備えたプラズマ処理装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 プラズマを生成する空間を有するチャンバに取り付けられるマイクロ波導入器であって、前記チャンバの壁面から前記プラズマを生成する空間に向けて突出する誘電体の導波体を備え、前記導波体は、先端に向けて直径が小さくなる略円錐台状であることを特徴とするマイクロ波導入器を提供する。 （もっと読む）

【課題】 液晶表示面への気泡の混入を軽減し、シール剤を介して上下基板を良好に貼り合わせる。
【解決手段】 シール剤５を介した上下基板１ａ，１ｂの貼り合わせに際し、上ステージ３ａに気体の吐出孔３ａａを形成し、この吐出孔３ａａからの吐出気体が、シール剤５が塗布された線の内側に向くように構成する。
真空雰囲気中で貼り合わされた薄い上下基板１ａ，１ｂにおいて、ステージ３ａの押し込み操作ではシール剤５と上基板３ａとの間の接続が適正に行われない場合でも、シール剤５に沿った吐出気体による基板変形により、シール剤５は押圧され適正に押し潰される。
また、吐出気体は、シール剤５の位置よりも内側の基板面を押し込むので、吐出気体が基板縁を回り込んでセル内に流入し、表示面に気泡が残存するのを回避して、良好な液晶表示パネルを製造することができる。 （もっと読む）

【課題】被処理物のごく近傍において所望の強度分布のプラズマを形成することが可能なプラズマ発生装置及びこれを備えたプラズマ処理装置を提供すること。
【解決手段】大気よりも減圧された雰囲気を維持可能な真空チャンバ２と、真空チャンバ２の外側から内側にマイクロ波Ｍを導入するための透過窓４と、チャンバ２内に設けられ、透過窓４を介して導入されたマイクロ波を導波しチャンバ２内において放出する誘電体の導波体６Ａと、を備え、導波体６Ａは、リング状に形成され、その円周に沿ってマイクロ波を共振させ、導波体６Ａから放出されたマイクロ波によりプラズマを生成する。 （もっと読む）